【課題】保管時や輸送時における樹脂板の吸湿を防止することができる樹脂板の梱包方法およびその梱包方法により梱包された梱包物を提供すること。
【解決手段】下側の防湿シート４上に、最下段の樹脂板５から順に１枚ずつ樹脂板５を複数枚積層して積層品６を形成し、次いで、最上段の樹脂板５の主面全体を覆うように上側の防湿シート７を載置する。その後、積層品６および防湿シート４，７の荷崩れを防止するために、防湿シート４の下に敷いていたストレッチフィルム３を、積層品６の側面６１および防湿シート４，７の全体に巻き付ける。 （もっと読む）

【課題】プリント基板等の収納、保管、搬送効率を向上するために、収納するプリント基板等のサイズに近い外形の板材収納枠の提供ならびに、意図した溝に確実にプリント基板等を収納できる様に基板収納溝の視認性を向上させた板材収納枠を提供。
【解決手段】対向して配置された一対のガイドレール（２）と、ガイドレールの対向する両端部を連結する天板（３）と底板（４）からなる板材収納枠において、ガイドレールは、平行な支持溝（５）を複数形成して内面に支持溝が互いに向き合うように配置される。前記天板および底板と前記ガイドレールは、ねじ等の係止体（４０）によって連結される。前記ガイドレールには前記支持溝と直交するような位置に設けられた縦溝を有し、前記縦溝に防塵用板（５１）やガイドレールの支持溝にプリント基板等を収納要、不要を選択できる溝選択用板（５０）を差込む構造となっている。 （もっと読む）

【課題】薄い大型の平板状基板を表面へのダメージ無く収納し搬送することができる、薄型、軽量の基板収納用トレイを提供するにより、一度に輸送できる基板の枚数を多くでき、輸送コストを低減する。
【解決手段】平板状で同一形状の複数の基板を一枚ずつ収納し、該基板を囲む枠部で水平に多段に積み重ねて搬送するための基板収納用トレイにおいて、枠部と連結して枠部の内側に基板を担持する基板支持部を有し、基板支持部の基板と接する部分に自己粘着性を有する基板固定部材を設けた。 （もっと読む）

【課題】簡易な設備を用いて低コストで生産することができるウェーハフレームカセットを提供すること。
【解決手段】半導体ウェーハがマウントされた複数のフレーム１００を内部に収納可能なウェーハフレームカセット１であって、複数の棚締結孔１３が一定の間隔を空けて形成されているとともに互いに平行に並べて設けられた一対の壁部材１１と、複数の棚締結孔１３に固定され、複数のフレーム１００のうちの１つのフレーム１００の周縁部が載置される載置面１６ａが形成された複数の棚部材１５と、一対の壁部材１１を互いに連結する枠体２とを備える。 （もっと読む）

【課題】個食の需要に応える好適な湯豆腐用収納容器を提供する。
【解決手段】上面を開口した豆腐収納凹部に連結部を介して薬味等収納凹部を連結し、それぞれの収納凹部の開口縁の外周にフランジを外向きに設けて、前記豆腐収納凹部には、その開口縁の高さより低い高さで前記豆腐収納凹部の内部を複数の収納室に区画する仕切りを設けてなる容器本体と、前記連結部及びフランジに引き剥がし可能に密着して前記豆腐収納凹部を閉塞するシール蓋とで湯豆腐用収納容器を構成する。また、上記豆腐収納凹部及び薬味等収納凹部のそれぞれの側壁に縦方向の突条からなるリブを多数設けると共に、少なくとも豆腐収納凹部の各収納室の底面に突起又は突条からなるリブを設ける。 （もっと読む）

【課題】ノズルから噴出される気体の流量を均一化することにより、例え容器本体に複数枚の基板が並べて収納されていても、短時間で気体を効率的に置換できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハＷを収納可能な容器本体１と、容器本体１の正面を開閉する蓋体１０を備え、容器本体１の底板３の後部両側に第一、第二の給気バルブ３０Ａ・３０Ｂを取り付け、底板３の前部両側に第一、第二の排気バルブ４０Ａ・４０Ｂを取り付ける。各給気バルブ３０Ａ・３０Ｂに、容器本体１の上下方向に伸びるノズル３４を備えてその周壁に半導体ウェーハＷの上下面にパージガスを噴出する複数の噴出孔を穿孔するとともに、各噴出孔から噴出されるパージガス流量の割合を平均値±２％以内の範囲に設定し、第一、第二の給気バルブ３０Ａ・３０Ｂのノズル３４から噴出されたパージガスが半導体ウェーハＷの前後方向中心線ｌ上で干渉しないようにする。 （もっと読む）

【課題】シート材を成形したものでありながら、他の補強体を用いずとも、保管、輸送中の外力に耐え、内部に収納したペリクルへの異物付着を防止する十分な剛性を有する、軽量かつ低コストのペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】ペリクルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆すると共に容器本体と周縁部で嵌め合い係止する蓋体とからなる樹脂のシート材を成形した少なくとも一辺の長さが５００ｍｍを超えるペリクル収納容器において、容器本体の互いに平行な２辺が、側面方向から見た場合に、蓋体と嵌め合い係止した周縁部の内側に少なくとも２段の立面を有する階段形状に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マスクに貼り付けても、マスクに歪みを与えることの少ないリソグラフィー用ペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクルフレームの一方の端面に接着剤層を介してペリクル膜が張設され、他方の端面にマスク貼付側の面が平坦な粘着剤層が設けられ、かつその粘着力が１Ｎ／ｍから100Ｎ／ｍの範囲にあることを特徴とし、前記粘着剤層のマスク貼付側の面の平坦度を15μｍ以下とし、ペリクル膜が貼付された前記接着剤層の面の平坦度を15μｍ以下とするのが望ましい。 （もっと読む）

【課題】 容器本体の各支持部に規制板を支持させ、この規制板によって薄肉厚基板の撓みを回避させるものであり、該規制板の回転を防止できるとともに、該規制板と支持部との擦れを低減させ、また、基板の取り出しも容易にした基板収納容器を提供する。
【解決手段】 正面に開口部を有する容器本体と、容器本体の内側壁に互いに対向して配置された一対の支持部材とを備える。各支持部は、垂直方向に並設させた複数の支持板を備えて構成される。一対の支持部の高さが同じ支持板によって規制板を載置させるともに、規制板を載置する支持板よりも一段上にある他の支持板に基板を載置させる。規制板は、平面的に観た場合、収納容器の前記開口部側および中央部において切り欠きが設けられた形状をなし、規制板を支持する前記支持板に対して位置規制される簡易な構成の位置規制手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ガラス製の発光管の内部に高圧ガスが封入されたランプの保護カバーにおいて、破裂時の瞬間的な高圧ガスの圧力に耐久できる保護カバーを提供すること
【解決手段】ランプの発光部を囲繞するランプ保護カバーであって、軸部と、該軸部を中心として回転可能に連結され、開閉自在な２つの樹脂製の容器半体と、該容器半体の内側に設けられたランプ収容部と、該容器半体同士の対向する該ランプ収容部の縁部に設けられた軸方向に沿って延在する端面部と、少なくとも一方の容器半体の端面部より、該軸方向に対して直交する断面内で、ランプ収容部内に延伸させた突起部と、該保護カバーを閉じた状態のときに、該容器半体が回転することを規制するストッパーと、を備えること。 （もっと読む）

【課題】本発明は、透明性に優れ、しかもアウトガスの発生が少ない新規な樹脂成形品及び樹脂成形品の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】素材Ｐとしてのポリプロピレン系樹脂組成物を、加熱筒２の上流側から間欠的に供給し、供給された素材Ｐを加熱筒２の軸心に沿って加熱筒２内に配されたスクリュー３を回転させることによって加熱筒２の上流側から下流側に順次輸送し、加熱筒２を加熱すると共に加熱筒２内を減圧することによって、素材Ｐからガス成分を遊離させつつ、ベント孔４を介して除去する。 （もっと読む）

【課題】露光機内のマスクステージにマスクを装着した状態で、ペリクル上の透明性異物の検査を行うことができるペリクル及び露光装置を提供する。
【解決手段】ペリクル５０のペリクルフレーム５２に、ペリクル膜５１の表面上を伝搬する弾性表面波を発生させる弾性表面波素子２０Ａと、弾性表面波を受信する弾性表面波素子２０Ｂとを設け、当該弾性表面波によってペリクル膜５１上の異物の有無を検出する。このとき、ペリクル５０を装着したフォトマスク１を、露光機１００のマスクステージ１０３に載置した状態で異物検査を行う。また、弾性表面波素子２０Ａ，２０Ｂをペリクルフレーム５２に複数組設ければ、ペリクル膜５１上の異物の位置を特定できる。 （もっと読む）

【課題】耐発塵性、耐熱性、非帯電性、フラット製などを改善し、半導体の搬送に適したトレーを、安価に提供すること。
【解決手段】 半導体デバイスを含む面実装電子部品をその製造工程または検査工程に搬送するために使用される面実装電子部品の搬送用トレーであって、導電性および〔１００〕℃以上の耐熱性の少なくとも何れかの特性を具備する材料からなるプレート部と、当該プレート部の少なくとも一方の面上にリブ状に設けられ、各面実装電子部品を収容する複数の空間を区画する樹脂製の仕切り部とからなり、当該プレート部と仕切り部とが一体化されている面実装電子部品の搬送用トレーとする。 （もっと読む）

【課題】接着テープを使用することなく組み立てることができ、また、取り外す場合には道具を用いないで内容物の形をくずすことなく簡単に取り外すことができる保形成形型を提供する。
【解決手段】両端に継目部を有する可撓性の帯材２と、一方の継目部３から長手方向に延設された凸状の差込み片４ａ，４ｂと、他方の継目部５に形成され、差込み片４ａ，４ｂが挿入される切込み部６ａ，６ｂと、継目部のいずれか一方に形成され、切込み部６ａ，６ｂに挿入された差込み片４ａ，４ｂの抜けを防止する抜け止め片９と、継目部のいずれか他方に形成され、抜け止め片９が係止される第二の切込み部８とを備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗装材にて塗装を行う場合において、塗膜の破損を抑制できるペリクル枠体、ペリクル、ペリクル枠体の製造方法を提供する。
【解決手段】ペリクル１のペリクル枠体２は、アルミニウム又はアルミニウム合金からなる枠部材のコーティングにおいて、塗装材のガラス転移点を５０℃以上３５０℃以下としている。これにより、ペリクル枠体２に撓みが生じた場合であっても、ペリクル枠体２と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜Ｐの剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜Ｐの削れも防止できる。したがって、塗膜Ｐの亀裂等の破損の発生を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】ウエハの運搬時、容器中でウエハとウエハ保護シートとが接触によるウエハ保護シートの有機物のウエハへの転写を防止したウエハ保護シートを提供する。
【解決手段】ウエハ保護シート１は、厚さ８０〜１３０μｍの合成樹脂製シートの表裏面にそれぞれ、凸部および凹部が数多く賦形されたシートであり、前記多数の凸部と前記多数の凹部はそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置され、また表面の凸部には裏面の凹部が、表面の凹部には裏面の凸部がそれぞれ対応するような波状断面を有し、そしてシートの剛軟度が６０〜１２０ｍｍであるウエハ保護シートにおいて、前記合成樹脂製シートが直鎖状低密度ポリエチレン樹脂を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハーを安全且つ容易に収納、運搬、取り出しができ、搬送時の振動や衝撃から保護し破損を防止することができる半導体ウエハーの収納容器を提供する。
【解決手段】 容器部本体と蓋部からなる半導体ウエハーの収納容器であって、容器部本体が半導体ウエハーと当接する底面と該底面から立ち上がる側壁からなり、側壁が柔構造を有する内側壁及び外側壁の２重構造に形成され、容器部本体の外側壁と蓋部の外側壁内側が各々嵌合して密閉状態を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】寸法精度を確保しつつ、分割部材にて構成される枠部材に塗装材により塗装を行う場合であっても、塗膜の破損を抑制できるペリクル枠体、ペリクル及びペリクルの製造方法を提供する。
【解決手段】ペリクル１のペリクル枠体２では、分割枠体のコーティングにおいて、塗装材のガラス転移点を５０℃以上１５０℃以下としている。これにより、ペリクル枠体２に撓みが生じた場合であっても、ペリクル枠体２と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜Ｐの剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜Ｐの削れも防止できる。したがって、塗膜Ｐの亀裂等の破損の発生を抑制できる。また、分割枠体とすることにより、寸法を容易に調整することができるため、寸法精度を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】搬送の際にも性能低下を起こさないクリーン性に優れ、かつケースの防塵性に優れた電気電子機器部品搬送用ケースを提供する。
【解決手段】メタロセン触媒を使用して製造されたプロピレン系樹脂８５〜９９重量％と高分子型帯電防止剤１〜１５重量％からなる混合物１００重量部に対し、フェノール系酸化防止剤を０．０３〜０．２重量部配合してなり、揮発性成分の量が１０重量ｐｐｍ以下であり、水による洗浄した後の表面固有抵抗の変化率が２０％以内であるプロピレン系樹脂材料を用いたことを特徴とする電気電子機器部品搬送用ケースによる。 （もっと読む）

【課題】枠体の製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制する。
【解決手段】略矩形状に形成されて大型ペリクル膜３を展張支持する大型ペリクル用枠体２を構成する長辺２ａ，２ｂの一部に、外側に向けて屈曲した屈曲部１０ａ，１０ｂを形成する。このように、長辺２ａ，２ｂの一部を屈曲させるという簡易な方法により屈曲部１０ａ，１０ｂを形成できるとともに、展張した大型ペリクル膜３の張力により大型ペリクル用枠体２の辺が内側に撓んだとしても、大型ペリクル用枠体２の内側に入り込む辺の最大変位量を小さくすることができるため、製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制することができる。 （もっと読む）