【課題】グラファイトをＰＢＮなどで被覆したときにこれら異種材料の熱膨張差に起因する破損を防止し、剛性と変形許容性のバランスが良好なヒータ構造を提供する。
【解決手段】ヒータ３２は、グラファイトからなる線状ヒータエレメント３３が両端子３４ａ，３４ｂ間で所定のヒータパターンを形成するヒータ本体３５と、ヒータエレメント同士を断続的・絶縁的に接続するＰＢＮリブ３７と、ヒータパターンの両端子にそれぞれ接続される給電ポスト３８ａ，３８ｂとを有する。このヒータは保形性を有しつつある程度の変形を許容するので、高温条件で使用されたときであっても、グラファイトとＰＢＮリブの熱膨張係数が異なることによる破断や破損を防止する。また、特にポスト型構造とした場合にポストで自立させたときにヒータ本体が自重で撓むことを防止し、ウエハの温度分布を適正に維持することができる。 （もっと読む）

【課題】加熱−冷却を繰り返すときのアルミニウムシースとリード線の端部との間に熱応力が生じ難くし、これにより接続部分の早期の破断、断線を防止する。
【解決手段】シースヒータのリード線接続端子は、シースヒータ３の発熱線１０の端部をリード線１２に接続したものであって、アルミニウムの細線によりリード線１２を構成し、このリード線１２の端部にニッケルメッキ又はニッケルクラッド１３を施し、このリード線１２のニッケルメッキ又はニッケルクラッド１３の部分に抵抗溶接１４により発熱線１０の端部を接続し、固定する。或いは、ニッケルメッキ１３の部分に発熱線１０の端部を接続し、このニッケルメッキ又はニッケルクラッド１３の部分にニッケル製のパイプを固定し、このパイプでリード線１２に接続した発熱線１０の端部を覆う。 （もっと読む）

【課題】 焼成時や使用時等の急速昇降温時に、セラミック基体と配線導体間に発生する応力を緩和し、配線導体とセラミック基体界面のクラックの発生を防ぐことにより、耐久性、信頼性に優れたセラミックヒータを提供する。
【解決手段】 セラミック基体と、応力緩和層を有する配線導体とを備えたセラミックヒータにおいて、配線導体の配線方向に垂直な面で切ったときの断面において、配線導体が少なくとも一つの頂点を有し、応力緩和層の外形線のうち、頂点に臨む領域が曲線である。 （もっと読む）

【課題】鋼材の伸び及び曲がりを防止しつつ容易に加熱処理を行うことが可能な鋼材加熱装置の電極構造及び鋼材加熱方法を提供する。
【解決手段】ワークＷの長さ方向に互いに離れた位置に接触するように架台１１に第一電極部２０及び第二電極部３０を装着し、第一電極部２０と第二電極部３０との間に電圧を印加することで、ワークＷの第一電極部２０と第二電極部３０との間の領域を直接通電加熱する鋼材加熱装置１１の電極構造であり、第一電極部２０及び第二電極部３０を、ワークＷを支持して互いに相対変位可能に構成すると共に、それぞれをワークＷに対して移動不能に接続し、第一電極部２０及び第二電極部３０の少なくとも一方は、加熱時及び冷却時のワークＷの熱膨張及び熱収縮に対応した所定の付勢力で互いに離間する方向に付勢し、熱膨張により第一電極部２０と第二電極部３０との間が離間すると共に、熱収縮により第一電極部２０と第二電極部３０との間が収縮するように設定した。 （もっと読む）

【課題】加熱線の各二重線部における折返し先端部での短絡を良好に防止する。
【解決手段】炉内加熱ヒータ１は、折返し先端部１１ａおよび二重線部１１ｂを有する加熱線１１を複数セット備える。各加熱線１１の先端側には炉内加熱ヒータ用碍子１２が配置される。碍子１２は、各二重線部１１ｂを１本ずつ通す線挿通孔のセットＳを複数有するベース板部１２ａを備える。ベース板部１２ａは、基準線Ｌを中心として放射状に突出し、隣り合う折返し先端部１１ａ同士が短絡しないように線挿通孔のセットＳをセット毎に仕切る第１仕切り壁１２ｃと、それら第１仕切り壁１２ｃの突出端を円筒状に繋ぎ、折返し先端部１１ａのいずれもが保護管３１（保護カバー）の内周面と短絡しないように線挿通孔１２ａ１の全てと保護管３１の内周面とを仕切る第２仕切り壁１２ｄとを一体に備える。 （もっと読む）

【課題】ウェハの加熱時にヒータやヒータ支持部に発生する応力を低減する機構を備えた成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜装置１００は、チャンバ１０２と、チャンバ１０２内に載置されるシリコンウェハ１０１を加熱するヒータ１２１と、ヒータ１２１を支持する導電性のブースバー１２３ｂを有し、ブースバー１２３ｂがその構造の一部に弾性部を有する。弾性部は、ブースバー１２３ｂに対してヒータ１２１の加熱による応力が作用する方向と直角の方向に切り込み１２５ａが設けられた板ばね部１２５である。 （もっと読む）

【課題】 面ヒーターの熱を有効に加熱板に伝え、効率よく加熱し、加熱板裏面の温度を正確に測定して、温度制御を容易とする。
【解決手段】 第１電気絶縁シート１１、面ヒーター５、第２電気絶縁シート１２、温度センサー１６、第３電気絶縁シート１９の順に積層してヒーター・センサーユニット２０とする（ｃ）。剛性フレーム２２に固定した加熱板１の裏面２ａ側に、ヒーター・センサーユニット２０を密着させる。加熱板１の裏面２ａ側を縦方向及び横方向に区画した形状・大きさの押さえ板２５を配置する（ａ、b）。剛性フレーム２２に剛性ビーム２８を架設して、剛性ビーム２８と押さえ板２５との間にバネ２９を介装して、総ての押さえ板２５、２５をヒーター・センサーユニット２０側（加熱板１側）に押圧して、加熱装置３０とする。 （もっと読む）

【課題】従来の加熱炉においては、蛇行状ヒータエレメントの湾曲部を炉壁用断熱材に固定しているため、加熱中のヒータエレメントの膨脹及び冷却中の収縮による歪みがヒータエレメントに蓄積し、そのため長期亘って使用しているとヒータエレメントがこれを配置した溝内から飛び出したり、ヒータエレメント同士が接触したり、ヒータエレメントが炉内の被加熱物に接触したり、熱疲労によりヒータエレメントが破断してしまうという欠点があった。
【解決手段】本発明の高温用加熱炉は、炉壁用断熱材と、この断熱材の炉芯側面に上下方向に互いに離間して多段に配置した、夫々上下端で蛇行状に折れ曲がるヒータエレメントと、上下に隣接する上記ヒータエレメントの互いに対向する蛇行部分を連結する、上記断熱材に固定されていない耐熱・絶縁性フックと、上記ヒータエレメントの最上段のものを吊下する手段とより成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の加熱炉においては、蛇行状ヒータエレメントの湾曲部を炉壁用断熱材に固定しているため、加熱中のヒータエレメントの膨脹及び冷却中の収縮による歪みがヒータエレメントに蓄積し、そのため長期亘って使用しているとヒータエレメントがこれを配置した溝内から飛び出したり、ヒータエレメント同士が接触したり、ヒータエレメントが炉内の被加熱物に接触したり、熱疲労によりヒータエレメントが破断してしまうという欠点があった。
【解決手段】本発明の高温用加熱炉は、炉壁用断熱材と、この断熱材の炉芯側面に上下方向に互いに離間して多段に配置した、夫々上下端で蛇行状に折れ曲がるヒータエレメントと、上記各段のヒータエレメントの左右に隣接する直線部分を互いに連結する、上記断熱材に固定されていない耐熱・絶縁性スペーサと、上記各段のヒータエレメントを吊下する固定具とより成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】ホットプレートの断線を防止する。
【解決手段】プレート本体２１内に配置された抵抗発熱体２３を、配線孔２６ａ，２６ｂから導出させる接続体２５に、緩和部を設け、プレート本体２１の熱膨張に伴う抵抗発熱体２３の断線を防止する。この緩和部は、プレート本体２１と同じ材料で形成し、緩和部がプレート本体２１と同程度に膨張するようにしてもよいし、低抵抗のバネで構成し、プレート本体２１の膨張によって抵抗発熱体２３が外周方向に移動する際に、緩和部が伸びるようにしても良い。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の熱膨張収縮時の支持体と抵抗発熱体との間の摩擦抵抗を低減して抵抗発熱体の残留応力による永久歪の発生を抑制し、耐久性の向上を図る。
【解決手段】被処理体ｗを収容して熱処理するための処理容器３を囲繞する筒状の断熱材４と、該断熱材４の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体５と、上記断熱材４の内周面に軸方向に沿って設けられ抵抗発熱体５を所定ピッチで支持する支持体１３と、上記抵抗発熱体５の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材４を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板１４とを備えた熱処理炉において、上記支持体１３は断熱材４に一端が埋め込まれ、他端が径方向内方へ突出された複数本の管状部材５１から成り、該管状部材５１の曲面状の上面部に上記抵抗発熱体５が支持され、上下に隣り合う上記管状部材５１の先端部間には、上記抵抗発熱体５の脱落を防止するための線状部材５５が掛け渡され、該線状部材５５の両端部５５ａが上下の上記管状部材５１の軸孔を通り断熱材４中に埋設されて固定されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、小型で効率が高く、高い指向性と均一な加熱及び立ち上りの早い発熱体ユニット、及びその発熱体ユニットを用いた加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】発熱体ユニットにおける発熱体２の端部に係止用貫通孔３ｅ設けるとともに、発熱体２の端部を挟持する保持具３を構成する第１の保持部材３ａと第２の保持部材３ａにそれぞれ形成された貫通孔３ａｃ，３ｂｃに固定部材５係合せしめて発熱体２の端部を保持することにより、熱ストレスにおいても安定したストレス吸収と熱拡散ができる安定した発熱体ユニット及びその発熱体ユニットにて加熱装置を構成する。 （もっと読む）

本発明は、ディスクの導電部材（１１）へと溶接またははんだ付けされるように設けられ、一部分が電気的な接続のために部材（１１）へと溶接またははんだ付けされるように設けられ、残りの剛性部分がディスクの外側の方向に接続されるように設けられている導電性の本体（２０）を備える電気接続エレメント（２）であって、本体が、１から５００μｍの間の厚さを有する導電ホイル（２１）を含んでおり、仲介手段（５、６）が、接続エレメントの本体の剛性部分とディスクとの間で衝撃吸収手段として機能することを特徴とする電気接続エレメントに関する。
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【課題】端子５と電極３間の接合状態が不安定な場合に簡便な構成で安全に導通不能にする端子構成を持つ発熱体を提供する。
【解決手段】電極３に端子５を接着し、電気絶縁性基材２と接着される電気絶縁性被覆基材８からなる面状発熱体において、端子５と端子５の近傍を覆い、電気絶縁性基材２の熱膨張収縮抑制手段である熱膨張収縮テープ１０を電気絶縁性基材２面に備えたものである。 （もっと読む）

【課題】部品点数を削減して組立作業性を向上するとともに、使用により疲労破壊が生じることを防止する。
【解決手段】被加熱物（例えば水）を収容する容器１９に、容器１９内の被加熱物を加熱するヒータ３１Ａ〜３１Ｃを配設した加熱機器のヒータ取付構造において、ヒータ３１Ａ〜３１Ｃを容器１９のヒータ取付部２７に略均一に接触するようにヒータ３１Ａ〜３１Ｃの外側に配設する金属製の被覆部材３７と、容器１９の外面に溶接により固着され、ヒータ３１Ａ〜３１Ｃおよび被覆部材３７を容器１９に向けて押さえ付けるように位置決めする金属製の位置決め部材４４とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の熱膨張収縮時の支持体と抵抗発熱体との間の摩擦抵抗を低減して抵抗発熱体の残留応力による永久歪の発生を抑制し、耐久性の向上を図る。
【解決手段】被処理体ｗを収容して熱処理するための処理容器３を囲繞する筒状の断熱材４と、該断熱材４の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体５と、上記断熱材４の内周面に軸方向に沿って設けられ抵抗発熱体５を所定ピッチで支持する支持体１３と、上記抵抗発熱体５の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材４を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板１４とを備えた熱処理炉において、上記支持体１３は抵抗発熱体５の内側に位置する基部１７と、該基部１７から抵抗発熱体５のピッチ間を通って炉の半径方向外方へ延出する複数の支持片１８とを有するように櫛状に形成され、該支持片１８の上面部が抵抗発熱体５の熱膨張収縮移動時の摩擦抵抗を低減するべく曲面状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】省スペース化に配慮しながらも、基材と面状発熱体との断熱性を高め、ヒートローラのウォームアップタイムの短縮化を図ることができる定着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ヒートローラ１２を備えた定着装置１１であって、上記ヒートローラは、円筒形状でなる基材２１と、該基材の外表面に断熱層２６を介して貼り付けられて一体とされた面状発熱体２２とを備え、上記断熱層は、耐熱性材でなり且つその厚み内に空気が滞留する多数の線状微細空間からなる空気層２６ａを含み、該線状微細空間は、上記基材の長手方向に沿い、且つその両端部間に亘り形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プレートの材料としてセラミック以外の材料を用いながら、プレートの熱変形を防止することにより、ローコストで応答性の良い基板温度制御装置を提供する。
【解決手段】この基板温度制御装置用ステージは、基板の温度を制御する基板温度制御装置において基板を載置するために用いられるステージであって、基板と対向する第１の面に所定の厚さで表面処理が施されたプレートと、プレートの第１の面と反対側の第２の面において、表面処理が施されていない領域に接着された面状のヒータとを具備する。 （もっと読む）

【課題】面状発熱体とパネルとの熱膨張率の差が大きくても、面状発熱体の抵抗体形成部のはがれや亀裂等の損傷を生じさせるおそれがない暖房用パネルを提供する。
【解決手段】印刷等により抵抗体を形成した面状発熱体を、装着手段を用いてパネルに装着する場合に、装着手段と対向する部位には抵抗体を形成しないようにし、面状発熱体とパネルとの熱膨張率が大きく異なった場合でも、膨張を規制する装着手段の部位には抵抗体が印刷されていないので抵抗体にかかる応力が軽減される暖房用パネル。 （もっと読む）

【課題】均熱性及びフレキシビリティーに優れ、急昇降温が可能であり低コストで製造できるカーボンヒータを提供する。
【解決手段】複数本のカーボンファイバーを束ねたカーボンファイバー束を複数本用いて長細形状に編み込むだけで作ったヒータ部材１１で、ヒータ部材は、含有不純物量が灰分で１０ｐｐｍ以下であり、ヒータ部材を配線した石英ガラス板の上下に、この石英ガラス板とは別の石英ガラス板と不透明石英ガラス板１２ｅを配置し、融着処理により、不透明石英ガラス層を含み、ヒータ部材を１本封入した板状の石英ガラス支持体１２によって実質的に一体化されていて、この石英ガラス支持体中のヒータ部材の周辺部に中空の空間が形成されている。 （もっと読む）