可変圧縮比エンジン油圧ユニット（２００）のための電気油圧式ボールリフトバルブ（２５０）は、各々が一つの管（２４２，２４３）を閉鎖するように各々がシート（２５３，２５４；４０３，４０４）に当接する少なくとも二つのボールまたはシャッタ（２５１，２５２；４０１，４０２）であって、第１管（２４２）が、油圧ユニット（２００）の高圧（ＨＰ）回路をユニットが具備する多段圧力増幅器（２４１）の段の一つに接続するのに対して、第２管（２４３）がユニットの低圧（ＬＰ）回路をこの段に接続し、段に収容されたオイルをユニットの高圧（ＨＰ）回路に移動させるがここから戻ることのように、またユニットの低圧（ＬＰ）回路からのオイルを段に流入させるが再度流出しないように、スプリング（２５５，２５６；４０８，４０９）によりシート（２５３，２５４；４０３，４０４）に保持された時にボール（２５１，２５２；４０１，４０２）が逆止バルブのように機能する、少なくとも二つのボールまたはシャッタと、ボールまたはシャッタ（２５１，２５２；４０１，４０２）をシート（２５３，２５４；４０３，４０４）から持ち上げて、オイルを多段圧力増幅器（２４１）の段に流入させるとともにこの段から流出させるためのリフト手段（２６０）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】合流した流体のパラメータの正確な制御を行うことができ、かつ、流量比が大きく異なる流体を合流させる場合でも、大流量の流体の流れが小流量の流体の流れの妨げになるのを抑制できるミキシングバルブを提供する。
【解決手段】ミキシングバルブは、貫通するように形成された主流路４と、主流路４に連通する連通流路５、６と、連通流路５、６に各々連通する弁室２、３と、各々の弁室２、３に連通する副流路９、１０が設けられた本体１と、弁室２、３の、連通流路５、６に通じる開口部の周辺を弁座７、８として開閉動作する弁体２３、２４と、弁体２３、２４を駆動する駆動部１１、１２と、を有し、連通流路５、６が、主流路４の軸線方向に互いに同じ位置で主流路４に連通しており、且つ連通流路５、６の長さが互いに等しくなっている。 （もっと読む）

【課題】副流路から主流路に通じるバルブを閉止した時に、バルブの連通流路で流体が滞留するのを抑制し、滞留によるコンタミネーションの発生を抑制する。
【解決手段】バルブは、第１の流体を供給するための流入口７および流出口８を有する主流路１８と、第２の流体を供給するための副流路１９と、副流路１９が連通する主弁室６と、主弁室６の底部中央に形成された開口部から連続して形成された副弁室２０と、副弁室から主流路に連通する入口連通流路２１および出口連通流路２２と、が設けられた本体１と、副弁室２０に連通する主弁室６の開口部を開閉する弁体５と、弁体５を駆動する駆動部と、を具備し、主流路の一部に主流路絞り部２３が形成され、出口連通流路２２が主流路絞り部２３の内部に連通している。 （もっと読む）

【課題】少ない部品で急速にリセット作動を行い、中間位置を有しないバルブを提供する。
【解決手段】一つの入口ポート１１と二つの出口ポート１２，１３を含んでいる弁ハウジング１０と、弁ハウジング１０内に二つの最終端位置を往復揺動する弁体１５を設け、弁体１５は回動アーム１８の一端に取付けられ、それぞれの出口ポート１２，１３と交番に協力するための弁体表面１６を含んでいる弁プレートもしくはディスクの形を有する。弁体１５を支持するアーム１８は別の弁スペース内に収容され、そしてさらなる弁体が二つの流体入口ポート４３の一方または他方を前記入口ポートに共通な一つの流体出口ポート４５へ接続するさらなる弁体４２へ機械的に接続される。 （もっと読む）

【課題】設備の稼働に支障を来さない状態で、弁体の作動確認が簡易な構造で速やかに行えるようにするとともに、コストの低減化を図る。
【解決手段】第１、第２シリンダ６、７内にピストンロッド１１により連結した第１、第２ピストン９、１０を設け、第２ピストンを、環状体からなるストッパピストン１２と、環状溝１３に軸線方向に摺動自在に内嵌したバルブ開度規制ピストン１４とで構成し、弁体２の全開状態で、環状溝の溝幅を規制する一方の内壁１３ａとバルブ開度規制ピストンとの間に間隙ａを形成し、弁体の作動確認時に、第１ピストンを、圧縮スプリング８のばね力でもって弁体の全開状態の位置から閉弁方向に駆動させたとき、バルブ開度規制ピストンを環状溝の一方の内壁に当接させて、バルブ開度規制ピストンの駆動範囲を間隙の軸線方向の幅によって規制し、弁体を、予め定めた所望の中間開度に維持させる。 （もっと読む）

【課題】より大きいレンジアビリティで高い測定精度を維持するとともに、二次側の流体圧力が負圧となった場合でも正確に流量を測定することができる流量測定装置を提供する。
【解決手段】流体の供給ラインＬに配される流量測定装置１０であって、前記供給ラインＬを流通する流体の流量を測定する差圧式流量センサー２０と、前記差圧式流量センサー２０の二次側に配置され、弁室５２内に弁座５５に対して進退する弁体６０を有し、前記差圧式流量センサー２０の二次側流体の圧力変動に対応して前記弁体６０が前記弁座５２に対して進退して一次側流体を所定の圧力に維持することにより前記差圧式流量センサー２０の二次側流体の圧力を一定に保持する圧力制御弁部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】応答性に優れ、かつ高精度・広範囲に流量を制御することができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御装置１０は、圧力調整手段としてのパイロットレギュレータ２０とその下流側に配置されたエアオペレートバルブ４０とを備えている。エアオペレートバルブ４０は、カバー４１、シリンダ４２、ボディ４３からなる。ボディ４３には吸入通路５８と、排出通路５９と、各通路５８，５９を連通する円形溝６７と、吸入通路５８と円形溝６７とを連通する固定オリフィス６４とが形成されている。吸入通路５８の円形溝６７側端部は弁座オリフィス５８ａとなっており、その開口部周囲は弁座６３となっている。ダイアフラム弁体５５は圧縮コイルバネ４８の付勢力により常時弁座６３に着座されており、圧力制御室５１が操作エアにより加圧されると弁座６３から離れる。 （もっと読む）

【課題】長期にわたって優れたシール性能を発揮することができるダイヤフラムバルブを提供する。ダイヤフラムバルブの閉状態において、処理流体配管を確実に閉塞することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】フッ素樹脂（ＰＴＦＥまたはＰＦＡ）製の弁座３０の先端部（ダイヤフラム２５に対向する端部）には環状のシール部材２０が配置されている。弁座３０の上面には、弁座３０の内面に連続する環状の段部４５が形成されており、その段部４５にシール部材２０が収容されている。シール部材２０は、フッ化ビニリデン系樹脂（ＦＫＭ）によって形成されており、比較的高い弾性および耐薬性を有している。流路の閉鎖状態で、ダイヤフラム２５と弁座３０との間にシール部材２０が密着状態で介装される。 （もっと読む）

【課題】自在栓となる風船部分を確実に支持することができ、容器体開口部への装着に際しての取り扱い性や、封止安定性に優れているとともに、容器体の注出口が密閉された状態を保持して、内容物の供給排出や入れ替えなどの処理操作を行うこともできる自在栓を提供する。
【解決手段】大きさ、形状の異なる容器体１１の開口部１１ａにその先端部側が装着されて開口部１１ａを封止する自在栓１０であって、開口部１１ａに密着して空気圧により膨出又は収縮するバルーン部１３と、バルーン部１３を貫通して設けられたバルーン支持軸１４と、を有するように構成する。 （もっと読む）

流体注入口（４）と、流体排出口（５）と、流体が前記注入口（４）から前記排出口（５）へ選択的に流通できる開口を形成する主バルブシート（３２）と、流体が前記注入口（４）から前記排出口（５）へ流れることができる前記バルブの開位置と流体流れが妨げられる前記バルブの閉位置との間で前記主バルブシート（３２）に対して移動できるバルブアセンブリ（３１）と、その壁の少なくとも一部が前記バルブアセンブリ（３１）によって形成され、それにより、前記バルブアセンブリ（３１）の位置に応じて容積を変えることができる制御チャンバ（１２）と、前記流体注入口（４）と前記制御チャンバ（１２）との間を流体的に連通させる流体通路（７）とを含むバルブ装置（１）。 （もっと読む）

【課題】流量設定の設計上の自由度を高め、簡単な作業で流量の設定変更ができるようにする。
【解決手段】弁箱３１内を一次側弁室ａと二次側弁室ｂとに仕切る仕切壁３３に弁孔３４及び弁座３５が設けられた玉形弁３０の前記弁箱３１内に弁軸３６が挿通されて、弁体３２がその弁軸３６の進退とともに前記弁座３５に接離可能である。前記弁箱３１にシリンダ室４０が設けられ、前記弁軸３６に設けたピストン部４３がそのシリンダ室４０内で進退可能である。前記弁箱３１内の一次側に縮径部４６を設けて、その縮径部４６から引き出した配管４６ａが前記シリンダ室４０の一方へ、前記縮径部４６の上流側から引き出した配管４５ａが他方へ通じる。前記弁体３２は弁箱３１外の弾性部材５０によって開弁方向に付勢され、前記縮径部４６とその上流側との圧力差が大きくなれば前記弁体３２が前記弁座３５に接近し、前記圧力差が小さくなれば離反して流路の開度が調整される。 （もっと読む）

【課題】 操作用エアにより、弁座に対して主弁体の弁開度を制御する流体制御弁において、ウォータハンマ現象の発生をより確実に抑制でき、かつ主弁体をより速い速度で閉弁できる流体制御弁を提供する。また、操作用エアの吸排気源と単動式エアオペレートバルブとの間に配管される操作エア用中間弁において、単動式エアオペレートバルブの操作用エアを制御することにより、単動式エアオペレートバルブにおいてウォータハンマ現象の発生が確実に抑制できる操作エア用中間弁を提供する。
【解決手段】 流体制御弁１は、操作用エア流路２４と加圧室２１とを繋ぐ主連通路２５に形成された第２弁座２３と、操作用エア流路２４と加圧室２１とを連通して繋ぐオリフィス連通路５５が形成された第２弁体５０と、第２弁体５０を付勢する第２スプリングとを備え、第２弁体５０は、主弁体３０が主弁座１６に当接する前に、第２スプリングの付勢力を伴って第２弁座２３に当接して主連通路２５を閉路し、操作用エアＯＡの流れを、主連通路２５からオリフィス連通路５５のみに切替える。 （もっと読む）

【課題】プレッシャレギュレータの調圧室で調圧後の流体を背圧室に導入するために従来必要とされた専用の背圧通路を省略することのできる圧力調整装置を提供する。
【解決手段】圧力調整装置２０は、プレッシャレギュレータ２２の調圧室４０で調圧後の燃料を背圧室４１に導入する構成で、プレッシャレギュレータ２２を経由する燃料通路１００を相互の接続により形成する第１のケーシング２４と第２のケーシング２６とを備える。両ケーシング２４，２６の間にプレッシャレギュレータ２２を組込むとともに、燃料通路１００を調圧室４０及び前記背圧室４１に連通する。プレッシャレギュレータ２２が有するフランジ部３８を両ケーシング２４，２６の間にウェーブワッシャ９０を介して挟持する。 （もっと読む）

【課題】所定の駆動源により弁体を変位させる電動弁において、弁体のストローク量を充分確保できるようにする。
【解決手段】 一端に上記駆動源（50）に押し付けられて弁座開口（49）方向へ変位する上蓋部（61b）が設けられ、他端に上記弁体（65）を保持するとともに第１変位部（61b）の変位に応じて弁体（65）を移動させるように変位する底壁部（62c）が設けられるとともに、底壁部（62c）の変位方向に直交する断面積Ｓ２が、上蓋部（61b）の同方向の断面積Ｓ１よりも小さく設定された第１液室（70）と、第１液室（70）に連通された第２液室（52）と、第１液室（70）及び第２液室（52）に封入された液体が熱膨張すると第２液室（52）を拡張させるように変位する容量調整用ベローズ（54）とを設ける。 （もっと読む）

【課題】設備の稼働に支障を来さない状態で、弁体の作動確認が簡易な構造でもって速やかに行うことができるとともに、故障を少なくし、コストの低減化を図ることができるようにした緊急遮断弁装置を提供する。
【解決手段】第１シリンダ６内のピストン８に連結したピストンロッド９を、第２シリンダ７内に設けたストッパピストン１２と対峙しうるように、第２シリンダ７内に臨ませる。弁体の全開状態において、ピストンロッド９とストッパピストン１２との間に間隙ａが形成されるようにする。弁体の作動確認時に、ピストン８を、弁体２の全開状態の位置から閉弁方向に駆動させたとき、ピストンロッド９をストッパピストン１２に当接させて、弁体を、予め定めた所望の中間開度に維持しうるようにする。 （もっと読む）

【課題】設備の稼働に支障を来さない状態で、弁体の作動確認が簡易な構造でもって速やかに行うことができるとともに、故障を少なくし、コストの低減化を図ることができるようにする。
【解決手段】ボディ本体５の一端部におけるシリンダ６内のピストン８に連結したピストンロッド７を、ボディ本体５内に臨ませる。ボディ本体５の他端部に補助シリンダ１１を組付け、この補助シリンダ１１内のストッパピストン１２のストッパロッド１３を、ピストンロッド７と対峙しうるように、ボディ本体５内に臨ませる。弁体２の全開状態において、ピストンロッド７とストッパロッド１３との間に間隙ａが形成されるようにし、弁体２の作動確認時、ピストン８を弁体２の全開状態の位置から閉弁方向に駆動させたとき、ピストンロッド７をストッパロッド１３に当接させ、弁体２を、予め定めた所望の中間開度に維持しうるようにする。 （もっと読む）

本発明は、緩衝装置の減衰室間の媒体流の圧力を調整するためのバルブに関わっており、この媒体流は、バルブハウジング中で軸方向に移動可能なバルブ部分の、減衰媒体圧力によって生じる力均衡によって調整される。減衰媒体圧力は、減衰媒体流に応じ、強ばねと弱ばねとから成るばね機構の作用に抵抗して前記可動のバルブ部分に作用する。前記弱ばねは、薄い円板の形態を有し、第１及び第２のばね面と、キャビティによって互いから分離されているが２箇所で少なくとも脚部によって接続されている外側及び内側のばね部分とを備えている。この接続によって、前記外側及び内側の部分が、互いに変位可能となる。前記バルブ部分が経路長を超えない距離だけ変位すると、この部分の力均衡は、前記外側及び内側のばね部分間のばねの変位の作用に反するように調整され、経路長を超えて変位すると、この力均衡は、強ばねの作用に反するように調整される。前記弱ばねは、動作の開始時に低いばね力を得て、同時にこのバルブの内側での摩損を防ぐことができる。
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本発明は、円錐形プーリ式巻掛け変速機を制御する液圧アッセンブリのための体積流量制御弁であって、受圧面（３３）及び該受圧面（３３）とは反対側に位置しかつ逆方向に作用するように配置されている受圧戻し面（３５）を有する制御ピストン（３９）を備えており、受圧面（３３）に関連している供給ポート溝（９）を備えており、制御ピストン（３９）の制御エッジ（４３）により供給ポート溝（９）に関連可能な冷却体戻し通路ポート溝（１１）を備えており、受圧戻し面（３５）に関連している受圧戻しポート溝（１５）を備えており、冷却体戻し通路ポート溝（１１）と受圧戻しポート溝（１５）との間に配置されている加圧ポート溝（１３）を備えている。
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【課題】高温流体制御時でも安定したシールを行う流体制御弁を提供すること。
【解決手段】入力ポート１１と出力ポート１２とに連通する開口部１４を備える樹脂製弁本体２と、前記開口部１４の内壁に設けられた弁座１５と、前記樹脂製弁本体２の上面に連結される樹脂製弁上体３と、前記樹脂製弁本体２と前記樹脂製弁上体３との間に狭持される樹脂製のダイアフラム弁体４とを備える流体制御弁１において、前記樹脂製弁本体２は、前記開口部１４の外側に環状溝１６が形成されており、前記ダイアフラム弁体４は、外縁に沿って肉厚に設けられた周縁部４ｃを含み、前記ダイアフラム弁体４より硬い材料を環状に形成したリング体３５が、前記周縁部４ｃに装着されている。 （もっと読む）

【課題】配管の末端からの液だれを防止し、バルブの閉止とサックバック動作のタイミングの調整を不要にしたサックバックバルブを提供する。
【解決手段】本体１と、弁座部２３に圧接または離間される第一弁体２９と、第二弁室２１内の容積を変化させて流体の吸い戻しを行う第二弁体３７と、第一弁体２９を保持する第一可動部材６と、連結棒によって第一可動部材６と連結された第二弁室２１の上方に位置する第二可動部材８と、下端に第二弁体３７が接続されるロッド部４３を有するピストン７と、を具備し、連結棒によって連結された第一可動部材６および第二可動部材８が所定の力で上方に付勢され、鍔部４２が第二可動部材８に当接した状態の時に第二可動部材８に連動可能で、ピストン７が上下動し、第一弁体２９が弁座部２３に当接離間することで弁の開閉を行い、鍔部４２が第二可動部材８から離間することで流体の吸い戻しを行う。 （もっと読む）