【課題】円盤状基板を梱包する梱包袋に穴あきが生じにくく、円盤状基板への異物の付着や円盤状基板表面の状態変化を抑制することができる円盤状基板の梱包体等を提供する。
【解決手段】複数のガラス基板１０を収容する基板収容容器６０と、ガラス基板１０が収容された基板収容容器６０を脱気した状態で密封する四隅を面取りした梱包袋７０と、ガラス基板１０が収容された基板収容容器６０が密封された梱包袋７０を複数個固定する固定手段と、を有することを特徴とするガラス基板１０の梱包体９０。 （もっと読む）

【課題】発塵、発熱を伴うことなく基板を高速で出し入れ可能なワイヤ式の基板カセットを提案すること。
【解決手段】同一平面上に平行に架け渡した複数本のワイヤ９によって基板収納棚１０が形成され、当該基板収納棚１０が多段に配列されている基板カセット１において、ワイヤ９には、当該ワイヤ９の軸線方向に沿って一定の間隔で、転がり軸受１１が取り付けられている。転がり軸受１１の内輪２２はワイヤ９に固定され、外輪２１によってガラス基板Ｗを載せる基板載置面が規定されている。ガラス基板Ｗの出し入れの際には、ガラス基板Ｗの移動に伴って外輪２１が回転する。搬送に伴うガラス基板支持部分からの発塵、発熱が起きないので、ガラス基板Ｗを高速搬送でき作業効率を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】加熱テスト後の枠体の撓み量が少ない大型ペリクル用枠体を提供する。
【解決手段】平面視矩形状の開口部（４）を備えるペリクル用枠体（２）であって、端部同士が接合されることにより開口部（４）の周縁を形成する複数の部材（４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ）を有する。接合される一方の部材（４１ａ、４１ｂ）の端部には、接合される他方の部材（４ｃ、４ｄ）に向けて突出する少なくとも一つの凸部（Ｐ）を設け、他方の部材（４ｃ、４ｄ）の端部には、凸部（Ｐ）を嵌合させる凹部（Ｃ）を設け、凸部（Ｐ）を凹部（Ｃ）に嵌合させることにより一方の部材（４１ａ、４１ｂ）の端部を他方の部材（４ｃ、４ｄ）の端部に接合させる。 （もっと読む）

【課題】分割枠とする場合であっても接合部に枠体よりも剛性の高い部材等を用いることなく実用上問題のない剛性及び寸法安定性を維持すると共に、歩留まりを向上させることができるペリクル枠体及びペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクル１のペリクル枠体２では、接合部２２ａ〜２２ｈにおける接合強度を１０ｋｇｆ以上としているため、分割枠体であっても、撓みや歪みを抑制できると共に、剛性を確保することができる。また、分割枠体とすることで、寸法を容易に調整することができ、寸法精度を確保することができると共に製造工程を簡易化できる。そのため、接合部を有さない枠体と同様の寸法精度を容易にでることができる。したがって、分割枠体を用いる際に、接合部２２ａ〜２２ｈに剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ＡＢＳ系樹脂を基材層とする表面導電性積層シートにおいて、スリットの方法やエンボス成形の際の打ち抜きで、どのような成形機に対しても抜きバリの発生が極めて少ないシートおよびそのシートを用いたキャリアテープ等の成形体を提供する。
【解決手段】ＡＢＳ樹脂を主成分とする基材層（Ａ層）と、少なくともその片側の表面が表面層（Ｂ層）で構成され、前記ＡＢＳ樹脂中のグラフトゴムが、アクリロニトリル（Ａｎ）が５〜１５質量％、ブタジエン（Ｂｄ）が４０〜６０質量％、およびスチレン（Ｓｔ）が５５〜２５質量％の組成比からなり、且つグラフト率が１００〜１４０％である表面導電性積層シート。 前記グラフトゴムのグラフト鎖の重量平均分子量（Ｍｗ）が、１８,０００〜５６,０００であること、更にグラフトゴムの体積平均粒子径が０．３〜２．０μｍであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 蓋体を取り除くときの抵抗が大きくなってしまうことを避ける基板収納容器を提供する。
【解決手段】 開口を有し、基板を収納可能な容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、蓋体に備えられるシール用のガスケットとを有する基板収納容器であって、容器本体に蓋体を取り付けて固定し、初期状態の蓋体の取り外し力をＦ０とし、７２時間経過後の蓋体の取り外し力をＦ１とするときに、Ｆ０が２０Ｎより小さく、かつ、（Ｆ１−Ｆ０）／Ｆ０の値が２．０以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磨耗粉を低減することのできるペリクル収納ケース用コーナークリップを提供する。
【解決手段】ペリクルを載置するトレイと、ペリクルを覆うように前記トレイと嵌合するカバーとで構成される、ペリクル収納ケースに用いるコーナークリップ。前記コーナークリップの素材が、デュロメータ硬度がD58〜D64の樹脂であることが特徴である。 （もっと読む）

【課題】粘着層の粘着力を調整し易い基板搬送用部材を提供すること。
【解決手段】搬送する基板１６と接触（密着）する粘着層１２と、粘着層１２を固定する基材層１４（以下、ベース１４と称する）と、を備え、粘着層１２を、粘着材と充填材とを含んで構成させる。 （もっと読む）

【課題】搬送時における部品の飛び出しを防止することを回避すると共に、トレイの厚さの増加を抑えつつ、搬送時においてトレイが削れることを防止することができる部品包装用トレイを提供する。
【解決手段】
部品包装用トレイ１０は、部品Ｐを収納するための複数の収納凹部１１が形成されている。収納凹部１１の側壁部１２には、収納凹部１１の深さ方向ｄに沿って突出した突条部１５が形成されている。部品Ｐを収納凹部１１に収納する際に、突条部１５は、部品Ｐの側面によって押し潰されるように変形すると共に、該変形に対して復元力Ｆが生じるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 軽量でコンテナへの搬入及び組み立てが容易で、かつ、用済み後の分解及び廃棄処分が容易なコンテナ輸送治具を実現する。
【解決手段】 建材用板ガラス用のコンテナ輸送治具１は、複数の柱部材２と前記柱部材２同士を連結する複数の梁部材３とを備えて構成され、柱部材２は、立設したときの底部となる底面４と、底面４から鉛直に延在する一対の側面５とを有し、側面５に平行な縦断面が直角三角形の頂部を切断した台形状に形成され、台形状の傾斜面が前面６とされ、前面に対向する鉛直面が背面７とされ、複数枚のダンボール板８を側面５に平行に積層して形成されてなり、梁部材３は、直方体型をしており、複数枚のダンボール板８を長手方向に延在させて積層して形成されてなり、柱部材２には、傾斜面の前面６側に、柱部材２の両側面５を貫通させて、梁部材３がはめ込まれるコの字型の切り込み９が形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】型枠付き太陽電池モジュールなどの板状体からの抜け出しを確実に防止して梱包する。
【解決手段】底面部２の側端縁に側面部３および側面側上面部４が折り目を介して順に連設される一方、底面部２の上下各端縁に背面部５及び正面部６が折り目を介して連設されるとともに、背面部５の上端縁及び正面部６の下端縁に、背面側上面部７及び正面側上面部８がそれぞれ折り目を介して連設されて構成される。そして、側面側上面部４の各差込孔４ａに臨む上下各端部近傍に側面部３との折り目ｂに向かって凸状の切れ目ｇが形成されるととに、該凸状の切れ目ｇを挟んで側面側上面部４の端縁から設定長さにわたって一対の切れ目ｈが形成され、凸状の切れ目ｇと一対の切れ目ｈとの間に内フランジ部の幅に対応して折り目ｂと平行に内フランジ部の厚みに相当する間隔の一対の折り目ｉが形成される。 （もっと読む）

【課題】 厚みが薄く、見かけ密度が低く、軽量で緩衝性に優れ、その上コシが強く、ガラス板用間紙としての取り扱い性が良好な、ポリエチレン系樹脂発泡シートからなるガラス板用間紙を提供することを目的とする。
【解決手段】 シート厚みが０．２〜１．５ｍｍであり、見かけ密度が２０ｇ／Ｌ以上６０ｇ／Ｌ未満で、坪量が１０〜５０ｇ／ｍ^２であって、該発泡シートの厚み方向の気泡数が２個以下であると共に、該発泡シートを構成する基材樹脂の曲げ弾性率が３００ＭＰａ以上である。 （もっと読む）

【課題】シール性に優れ、エンボスキャリアテープに熱シールした後も弛みなくタイトなテーピングが可能となるカバーテープを提供する。
【解決手段】粘着付与剤を含むシール層１と、基材層２とを備え、加熱収縮性を有するカバーテープ１０であって、シール層１が前記粘着付与剤１０〜３０質量％と、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−脂肪族不飽和カルボン酸共重合体、エチレン不飽和カルボン酸エステル共重合体、ポリオレフィン系樹脂からなる群より選択される少なくとも１種類の樹脂４０〜８０質量％と、アイオノマー樹脂及びポリエーテル共重合体から選ばれる少なくとも１種の帯電防止剤１０〜３０質量％とを含み、基材層２が密度が０．９４２〜０．９７０ｇ／ｃｍ^３の高密度ポリエチレン（Ａ）及び高圧法低密度ポリエチレン（Ｂ）から選ばれる少なくとも１種類の樹脂を含むカバーテープ１０。 （もっと読む）

【課題】 電子デバイス用収納容器に関し、スタックさせた電子デバイス収納容器内での電子デバイスチップの乗り上げを防止する。
【解決手段】 電子デバイスを収納する第１の仕切り部で分離された収納用凹部を有する収納部の前記収納用凹部の周囲の前記第１の仕切り部に係合用凹部を設けるとともに、前記収納用凹部に対向する位置に設けられ、第２の仕切り部で分離された空間用凹部を有する蓋部の前記空間用凹部の周囲の前記第２の仕切り部に前記係合用凹部と係合する係合用凸部を設ける。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣ用材料を輸送、運搬する際に発生する横揺れ等による材料のゆるみや巻きずれを防止することのできるＦＰＣ用材料ロール包装体、及びＦＰＣ用材料ロールの包装方法を提供すること。
【解決手段】巻取り管と、
前記巻取り管に巻かれたＦＰＣ用材料と、
前記ＦＰＣ用材料の外側に巻かれたラッピングフィルムと、を含むＦＰＣ用材料ロール包装体であって、
前記ラッピングフィルムが、前記ＦＰＣ用材料の両端部において少なくとも２回以上巻かれていると共に、前記ラッピングフィルムの両端部が前記巻取り管の内径部に折り込まれて固定された、ＦＰＣ用材料ロール包装体 （もっと読む）

【課題】より一層小さなサイズで半導体装置を梱包することができるチューブ状梱包部材および半導体装置用梱包体を提供する。
【解決手段】半導体装置用梱包体が、１本以上のチューブ状梱包部材１０と、チューブ状梱包部材１０を収納する図示しないケース（段ボール箱）とを備えている。チューブ状梱包部材１０の外枠１１は、内部が空洞な四角形の筒である。外枠１１の内部には、仕切り部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆが設けられている。これらの仕切り部１２ａ〜１２ｆは、それぞれが外枠１１の長さ方向に延びる板状の部位（仕切り板）である。仕切り部１２ａ〜１２ｆによって、チューブ状梱包部材１０の空洞１４ａおよび空洞１４ｂが形成される。 （もっと読む）

【課題】圧着ベースに対する２条の圧着突起の平行度にかかわらず、ベーステープに対するカバーテープの延在方向における剥離強度を平均化することができるキャリアテープのテーピング装置を提供する。
【解決手段】テープ積層体６に対し、２条のテーピングを実施するテーピング装置１０であって、ベーステープ４のポケット３を跨いでベーステープ４にカバーテープ５を部分圧着する２条の圧着突起２２ａ，２２ｂと、テープ積層体６を、所定の送りピッチで間欠送りするテープ送り機構１６と、間欠送りの送り経路２９を構成すると共に、部分圧着に際しテープ積層体６を受ける圧着ベース１２と、を備え、第１の圧着面３２ａによる部分圧着部３３ａ同士の合わせ目部分３４ａと第２の圧着面３２ｂによる部分圧着部３３ｂ同士の合わせ目部分３４ｂと、が間欠送りの送り方向（Ａ）において異なる位置となるように、位置ずれして配設されている。 （もっと読む）

【課題】ウエハ等の搬送システムにおいて、予め装置に前室を設けた上で容器から、被搬送物を前室を通じることで装置区域に被搬送物を搬送していた。そのため、容器と前室との接続が複雑な機構によってなされていた。
【解決手段】搬送容器内の被搬送物を装置内に搬送するにあたり、搬送容器と装置を密着させることにより初めて前室に相当する連結室を形成するようにし、搬送容器、搬送容器扉、装置扉間の磁気引力により、その連結室ごと装置内に被搬送物を搬送するようにして搬送容器と装置の構造を簡略化し、かつ確実に被搬送物を装置内に搬送するようにした。 （もっと読む）

【課題】コンテナ体内の気体を短時間で効率良く置換することのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハＷを整列収納可能なコンテナ体１と、コンテナ体１の開口した正面２を開閉するドア体３０と、コンテナ体１の両側壁９前部に配設され、コンテナ体１の正面２に嵌合されたドア体３０を施錠する施錠手段４０と、コンテナ体１内のガスと外部の不活性ガスとを置換する気体置換手段６０とを備えた基板収納容器であり、気体置換手段６０は、正面２にドア体３０が嵌合されたコンテナ体１の外部から内部に不活性ガスを供給する給気パージバルブ６１と、正面２にドア体３０が嵌合されたコンテナ体１の内部から外部にガスを排気する排気パージバルブ６５とを備え、給気パージバルブ６１をドア体３０に内蔵し、排気パージバルブ６５をコンテナ体１の底板４後方に装着する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の板状体を重ねて収納し搬送する搬送用容器として、容器本体の開口端部に対し嵌合され被着される蓋体の縦横両方向のずれ動きを抑制でき、段積み状態で輸送する際の揺動を抑え、安定性のよい段積み状態を保持できるようにする。
【解決手段】上方に開口する平面矩形の容器本体１と、容器本体１に対し被着自在な蓋体３とからなり、容器本体１の開口端部１１に有する切欠段部１３に対し蓋体３の周縁部３１に有する嵌合壁部３２を嵌合して被着する搬送用容器であり、容器本体１の四方各辺の切欠段部１３と、蓋体３の四方各辺の嵌合壁部３２の下端部とに、それぞれ蓋体被着状態において互いに嵌合する少なくとも１つの凹部２８ａ，２８ｂと凸部３８ａ，３８ｂを設け、この凹部と凸部の嵌合により蓋体の縦横両方向のずれ動きを抑制する。 （もっと読む）