【課題】 安定した流量を持続する薄型、小型の流体輸送装置及びこの流体輸送装置を備える流体輸送器を提供する。
【解決手段】 流体輸送装置２０は、弾性を有するチューブ８０と、チューブ８０を円弧状に装着するチューブ案内壁３２Ｂを有するチューブ枠３２と、チューブ案内壁３２Ｂの円弧の中心と回転中心が一致する回転板７６と、チューブ８０と回転板７６との間にあって、回転板７６の回転中心から放射状に配置される複数の押圧軸４０〜４７と、回転板７６の上面に装着され、押圧軸４０〜４７を押圧する押圧部１０１が設けられる回転押圧板１００と、が備えられ、押圧軸４０〜４７が、一方の端部が回転押圧板１００の外周部と当接する半球状に丸められた押部４３Ｂと、他方の端部がチューブ８０を押圧する鍔状の押圧部４３Ａと、から構成され、回転押圧板１００が、押圧軸４０〜４７を順次押圧して流体の流入側から流出側に向かって流体を流動する。 （もっと読む）

【課題】 安定した流量を持続する薄型、小型の流体輸送装置及びこの流体輸送装置を備える流体輸送器を提供する。
【解決手段】 流体輸送装置２０は、流体を連続的に輸送する蠕動式の流体輸送装置であって、チューブ８０に沿って同心の円弧上に放射状に複数配置されて流体が流動する弾性を有するチューブ８０の一部を略直角方向に圧搾する押圧軸４０〜４７と、押圧軸４０〜４７を流体の流入側から流出側に向かって順次押圧するローラー５０〜５３、または回転押圧板１００を備えている。 （もっと読む）

【課題】駆動部材をシールする部材の交換等が容易なスピンレス法によりレジスト液を塗布するベローズポンプを提供する。
【解決手段】非圧縮性液体を収容する室をベローズ室２１とシリンジ室４１とに区分けし、ポンプヘッド１０およびベローズ２０を備えるポンプユニット２と、シリンジ本体４０、ピストンロッド５８等の駆動部材、およびパルスモータ５０等の駆動手段を備えるシリンジユニット３と、の２つのユニットからベローズポンプを構成した。ピストンロッド５８の移動によりシリンジ室４１の容積が変化し、非圧縮性液体がベローズ室２１へ流出入してベローズ２０が伸縮する。このように構成することで、長尺のシリンジユニット３を縦置きとすると共に、蛇腹部におけるレジスト液の滞留等を防止するためにベローズ２０の伸縮が水平方向となるようにポンプユニット２を配置できる。また、これらのユニットを着脱自在とすることで部材を容易に交換できる。 （もっと読む）

【課題】 安定したポンプ効率のダイアフラムポンプを提供する。
【解決手段】ダイアフラムポンプ１０は、可動子３０の連結部３３を挿通して保持する挿通部と、この挿通部から可動子３０の径方向に蛇行して形成される蛇行ばね部と、蛇行ばね部の端部に設けられてケース２０のばね固定部２１２Ａに固定される外周取付部とを備え、これらの挿通部、蛇行ばね部、および外周取付部が可動子３０の軸心と略直交するばね形成面上に配置されるばね部材５０を具備した。このため、挿通部が蛇行ばね部によりケース２０の略軸心上に支持され、蛇行ばね部が設けられる方向への移動を規制されるので、可動子３０は、径方向への移動を規制され、可動子３０の軸心のズレや、傾斜、電磁石部への接触を防止できる。よって、可動子３０は、軸心上で安定して振動でき、ダイアフラムポンプ１０のポンプ効率を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】超偏極ガスのためのポンピングシステムであり、可撓性ガス輸送袋（２８）に反対した可逆的な流体の流れを使用する。
【解決手段】 ガス輸送袋（２８）の膨張および収縮が、超偏極ガスの流れを誘導するための弁（２０、２２）と有効に関係づけられている。第２のガス輸送袋（１２９）が、より連続的な超偏極ガスの流れをもたらすために付加的な弁（１２１、１２３）と有効に関係づけられ得る。第１および第２のガス輸送袋は、可逆回転形ポンピング機構（４０、１４０）とインラインに構成され得る。
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【課題】 長寿命化を図れるダイアフラムポンプを提供する。
【解決手段】ダイアフラムポンプ１０は、ケース２０の内部に可動子３０およびダイアフラム４０を配置し、ケース２０の外部に電磁石部５０を配置した。このため、ケース２０の可動子収納部２１が隔壁となって、電磁石部５０にて発生する熱エネルギーを遮断し、ダイアフラム４０が熱されて劣化するのを防止できる。したがって、ダイアフラム４０の長寿命化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロポンプにおいて、微小量の液体を高圧でしかも高精度に送液可能とすること。
【解決手段】マイクロポンプ５０は、微小流路１６に開口する２つ液体出入り流路１９を設けたポート基板１３と、２つバルブダイアフラム１１Ａ及びポンプダイアフラム１１Ｂを設けたバルブ基板と、バルブダイアフラム１１Ａを変位させるバルブ圧電素子１５Ａと、ポンプダイアフラム１１Ｂを変位させるポンプ圧電素子１５Ｂとを備える。バルブダイアフラム１１Ａの中央部に厚肉部１８Ａ、１８Ｂを設け、圧電素子１５Ａ、１５Ｂを積層圧電素子で構成してバルブ基板１３の駆動部設置穴１２Ａ、１２Ｂに設置し、圧電素子１５Ａ、１５Ｂの一側を厚肉部１８Ａ、１８Ｂに固定すると共に他側を位置決め用ピン２０Ａ、２０Ｂに固定し、位置決め用ピン２０Ａ、２０Ｂを駆動部設置穴１２Ａ、１２Ｂに嵌合して固定した。 （もっと読む）

【課題】 駆動時に振動および騒音が発生しにくく、作動効率のよい圧電ポンプ、およびそれを備えた成績係数（ＣＯＰ；Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ ｏｆ Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ）の高いスターリング冷却庫を提供する。
【解決手段】 大気圧以下に減圧された熱媒体循環回路に使用される圧電ポンプ４０であって、ケーシング４１と、ケーシング４１内に設けられ、熱媒体を受け入れる作動空間４２と、作動空間４２内に熱媒体を吸入する吸入部４４と、作動空間４２内から熱媒体を吐出する吐出部４５と、ケーシング４１内に設けられ、内圧を大気圧以下とされた圧力に設定して密封した背圧空間４３と、ケーシング４１内の空間を作動空間４２と背圧空間４３とに仕切る圧電素子４６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 微小流路の試薬量低減などの効果を維持しながら、粘度の異なる液体を混合すること。
【解決手段】 液体Ａ及び液体Ｂの各々において、流量制御装置５０のデータ設定部５９に所望の目標流量値５８を設定する。これによって流量制御装置５０において、各マイクロポンプから微小流路を介して輸送される液体Ａ，Ｂの流量が設定目標流量値５８となるように、圧電素子１１ａ，１１ｂを振動させるための印加電圧値６８Ａ，６８Ｂが求められ、これらの印加電圧値６８Ａ，６８Ｂの電圧ＥＡ，ＥＢが該当圧電素子１１ａ，１１ｂに印加される。 （もっと読む）

【課題】 電磁式ポンプの合理化を図るのに有効な技術を提供する。
【解決手段】 本発明の電磁式ポンプ１００において、電磁石１２０，１３０をポンプ本体に固定する電磁石固定板１１１に止着されたダイアフラム機構部１５０のダイアフラム取付枠１５１に、その延在方向に沿って外方へと開口する樹脂製の溝部を設ける。この溝部は、電磁石１２０，１３０を交流電源に接続する接続配線を直に嵌め込んだ状態で保持可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】 空気通路と空気圧供給装置を連通し、空気を密封して騒音、汚染がなく、省エネ、軽量、安価で多様の用途に使用出来る。空圧供給装置を提供する。
【解決手段】 空圧供給装置は、ドーナツ状の袋体の空気室の内周上に熔着による堰を設け、袋体の中心を軸として、袋体をフレームに押付けながら回転するローラーを有し、袋体には通気孔が設けられている。また空気圧供給装置の袋体を複数とし並列に設置し、対応するローラーを同一の中心軸上に設けて回転させることで多様の空圧供給の条件の要求にも対応が容易であり、また同一回転の連続運転であるため省エネでさらに制御装置も簡潔で前記課題の達成が容易である。 （もっと読む）

【課題】 圧電体に対する電気配線の耐久性及び信頼性に優れ且つ配線ショートを防止でき、ダイヤフラムの良好な振動作用が得られるダイヤフラム用電極接続端子を得る。
【解決手段】 導電性金属薄板からなるシムの表裏の少なくとも一方に圧電体を積層してなり、該圧電体の周縁が別体の固定部材で気密に固定されるダイヤフラムに取付けられる、給電用の電極接続端子であって、ダイヤフラム外部から固定部材を通して圧電体の露出面上に導かれる給電線を備え、この給電線は、圧電体への導通接続部と固定部材によって押圧された押止部との間に、該導通接続部と押止部とを最短距離で結ぶ直線の圧電体の径方向の長さよりも長い曲折部を有している。 （もっと読む）

【課題】 負圧・正圧状態において流体を効率よく循環させる圧電ポンプおよびスターリング冷却庫を提供する。
【解決手段】 圧電ポンプ６は、複数の金属製部材を溶接して形成されるケーシング３２と、ケーシング３２内の空間を作動空間３４と背圧空間３５とに仕切る圧電素子３６と、ケーシング３２と圧電素子３６との間に設けられ、圧電素子３６を保持する樹脂製の内部部品３３Ａ，３３Ｂとを備える。内部部品３３Ａ，３３Ｂは、加工、成型が行ないやすい樹脂で構成される。内部部品３３Ａは、作動空間３４の外周を規定し、内部部品３３Ｂは、背圧空間３５の外周を規定する。内部部品３３Ａ，３３Ｂを対向させることにより、内部部品３３Ａ，３３Ｂ間に凹部が形成され、該凹部内に圧電素子３６が受け入れられて保持される。 （もっと読む）

【課題】 流量特性及び液密性に優れた圧電ポンプを得る。
【解決手段】 圧電振動子、該圧電振動子の間に可変容積室を形成するハウジング、及び該ハウジングに可変容積室に連通させて形成した一対の流路用開口を有する圧電ポンプにおいて、一対の流路用開口の間の中央位置で該一対の流路用開口を接続する連絡流路内に突出して該流路を分岐させる突出部を上記ハウジングと一体に設ける。また、ハウジングの取付座面との対向面には、一対の流路用開口の外周にＯリングを装着させる一対のＯリング溝と、該一対のＯリング溝の間であって上記突出部の内側に形成されたネジ溝とを備え、該突出部においてハウジングを取付座面にネジ固定する。 （もっと読む）

【課題】べローズポンプにおいて、コンパクトな簡便な構成でボールねじ等がぶれないようにし、パーティクルの発生を回避すること。
【解決手段】ボールねじ軸２５に固定された回り止め部材３４を一対の平行板３０、３１間に配置し、それの平行２辺３４Ａ、３４Ｂを一対の平行板３０、３１の各々に軸線方向に摺動可能に当接させ、平行板３０には軸線方向に長い案内スリット３７を形成し、回り止め部材３４には案内スリット３７に軸線方向に摺動可能に嵌合する凸部３８を形成する。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムシート間に簡単に圧力伝達媒体を注入可能とする注入装置の提供。
【解決手段】注入装置１の本体部２は、ダイアフラムシート間に注入される圧力伝達媒体を収容する収容部５と、この収容部５に連通し、外部に収容部５内の圧力伝達媒体を噴出するための噴出孔４ａと、を備え、またこの収容部５にピストン３が螺合して挿入されている。そして、ピストン３を軸周りに回転させて収容部５にピストン３を押込むことにより、収容部５内の圧力伝達媒体を、噴出孔４ａを通して噴出させるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 搭載対象の機器の小型化及びコストダウンに貢献できる小型機器搭載用ポンプモジュールを提供することにある。
【解決手段】 ポンプモジュール１は、電動モータ52と、ポンプ10と、伝動部60と、ファン（送気手段）70とを具備する。電動モータ52は回転軸52ａを有する。ポンプ10はモータ52の回転動力により駆動され液体を送出する。伝動部60は、ポンプ10と回転軸52ａとを連結する。気体を送出するファン70は回転軸52ａ又は伝動部60に連結した入力軸71ａを有して駆動される。このポンプモジュール１は、液体を送出するポンプ10と空気を送出するファン70とに対して電動モータ52を共有している。 （もっと読む）

【課題】 ダイアフラムシート間に圧力伝達媒体を注入する際に、手作業によることなく、効率良く圧力伝達媒体を注入可能とすること。
【解決手段】
流体圧室１６と、２枚のダイアフラムシート２０ａ，２０ｂの間に形成される空間とを連通するように注入路５０を設け、プランジャ２６の往復動により、注入路５０を通して流体圧室１６内の作動流体を、２枚のダイアフラムシート２０ａ，２０ｂの間に注入できるようにした。 （もっと読む）

本発明は、一般に、流体移動のための方法、およびこの方法に基づくマイクロ蠕動ポンプに関する。マイクロ蠕動ポンプは、以下：ａ）モーターおよび該モーターにより駆動される第１の力エフェクタを備える作動パーツ；ｂ）カートリッジ本体に取り付けられた弾性膜を備えるカートリッジパーツであって、ここで、該カートリッジ本体に取り付けられた該弾性膜が、該カートリッジ本体内に閉鎖空間を形成し、該カートリッジ本体は、少なくとも３つのチャンバを備え、かつ、該カートリッジはまた、該第１の力エフェクタと相互作用する第２の力エフェクタを備える、カートリッジパーツ；ｃ）該少なくとも３つのチャンバが、入口および出口を有し、該チャンバは、タンデムに封着接続されている、チャンバ；を備える。マイクロポンプの分野の先行技術と比べると、本発明のマイクロ蠕動ポンプは、同等な全体のサイズでより大きな作動力を生じ得る。
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【課題】 圧電体に対する電気配線の耐久性及び信頼性に優れ且つ配線ショートを防止でき、良好な振動作用が得られる圧電振動子及びその配線方法を得る。
【解決手段】 導電性金属板からなるシムの表裏の少なくとも一方に圧電体を積層し、このシムと圧電体の露出面との間に交互に正負電位を与えることにより振動する圧電振動子において、圧電体の露出面は、該露出面に導通接続されるリード導体を絶縁樹脂材料中に一部埋入したＦＰＣカバーで覆われており、このＦＰＣカバーには、リード導体の端部を圧電体の露出面側に露出させ、且つ、該露出させたリード導体の端部と圧電体の露出面との間に隙間を生じさせる開口が形成されていて、この開口に露出したリード導体の端部の一部と圧電体の露出面とが金属接合部材を介して接合されている。 （もっと読む）