【課題】流体の流れを切り替えるのに必要な構成をコンパクトにする。
【解決手段】スライド板６０を上にスライドさせて第１姿勢に位置決めすると、被処理ガスは第１接続口２１から第１通過口３１、第１貫通孔６１、第３通過口４３、第３接続口２３及び通気管８１を通って蓄熱式燃焼脱臭装置７０に流入し、燃焼脱臭処理が施された後、通気管８３、第４接続口２４，第４通過口４４、第２貫通孔６２、第２通過口３２を通って第２接続口２２から排出される。一方、スライド板６０を下にスライドさせて第２姿勢に位置決めすると、被処理ガスは第１接続口２１から第１通過口３１、第２貫通孔６２、第４通過口４４、第４接続口２４及び通気管８３を通って蓄熱式燃焼脱臭装置７０に流入し、燃焼脱臭処理が施された後、通気管８１、第３接続口２３，第３通過口４３、第３貫通孔６３、第２通過口３２を通って第２接続口２２から排出される。 （もっと読む）

【課題】低コストで製造することが可能な三方切換弁を提供する。
【解決手段】流入配管１３をケーシング３内に形成された第１及び第２弁室７ａ、７ｂに連通させる第１連通路７ｃと、第１弁室７ａを第１流出配管１４に連通させる第２連通路７ｄと、第２弁室７ｂを第２流出配管１５に連通させる第３連通路７ｅと、第１弁室７ａに配置され、電磁アクチュエーターの作動によって第２連通路７ｄの弁口を開閉する第１弁体５と、第２弁室７ｂに配置され、第３連通路７ｅの弁口を開閉する第２弁体１０を保持するとともに、第３連通路７ｅに向けて往復移動するピストン８と、第１弁体５の変位に追随させてピストン８を移動させる作動棒１２とを備え、ピストン８がプレス成形によって形成された三方切換弁１。 （もっと読む）

バルブアセンブリが提供される。バルブアセンブリは、容器をたとえば液体で充填および／または再充填するように動作することができ、一方で、容器から液体に関連する超過気体を排気し、液体により形成される容器内の圧力を解放し、また、容器内の液体から気体製品を回収するのに使用するためにキャリアガスを容器内に導入するように動作することができる。バルブアセンブリは、２つのボアを画定するハウジング、およびハウジングを通じて延び、ボアに連通する多数のポートを含む。バルブスプールは、各ボア内に位置し、ハウジングを通る液体、液体に関連する超過気体、キャリアガス、キャリアガスにより液体から回収される気体製品の移動を選択的に制御する。 （もっと読む）

【課題】部品点数を低減して組み付けが容易で且つ耐久性に優れる三方弁を提供する。
【解決手段】本三方弁は、筒状の流路４０の両端側に第１のポート１１と第２のポート１２とを設けるとともに流路４０の中間位置に第３のポート１０を設け、第３のポート１０と第１のポート１１との間に第１の弁座２１を形成するとともに第３のポート１０と第２のポート１２との間に第２の弁座２２を形成している。第１・第２の弁座２１，２２に当接又は離間させて第１・第２のポート１１，１２を開閉させる第１・第２の弁体１，２を流路４０内に配置している。第１・第２の弁体１，２はモータ３０に連結するシャフト３に取り付けられている。第１・第２の弁体１，２には内周面をシャフト３との間でシールする内シール部２０ａとするとともに外周面を第１・第２の弁座２１，２２との間でシールする外シール部２０ｂとするシール部材２０が一体形成されている。 （もっと読む）

【課題】弁体の機械的強度を向上させ、弁体内部における円滑な流体の移動を確保できる四方切換弁用弁体を提供する。
【解決手段】密閉空間を有する弁本体３と、弁本体の一側部に連結された第１導管５と、弁本体の他側部に連結された第２導管７と、第２導管を挟んで両側に各々隣接して配置された第３及び第４導管１１、１２と、弁本体内において各導管に連通する開口部８、１３、１４を有する弁座１６と、弁座に摺動可能な弁体１とを備え、弁体の摺動により、第１導管と第３導管との間、又は第１導管と第４導管との間の連通状態を選択的に切り換える四方切換弁の弁体であり、椀状の本体１ｃの開口端面部１ｊを横断するように、開口端面部に近接して差し渡されるピン１ｄと、本体の開口端面部に近接した位置において、本体に一体に形成され、本体の外表面よりピンの軸線方向に、弁本体の内壁面３ｃに近接する位置まで突出する鍔部（突出部）１ｈとを備える弁体。 （もっと読む）

【課題】ハウジングに設けられる軸受部をコンパクトにかつ効果的に冷却すること。
【解決手段】バイパスバルブ１は、ハウジング４を備え、ハウジング４には、ＥＧＲガスが流れる分岐した流路２，３が設けられる。ハウジング４には、ＥＧＲガスの流路を切り替えるために流路２，３を選択的に開閉する弁体５と、弁体５と一体化した弁軸６と、弁軸６を回動可能に支持する軸受部７，８とが設けられる。軸受部７，８の外周の一部は、流路２の中に配置される。軸受部７，８に隣接してハウジング４には、流路２，３を形成し、かつ弁座１６を有する仕切壁１７が設けられる。仕切壁１７にて軸受部７，８の近傍には、冷却水通路１８が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 弁調整組立体を提供する。
【解決手段】 本発明は、入口ポート、出口ポートおよびバイパスポートを備えた１つの弁ハウジングを有するバイパス弁組立体であって、これらのポートすべてがその弁ハウジングの内部に形成されるバイパス弁組立体に関する。弁体部材は、弁ハウジングに操作可能に連結され、互いにほぼ反対方向に向かい合う第１弁プレートおよび第２弁プレートを含む。第１弁プレートは、弁体部材が第１位置にある時に、出口ポートについて緊密な遮蔽を形成するように関節動作し、第２弁プレートは、弁体部材が第２位置にある時に、バイパスポートについて緊密な遮蔽を形成するように関節動作する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、組立作業が容易であり、しかも、熱による変形がその切り換え動作に悪影響を及ぼすことのない制御弁を提供するとともに、この制御弁を備えた空調機を提供する。
【解決手段】四方弁１２は、弁ハウジング１４と、弁ハウジング１４内に設けられた弁室３０と、弁室３０の内面に開口する複数の開口の間を断続する弁体と、弁体を駆動する駆動機構を備えた四方弁において、この駆動機構は、シリンダボア８６を同軸的に有する筒状体であるスリーブ８０と、弁ロッド７６を介して弁体と連結されており、シリンダボア８６内に摺動自在なピストン７８と、ピストン７８を摺動させるパイロット圧の供給を受けるパイロット圧室８８と、スリーブ８０を弁ハウジング１４内に保持するＯリング９４であって、スリーブ８０のシリンダボア８６に対応したスリーブ８０の外周面と弁ハウジング１４の内周面との間に隙間９８を確保するＯリング９４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】弁体を動作させる駆動力の低減によるアクチュエータの小型化及び１つのアクチュエータによる弁体の複数の動作を可能とすることにより、その構造の小型化及びコストの低減を図ることのできる切替弁を提供することを課題とする。
【解決手段】切替弁１０１は、流体通路Ｃ１，Ｃ２を有するボディ１を備え、ボディ１の内部の流体通路Ｃ１，Ｃ２の途中に弁孔１ａを備える。また、弁孔１ａには内部で摺動及び回転自在な弁体２が収容される。さらに、ボディ１の内部には、圧電素子部１１，１２，１３を有する振動アクチュエータ１０が設けられ、振動アクチュエータ１０は弁体２に当接し、圧電素子部１１，１２，１３の振動により弁体２を摺動及び回転させる。また、弁体２は、摺動することにより流体通路Ｃ１，Ｃ２のうちの１つを連通し、さらに回転することにより連通した流体通路Ｃ１或いはＣ２の流量を調整する。 （もっと読む）

【課題】安定運転を維持し、製造コストの低い三方切換弁を提供する。
【解決手段】筒状のケーシング３には、流体が流入する流入配管１３と、流体が選択的に流出する第１流出配管１４及び第２流出配管１５とが連結され、ケーシング内には、その内部空間を第１弁室７ａと第２弁室７ｂとに区画する弁座部材７が固定され、弁座部材には、流入配管を両弁室に連通させる第１連通路７ｃと、第１弁室を第１流出配管に連通させる第２連通路７ｄと、第２弁室を第２流出配管に連通させる第３連通路７ｅとが備わっており、第１弁室には、電磁アクチュエーターの作動によって第２連通路の弁口７ｆを開閉する第１弁体５が配置され、第２弁室には、第３連通路の弁口７ｇを開閉する第２弁体１０を有するピストン８が変位自在に配置され、第２弁体を第１弁体の変位に追随させる連動手段１１、１２が備わっている三方切換弁１。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成を有し、小型化が可能であり、半導体製造装置のガス供給回路等、高信頼性が要求される流体供給回路への適用が可能な三方弁を提供する。
【解決手段】軸長方向に移動する第１弁軸31と、第１弁軸31の先端部に設けてあり、第１弁座30に対して退座又は着座して第１流路を開閉する第１弁体３と、第１弁軸31及び第１弁体30の軸心部を貫通する貫通孔32に挿通され、軸長方向に移動する第２弁軸41と、第１弁軸31の先端から突出する第２弁軸41の先端部に設けてあり、第１弁座30に対向配置された第２弁座40に対して退座又は着座して第２流路を開閉する第２弁体４とを備え、第１弁軸31及び第２弁軸41と同軸上に配した開閉アクチュエータ５と、第１弁軸31を第１流路の上流側の内圧の作用により付勢するダイヤフラム６と、第２弁軸41を第１弁軸31と同方向に付勢する付勢ばね52とを設ける。 （もっと読む）

【課題】実質的な漏れがなく、且つ回転子を回すのに必要なトルクを最小限とすることで、回転子を回すモーター及び歯車駆動機構の寿命を延ばすことのできるロータリーバルブを提供する。
【解決手段】回転子３２０，３３０と固定子３１０，３４０を有し、回転子３２０，３３０と固定子３１０，３４０とを接触させるため少なくとも１つの圧縮バネ３５０を利用し、このバネ３５０（単数又は複数）は、回転子３２０，３３０と固定子３１０，３４０を分離させるようにする押しつける力に対抗して、回転子３２０，３３０と固定子３１０，３４０の間からの漏れを防止しながらバルブ３００内の回転子３２０，３３０を回すのに必要なトルク量を低減させるようにされている。このバネ３５０（単数又は複数）は、バネ位置設定表面構造によりバルブ３００内部に配置することができる。 （もっと読む）

２つの平行するリンク部（６）によって本質的に平らな前部を備える枠組構造と、平行なレバー（１４）によって起動棒（１２ａ）とに、それぞれ接続される二つのキャリア（５ａ）を具備する真空室のための仕切弁。レバー（１４）を用いた、ピストン（１７）による動作棒（１２ａ）の上方への動作は、キャリア（５ａ）の上方への動作をもたらし、キャリア（５ａ）の動作はリンク部（６）により円軌道の動作に変換され、同時に、キャリア（５ａ）は前部と平行を保ちながら前部に近づき、密閉板（９）が前部及び開口部（３）を圧迫する作動位置に、キャリア（５ａ）に固定された密閉板（９）を移動させる。ピストン（１７）の収縮は、逆の動作をもたらし、それにより、密閉板（９）は、開口部（３）から完全に取り除かれ、開口部（３）は、簡単にアクセス可能になる。
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【課題】小型化が可能で、スクリーン版及びメタルマスク版用洗浄機等の乾燥機能付き装置に用いた場合でも、ブロワーが過負荷状態にならず、ヒータが異常加熱することがない多方弁を得る。
【解決手段】本体部１１と、本体部１１の一方の側に設けられ、本体部１１と連通する吸気部１２と、本体部１１の吸気部１２から本体部１１の他方の側にかけて設けられ、本体部１１と連通するＮ＝４個の分岐部１３と、吸気部１２から最も遠い分岐部１３を除く分岐部１３に対応して３個（（Ｎ−１）個）並設された弁部２０とからなり、弁部２０が全開状態においては、対応する分岐部１３への流体経路を開いて、この分岐部１３よりも吸気部１２から遠い分岐部１３への流体経路を遮断し、弁部２０が全閉状態においては、対応する分岐部１３への流体経路を遮断して、この分岐部１３よりも吸気部１２から遠い分岐部１３への流体経路を開く。 （もっと読む）

【課題】 スプールには、流体力Ｆによる閉弁力が発生する。この流体力Ｆに抗する反力Ｆ’をスプール弁の内部に供給される油圧を用いて発生させ、流体力Ｆによる閉弁力を抑えることのできるスプール弁を提供する。
【解決手段】 第１、第２大径ランド２１、２２の中間位置に中間ランド２７を設けて、分配室を第１、第２副室α、βに分ける。そして、第１、第２副室α、βを絞り機能を果たす連通手段２８（環状隙間）によって連通する。この結果、第１副室αの圧力Ｐ１が高まり、第２副室βの圧力Ｐ２が相対的に下がる。これにより、第１大径ランド２１の軸方向面積をＡ１、第２大径ランド２２の軸方向面積をＡ２、中間ランド２７の軸方向面積をＡ３とした場合、スプール４には、流体力Ｆとは逆向きの
反力Ｆ’＝Ｐ１×（Ａ１−Ａ３）−Ｐ２×（Ａ２−Ａ３）
を発生させることができ、流体力Ｆを弱めることができる。 （もっと読む）

高圧３元制御バルブは、制御素子を経由して互いに選択的に流体連通して配置された、第一、第二、および第三ポートによって特徴付けられるバルブ本体を備えている。制御素子は、前記第一および第二ポートの間、あるいは、代わりに第一および第二ポートの間での流体の方向を選択的に制御するために、第一シート位置および第二シート位置の間で移動可能である。そのように構成されることで、前記制御バルブは、通常、ともに配管された２つのバルブを必要とする機能を供給する。 （もっと読む）

【課題】回転弁体の回転トルクをモニタすることで微少な回転異常を検出可能とする。
【解決手段】流体を供給または排気する切替用通孔１０６，１０７を有し相対回転する回転弁体１００において、回転する移動弁体１０１側に孔１０５を介して、駆動力を伝達するピン１０５Ａの長手方向に歪みを検出する歪みセンサ２０１を設ける。歪み検出器２０２とケーブル２０３を通じて歪み検出機構（歪み検出器２０２、警報手段２０４）を構成する。回転弁体１００の摺動面１０３，１０４に焼き付きなどの異常発生時、歪みセンサ２０１の歪み値に変化が生じ、回転異常を検出できる。警報手段２０４は歪み検出器２０２を介した異常検出時に警報を発報、または駆動停止手段（図示せず）により駆動手段（図示せず）を停止する。ピン１０５Ａの歪みを検出し、回転トルクの変化をモニタすることで摺動面１０３，１０４での損傷に起因する異常を高精度で検出できる。 （もっと読む）

【課題】 シール性、操作性に優れ、且つ小型化を可能にしたスライド切替え弁構造を得る。
【解決手段】 １つの流入路２と並設して配置された２つの流出路４，５を有し、スライド弁体８を往復スライドさせて、一方を開き、他方を閉じることにより流体の流出路４，５を変更するスライド切替え弁構造であって、２つの流出開口部６，７を、２つの流出開口部６，７の中間の仕切り体３の位置が一番深くなるように円弧状に湾曲させ、前記スライド弁体８を、２つの流出開口部６，７の湾曲に沿う湾曲板で形成した。 （もっと読む）

【課題】
円筒面を気密な摺動面として、摺動面からの漏れを抑えつつ構造が簡素な、圧力スイング式ガス分離装置用のロータリバルブを提供する。
【解決手段】
円筒内周面を有する弁室が形成された弁箱と、弁室の内面と密着摺動しつつ１軸を中心に回転自在に配設された円柱形状の弁体とからなり、弁室には、給気ポート、排気ポート、第１の抽気ポート、第２の抽気ポートが開口し、弁体の円柱外面に形成された凹部で弁体と弁室内壁との間に、空隙となる第１および第２の凹陥部とを備え、第１の凹陥部と第２の凹陥部は、弁箱の円筒内周面と弁体の円柱外周面との摺動合わせ面で気密に分離されており、第１の抽気ポートに対する給気ポートと排気ポートとの開閉のタイミングと、第２の抽気ポートに対する給気ポートと排気ポートとの開閉のタイミングが、弁体回転の１８０度の位相差で一致したことを特徴とする圧力スイング式ガス分離装置用のロータリバルブ。 （もっと読む）

本発明による組合せ弁は、管状の中央部（１）と、該管状の中央部（１）の外周面に配置されたガス入口（Ｅ）と、前記管状の中央部（１）の外周面で前記ガス入口（Ｅ）の隣に配置されたガス出口（Ａ）と、前記管状の中央部（１）の外周面で前記ガス出口（Ａ）に向かい合って配置された第１の分岐部（Ｚ１）と、前記管状の中央部（１）の外周面で前記ガス入口（Ｅ）に向かい合って配置された第２の分岐部（Ｚ２）とを有している。前記第１の分岐部（Ｚ１）と前記第２の分岐部（Ｚ２）とが、冷却器（３）を介して互いに接続されている。前記管状の中央部（１）の長手方向軸線を中心にして回転可能に前記管状の中央部（１）の中央にロータリバルブ（２）が支承されている。該ロータリバルブ（２）は、長手方向で見てその両外側端面が前記管状の中央部（１）の内壁に対して気密にガイドされている。ロータリバルブ（２）は、運転状態に応じて、前記ガス入口（Ｅ）、前記ガス出口（Ａ）、前記第１の分岐部（Ｚ１）及び前記第２の分岐部（Ｚ２）を、ガスを貫流させるために少なくとも部分的に遮断するようになっている。
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