【課題】 半導体製造工程から排出される排ガスに含まれる有害成分を、火炎により熱分解する装置において、排ガスが高濃度の腐食性ガスを含む場合であっても、あるいは火炎による熱分解で高濃度の腐食性ガスが生成する場合であっても、目的の有害成分を効率よく分解することが可能で、燃焼室の構成が高温の腐食性ガスに対する優れた耐腐食性を有する熱分解装置を提供する。
【解決手段】 有害成分を熱分解する燃焼室、燃料ガスと空気を含むガスを燃焼室へ噴出するノズル、排ガスを含むガスを燃焼室へ噴出するノズルを備え、該燃焼室の側壁が、燃焼室側の表面にフッ素樹脂が被覆された基材で構成され、該側壁の外周全体にわたり冷媒を流通するための流路が設けられてなる熱分解装置とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ロータリーキルン内の酸素濃度が所望の酸素濃度に制御される焼却装置及び燃焼制御方法を提供することである。
【解決手段】焼却装置１Ａは、ロータリーキルン１１、ストーカ１３、再燃焼室１６、ロータリーキルン１１の前部１１ａに接続された混合ガス流路３４、排ガスファン２３又は２４、押込ファン２１、酸素濃度制御手段８１を具備する。ロータリーキルン１１は、焼却物を熱分解して熱分解ガスを発生させる。ストーカ１３は、焼却物の熱分解残渣を燃焼する。再燃焼室１６は、二次燃焼用空気を用いて熱分解ガスを燃焼する。排ガスファン２３又は２４は、再燃焼室１６からの排ガスを循環排ガスとして混合ガス流路３４に送る。押込ファン２１は、混合用空気を混合ガス流路３４に送る。酸素濃度制御手段８１は、混合ガス流路３４からロータリーキルン１１に流入する混合用空気と循環排ガスの混合ガスの酸素濃度を制御する。 （もっと読む）

【課題】常に正確で安定した揮発性有機化合物の処理能力の評価を行うことができるとともに、構成の簡素化を図った溶剤ガス処理装置を提供する。
【解決手段】気化管１２１で気化した溶剤ガスを噴出する噴出口を有するノズル孔１２９と、溶剤ガスと混合する希釈気体を供給するブロアＡ１３６と、加熱した気化管にポンプにより溶剤液を供給し加熱気化させて溶剤ガスとするとともに、ノズル孔から噴出した溶剤ガスにブロアＡ１３６より供給した希釈気体を混合させて希釈溶剤ガスを発生する溶剤ガス発生装置１００と、被処理気体を処理する溶剤ガス処理装置本体２００とを備え、希釈溶剤ガスの供給による溶剤ガス処理装置本体の溶剤ガスの処理能力の評価運転と、被処理気体の供給による被処理気体の処理運転を行うことを可能とし、被処理気体を前記ブロアＡ１３６により溶剤ガス処理装置本体へ供給する。 （もっと読む）

本発明は、純酸素を用いて二酸化炭素を回収するための方法及び装置に係り、可燃性不純物を含んで排出される廃ガスを、純酸素を用いる燃焼システムを活用して、高純度の二酸化炭素を生産して回収するための方法及び装置に関するものである。本発明は、可燃性不純物が混合された排出ガス中のＶＯＣを燃焼させる燃焼装置と、燃焼装置の内部温度の昇温のための外部空気吸込送風機及びバーナと、排出ガスの圧力を低下させるための減圧バルブと、排出ガスに純酸素を混合させるためのミキサーと、Ｏ_２測定器及びＯ_２供給装置と、工程排出ガス中のＶＯＣの濃度を測定するためのＬＥＬ（Ｌｏｗ Ｅｘｐｌｏｓｉｖｅ Ｌｉｍｉｔ；最低爆発限界）測定器と、補助燃料供給装置と、リサイクル送風機及び燃焼されたガス中の水分を除去し、また流入廃ガスを加熱するための熱交換器と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】不要な化学物質の完全燃焼を増強し、フレアスタックの運転中の煤煙の生成を低減する。
【解決手段】高圧エアーは、フレア端からの所定の距離に置かれたフレアスタック内部のリングにマウントされたノズルから高速度で移動するジェットの形で放出され、ジェットの下流のスタック壁の部分は大気を入れるためにエアー通路により穿孔される。高速度のエアーの移動は、火炎領域へ上昇するスタックに流入する大気からの多くのエアーを誘導し、それにより火炎を上げて火炎領域でのエアー及びガスの乱流による混合を増強する。完全燃焼を保証する適切な化学量論的酸素量は、燃料ガス及び/又は不要な化学物質の流量変化の測定により判定され、フレアリング端に所定量の加圧されたエアー及び/又は大気を入れるために流量制御弁の調節を行う。 （もっと読む）

【課題】専用のパイロットバーナ用ガス燃料を不要とし、さらに前記排出可燃性ガスを確実に着火できる信頼性の高いフレアチップを提供する。
【解決手段】フレアスタック先端の管状のフレアチップ本体１の上端側部に、当該フレアチップ本体１の開口部と自体の開口部を並べて筒状のパイロットバーナ２を設け、前記フレアチップ本体１の側部にパイロットガスパイプ３を設け、当該パイロットガスパイプ３の一方の開口部を有する下端部３ａを前記フレアチップ本体１内に挿入し、当該フレアチップ本体１内に前記パイロットガスパイプ３の一方の開口部を可燃性ガスの流れに対向して設け、前記パイロットガスパイプ３の他方の開口部を有する他端部３ｂを、前記パイロットバーナ２内に導入した。 （もっと読む）

燃焼室における燃焼プロセスから生じる排気ガスを浄化する排気ガス浄化装置が記載される。排気ガス浄化装置は、排気ガス流路であって、燃焼室と流体連通して配置されており、該排気ガス流路を通って排気ガスが流れる排気ガス流路と、低温炎ガスを供給する低温炎ガス供給部とを備える。低温炎ガス供給部は、低温炎ガスを排気ガス流路内に流れている排気ガスに噴射することで、排気ガス中に存在する粒子状物質、ＮＯ_ｘ及び炭化水素のような不純物を少なくとも部分的に除去することができるように、排気ガス流路と流体連通して配置される。排気ガスを浄化する方法も記載される。
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【課題】易重合性物質を燃焼させた後のガスを排気ガスに送るための送風機として耐熱性の高いものを用いなくてもよく、エネルギー効率に優れた排気ガス処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の排気ガス処理装置１は、燃焼触媒が充填され、易重合性物質を含有する排気ガスおよび支燃性ガスを含む混合ガスが導入されて易重合性物質を燃焼する固定床断熱型燃焼反応器１０と、固定床断熱型燃焼反応器１０から排出されたガスを冷却する冷却器２０と、冷却器２０から排出されたガスの少なくとも一部を送風する送風機３０と、送風機３０により送風されたガスの少なくとも一部を、固定床断熱型燃焼反応器１０から排出されたガスと、冷却器２０より上流で熱交換して加熱する熱交換器４０と、熱交換器４０によって加熱したガスを固定床断熱型燃焼反応器１０より上流の配管に返送する返送用配管５８とを具備する。 （もっと読む）

可燃性流体流に点火するための種火装置１０が開示される。この種火装置は、燃料と空気／酸素の混合物を含む燃料ガス１４を種火装置内に受け入れるための注入口１２を有する。点火手段１６は、例えば火花点火器や点火用電極であり、燃料ガス１４に点火するために設けられる。略環状の導管１８は、環状部に沿って開口し、円周方向の開口２０を形成する。導管１８は注入口から前記円周方向の開口まで燃料ガスを輸送する。前記円周方向の開口２０から流出した燃料ガスが点火されると、連続した環状の種火が前記導管の半径方向に向けて生成される。
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【課題】ＶＯＣを連続的に処理する脱臭装置では、ＶＯＣを供給する排気ダクトの静圧を計測してＶＯＣ含有ガスの処理量を決めるので、静圧調整器は２重化され安全が図られているが、これらを司る制御部が故障した場合は、人手に頼ることなく，信頼性を高めて，自動的に運転制御できる脱臭装置および安全停止方法を提供する。
【解決手段】制御装置１０は２つの制御部を有し、両方共が故障をした場合に、燃焼炉１４をダウンさせ、一方で予備ダンパ３０、３１を開け、送風機１６を駆動してＶＯＣ発生源７０のＶＯＣによる充満を回避する。 （もっと読む）

【課題】ＶＯＣを連続的に処理する脱臭装置では、排気ダクトの静圧を計測してＶＯＣ含有ガスの処理量を決めるので、排気ダクトの静圧は重要な観測値となる。そのため静圧調整装置は２重化され安全が図られているが、双方の静圧調節器が故障した場合は、正確でない静圧に基づいて脱臭装置が運転されるおそれがあり、製造装置の連続運転と安全性を担保できなくなる。
【解決手段】静圧調節器（１２）からの異常信号Ｓｓを受信した制御装置（１０）は、送風ファン（１６、１８）およびダンパ（３０〜３５）を適宜操作し、予め決められた固定運転状態に設定する。 （もっと読む）

【課題】 一の燃焼室で燃料及び排煙の完全焼尽を可能とする発熱装置の提供。
【解決手段】 ガス化炉、燃焼炉、及び排気筒から構成され、前記ガス化炉は、上位より貯留部、乾留部、及び燃焼部を一連の管路状に備え、当該貯留部は、上端開口部を開閉する封鎖手段を具備し、当該乾留部は、周囲を囲む空気供給室を具備し、当該燃焼部は、前記空気供給室の下端から突出して前記燃焼炉に連通し、当該燃焼部の下端部は、当該燃焼部に充填された燃料を下支えする火格子を具備し、当該乾留部と空気供給室とを仕切る仕切壁は、当該仕切壁を貫通する給気孔を備え、前記燃焼炉は、前記ガス化炉の乾留部及び燃焼部を取り巻いて存在し、前記排気筒は、当該燃焼炉の燃焼室に連通する発熱装置。 （もっと読む）

【課題】産業用設備及び発電設備から出る高流量で低濃度の排出物内の揮発性有機化合物を分解する再生式熱酸化装置において、熱交換コラムの切替の際の処理ガスの洩れによる効率低下を抑制できる再生式熱酸化装置を提供する。
【解決手段】再生式熱酸化装置内で使用するのに適している、加熱されたシールガスによる弁と、切替弁を含む酸化装置である。弁は、優れたシール特性を示し、磨耗を最小にする。弁は、再生プロセスから出る高温のガスを利用して、弁をシールするためのガスを加熱し、シールエアは、再生プロセスからの高温の排気ガスと接触するように配置されている第１及び第２の熱交換器を通って流れる。 （もっと読む）

【課題】所定ゾーンから排出された排気中の揮発性有機化合物を効率的に燃焼除去するとともに、揮発性有機化合物除去後の浄化空気をリサイクルすることが可能な排気リサイクルシステムを提供すること。
【解決手段】揮発性有機化合物を含む排気を排出する所定ゾーンと、前記所定ゾーンから排出された排気中の揮発性有機化合物を吸着する吸着装置２００と、前記吸着装置２００に吸着された揮発性有機化合物を、前記吸着装置２００から離脱させて燃焼装置の燃焼燃料とするとともに、前記吸着装置２００を通過して浄化された浄化空気を前記所定ゾーンへ再び導く浄化空気リサイクル装置と、を備えることを特徴とする排気リサイクルシステムを提供する。 （もっと読む）

【課題】所定ゾーンから排出された排気を燃焼浄化することにより得られた浄化空気及び高温ガスの導入量を制御することが可能な静圧制御装置を提供すること。
【解決手段】所定ゾーンから排出された排気を燃焼浄化することにより得られた浄化空気及び高温ガスが導入される静圧調整室８５０と、静圧調整室８５０に設けられ、静圧調整室８５０内に新鮮な空気を供給する新鮮空気供給機構と、静圧調整室８５０に設けられ、静圧調整室８５０内の高温ガス濃度を計測する高温ガス濃度センサと、高温ガス濃度センサにより計測される高温ガス濃度に基づいて、新鮮空気供給機構を駆動させて静圧調整室８５０内の圧力を調整することにより、静圧調整室８５０内に導入される浄化空気量及び高温ガス量を制御する制御機構と、を備える。 （もっと読む）

【課題】クリーンな排気を実現しつつ暖気に要する時間と燃料を節約することができる乾留ガス化焼却処理装置および焼却処理方法を提供する。
【解決手段】廃棄物Ａの着火に先立って誘引ファン３１により燃焼炉３内を誘引すると共に燃焼装置２５で燃料を燃焼させ、燃焼炉３内の温度をダイオキシン類の熱分解が可能とされる第１温度以上に暖気する暖気運転時に、ゲートダンパ２６により燃焼炉３内から排出される燃焼排気の排出流量を燃焼炉３内における一酸化炭素の発生量が閾値以下となる範囲で最も制限した第１流量に制御する。 （もっと読む）

【課題】廃棄物燃焼室で生じる燃焼ガスを利用して、被燃焼物を燃焼させる第２の燃焼室を備えた燃焼装置を提供する。
【解決手段】燃焼装置Ａは、廃棄物を燃焼させる廃棄物燃焼室１と、この廃棄物燃焼室１からの燃焼ガスを外気へ排気する燃焼ガス排気通路２と、この燃焼ガス排気通路２の上流部位２ａ下流部位２ｂとを接続して燃焼ガス排気通路２をバイパスするバイパス通路３と、このバイパス通路３の中途に設けられると共に、被燃焼物を燃焼させる第２の燃焼室４と、バイパス通路３に設けられると共に、廃棄物燃焼室１からの燃焼ガスを第２の燃焼室４への導入を制御する第１の開閉部材１０と、バイパス通路３に設けられると共に、第２の燃焼室４の燃焼ガスを燃焼ガス排気通路２への排出を制御する第２の開閉部材２０と、第２の燃焼室４は、被燃焼物の受け入れ及び取り出しを行う搬出入部を備えている。 （もっと読む）

【課題】燃焼振動を防止して被処理ガスを安定的に燃焼させることができるグランドフレアーおよびその燃焼制御方法を提供する。
【解決手段】燃焼筒２の下部に被処理ガスを導入する被処理ガス導入路４と燃焼器５を有し、燃焼筒の底部から燃焼用空気を供給し、被処理ガスを燃焼処理するグランドフレアー１において、燃焼器５の下方に燃焼用空気を供給する第一空気供給路１５と、燃焼器５の上方に燃焼用空気を供給する第二空気供給路１８と、被処理ガスを燃焼させるために必要な空気量を計算する空気量計算手段と、空気量計算手段によって計算された空気量に基づき、第一空気供給路１５および第二空気供給路１８から燃焼用空気を分割供給する空気供給量制御手段とを備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】冷却すると凝縮して粘着性を呈する成分を含む高温のガスが流通するガス通路に配設しても常に円滑に開閉できるダンパ装置を提供する。
【解決手段】ガス通路２１に配設されるダンパ装置２０であって、ガス通路２１又はガス通路２１と外部を遮断する遮断ダンパ２２と、遮断ダンパ２２よりガスの流通方向の上手側又はガス通路２１に臨む側に空間２４をあけて配置され、任意の開度で開閉する制御ダンパ２３と、遮断ダンパ２２と制御ダンパ２３の間の空間２４に高温ガスを送給する高温ガス送給手段２５とを備え、制御ダンパ２３を高温状態に維持されるようにした。 （もっと読む）

【課題】ダンパ本体を上昇させて処理済みの可燃性有害ガスを排出孔から排出する際、可燃性有害ガスが排出孔から排出する際の圧力損失を可及的に小さくすることが可能な蓄熱燃焼式酸化装置のダンパ装置を提供することにある。
【解決手段】悪臭成分あるいは揮発性有機化合物などを含有する可燃性有害ガスを直接燃焼あるいは触媒燃焼により無害化し、前記可燃性有害ガスの処理によって発生した熱を回収して蓄積し、かつこの蓄熱を未処理の前記可燃性有害ガスの予備加熱に再利用するようした蓄熱燃焼式酸化装置１に形成された、処理済みの前記可燃性有害ガスを排出する排出孔４を、下面が円形状を成しかつ昇降するダンパ本体６によって開閉する蓄熱燃焼式酸化装置のダンパ装置３において、前記ダンパ本体６の上面を円錐形状または半球形状に構成したことを特徴とする。 （もっと読む）