【課題】圧力スイング吸着法によるガス分離設備において、高純度の製品ガスを得ることができるとともに、各工程の切替を迅速に行うことができ、高い生産性が得られるガス分離装置を提供する。
【解決手段】同じ位置にガス通孔が貫設された２枚の板体を、少なくとも一方の板体がスライド移動できるようにして重ね合わせた弁体を備え、板体のスライド移動によって２枚の板体のガス通孔を連通状態又は非連通状態とすることにより開閉がなされる遮断弁を、配管の吸着塔接続部に設けた。吸着塔内部と連通する配管内の死容積部分を極小化でき、このため、工程の切り替え時に高純度の製品ガスに目的ガス成分濃度が低いガスが混合することを防止し、高純度の製品ガスが得られる。また、遮断弁の開閉動作が短時間で済むため、各工程の切替を迅速に行うことができ、高い生産性が得られる。 （もっと読む）

【課題】グリース等の潤滑成分を必要とせず、また自己潤滑性を有する材料であることを必須としない、良好な摺動性能を有するディスクバルブを提供する。
【解決手段】少なくとも片方に流水孔１１を有する、いずれもセラミックス材よりなる第一のディスク部材と第二のディスク部材から成り、第一のディスク部材と第二のディスク部材を摺接させた状態で相対移動させることによって流水孔１１の連通・遮断を行うディスクバルブであって、第一のディスク部材の、第二のディスク部材と摺接する摺動面のＪＩＳＢ０６７１に規定されるコア部のレベル差（Ｒｋ）及び突出山部高さ（Ｒｐｋ）の合計値が１５ｎｍ以下であり、かつ第一のディスク部材と第二のディスク部材との間に潤滑剤を供給せずに用いる。 （もっと読む）

【課題】 可変動弁機構とそれに関連して作動する機能部品とを共通の油圧制御バルブで制御できるようにする。
【解決手段】 油圧制御バルブＶは、油圧源、可変動弁機構１１，１２，１３および機能部品１４，１５にそれぞれ連通する複数のハウジング側油路が形成されたバルブハウジング３１と、バルブハウジング３１の内部に収納されて複数のスプール側油路が形成されたスプール３８と、スプール３８を回転させるステップモータ４１とを備えるので、可変動弁機構１１，１２，１３および機能部品１４，１５の各々に対して専用の油圧制御バルブを設ける場合に比べて、それらに対する油圧の供給を相互に関連させて適切に行うことが可能になるだけでなく、部品点数を削減してコストダウンに寄与することができる。しかもハウジング側油路は軸線Ｌ方向に３段に並設されるので、多くの油路をコンパクトに配置して油圧制御バルブＶの小型化することができる。 （もっと読む）

弁であって、ケーシングが設けられており、該ケーシングが、流体のための流入開口と、閉鎖エレメントと、流体のための流出開口とを有しており、閉鎖エレメントにより流体の流れが制御可能であり、さらに調節装置（３７）が設けられており、該調節装置が、閉鎖エレメントの閉鎖横断面を調整するための電気的な調節駆動装置（４０）を有しており、さらに駆動装置ケーシング（３８）が設けられており、該駆動装置ケーシングに調節駆動装置（４０）の固定子（３９）が堅く結合されており、流体の圧力下にある駆動装置ケーシング（３８）の内室（４５）内で、調節駆動装置（４０）の可動な可動子（４１）が閉鎖エレメントに運動伝達可能に連結されており、固定子（３９）が、内室（４５）内に配置されている形式の弁が開示される。研磨性かつ浸食性の成分を有する流体のために、流体内に位置する調節駆動装置を備える弁を使用するために、駆動装置ケーシング（３８）の内室（４５）が、可動な分離エレメント（４８）により流体から分離されている。
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短ストローク式の速度制御トリムを提供するために適用された短ストローク式流れ制御バルブ又は装置。本発明によって構成されるバルブは、スペーサの介在によって互いに分離されると共に、バルブのシートリングと、ボンネットとの間にクランプ固定されるバルブギャラリー内に、軸線方向に位置する複数の積層ディスク又はケージとを備える。ケージ内の流体流路は、複数の絞り要素又はプラグ突出部を形成するプラグによって制御されるように絞られ、プラグによって形成されるプラグ突出部の数は、バルブに備えられるケージの数と等しいことが好ましい。プラグのプラグ突出部は、積層ディスク又はケージを通る流体流れを縦一列になって制御する。
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付勢開放バネまたは付勢閉鎖バネを自己整合するためのバネ座は、ガス調整器（１００）の管状制御要素（１３０）内に配置され、バネを通常より早く故障させる可能性がある、バネ（１９３）の側面負荷を低減するように設計される。バネ座は、バネ座アダプタ（２００）とシートリング（２０２）とを備えることができる。バネ座アダプタは、管状制御要素の内側に固定され、シートリングは、ボールソケット型継ぎ手を介して、バネ座アダプタ上に可動式に取り付けられる。可動シートリングは、バネによって係合され、ボールソケット継ぎ手を介したバネ座アダプタに対する３次元変位によって自己整合されるように適合される。
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本体１と、流れの通路３に対して横断方向に少なくとも２つの位置間、すなわち該流れの通路３が開いている第１の位置と該流れの通路が閉じている第２の位置との間において、該本体内で可動である仕切要素２と、該仕切要素２を該少なくとも２つの位置間で移動させる手段４とを備える、仕切弁であって、該仕切弁本体１は、第１の壁要素９及び第２の壁要素１０と、それらの間に残されている該仕切要素２のための空間１１と、曲げられると該仕切弁本体の該第１の壁要素９及び該第２の壁要素１０の支持表面を形成する縁部分１２とを備え、該縁部分１２には、少なくとも１つの開口部１４、好適には複数の開口部を含む流路空間１３が配置されており、該流路空間は、該第１の壁要素９及び該第２の壁要素１０間に残されている該空間１１内へ媒体を導くように該空間へ開いている、仕切弁。該縁部分１２は、該第１の壁要素９及び該第２の壁要素１０間に配置されているパイプ要素であり、該壁９、１０がクランプ手段１５、１６によって該縁部分１２に対して押圧されることによって該縁部分が該第１の壁９及び該第２の壁１０間で押圧される。
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【課題】コンパクトで配管し易く、開閉弁のストロークが短く、開閉弁操作が容易な弁構造を提供する。
【解決手段】流路２を一次側と二次側に区画すると共に、複数の横長スリット状の不動弁口3aと、該不動弁口3aの上下幅より拡幅した複数の不動板弁3bとを上下方向で交互に平行配列した仕切板３と、該仕切板３の一面に上下摺動自在に当接すると共に、不動弁口3aと同形で合致可能にして、且つ不動板弁3bで水密閉塞可能な可動弁口4aと、不動板弁3bに合致可能にして、且つ不動弁口3aを水密閉塞可能な可動板弁4bとを上下方向で交互に平行配列した滑り弁体４とを備え、開弁状態で不動弁口3aに可動弁口4aが合致すると共に、不動板弁3bに可動板弁4bが合致し、閉弁状態で不動弁口3aは可動板弁4bに水密閉塞され、可動弁口4aは不動板弁3bに水密閉塞される様に成した。 （もっと読む）

【課題】流量制御が相対的に正確で、確実な遮断を行なう弁要素を提供する。
【解決手段】弁ユニット１０は、内腔２１と入口ポート４１、出口である開口部３０のポート４２と円筒内壁３３を有する実質的に剛体のハウジング３７を有し、内腔２１内に密嵌される実質的に剛体の弁要素１５は、軸方向に延在する内部穴２３と、外面１９と穴２３との間で弁要素壁を貫通する絞り孔１８を有する。ハウジング３７内腔２１内において弁要素１５が第１の位置に移動すると、内腔の開口部３０内で第１の位置に配置され、第１のチャンバ４３及び第２のチャンバ４４間で流体の第１の流量を可能にする。弁要素１５が第２の位置に移動すると、絞り孔１８が第１の位置とは異なる第２の位置に配置され、第１のチャンバ４３及び第２のチャンバ４４間の流体の第２の流量を可能にする。 （もっと読む）

本発明はハウジング（６）を備えた能動制御バルブ（１）に関する。前記能動制御バルブ（１）は、通路開口（４ａ）を有し、かつ移動可能に支持されたバルブプレート（４）と、前記ハウジング（６）に固定して配置され、かつ通路開口（２ａ）を有するカウンタープレート（２）とを備える。前記バルブプレート（４）は前記カウンタープレート（２）に対して摺動可能に支持され、前記通路開口（２ａ，４ａ）は開閉される通路（２４）を形成する。前記能動制御バルブ（１）は前記バルブプレート（４）を駆動する駆動装置（８）を備え、前記バルブプレート（４）は駆動バネ（７）によって前記駆動装置（８）に連結され、前記バルブプレート（４）の位置を固定するために、駆動可能な挟持装置（１０）が設けられる。
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弁を流れる流体の流量を増やすための装置が開示されている。例示の装置は、流体の流路と、この流路内に設けられた弁ケージ（１２２）とを備えている。弁ケージは、軸線を有するケージ孔（１２４）を形成した壁を備えている。この壁は外面と内面とを有している。この壁は、複数の貫通開口部（１３６）を有する少なくとも一つの流れ領域を備えている。各貫通開口部は、内面と外面との間に延設されて壁を貫通する開口部軸線を形成している。開口部軸線は、ケージ孔の軸線に対して垂直になっている基準面に対して非垂直な角度で配置されている。このケージ孔内で弁体（１４０）が軸方向に摺動可能となっている。
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【課題】大型化、重量増等を招くことなく、水と湯を混合して迅速かつ正確に所望温度及び流量の温水を得ることができるとともに、水導入口を全閉にした状態で、湯量（のみ）を合理的に絞ることのできる、コンパクトで安価で有用な混合弁を提供する。
【解決手段】水導入口１１及び湯導入口１２が１８０度の角度間隔をあけて実質的に同一平面上に設けられるとともに、該水導入口１１及び湯導入口１２の下流側に導出口１３が設けられた弁本体１０と、該弁本体１０内に回動可能に嵌挿され、その周壁部２２に前記水導入口１１及び湯導入口１２の開口面積を回転角度に従って連続的に変化させるべく開口部３０が設けられた概略円筒状の弁体２０とを備え、水導入口１１及び湯導入口１２の中心線Ｃａが弁体２０の回転軸線Ｏに対して所定の距離ｅだけ偏心せしめられてなる。 （もっと読む）

【課題】 ボタンのプッシュ操作で吐水される湯水の吐水形態を交互に切替えることができ、さらに湯水の流量調節を素早く行なうことができる吐水装置を提供する。
【解決手段】 ボタン１３のプッシュ操作で吐水される湯水の吐水形態を第１通水孔１４からの吐水と第２通水孔１５からの吐水とに交互に切替えるための切替部材Ａを設けた吐水装置において、前記切替部材Ａは各通水孔１４，１５から吐水される湯水の流量を調節する流量調節部材Ｂを設け、この流量調節部材Ｂを前記ボタン１３と連繋させ、ボタン１３の操作により湯水の吐水形態の切替えと流量調節とを行なうようにした。 （もっと読む）

【課題】 従来の閉止栓装置の問題点を解決し、弁体の操作トルクを軽減した閉止栓装置を提供する。
【解決手段】 閉止栓装置１は、ガスの流動を開閉する円筒状回動部材３とそれを摺動自在に保持するケース２とを備えている。回動部材３は、連通口３１ａ、３１ｂを有する円筒状の弁体３０とその外周面に固着された弾性体からなるライニング層３２とその表面に塗布された潤滑剤を有するとともに、ライニング層３２の表面に、潤滑剤を保持するためにＶ溝３２１が形成されている。Ｖ溝３２１は連通口３１ａ、３１ｂよりも長く形成するとともに弁体３０の回転軸を中心として対称に配置することができる。 （もっと読む）

【課題】使用中における耐摩耗性及び耐摩損性を提供する。
【解決手段】相互に移動可能な外部部材及び内部部材を備え、外部部材は、内周囲面を有し、内部部材は、外周囲面を有し、内周囲面及び外周囲面は、外部部材と内部部材との間のそれぞれの移動中に、互いに緊密に隣接する装置であって、外部部材における内周囲面周りに形成された複数の縦方向のチャネルと、外部部材及び内部部材よりも高い耐磨耗性を有している金属から形成され、内周囲面及び外周囲上の磨耗を低減する外部部材及び内部部材のそれぞれの移動を案内する内周囲面及び外周囲面に適合された縦方向のチャネルの各々内の案内部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】吐出冷媒の温度上昇を抑制し且つ冷媒の圧縮効率を高めることができる冷凍回路の往復動型圧縮機を提供する。
【解決手段】冷凍回路の往復動型圧縮機は、シリンダボア内に圧縮室３３を形成し、主軸３４の回転を受けて往復動可能なピストン３２と、圧縮室３３内に冷凍回路の気液分離室１０から低温冷媒が導かれる中間圧室６８と、圧縮室３３と中間圧室６８との間に設けられ、主軸３４と連動して回転されることにより、圧縮室３３内での冷媒の圧縮過程にて、中間圧室６８から圧縮室３３内に低温冷媒を噴射する開閉可能な回転弁７８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、真空露光装置、真空検査装置等に使用されるゲートバルブおよびゲートバルブを備えた露光装置に関し、弁体の開閉に伴う振動の発生を低減することを目的とする。
【解決手段】 バルブ本体の開口部を弁体の移動により開閉するゲートバルブにおいて、前記弁体の移動を案内する静圧軸受を有していることを特徴とする。また、前記静圧軸受を、前記バルブ本体に配置してなることを特徴とする。さらに、前記開口部の閉時に前記開口部を遮蔽する差動排気シールを有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 部品点数の増加、構成の複雑化を招くことなく、閉位置付近においても開度の調整が可能な弁装置および整圧器を提供する。
【解決手段】 シリンダ２６が、軸線方向の端面３８を弁座体２５の弁座３２に当接させて設けられる。シリンダ２６には、弁座３２に当接される端面３８で開放する透孔３７が形成される。弁座体２５は、弁座３２を形成する環状の弁座片３１を有し、弁座片３１は、弾性材料から成る環状の弁座片本体５５に、剛性の芯材５６が、内部に全周にわたって挿通して構成される。 （もっと読む）

【課題】この発明は、セラミック弁カートリッジの突出量を抑えて省スペース化を実現でき、取付け場所や取付けの向き等、レイアウトの自由度が向上する三方切換え弁を提供することを目的とする。
【解決手段】上記弁部材は、ハンドル４の開閉操作に連動して回動するセラミック製の可動弁ディスク４８と、該可動弁ディスク４８に摺動可能に当接し、回動不可の状態で設けられたセラミック製の固定弁ディスク５０とを備えたセラミック弁カートリッジ３とする。セラミック弁カートリッジ３は、バルブハウジング２の収納室２５に収納され、収納室２５の壁面とバルブハウジング２の外周面との間に、収納室２５を迂回する迂回流路２６が形成され、主流路Ｘは、収納室２５の壁面とセラミック弁カートリッジ３の入水側端部とにより区画され、分岐流路Ｙは、迂回流路２６と、バルブハウジング２内に配設された弁吐水口３１ｂとが連通して形成される。 （もっと読む）

【課題】流水量の調整を時宜に応じて容易に行うことができ、また、制水板及び制水弁によって形成される開口部内に、流水中に含有される塵挨やミネラル成分等が付着することを防止することができ、さらに、開口部内に塵挨やミネラル成分等が付着しても、これら塵挨やミネラル成分等を容易に取り除くことができる流量制御弁を提供する。
【解決手段】水栓の吐出口端に接合される接合管部と、接合管部内に設置された第１の永久磁石と、接合金具に連続する中継管部と、中継管部よりの流出部に配置された扇状の制水板と、制水板に接した状態で回転可能に配設された扇状の制水弁と、中継管部に連続する吐出管部と、吐出管部内に設置された第２の永久磁石とを備える。吐出管部は、中継管部に対して回転操作されることにより、制水弁を制水板に対して回転させ、流水量を調整する。 （もっと読む）