【課題】作動トルク変動を低減することによって作動トルク変動に伴う不具合を解消する。
【解決手段】ボールねじ１１０はねじ軸２２を水平方向に配置した状態で両端をサポートユニット５０によって回転自在に且つ軸方向移動不能に支持されている。ナット２４は複数の循環部品２７をナット２４の上面に一列に配置した状態で相手部材である移動テーブル５１に固定されている。ねじ軸２２はその端部をモーター５２の出力軸に連結され、モーター５２によって回転させられる。このねじ軸２２の回転によってナット２４に固定され、かつ直動案内装置５３によって案内される移動テーブル５１がねじ軸２２の長手方向に沿って移動する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、軽量化を図った反動吸収装置を提供すること、あるいは軽量化を図った反動吸収装置を用い、更に処理時間を短い生産性或いは品質の高い半導体組立装置を提供することである。
【解決手段】本発明は、第１のボールネジによって所定方向に移動される負荷ユニットと、前記所定方向と逆の方向に反力を発生させる第２のボールネジと、前記第１のボールネジと前記第２のボールネジを駆動する駆動モータを有する駆動ユニットとを具備するカウンタ機構部を有する反動吸収装置において、一端側は前記第２のボールネジと結合するナットを具備し、他端側は前記カウンタ機構部と相対的に移動可能な装置ベースに固定されている反動吸収ユニットを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】送り装置の案内装置と送り駆動部の異常を損傷する前に検知できる送り装置を提供する。
【解決手段】送り装置１の送り台５に振動検知センサ８を設け、送り台５の走行方向に加振し、そのときの送り台５の減衰性を振動検知センサ８の出力から演算し測定する。送り台５の減衰性は案内装置と送りねじ７の相対運動部の潤滑剤の量の変動や接触力の変動により変化するので、測定した減衰性とあらかじめデータ化した正常時の減衰性を比較し、あらかじめ定めた所定の値以上に減衰性が変動した場合に案内部もしくは駆動部の異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】 ボールねじ装置の共振を良好に抑制する。
【解決手段】 ボールねじ装置は、ボールねじを回転させて移動体を移動させるためのモータ１１を備えている。モータ１１は、駆動制御装置により駆動制御される。駆動制御装置は、ボールねじの長さに応じてボールねじの長さに固有のボールねじ装置の共振周波数を決定する共振周波数決定部３３と、モータ１１を駆動制御するための駆動制御信号から決定された共振周波数に対応した周波数成分を除去するフィルタ部３７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】冷却効果をできるだけ高くし、過度な加工効率の低下や圧力損失の増加を招くことのないボールねじ装置を提供する。
【解決手段】ねじ軸１０と、複数の転動体３０を介してねじ軸１０に螺合するナット２０と、ナット２０を冷却する冷却手段４０とを備えたボールねじ装置であり、貫通穴２０ｂの長さ方向に延びる内挿部材５０が貫通穴２０ｂに配設される。 （もっと読む）

【課題】 ねじ山加工以外の煩雑な加工を行うことなく、かつ送りねじの寿命の低下を防止することが望まれている。
【解決手段】 ねじに螺合するナットが、ねじの材料よりもヤング率の小さい材料で形成されている。ねじとナットとの間の空間に潤滑剤が充填される。ねじとナットの、相互に対向するフランク面同士を近づけるように作用する力によってナットのねじ山が弾性変形し、ねじ及びナットの一方から他方に力が伝達される。 （もっと読む）

【課題】高ＤＮ値でボールねじを高速回転させても、舟底掬い部に摩耗が発生し難いボールねじ、及び運動案内装置を提供する。
【解決手段】ボールねじの循環部材２８に、循環路２５の内方に向かって徐徐に幅が狭くなる溝４１を有する舟底掬い部４２を設ける。ねじ軸２１のボール転走溝２１ａを転がるボール２３を舟底掬い部４２の溝４１の両側で抱え込みながら循環部材２８の循環路２５内に掬い上げる。そして、舟底掬い部４２に、ねじ軸２１のボール転走溝２１ａ内に突出するリップ部４３を設ける。リップ部４３は、基部４３ａと、先端部４３ｂと、を有する。基部４３ａの内周面は、舟底掬い部４２で掬い上げるボールに接触できるように、循環部材２８の循環路２５の内周面に対して、傾斜していないか又は先端に向かって５度未満外側に傾斜している。 （もっと読む）

【課題】 台形ねじは、フランク面同士が金属接触するため摺動摩擦抵抗が大きく、回転トルクを推進力に変換するねじ効率が非常に悪い。また、ボールねじは、周速の制限があるため、高速かつ大きな力で機械装置を動作させるのには適さない。そこで、ねじ効率が高く高速大荷重の装置においても採用可能な、油圧浮上式の台形ねじを提供する。
【解決手段】 台形ねじの各フランク面間をシール材によって密閉し、軸方向荷重に対応した油圧を供給して浮かせ、フランク面同士を確実に非接触とすることで、ねじ効率を極めて高くでき、高速大荷重の装置においても利用可能となる。 （もっと読む）

【課題】ハウジングに設けられたスリットの全領域をシールして、低発塵の効果が高く、クリーンルーム内で好適に利用できるアクチュエータ、特にアクチュエータのシール構造を提供する。
【解決手段】搭載部１１を有するキャリッジ１０と直動装置と、キャリッジ１０と直動装置を内装し直線往復移動可能な長さに形成したハウジングとを備え、ハウジングの一面に開口するスリットを貫通して搭載部がハウジングの外側に突出し、かつ、スリットの開口が搭載部の移動に伴って移動しつつシールされるアクチュエータのシール構造は、搭載部移動方向（図中両矢印）のスリット両端部と搭載部１１との間の領域、及び搭載部１１の移動方向と直交する側面１１１とスリットとの間の対向領域とからなるスリット開口の全領域を、搭載部１１の移動中においてシールする。 （もっと読む）

【課題】作動音，摩耗，トルク変動が生じにくく長寿命なボールねじを提供する。
【解決手段】ボールねじ１は、ねじ軸３と、ナット５と、ねじ軸３のねじ溝３ａ及びナット５のねじ溝５ａにより形成されるボール転動路７内に転動自在に装填された複数のボール９と、ボール９をボール転動路７の終点から始点へ戻し循環させるボール循環路１１と、を備えている。このボール循環路１１は、ナット５の円柱面状の内周面の一部を塑性加工により凹化させて形成した凹溝２０からなる。また、ボール循環路１１は、ボール転動路７に接続する両端部が直線状となっており、該両端部の間に位置する中央部が略Ｓ字状に湾曲した曲線状となっている。そして、ボール循環路１１の両端部の溝幅ｔａ、中央部の溝幅ｔｂ、及びボール９の直径Ｄａが、１．０５Ｄａ≦ｔａ≦１．１Ｄａ、１．０Ｄａ＜ｔｂ≦１．０９Ｄａ、ｔｂ＜０．９９ｔａなる３式を満足するようになっている。 （もっと読む）

【課題】ねじ軸を用いることなく簡素な機構で駆動案内部材の回転運動を駆動案内部材の長手方向に沿った従動円筒部材の直線移動に転換させるとともに、サーボ、インバータ等の高価な制御機器を用いることなく従動円筒部材の直線移動を可変速させる可変速動力伝達機構を提供すること。
【解決手段】駆動シャフト１１１と不等ピッチ円筒状コイル体１１２とを備えた駆動案内部材１１０と、この不等ピッチ円筒状コイル体１１２のコイル線に対して挟持状態で転動する２個のボール１３２を保持してなるボール保持手段１３０を介在させた状態で駆動案内部材１１０の外周面に嵌挿してなる従動円筒部材１２０とを備えた可変速動力伝達機構１００。 （もっと読む）

【課題】ナット内部に発生した塵埃を外部に極力出さないようにして、従来のボールねじよりも高い発塵低減効果を得る。
【解決手段】ボールねじを、ダブルナット１０と、ねじ軸２と、ボール３と、リング状の非接触シール４と、エンドデフレクタ５と、環状のスペーサ６とで構成する。ダブルナット１０は、第１のナット１と第２のナット１Ａが間座９を介して連結されたものである。ボール戻し経路を各ナット１，１Ａの内部に形成し、ダブルナット１０の軸方向両端にリング状の非接触シール４を配置する。間座９に吸引穴７を形成し、給脂穴８を第１のナット１のフランジ１１に形成する。 （もっと読む）

【課題】手動で容易にブレーキを解除することができ、しかも構成が簡単な緊急解除機構を備えた電動式ケーブル駆動装置を提供する。
【解決手段】モータＭと、回転部材７１と、前記回転部材と螺合して、回転部材の回転を直進運動に変換する直進部材２６と、前記直進部材に連結されるケーブル１５と、外部操作でそのケーブルの操作力を開放するための緊急解除機構８１とを備えており、その緊急解除機構が、前記回転部材を通常状態では軸方向に移動しないように拘束すると共に、異常時には外部操作で拘束を解除する拘束機構を備えており、その拘束機構が、回転部材の端部と対向するように配置され、その端部が拘束機構に向かって押圧されるときに受け入れて拘束し、逆方向の加圧に対しては、外部操作で解除するまで拘束するキャッチ機構を備えている電動式のケーブル駆動装置８０。 （もっと読む）

【課題】回転規制部材の偏摩耗を抑えることができるとともに、振動や騒音を抑制することができる電動アクチュエータを提供する。
【解決手段】ピストン３５における大径部３５ａの外周面には装着凹部４１が形成されるとともに、装着凹部４１内には、第１のＯリング４２及び第１のウェアリング４３が装着されている。そして、第１のＯリング４２における径方向への付勢力により、第１のウェアリング４３の外周面４３ｂ全体がボディ１１の内周面に圧接される。 （もっと読む）

【課題】直線運動する出力部材に横向きのモーメントが作用しても、出力部材の直線運動をスムーズに案内できるようにすることと、電動モータが故障したり、電気の供給が止まったりしても、直動アクチュエータの押圧力を解除できるようにすることである。
【解決手段】遊星ローラ７を支持するキャリヤ６の軸方向への移動を規制して、ハウジング１の円筒部１ａの内径面に軸方向へスライド可能に内嵌された外輪部材５を、連結される被駆動物にキー２２で回り止めし、外輪部材５を直線運動する出力部材とするとともに、回転軸４の端面に六角レンチ用の六角穴４ａを設けて、回転軸４を手動で回転できるようにした。 （もっと読む）

【課題】設置の自由度を向上し、ネジ軸が撓んだり振動したりすることを防止し、往復移動ストロークを長くすることができるとともに、往復動ナットの円滑な移動を可能とし、大型化やコストの上昇を抑制する直線作動装置を提供すること。
【解決手段】往復動ナット１２０の係合部１３０が、ネジ軸１１０の外周に形成された螺旋状のネジ溝部に係合し、ネジ軸１１０の回転によって往復動ナット１２０が往復動可能な直線作動装置１００において、往復動ナット１２０が、ネジ軸１１０を覆わない開放部を軸方向の全長にわたって有すること。 （もっと読む）

【課題】何らかの異常により、スプライン付きボールねじ装置の両ナット間に回転差が発生しようとしてもボールねじ軸の軸方向移動を抑制させる。
【解決手段】一つの軸の同一部位外周に軸方向直線状のスプライン溝とらせん状のボールねじ溝とを有するボールねじ軸と、ボールねじ軸のスプライン溝と対向して内周に軸方向直線状のスプライン溝を有するスプラインナットと、ボールねじ軸のボールねじ溝と対向して内周にらせん状のボールねじ溝を有するボールねじナットと、ボールねじ軸及びスプラインナットのスプライン溝間とボールねじ軸及びボールねじナットのボールねじ溝間とに多数の転動体が並んで配設されるスプライン付きボールねじ装置であり、スプラインナットとボールねじナットが軸方向に近接して配置され、異常発生時にスプラインナットとボールねじナット間の相対回転を抑制するブレーキ機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】モータの出力軸及び該出力軸に従動する動力伝達手段入力軸の回転方向の剛性が高く、モータの制御帯域を高くすることができるモータ用カップリングを提供する。
【解決手段】モータ用カップリング１は、ステータ１１及び該ステータ１１に対して回転するロータ１２を有するモータ１０のロータ１２と、該ロータ１２の回転動力を伝達する動力伝達手段２０に設けられた入力軸２１とを連結する。モータ用カップリング１は、円柱形状の軸体２と固定部材３とを有する。軸体２は、入力軸２１に連結され、該入力軸２１の径よりも小さい径をなす小径部が形成される。固定部材３は、軸体２をロータ１２に固定する。 （もっと読む）

【課題】直線運動する出力部材に横向きのモーメントが作用しても、出力部材の直線運動をスムーズに案内できるようにすることと、電動式直動アクチュエータ全体の軸方向長さ寸法を短くすることである。
【解決手段】遊星ローラ９を支持するキャリヤ８の軸方向への移動を規制して、ハウジング１の円筒部１ａの内径面に軸方向へスライド可能に内嵌された外輪部材７を、連結される被駆動物にキー２２で回り止めし、外輪部材７を直線運動する出力部材とするとともに、電動モータ４のロータ５を回転軸３に円盤部５ａで結合し、円盤部５ａの外周から外輪部材７の外径側へ延びるロータ５の円筒部５ｂと半径方向で対向するように、電動モータ４のステータ６を外輪部材７の外径側に配置した。 （もっと読む）