【課題】サイズが小さな場合であっても、潤滑系流体を過度に加熱することなく潤滑系流体の温度を速やかに上げることが可能なヒーターを提供する。
【解決手段】セラミックスを主成分として通電により発熱する隔壁７と隔壁７に区画形成されて一方の端部９ａから他方の端部９ｂまで貫通して潤滑系流体の流路となる複数のセル５とを有するハニカム構造部６と、ハニカム構造部６に接触してハニカム構造部６の隔壁７を通電させるための陽極４ａおよび陰極４ｂとなる一対の電極４と、を備えるヒーター１。 （もっと読む）

【課題】加熱効率を向上させることができるとともに、十分な強度を得られるヒータ構造を提供すること。
【解決手段】外気を吸引して吐出するエアポンプと、上記エアポンプに設置され該エアポンプを加熱する発熱装置とを備え、上記発熱装置が、一対の電極層を備えた正特性サーミスタ発熱素子と、第一の電極端子と、第二の電極端子と、１面を開口させた箱形状の絶縁ケースからなる発熱体と、モールドとからなり、上記絶縁ケースの開口面が、上記エアポンプに接する面となり、上記エアポンプに接する面に、保護シートが配置されているとともに、上記発熱装置におけるエアポンプに接する面のモールド厚さと保護シート厚さの和が、上記エアポンプに接する面に対向する面のモールド厚さより薄い、内燃機関の二次空気供給装置に使用可能なヒータ構造。 （もっと読む）

【課題】 電気ヒーター組み付けの作業性を改善すること、複数の発熱体を近接配置する場合などに、発熱体を所望の状態で近接配置できること、複数の発熱体から発せられる熱の干渉を受けることなく、複数の発熱体を有する電気ヒーターの過熱状態を個別に管理することができること。
【解決手段】 温度ヒューズ１２を取り付け部材１３を介してヒーター端子１１に装着する。また、温度ヒューズ１２を遮熱性の被覆部材１６に内蔵し、複数の発熱体から発せられる熱の干渉を遮断する。 （もっと読む）

【課題】 常温のみならず高温においても体積抵抗率を高い値に維持することができる窒化アルミニウム焼結体、及び該窒化アルミニウム焼結体を少なくとも部分的に用いた半導体製造装置用又は検査装置用のウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 カーボンナノチューブを内部に含んだ窒化アルミニウム粒子からなる窒化アルミニウム焼結体であって、その常温及び５００℃における体積抵抗率がそれぞれ１.０×１０^１３Ω・ｃｍ以上及び１.０×１０^８Ω・ｃｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】従来技術の欠点を解消すること。
【解決手段】チャンバ内には導電性材料からなる少なくとも４つの加熱素子または加熱素子の群が配置されており、各加熱素子または加熱素子の群は、電気エネルギー網の別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能なサブシステムに接続されており、かつ直接的な電流通過によって加熱可能であり、別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能な加熱素子または別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能な加熱素子の群は、温度、加熱電力、電流、電圧、抵抗またはこの装置により影響される加熱素子のプロセス量からなる群からのパラメタの少なくとも１つの同じ値または異なる値に閉ループおよび／または開ループ制御可能であり、少なくとも４つの閉ループおよび／または開ループ制御可能なサブシステムがアースに対してガルバニック絶縁されている、腐食性ガスの温度処理装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】反応器の給電において、封止部を破壊する漏れ電流ないしはアークを検出して早期に遮断できるようにすると同時に、導電性の汚染物があっても、次の分解および洗浄を行うまでの反応器の動作時間を可能な限り長く維持できるようにすること。
【解決手段】電気エネルギー網の絶縁不良を監視し、所定の絶縁抵抗値を下回ることにより、電気エネルギー供給の遮断がトリガされる、ただし、前記電気エネルギー供給の遮断を行うスイッチング閾値は、前記封止部の幾何学的形状と、該封止部の材料と、給電電圧と、該封止部に流れる最大可能なクリープ電流によってトリガされ前記遮断直前に該封止部に入力可能な最大電気エネルギーとから成る群のうち、少なくとも１つのパラメータを考慮して求める。 （もっと読む）

【課題】スペクトル幅が狭い電磁波を放射する電磁波放射装置を提供する。
【解決手段】電磁波放射体が加熱機構に加熱され、電磁波放射体の放射面から電磁波が放射される。放射面には周期構造が露出する。周期構造においては、単位構造が周期方向に周期的に配列される。単位構造の各々は、負誘電率部及び正誘電率部を備える。負誘電率部の複素比誘電率の実部は負である。正誘電率部の複素比誘電率の実部は正である。負誘電率部及び正誘電率部は周期方向に交互に配列される。正誘電率部の各々により共振器が形成される。周期構造の周期は、当該共振器の共鳴周波数の電磁波の放射面における実効的な波長の自然数倍である。 （もっと読む）

【課題】還元性雰囲気において好適に使用することのできるセラミックスヒーターを提供すること。
【解決手段】絶縁性セラミックス部材からなる基材の上に、順次、両端に端子部を有する導電性部材からなるヒーターパターン及び絶縁性セラミックス部材からなる被覆層を有し、前記端子部には前記絶縁性セラミックス部材からなる被覆層が存在せず、電源に連結するリード線が該端子部に接続されたセラミックスヒーター。前記ヒーターの端子部は導電性保護膜によって覆われており、該ヒーターの端子部と前記リード線が、伸展性を有する導電性材料からなるワッシャーを介して固着接続されてなる点が特徴である。 （もっと読む）

【課題】機械的強度が高く、かつ、通電発熱性を有し、抵抗発熱体として好適に使用可能であること。
【解決手段】多孔質焼結体１は、アルミニウム粉２と、黒鉛粉３と、陶磁器用の粘土粉４と、木粉５と、これら原料が比重の違いによって移動が生じない量の水及び／またはバインダ６とを混合してなる焼結原料混合物７を圧力を加えて成形し、１０００℃〜１２００℃の範囲内で焼結して５％〜５０％の範囲内の空隙を有する成型体としてなる通電によって成型体が発熱するものである。 （もっと読む）

【課題】表皮材が皮革製であっても、速熱感及び温熱感を得ることができるヒータ構造体を提供する。
【解決手段】本発明のヒータ構造体１は、皮革製の表皮材を複数に裂いて作製した第１表皮材片１１と、皮革製の表皮材を複数に裂いて作製した第２表皮材片１２と、第１表皮材片１１と第２表皮材片１２の間に挿入されている発熱体２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 搭載されるウエハに対して温度分布を均一にすることができ、かつ剛性に優れたウエハ加熱用ヒータを提供する。
【解決手段】 ウエハを載置する載置面１ａを備えたウエハ載置台１と、ウエハ載置台１を加熱する発熱体２とを有するウエハ加熱用ヒータ１０であって、ウエハ載置台１は、熱伝導率が２５０Ｗ／ｍＫ以上、ヤング率が２００ＧＰａ以上の金属−セラミックス複合体からなる。この金属−セラミックス複合体は、Ｍｇ又はＭｇ合金からなる金属と、ＳｉＣからなるセラミックスとの複合体であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単でありながら封止部の過熱を効果的に防止できるランプ及び加熱装置を提供する。
【解決手段】コイル部１４を有するフィラメント１３が収容された管部１１と、前記フィラメント１３の末端に接続された金属箔１６が封止された封止部１２と、前記管部１１の外表面１１ａの一部を覆う過熱防止部３０と、を備えたランプ１とする。 （もっと読む）

【課題】ヒーターケースの端壁とボビンとの間に絶縁部材を介在させなくとも温度センサーを前記端壁と非接触の状態に取り付けることが可能なカートリッジヒーターを得る。
【解決手段】ヒーター線５と温度センサー６とを取り付けてヒーターケース７の内部に収容されるボビン４を、前記ヒーター線５が巻かれたボビン本体１０と、該ボビン本体１０と別体に形成されて該ボビン本体１０の先端に取り付けられたボビン受け１１とにより形成し、該ボビン受け１１に、仕切壁１６で前記ボビン本体の先端から隔てられた収容部１４を形成し、該収容部１４内に前記温度センサー６の温度検出部６ａを非突出状態に収容する。 （もっと読む）

【課題】 耐久性の高いセラミックヒータ及びヘアアイロンを提供する。
【解決手段】 本発明のセラミックヒータは、セラミック基体２２と、セラミック基体２２中に内蔵された発熱抵抗体と、セラミック基体２２に設けられた開口部２８から露出し、発熱抵抗体に電気的に接続された取出電極２７と、取出電極２７の表面にロウ材３５によりロウ付けされたリード部材２４とを備え、ロウ材３５が３層以上の金属層からなる層構造を有することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】熱電導率が異なる材料を複合化することにより、ヒータの温度分布を改善するシャフト付きヒータユニットを提供する。
【解決手段】本発明は、被加熱物を載置して加熱するヒータプレート１と、ヒータプレート１を支持するシャフト部２を有するシャフト付きヒータユニット１００であって、シャフト部２は、シャフト部２を構成する材料粉末を、加熱した圧縮ガスにより該材料粉末の融点より低い温度でヒータプレート１に吹き付けることにより形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】布帛の側端部が湾曲していても、側端部の湾曲形状に沿って接続させることができる接続部材を提供する。
【解決手段】導電糸１（銅線等）を有する布帛１００に接続される帯状の接続部材２であって、導電糸１と導通させるための帯状の接続部２１と、布帛１００の側端部に溶着させるための帯状の溶着部２２と、を有し、接続部２１と、溶着部２２とは、それぞれの一長辺同士が合わさる形態で配されており、溶着部２２は接続部２１より熱収縮率が高い。また、接続部材２は、織物からなり、接続部２１は、経糸として導電線、緯糸として非導電糸を用いて織製され、溶着部２２は、経糸及び緯糸ともに非導電糸を用いて織製されている。 （もっと読む）

【課題】セラミック原料を焼結してなる基板に低温焼成のために希土類元素でなる発熱線を印刷し、これにグリーンシートを密着させて接合した二枚のシートを大気中で低温焼成工程で焼結することで、優れた物性を持つセラミック発熱体をより容易に製造することである。
【解決手段】セラミック原料を焼結してセラミック基板１０を製作し、前記セラミック基板１０に通電用貫通孔１２を形成する第１段階；前記セラミック基板１０に低温焼成用ペーストをスクリーン印刷して発熱線１４を形成する第２段階；前記貫通孔１２に対して銀ペーストをスクリーン印刷して電極１６を形成する第３段階；前記セラミック基板１０の発熱線１４形成面に対してグリーンシート１８を加熱及び加圧して接合する第４段階；接合された前記セラミック基板１０と前記グリーンシート１８を低温焼成して基板本体２０を製作する第５段階；及び前記基板本体２０の電極１６に溶加剤を介してリードワイヤ２２を大気中に露出された状態でろう付けする第６段階を含む。 （もっと読む）

【課題】ガスを効率良く加熱することができ、ガス分解装置に好適なガス加熱装置及びこれを用いたガス分解装置を提供する。
【解決手段】ガスが流動させられる容器１５９内に、多孔質発熱素子１２０を充填して構成されるガス加熱装置１００であって、上記多孔質発熱素子は、連続気孔を有するとともに通電することにより発熱する多孔質発熱体から構成された発熱部１０２と、連続気孔を有するとともに上記発熱部に給電できる多孔質導電体１０３ａ．１０４ａから構成された導電部１０３，１０４とを備え、少なくとも上記発熱部を、複数の多孔質発熱体１０２を組み合わせて上記容器内の充填空間に充填することにより構成されている。 （もっと読む）

【課題】スケールの生成付着を抑制でき、高寿命の熱交換器を提供する。
【解決手段】熱交換器１０は、下部のヘッダ部４５はヘッダ部主流路４５ａと、流路断面積が徐々に狭くなるヘッダ部絞り流路４５ｂが流路スペース２５に開口された構成にすることによって、ヘッダ部絞り流路４５ｂでの流速が先に行くほど次第に速くなり、気泡が途中に取り残されることがなくスムーズに流出され、泡により流れが偏流して、伝熱面の一様な熱交換が阻害されることを防止でき、安定した熱交換が可能で高寿命の熱交換器を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】４層以上で構成される赤外線放射素子と比較して、放射効率は維持しながらも薄型化を可能にし、熱容量を低減させて、応答性を向上させ、かつ消費電力を低減させる。
【解決手段】赤外線を放射する板状の赤外線放射体１の周部が支持基板２により支持される。赤外線放射体１は、目的波長の赤外線に対して透明かつ熱絶縁性を有し目的波長の赤外線に対する光路長が当該赤外線の４分の１波長の奇数倍となる厚み寸法に形成された熱絶縁層１１と、熱絶縁層１１の一方の面に形成され通電による温度上昇で赤外線を放射する機能と赤外線を透過させる機能とを有する放射層１２と、熱絶縁層１１の他方の面に形成され目的波長の赤外線を反射する反射層１３とからなる。支持基板２は、放射層１２と反射層１３とを空間に露出させるように熱絶縁層１１の周部を支持する。 （もっと読む）