【課題】既存の周辺構成をそのまま変えること無く、当該周辺構成から発生した熱を効率良く外部へ拡散させることが可能な低コストのポンプ用軸受ユニットを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム式ポンプに用いられるポンプ用軸受ユニットであって、回転運動を直線運動に或いは直線運動を回転運動に変換して伝達するためのコネクティングロッド４が設けられており、コネクティングロッドは、軸受８を介して偏心回転機構２に固定される固定部４ａと、ダイヤフラムが取付られる取付部４ｂと、固定部と取付部とを連結する連結部４ｃとを具備し、当該コネクティングロッドは、熱伝導率が０.１〜０.５watt/m・℃以上の樹脂材で一体成型されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ヤング率の変動にほとんど影響を与えず応力緩和できるため、構成膜の膜厚比を変えることなく内部応力のバランスを変更でき、高精度、高密度、高い信頼性、かつ高い量産性を持った静電型アクチュエータを得ることができ、比較的容易に低電圧でインク吐出効率が高く、高画質印字が可能となる。
【解決手段】 本発明の静電型アクチュエータは、静電力で変位する振動板と、該振動板に犠牲層除去孔を用いて犠牲層プロセスで形成された空隙を介して対向する下部電極とを有している。そして、本発明の静電型アクチュエータにおける振動板は、構成元素以外の元素をイオン注入され、残留応力が緩和されている応力調整膜を、少なくとも１層含む積層膜で構成されていることに特徴がある。 （もっと読む）

【課題】構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口３が穿設されたノズルプレート１７と、上記ノズル開口３に連通する圧力発生室２ならびに上記圧力発生室２に連通する圧力発生室２以外の流路空間としてインク貯留室４が形成された流路形成板１３と、上記流路形成板１３に積層されて開口を封止する振動板１１と、上記振動板１１を振動させて圧力発生室２に圧力を発生させる撓み振動モードの圧電振動子６とを含むことにより、１枚の流路形成板１３に、圧力発生室２とインク貯留室４とが形成されていることから、記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムを挟着する一対のハウジングの一方に、一方のハウジングの吸入流路と吐出流路に連通する吸入ポートと吐出ポートと、該吸入ポートと吐出ポートにそれぞれ連通する一対の筒状突部または嵌合穴部とを形成し、他方のハウジングに、該他方のハウジングの吸入流路と吐出流路に連通し、一対の筒状突部または嵌合穴部に嵌まる一対の嵌合穴部または筒状突部を形成し、この筒状突部と嵌合穴部との間にＯリングを介在させたダイヤフラムポンプにおいて、筒状突部、嵌合穴部及びＯリングで形成する流路の接続部分の液密性を高い信頼性、耐久性及び組立性で確保することができる４バルブダイヤフラムポンプを得る。
【解決手段】筒状突部の外周に嵌めた自由状態におけるＯリングの外径をｄとし、嵌合穴部の端部径をＤとしたとき、Ｄ＞ｄに設定され、かつ該嵌合穴部に奥部ほど径が小さいテーパ穴部が形成されているダイヤフラムポンプ。 （もっと読む）

本発明は、セミコンダクターオンインシュレーターと呼ばれるウエハ内に所定の厚さｄを有するキャビティ及び／又は膜（２４）を集合的に製造する方法に関連し、絶縁層上で厚さｄを有する少なくとも１つの半導体表面層を備え、この絶縁層自体は基板上に支持され、この方法は、前記表面層内に前記キャビティ及び／又は膜を形成するために、厚さｄを有する半導体表面層をエッチングする段階であって、この絶縁層が停止層を形成する段階を備える。
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【課題】従来よりも少ない数の部品を利用して、しかも容易に製造でき、かつ容易に組立できる、信頼性のあるポンプ、特にエア作動式のポンプの提供。
【解決手段】フラムポンプ１０はエアバルブアッセンブリ３４を有し、このエアバルブアッセンブリ３４においてバルブブロック３８が四角形のパターンで動くことができるようになっている。ポンプ１０の主部は流体ラインが接続されるマニホルドベース２０に取り付けられており、流体金具を外す要なくボルトやナットのような留め具１８を緩めるだけでポンプ１０を分解して点検できる。 （もっと読む）

【課題】腐食性の液体を供給するためのポンプに用いることができ、しかも耐久性、ポンプの定流量性能、定量性能、液置換性能を向上することができ、またポンプ圧力室の洗浄時間を短縮することができるピストンとそのピストンの製造方法及びそのピストンを備えたポンプを提供する。
【解決手段】シリンダ１１内に移動自在に支持され往復駆動されるピストン１は、腐食性の液体によって劣化しないようフッ素樹脂で形成される。該ピストン１のローリング部２は１ｍｍ以下の厚さで、可撓性を有し、略１８０度の折返し部３を経て開放端部にフランジ部７を有し、該フランジ部７がシリンダ１１に取付けられ、ピストン支持体１５の外周面とシリンダ１１の内周面に密着しながら、この２面間の隙間で撓みや折曲りを生じることなく円滑にローリングする。 （もっと読む）

【課題】ポンプ性能及び信頼性を確保しつつ、長寿命化を図れる圧電振動子及び圧電ポンプを得る。
【解決手段】導電性金属薄板からなるシムと、このシム上にシム側電極を介して積層接着された圧電体と、該圧電体のシムとは反対側の面に接着積層した露出側電極とを備え、該シム側電極と露出側電極に交互に正負電位を与えることで振動する圧電振動子において、上記シム側電極を、露出側電極よりも密着強度の高い導電材料で形成した。 （もっと読む）

【課題】チューブの耐久性を向上させたチューブポンプを提供する。
【解決手段】略Ｕ字形状のポンプフレームと、上記ポンプフレーム内において上記ポンプフレームの内壁に沿って略Ｕ字形状に配設された可撓性のチューブと、上記ポンプフレーム内において上記チューブに隣接して回転自在に配置されたポンプホイールと、上記ポンプホイールの外周側に配置されるとともに第１の外径を有する第１のローラーと、上記ポンプホイールの外周側の上記第１のローラーが配置された位置とは異なる位置に配置されるとともに上記第１の外径よりも小径な第２の外径を有する第２のローラーとを有し、上記ポンプホイールが回転すると、上記第１のローラーにより上記ポンプフレーム内に配設された上記チューブを押し潰して上記チューブ内の液体を移送するととともに、上記第２のローラーにより上記ポンプフレーム内における上記チューブの移動を抑止するようにした。 （もっと読む）

【課題】 構造が比較的簡単で製造コストが安く、しかもチューブの点検や交換を容易に行えるチューブポンプを提供する。
【解決手段】少なくとも円筒室３を構成する部分を弾性材料で形成したハウジング本体１と、円筒室３の外周部に当接して円筒室３の変形を阻止する押さえ部２ａを備えた硬質材料からなる蓋板２とでハウジングＡを構成した。従って、蓋板２を外した状態では円筒室３を変形させることができ、加圧部材５でチューブ４が圧迫されている箇所でも円筒室３を外側に変形させて圧迫状態を緩和すれば、チューブ４の取り出しや挿入が比較的容易にできるので、点検や交換のためのチューブの着脱が容易となる。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムと仕切部材とを、容易に、かつポンプ特性のバラツキが生じることなく、十分なシール性をもって固着させることができるダイヤフラムポンプを提供する。
【解決手段】仕切板１０の両側に、樹脂ダイヤフラム３１、金属ダイヤフラム３２、圧電素子３３の接合体であるアクチュエータ３０を配置して、各アクチュエータ３０と仕切板１０との間の空間をポンプ室３４として区画し、「２つのアクチュエータ：２つのポンプ室」のダイヤフラムポンプを構成する。仕切板１０に、各ポンプ室３４を連通する吸入側連通路１４ａおよび吐出側連通路１４ｂを形成し、さらにこれら連通路１４ａ，１４ｂから側面方向に延びる吸入流路１５ａおよび吐出流路１５ｂを貫通形成する。ポンプ室３４の周囲において樹脂ダイヤフラム３１を仕切板１０にレーザ溶着して各流路１５ａ，１５ｂに干渉しない封止部４１を形成し、シール性を確保して接合状態を均質なものとする。 （もっと読む）

【課題】 回転速度の大きいポンプにおいても潤滑作用が長期間にわたって安定して行われるチューブポンプを提供する。
【解決手段】
弾性材料からなる加圧部材４の外周側縁に、加圧部材４の軸方向に突出する耳片１１をリング状に形成し、この耳片１１を円筒室２の側壁２ｂ、２ｃに摺接させるようにした。従って、チューブ３が急激に圧迫された場合でも耳片１１と側壁２ｂ、２ｃとの摺接部を通り抜ける潤滑剤８は少なくなり、潤滑剤８がチューブ表面とその周辺に留まるようになるので、回転速度の大きいポンプにおいても潤滑作用が長期間維持される。 （もっと読む）

【課題】マイクロポンプの製造方法において、安価で、バルブの締切り性能が優れたものとすること。
【解決手段】マイクロポンプ１の製造方法において、バルブダイアフラム１０及びポンプダイアフラム１１を形成したダイアフラム基板１３と２つの貫通穴１４ｂを形成したポート基板１４とを接合した後、液体出入り流路を構成する２つのチューブ１９を、ポート基板１４の２つの貫通穴１４ｂを貫通して微小流路１６内に突出させ、２つのバルブダイアフラム１０、１１で当該チューブ１９の開口が開閉されるように設置してポート基板１４の液体出入り口具３０を形成する。 （もっと読む）

【課題】定容量を送り出すことができると共に、エアーロックの防止のために、ポンプ室のデッドスペースを極力抑える構造にした定容量形ダイヤフラムポンプを提供する。
【解決手段】定容量形ダイヤフラムポンプは、パルス電流が印加されるコイル３と、このコイル３に発生する断続磁力により往復動されるプランジャ１５と、このプランジャ１５に従動されるダイヤフラム２５と、このダイヤフラム２５の往復動により協動する一対の逆止弁３６，３８とより構成され、さらに前記プランジャ１５の反ダイヤフラム側に設けたストローク規制の規制部１９と、前記ダイヤフラム２５の反プランジャ側に設けられ、パルス電流オフ時にポンプ本体２８に密着する凸形状２９とより成っている。 （もっと読む）

【課題】フィンガープレート、円板カム、ガイド部などの摺動面における摺動性に優れ、低トルク・省電力の駆動モータで動作する小型軽量で安価な輸液ポンプ、および、作業性に優れる該輸液ポンプの製造方法を提供する。
【解決手段】軸受１４および１５で支持される回転軸１６に固定された複数の円板カム１２および１３と、この円板カムの外周面に接触し該円板カムの偏心回転に伴い進退移動する複数のフィンガープレートと、該フィンガープレートを摺動自在に挟持するガイド部とを備えてなる蠕動運動方式の輸液ポンプであって、上記円板カム１２および１３は樹脂成形体であり、それぞれが偏心位置に貫通孔を有する樹脂成形体であり、該貫通孔を通して円板カムの上死点面が回転軸１６の回転方向に順次移動して一周するように回転軸１６に組み付けられ連結されてなる。 （もっと読む）

【課題】 往復運動および回転運動を相互に変換する揺動板およびピストン間の駆動力伝達系に発生する振動を最小限に抑える。
【解決手段】 軸線ｙを中心とする円周上に配置した複数のシリンダ２３に嵌合するピストン２４と揺動ロッド２１に固定した揺動板２２とを連結ロッド２６で連結し、入力軸２０を駆動して揺動ロッド２１および揺動板２２を歳差運動させることでピストン２４を往復運動させ、ピストン２４に接続されたダイヤフラム３３によりポンプ機能を発揮させる。揺動板２２は入力軸２０と一体に回転することなく歳差運動を行うだけなので、連結ロッド２６は角度が僅かに変化するだけで揺動板２２およびピストン２４間で駆動力を伝達することができ、揺動板２２およびピストン２４間の駆動力伝達系に発生する摩擦を低減して振動の発生を最小限に抑えることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤフラムポンプにおいて、流体に含まれている不純物等によって弁体が開閉できなくなるようなことがなく、ポンプを正常に動作させる。
【解決手段】 バルブホルダー１８には、ポンプ室２２内の流体を吐出するための吐出通路２０と、この吐出通路２０からポンプ室２２への流体の逆流を規制する吐出用弁体２３とが備えらている。バルブホルダー１８はフッ素樹脂系の材料によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単な構成で比較的大きな圧送圧力により流体を微量で送ることができ、しかも冷却性が高く応答速度に優れた形状記憶合金等の形状記憶性を有するコイルを駆動源とした小型ポンプを提供する。
【解決手段】形状記憶性を有するコイル２、絶縁性を有し且つ高硬度の耐熱部材３、チューブ状の弾性部材４、チューブ状の弾性部材４の両端に設けられた吸入部４ａと排出部４ｂ、吸入部４ａと排出部４ｂにそれぞれ設けられた吸入弁１０ａと排出弁１０ｂ及びコイル２への通電を制御する制御回路８からなるとともに、耐熱部材３は弾性部材４とコイル２との間にあり、弾性部材４を取り囲むように配置されている。 （もっと読む）

【課題】吐出量を一定に維持可能なチューブポンプを提供する。
【解決手段】筒体内に同軸的に可撓性チューブ１２を配置して、この可撓性チューブ１２内側をポンプ室、外側を作動流体が充填される作動流体スペース１３として構成されるチューブポンプであって、前記作動流体スペースに配置されて前記作動流体の圧力を測定する圧力センサ１７と、該圧力センサ１７によって計測された前記作動流体スペースの圧力に基づき前記移送流体の圧力を制御する圧力制御部２とを備え、前記可撓性チューブ１２は、径方向の変形応力に対して相対的に変形しやすい部分１２ａと変形しにくい部分が周方向に複数箇所ずつ交互に形成されている。 （もっと読む）

【課題】部品数を減少して製作を容易にし、好適にはベローズをシリコン以外の安価な材料で形成することができるベローズポンプを提供すること。
【解決手段】ベローズポンプ１０は、入口穴１８と出口穴２０とを備えているポンプ本体１２を包含する。好適にはシリコン以外の安価な材料で形成されるベローズ部材３０は、ポンプ本体１２に取付けられて、入口穴１８及び出口穴２０に連通する定量分与室Ｖを形成する。ベローズ部材３０を圧縮することにより、その密封ウェブ３４が入口穴１８に接触して密封し、定量分与室Ｖ内の製品Ｐが入口穴１８へと流れるのを防止する。しかし、密封ウェブ３４はベローズ部材３０の圧縮により出口穴２０を覆うことができず、従って製品Ｐがベローズ部材３０の圧縮により出口穴２０及びスパウト５０内の弾性弁６０を通して分与される。そして、ベローズ部材３０の膨張は入口穴１８を通して製品Ｐを定量分与室Ｖ内に吸い込む。 （もっと読む）