【課題】 電気的に弁の操作を行うことができる弁装置において、電磁石を用いずに小型化を達成し、さらに弁の駆動機構の配設の自由度が高い構成を提供する。
【解決手段】 第２のワイヤアクチュエータ１０９に通電して収縮させると、係合ピン１０８が矢印１１１の方向の付勢力に抗して軸１１０の回りに回動し、係合ピン１０８がシリンダ１０４内から退避し、ヘッドピン１０６の大径部１０６ｂから外れる。係合ピン１０８の係合が解除されることにより、バネ１０５の付勢力によってヘッドピン１０６がＺ軸方向と逆方向へ移動し、その結果、ヘッドピン１０６の先端１０６ａがダイヤフラム１０２の凸部１０２ａの裏側を押す。これにより、ダイヤフラム１０２が下方へ凸となるように変形し、ダイヤフラム１０２中心部分の凸部１０２ａが流入ポート１０１ａに当接してそれを閉塞する。 （もっと読む）

【課題】電子制御式自動トランスミッションの流体制御回路内の流体の流れを制御するのに適したマイクロバルブ装置を提供する。
【解決手段】マイクロバルブ装置８２５は、流体通路の流体圧力を制御するためのパイロットバルブとして作用する第１のマイクロバルブ８３６と、流体通路内の流体圧力により位置決め可能なパイロット作動型バルブである第２のマイクロバルブ８４０とを備えている。パイロットバルブの作動によりパイロット作動型バルブの位置が制御される。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができ、幅広い流量範囲で微細に流量を制御することができる流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、流路の開口面積を変化させることにより流体の流量を制御する流体制御弁と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器と、該流量計測器からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁または該流体制御弁を操作する機器へ出力する制御部と、を具備することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 全閉位置に切り替える際、バルブと通路壁との間に、オーバーシュート発生量に相当する衝突荷重が発生しにくいバルブアセンブリを提供することを課題とする。
【解決手段】 バルブアセンブリは、内部に通路２０が形成されたハウジング２と、通路２０を全閉位置Ｅから全開位置Ｆまでの範囲で開閉制御可能なバルブ３と、バルブ３を駆動するアクチュエータと、全閉位置Ｅおよび全開位置Ｆに対応する位置データを格納し、アクチュエータに駆動信号を伝送するアクチュエータ制御ユニットと、を備える。全閉位置Ｅは、バルブ３が通路２０の通路壁２２０に当接する当接位置Ｄに対して、アクチュエータのオーバーシュート発生量に応じて、開方向にシフトして設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型低消費電力、かつ長期信頼性の高いラッチバルブ１を提供する。
【解決手段】形状記憶合金を用いたラッチバルブ１において、バルブシート８を板ばねとすることにより、バルブシート８自身に自己保持機能を持たせることにより小型化を可能とした。また、形状記憶合金１０、１１とバルブシート８の締結は、バルブシート８に設けた通し孔１８、１９を用い接合、接着することなく行い、ラッチバルブの長期安定性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 インレットポート１５からＡＳＶ２の弁口１０に向けて延びる流体導入流路１６、１７内を２次空気がスムーズに流れるようにすることで、流体の圧力損失を減らし、インレットパイプ１４を含む全体構成の体格の小型化を図ることを課題とする。
【解決手段】 インレットパイプ１４の中心軸線が弁口１０に向かって傾いており、しかもインレットパイプ１４の中心軸線とポペットバルブ４の弁軸１２の中心軸線に対して垂直な垂線との交差角度（θ）が９０°未満の鋭角となっている。これにより、インレットポート１５からインレットパイプ１４の内部（流体導入流路１６）に流入した２次空気は、インレットパイプ１４の中心軸線に沿ってほぼ直線状に流れて、そのまま直角に屈曲することなく、流体導入流路１７内で円弧状に滑らかに湾曲して、バルブシート５の内部に設けられた弁口１０にスムーズに流れ込む。 （もっと読む）

【課題】 バルブ軸の軸線方向の長さ寸法を短縮して体格の小型化および搭載性の向上を図ることを課題とする。また、最終ギヤとバルブ軸のラック歯との噛み合い部の摩耗を防止することを課題とする。
【解決手段】 最終ギヤ９のピニオンギヤ軸４４の周囲にトーションスプリング１０を配設することにより、ピニオン４６と噛み合う複数のラック歯４９を有するバルブ軸６の軸線方向の長さ寸法を短縮できるので、２次空気制御弁装置の体格の小型化および搭載性の向上を図れる。また、電動モータ３への電力の供給を停止している時であっても、最終ギヤ９のピニオン４６の凸状歯４７が隣設する２つのラック歯４９間に常に噛み合っているので、最終ギヤ９のピニオン４６の凸状歯４７と隣設する２つのラック歯４９との噛み合い部の摩耗を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動手段により弁体を変位させていない状態における弁体による流出口の閉止力を従来に比べて高めることができ、流入口側内部空間へ流入した流体の圧力が低くても流体が漏れるのを防止することができるマイクロバルブを提供する。
【解決手段】弁座形成基板１０との間に流出口側内部空間Ｓ２を形成する第１のダイヤフラム部２２、流出口１２を開閉する弁体２３、弁座形成基板１０との間に流入口側内部空間Ｓ１を形成する第２のダイヤフラム部２５を有する弁体形成基板２０と、弁体形成基板２０との間に閉鎖空間３６を形成する閉鎖空間形成用基板３０とを備える。弁体形成基板２０における第１のダイヤフラム部２２とフレーム２１における第１のダイヤフラム部２２の周辺部とに跨って積層された応力付与膜２８が、駆動手段により弁体２３を変位させていない状態で閉止力を増大させるバイアス手段を構成している。 （もっと読む）

【課題】 バルブ全閉位置で付着したデポジットをバルブ全閉位置付近での開閉動作によって掻き落とすことのできる排気ガス再循環装置を提供する。
【解決手段】 ＥＧＲ制御弁のバルブ３を、ＥＧＲ制御弁のバルブ３にデポジットが付着し難く、デポジットが硬めのエンジンの始動前またはエンジン停止後に、バルブ全閉位置を通過する所定の開度だけ開閉動作させるようにする。この場合には、バルブ全閉位置付近のノズル２の内壁面に付着したデポジットをＥＧＲ制御弁のバルブ３の外周部によって容易に掻き落とすことができる。これにより、エンジン始動時に、ＥＧＲ制御弁のバルブ３をバルブ全閉位置から容易に動かすことができる。それによって、ノズル２内においてＥＧＲ制御弁のバルブ３を所定の開度に制御できるので、所望の排気ガス還流量（ＥＧＲ量）のＥＧＲガスを吸気管内を流れる吸入空気中に混入させることができる。 （もっと読む）

【課題】電動開放式マイクロ流体用バルブの提供。
【解決手段】本発明は、以下：
−少なくとも一つの平らな土台；
−少なくとも一つの導入用微小管；
−少なくとも一つの放出用微小管；
−土台の内側面に配置された少なくとも一つの感熱材料の堆積物；及び、
−少なくとも一つの加熱手段：を含み、
上記微小管は上記土台に設置され、これらの先端のうち少なくとも一つは上記土台の内側面上で開いて互いに近接していて、
微小管の先端間の空間が上記感熱材料の堆積物で少なくとも部分的に塞がれているために、この先端間が互いにつながっておらず、
加熱手段により温度が上昇して感熱材料の構造が変化し、このために微小管の先端及びこの先端間が少なくとも部分的に空洞になることによって、上記微小管の間がつながって流体の流れを再開させることができる
ことを特徴とする電動開放式マイクロ流体用バルブ
に関する。
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【課題】ステッピングモータ１０６で雄ねじ部材１０５を回転させることにより進退する可動部材１０３に電磁石１０４を固定し、弁体１０２に固定されたアーマチュア１２１を電磁力で吸着して弁体１０２を引き上げて流出部１１３を開放するモータ安全弁では、進退する電磁石１０４に外部から通電する必要がある。従来は、ケーシング１０１と電磁石１０４との間にリード線を架設して給電していたが、リード線の断線や内部空間１１１の大型化という不具合が生じる。
【解決手段】電磁石１０４が固定されている可動部材１０３と、ケーシング１０１に固定されているブラケット１１４との間にばね状の１対の連結線１４３，１４４を縮設し、これら連結線１４３，１４４を介して電磁石１０４に給電するようにした。 （もっと読む）

【課題】ステッピングモータ１０６のロータ１６１に雄ねじ部材１０５を連結し、可動部材１０３の雌ねじ部１３１に螺合させて可動部材１０３を進退させることにより、可動部材１０３に固定された電磁石１０４で弁体１０２を吸着して引き上げて開弁させる構成は、弁体１０２が収納されている内部空間１１１にガスが充満するため、従来はロータ１６１の回転軸１６２にＯリングを装着してシールしていたが、Ｏリングが回転時の抵抗になるためステッピングモータ１０６を大型化しなければならなかった。
【解決手段】回転軸１６２に装着していたＯリングを廃止し、ロータ１６１を隔絶部材１０８で覆って、隔絶部材を気密構造にすることによりガスの流出を防止するようにした。 （もっと読む）

【課題】従来のモータ安全弁では、モータの回転軸に連結された雄ねじ部材から弁体に至るまでの部品がほぼ直列に配置されているので、雄ねじ部材から弁体までの距離が長くなり、必然的にモータ安全弁が大型化するという不具合が生じる。
【解決手段】ステッピングモータ部２のロータ５内に、雌ねじ部５１と雄ねじ部６１とからなる進退機構により進退する可動部材６を設け、さらにその可動部材６に電磁石７を固定して弁体４に連結されているアーマチュア４２を吸着し、弁体４と共に引き上げるようにした。 （もっと読む）

【課題】弁体動作の精度を高め、確実な閉弁作用を実現する。
【解決手段】ステッピングモータにより回転軸１１を回転させ、回転軸１１に設けられたリードスクリュー１０に弁体１５を摺動自在に螺着し、回転軸の回転運動を弁体１５の直線運動に変換する機構に於いて、フランジ２２と弁体１５との間に回転軸１１の軸線方向に摺動自在な係合手段を構築し、弁体１５の回転を規制し、リードスクリュー１０の回転に対する弁体１５の作動位置精度を向上した。 （もっと読む）

単一流体の流れを二つの流れに分割するスプリッタ弁。弁はスターリング・エンジンに対するバーナと補助バーナを有するＤＣＨＰシステムに用いることを主目的とする。弁には、単一流体の流れを二つの流れに転流する比を変化させるためのオリフィス（１０）を横切る位置でその範囲に亘り回転できるベーン（５）を含む。オリフィスはベーンの角位置と転流される二つの流れに対する流体の比との間に事実上直線的な関係が存在するよう輪郭が形成される。鑽孔プレート（４）又は絞り（１３）のような層流形成装置をベーン（５）の下流側の二つの流れに設けることができる。
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【課題】
コンパクトな装置で大量の排気ガスを導入できるようにすると共に、大量の排気ガスを導入しても吸気通路内の新気と還流される排気ガスとの混合が十分に行えるようにする。
【解決手段】
全開位置をイニシャル位置とする電制スロットルバルブの下流の吸気通路内に排気ガス還流通路の一部を形成する屈曲通路を配置し、当該屈曲通路から吸気通路に同心状に延びる筒状部に排気ガス還流量制御弁を配置する。この制御弁は、バタフライ弁で構成し、制御弁の回転とスロットルバルブの回転をそれぞれ流れの抵抗が低い側に流体を導くように傾く範囲を規制し、また排気ガス還流通路の直管通路と接続通路とをつなぐ屈曲通路の屈曲角を鈍角化し圧力損失の低減を図る。 （もっと読む）

【課題】 体格の大型化を招くことなく、剛性が向上する弁駆動装置を提供する。
【解決手段】 シャフトバルブ４０は中間ギヤ２１と最終ギヤ２５との間に設置されている。シャフトバルブ４０を支持するハウジング１１の支持部３５は、中間ギヤ２１の軸受部３１と最終ギヤ２５の軸受部３３との間に配置される。ハウジング１１は、シャフト２２またはシャフト２６を支持する軸受部３１および軸受部３３を形成するために軸受部３１および軸受部３３の近傍において肉厚が確保されている。そのため、シャフトバルブ４０の支持部３５では、ハウジング１１の肉厚は容易に確保される。その結果、シャフトバルブ４０の支持部３５では、ハウジング１１が大型化することなく、ハウジング１１の剛性が向上する。 （もっと読む）

【課題】 予荷重ばねが必要がなく、また、断面積の差分に比例して増幅量を大きくすること。
【解決手段】 アクチュエータは、励磁コイル４で発生した磁界で伸縮する超磁歪素子５により、軸部材６を介して、板ばね７を変位させる。この板ばね７が変位することにより、油（媒体）が密閉された油圧室８の圧力が上昇し、ピストン９を前進させる。ピストン９の変位量（ｘ３）は、超磁歪素子５の変位量（ｘ１）に、板ばね７に隣接する油室の断面積（Ｓ２）と、ピストン９の突出部１０に隣接する油室の断面積（Ｓ３）との比率（Ｓ２／Ｓ３）を掛けた分である。板ばね７は、その有効断面積（Ｓ２）は、超磁歪素子５の断面積（Ｓ１）より大きく設定してあり、超磁歪素子５より断面積が大きな板ばね７で構成される油圧室８に収納した油（媒体）によりピストン９を往復動するので、その断面積の差分に比例して増幅量が大きくなる。 （もっと読む）

【課題】電動弁の診断時において、電動弁へのバネ圧縮機構およびウォーム移動量計測手段の取付けを可能とするとともに、電動弁側からの潤滑油の漏出を防止し得るようにした電動弁用アダプタを提供する。
【解決手段】バネ圧縮機構およびウォーム移動量計測手段の各々を弁体駆動部に取付け可能とした電動弁用アダプタに、前記バネ圧縮機構による圧縮力をスプリングカートリッジに伝達する中間体を保持するとともに、該中間体には、前記バネ圧縮機構および前記ウォーム移動量計測手段の着脱時において前記弁体駆動部側からの潤滑油の漏出を防止する堰体を設ける。係る構成によれば、電動弁間において前記バネ圧縮機構およびウォーム移動量計測手段を共用することができ、電動弁の診断コストの低減を図ることができる。また、前記堰体によって、前記スプリングカートリッジ側に充填された潤滑油が前記アダプタを通って外部へ漏出するのが防止される。 （もっと読む）

【課題】 安定したバルブの開閉動作を実現することができる制御弁を提供する。
【解決手段】 ロータ３２に設けられたマグネット５３の軸方向へ長さ寸法Ｌ１を、ステータ４５の幅寸法Ｌ２より大きく設定し、ステータ中心線７１がマグネット中心線７２よりスロットルバルブ１５側にオフセットするようにステータ４５に対するマグネット５３の位置を設定する。スロットルボディ１３の壁面に、シャフト３３の先端部が挿入される先端側支持部８５を凹設し、先端側支持部８５の端面８６に半球状の凸部８７を設ける。先端側支持部８５の奥側へ付勢されたシャフト３３を、その先端面が凸部８７に点接触した状態で回動自在に支持し、先端側支持部８５によってシャフト３３の先端部を回動自在に支持するスラスト軸受８８を構成する。 （もっと読む）