【課題】多量のガス供給のために多量の温風が必要な場合でも、筐体からの多量の排気を抑える。
【解決手段】ガス供給装置１００は、液化ガスが充填されたガスシリンダー２と、そのガスシリンダー２から排出されたガスを供給するためのガス供給流路１１と、導風ガイド３と、温風循環流路４とを備えている。温風循環流路４には、途上に設けられた温風発生器により生成された温風が循環する。導風ガイド３は、ガスシリンダー２を覆う筒状の遮蔽板であり、温風循環流路４の吐出口４ａからの温風が流入するガイド吸引口と、温風循環流路４の吸引口４ｂに吸引されるように温風を排出するガイド吐出口とが設けられ、ガイド吸引口から流入した温風が、ガスシリンダー２との間の空隙を流れて、ガイド吐出口から排出されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ガス供給装置の緊急事態への対応、および消費量が変動する用途への対応ができるとともに、こうした対応時においても、製品ガスやエネルギーのロスが少なく、ガス供給システム全体のエネルギー消費を最小化することができること。
【解決手段】 消費設備に給送される基準ガス量Ｇｏを設定し、基準ガス量Ｇｏをガス供給装置１から分流点Ｍに給送されるガス量Ｇｓによって確保するように、ガス供給装置１から供出されるガスとベント流路Ｌ４に放出されるガスの、それぞれの圧力および流量を制御するとともに、消費設備に給送される所望のガス量Ｇが基準ガス量Ｇｏを超える場合の差量分ｄＧ、およびガス供給装置１が停止あるいは急速な供給量の低下状態の発生時における所望のガス量Ｇを、バックアップ装置２から分流点Ｍに給送されるガス量Ｇｗによって確保するように制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡便な構成で、外気との接触なくガス供給流路のパージ可能に、かつ充填ガスのロスの少なく効率的に充填ガスを供給すること。
【解決手段】 ガスが充填される容器Ｂと、容器Ｂに取付けられた容器バルブＢａと、容器バルブＢａに接続されるガス供給流路Ｌｓ，ベントＬｖ，およびパージガス流路Ｌｐと、ガス供給流路Ｌｓに設けられた開閉弁Ｖａおよび圧力調整器Ｒｓと、ベントＬｖに設けられた開閉弁Ｖｂと、パージガス流路Ｌｐに設けられた逆止機構付のパージ弁１０と、を備え、パージ弁１０が、固定用ナット４と、パッキン５と、弁体６と、を有し、固定用ナット４の操作によって、パージ弁１０を介してパージガス流路Ｌｐへのパージガスの流通・封止の切換を行なうできることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガスの無駄な廃棄を減らすことができるシリンダーキャビネットを提供すること。
【解決手段】実施形態のシリンダーキャビネットでは、第１のガス供給配管内におけるガスの圧力である第１の圧力、第２のガス供給配管内におけるガスの圧力である第２の圧力および外部装置に流されるガスのガス流量に基づいて、前記第１および第２のガス供給配管の何れか一方から前記ガスを前記外部装置に供給するよう自動弁を制御する制御部を備えている。そして、前記制御部は、前記第１の圧力が所定値以下となった場合に前記配管を前記第１のガス供給配管から前記第２のガス供給配管に切り替え、その後、前記ガス流量が所定値以下となった場合に前記第１のガス容器の残ガス量が所定値以上であれば、前記配管を前記第２のガス供給配管から前記第１のガス供給配管に切り替える。 （もっと読む）

【課題】ガスの無駄な廃棄を減らすことができるシリンダーキャビネットを提供すること。
【解決手段】実施形態のシリンダーキャビネットでは、制御部は、第１のガス容器の残ガス量が所定量以下となった場合にガスを供給するガス供給配管を、前記第１のガス供給配管から第２のガス供給配管に切り替える。また、前記制御部は、第２のガス容器から前記ガスを供給している間に前記第１のガス容器内の残ガスを回収容器内に回収させる。さらに、前記制御部は、前記第１のガス容器が新しいガス容器に交換された際には、前記回収容器に貯められた残ガスで前記第１のガス供給配管内をパージする。 （もっと読む）

【課題】原価、使用の容易性ならびに性能特徴に著しい利点を提供する高効率吸着材料を利用する流体貯蔵ならびに計量分配システムを提供する。
【解決手段】吸着性流体の吸着親和性を有する固相物理的吸着媒体を保持するよう、また吸着性流体を選択的に流入ならびに流出させるよう構成、配置された貯蔵ならびに計量分配用容器からなる。この流体の吸着親和性を備える固相物理的吸着媒体は、内部気体圧力で前記貯蔵ならびに計量分配用容器に配置し、そして流体を前記固相物理的吸着媒体上に物理的に吸着させる。計量分配アセンブリーは前記貯蔵ならびに計量分配用容器と気体流れ連通して連結される。この計量分配アセンブリーは、前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外部に、内圧以下の圧力を供給して、前記固相物理的吸着媒体からの流体の脱着と、脱着流体の前記計量分配アセンブリーを通る流体に流れを起こさせる。 （もっと読む）

【課題】ハロゲン含有ガスを外部装置へと導く導入弁の弁室内の温度上昇を抑制し、導入弁の弁室内の表面腐食や導入弁に用いられるシール材の劣化を抑制すること。
【解決手段】ハロゲン含有ガスを、そのハロゲン含有ガスが高圧充填された容器から外部装置１０１へと供給するハロゲン含有ガス供給装置であって、容器１と外部装置１０１とを接続する供給管４と、供給管４に設けられ、容器１からハロゲン含有ガスを供給するための供給弁３とを備え、供給弁３より下流の前記供給管４の一部の管内部に、ハロゲン含有ガスの流通方向を変化させる流通方向変化機構が設けられる。 （もっと読む）

【課題】ハロゲン含有ガスを外部装置へと導く導入弁の弁室内の温度上昇を抑制し、導入弁の弁室内の表面腐食や導入弁に用いられるシール材の劣化を抑制すること。
【解決手段】ハロゲン含有ガスを、そのハロゲン含有ガスが高圧充填された容器から外部装置１０１へと供給するハロゲン含有ガス供給装置であって、容器１と外部装置１０１とを接続する供給管４と、供給管４に設けられ、容器１からハロゲン含有ガスを供給するための供給弁３とを備え、供給管４の供給弁３の下流の少なくとも一部に、ガス流通路の曲率半径が１０ｃｍ以下である曲管部５２が設けられる。 （もっと読む）

【課題】ハロゲン含有ガスを外部装置へと導く導入弁の弁室内の温度上昇を抑制し、導入弁の弁室内の表面腐食や導入弁に用いられるシール材の劣化を抑制すること。
【解決手段】ハロゲン含有ガスを、そのハロゲン含有ガスが高圧充填された容器から外部装置１０１へと供給するハロゲン含有ガス供給装置であって、容器１と外部装置１０１とを接続する供給管４と、供給管４に設けられ、容器１からハロゲン含有ガスを供給するための第１供給弁３とを備え、供給管４の第１供給弁３の下流の少なくとも一部に、ガス流通断面積が０．５ｃｍ²以下である細部５が設けられる。 （もっと読む）

【課題】ハロゲン含有ガスを外部装置へと導く導入弁の表面腐食や導入弁に用いられるシール材の劣化を抑制すること。
【解決手段】ハロゲン含有ガスを、そのハロゲン含有ガスが高圧充填された容器１から外部装置１００へと供給するハロゲンガス供給装置であって、容器からハロゲン含有ガスを供給するための供給弁４と、供給管４の下流に設けられ衝撃波の発生を防止する衝撃波防止機構５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】多種類の半導体ガスの貯蔵、供給装置を低圧で小型化する。
【解決手段】直方体形状の流体貯蔵・計量分配容器５０，５２を含む流体貯蔵・計量分配装置及び、こうした流体貯蔵・計量分配装置および／または使用時換気ガス清浄器６１を、換気されたガスキャビネット２０内に含む一体型ガスキャビネットアセンブリを開示する。たとえば、ガスキャビネット２０から供給された処理ガスが、有毒又は有害な特性のものである場合、ガスキャビネット２０は、物理的吸着剤及び化学吸着媒体の使用によって、運転の安全面で強化されることが可能である。 （もっと読む）

【課題】
流体貯蔵・計量分配装置であって、内部容積を有する流体貯蔵・計量分配容器として内部容積は流体を吸着して保持する物理的吸着剤を含みかつ容器から計量分配するために流体は該吸着剤から脱着可能である容器と、脱着された流体を容器から計量分配するため容器に結合された計量分配アセンブリと、を含んでいる。
【解決手段】
物理的吸着剤はモノリス炭素質物理的吸着剤を含み、該モノリス炭素質物理的吸着剤は、（ａ）アルシンガスについて２５℃、圧力６５０トルで測定した充填密度がアルシン４００ｇ／吸着剤１Ｌより高い充填密度であり、（ｂ）吸着剤の気孔率全体の少なくとも３０％は、約０．３〜約０．７２ｎｍの範囲のサイズのスリット形状の気孔を含み、並びに気孔率全体の少なくとも２０％は、直径２ｎｍ未満のミクロ細孔を含んでおり、（ｃ）１０００℃未満の温度で、熱分解及び随意的活性化により形成されており、約０．８０〜約２．０ｇ／ｃｍ^３のかさ密度を有する、という特性のうち少なくとも１つを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 断熱圧縮によるガス温度上昇の防止とダイヤフラム弁の開放に要する時間の短縮とに加え、小型化が可能な開弁装置を提供する。
【解決手段】 開弁装置１０６は、駆動用流体供給ライン２３０と、高速供給ライン２３２と、低速供給ライン２３４とを備える。高速供給ライン２３２は、駆動用流体供給ライン２３０に駆動用流体を供給する。低速供給ライン２３４は、高速供給ライン２３２による駆動用流体の供給速度よりも低い、開閉弁１０２の開放によるガスの温度上昇を防止可能な速度で駆動用流体供給ライン２３０に駆動用流体を供給する。高速供給ライン２３２が、圧力制御弁２５０を有する。圧力制御弁２５０は、駆動用流体の圧力が閉止圧力を超えると閉じる。閉止圧力は、開閉弁１０２においてガスの漏れが生じる圧力を下回る。 （もっと読む）

【課題】固体原料から試薬を送出するためのシステムと方法を提供する。
【解決手段】固体原料物質を加熱し固体原料物質から蒸発により蒸気を発生するため、構造物であってその少なくとも一部により封じ込められている固体原料物質（３０）を保持するように構成された構造物（１６、２２、２４）、そのような蒸発のために固体原料物質を加熱するように構成された熱源（８２）、およびシステムから蒸気を放出するように構成された蒸気分配アセンブリ（５２、５４）を備える、試薬をその固体原料から送出するためのシステム（１０）が実現される。高伝導性弁（１５１０）は、入口および出口通路が実質的に互いに垂直であり、その内部端は完全開位置と完全閉位置との間で移動可能な選択的に位置決め可能な弁要素を含む弁室（１５３６）と連絡している弁本体（１５１２）を備える。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性、耐衝撃性などに優れた塗膜を有し、高圧ガスボンベなどに好適に使用することができる金属容器を提供すること。
【解決手段】表面上に着色塗膜を有する金属容器であって、当該金属容器の表面上にさらに透明ガラス質塗膜が形成されていることを特徴とする金属容器。 （もっと読む）

【課題】十分な気密性を有するハロゲンおよびハロゲン化合物ガス用バルブを提供すること。
【解決手段】弁座部とダイヤフラムの接触面において、前記弁座部と前記ダイヤフラムの接触面において、前記弁座部における接触面の表面粗さＲａの値が、０．１μｍ以上、１０．０μｍ以下であり、前記弁座部における接触面の曲率半径Ｒが１００ｍｍ以上、１０００ｍｍ以下であり、前記ダイヤフラムの接ガス部表面積Ｓａと前記ダイヤフラムと前記弁座部の接触面積Ｓｂとの面積比率Ｓｂ/Ｓａが、０．２％以上、１０％以下であり、前記バルブ本体を流通するガスが、ハロゲンガス用またはハロゲン化合物ガス用であることを特徴とするダイレクトタッチ型ダイヤフラムバルブ。 （もっと読む）

流体供給容器を含むように構成され、流体供給容器に換気ガスが流され、容器から流体が漏れた場合の安全操作を提供する、筐体の換気ガス管理システムおよびプロセス。換気ガス流は、流体供給容器を含むそのような筐体、例えば、半導体製造施設においてはガスボックスまたはガスキャビネットの配置および操作に付随する種々の危険レベルに適応するように調整される。それによって、別の場合においてはそのような配置および操作に必要であった換気ガス要件の軽減を達成する。 （もっと読む）

【課題】ガス化用材料等の処理体を気化又は昇華させて供給でき、集積弁を集積化した状態で取付けて取付け強度を確保しつつ内部流路の容積を小さくし、かつ、内部への処理体の残留を防ぐことができる材料収納容器を提供する。
【解決手段】処理体収納容器と処理体充填容器一体型ブロックバルブは、処理流体を充填した容器本体１の蓋、天板、鏡板などの上面に位置している上面部位を実装基盤２とし、この実装基盤２の肉厚部７内に容器本体１内に連通させた処理流体の供給部８と排出部９を有している。この供給部８と排出部９の接続シール面１１には、平面マウント用バルブである集積弁４、５が直接取付けられている。 （もっと読む）

【課題】弁ユニットの淀み部分を少なくし、ガスによる制御性の低下を防止し、切替時の残存ガスの影響を低減して処理品質の向上を図る。
【解決手段】少なくとも２つのエアバルブを弁ブロックに設け、一方の弁ブロックに少なくとも２つの入側流路２１，２３を形成すると共に少なくとも１つの出側流路２２を形成し、一方の弁ブロックに設けたエアバルブにより前記２つの入側流路のいずれかと前記１つの出側流路とを選択的に連通する様にし、他方の弁ブロックには入側流路２６と出側流路２７とを形成し、前記他方の弁ブロックに設けたエアバルブにより前記入側流路と前記出側流路とを連通遮断する様にし、前記一方の弁ブロックの１つの入側流路に第１の配管３を接続すると共に出側流路に第２の配管３′を接続し、前記他方の弁ブロックの入側流路に第３の配管７を接続し、他方の弁ブロックの出側流路と一方の弁ブロックの他の入側流路とを連通させた。 （もっと読む）

【課題】高純度の計量分配用気体を提供する。
【解決手段】気体貯蔵及び計量分配システム１０は、（ｉ）計量分配容器内に保持され、続いて選択的に容器１２から放出される可吸着計量分配用気体に、及び（ii）異質可吸着体に対する吸着親和性を有する物理的吸着剤１６を保持するための計量分配容器１２を有し、異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤は、そこから異質可吸着体の少なくとも一部を脱着させるように処理される。処理済み吸着剤１６は容器１２内に充填され、計量分配用気体の容器１２からの脱着及び放出による選択的計量分配が可能な高純度形態で、容器１２が計量分配気体を含有するに、物理的吸着剤に吸着された計量分配用気体を保持している容器１２が密封させるために、可吸着計量分配気体が容器１２に導入される。 （もっと読む）