【課題】従来に比べて正確な量のインクを基板に塗布することで、均一な膜構造の発光層を得ることが期待できる有機ＥＬ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】発光層材料のインクの塗布工程をインクジェット装置システム１０００を用いて実施する。一枚目の塗布対象基板への塗布工程前に、各インクノズルの印加電圧と液滴体積との関係を示す特性データを獲得する。実際に吐出された液滴体積と吐出されるべき液滴体積とが一定以上の誤差を生じていると判断される場合、二枚目以降の塗布対象基板への塗布工程において、制御装置１５のＣＰＵ１５０は目的の液滴体積でインクが吐出されるように、前記特性データに基づき、インクノズルの印加電圧値を修正する（Ｓ‘１〜Ｓ‘６）。 （もっと読む）

【課題】吐出ノズルに気泡が溜まることを防止又は軽減することが可能な、吐出ノズル、及び吐出装置を提供する。
【解決手段】吐出ノズル１０の外面を形成し、内部に逆Ｕの字状の前記インクの流路が形成された本体に、内部に形成された前記逆Ｕの字状の一方の先端に通じるインク流入口１２と、他方の先端に通じるインク吐出口１３と、上部に前記インクに混入した気泡を排出する気泡排出口１４とが形成する。逆Ｕの字状の流路の上部には、多孔質材料からなり、インクに混入した気泡を分離する気液分離部５０を設ける。 （もっと読む）

【課題】タンク等の液体貯留部から吐出部までの間で滞留した気泡を確実に検出できるようにする。
【解決手段】塗布装置１００が、液体が貯留された液体貯留部１０８と、液体を吐出するノズルヘッド１０６と、液体貯留部１０８からノズルヘッド１０６まで継手１３１〜１３５を介して配管された供給管１０７ａ，１０７ｂ，１０７ｃと、継手１３１〜１３５又はその近傍に設けられた光センサ部１４１〜１４５と、を備える。光センサ部１４１が、継手１３１内又はその近傍の供給管１０７ａ内に向けて投光する投光器１４１ａと、継手１３１内又はその近傍の供給管１０７ａ内からの光を受光する受光器１４１ｂと、を有する。 （もっと読む）

【課題】気泡を的確に検知する。
【解決手段】ヘッドシリンダ８１の内壁に容量センサ９１が貼り付けられる。この容量センサ９１は、フレキシブル基板９２に電極パターン９３が設けられ、この電極パターン９３の間隔が狭くなった領域が容量測定部Ｃ１になる。気泡検出部はこの容量測定部の容量と抵抗とによる時定数に従って周期が変化するパルス信号の周波数に基づいて気泡の状態を判定する。インクに気泡が多く含まれていれば、周波数は大きくなるので、周波数が予め設定された周波数閾値を超えているとき、気泡検知部は、気泡が許容量を超えていると判定する。 （もっと読む）

【課題】ＥＬ材料液等の液体を供給管に充填させる時間を短縮できるようにするとともに、供給管内に充填される液体に気泡が発生しないようにする。
【解決手段】塗布装置１００が、液体タンク１０８と、液体を吐出するノズルヘッド１０６と、タンク１０８からノズルヘッド１０６にまで配管された供給管１０７と、タンク１０８内の液体１２０を供給管１０７に送り出す供給器１１６と、供給管１０７又はノズルヘッド１０６に設けられた切替部１１０と、切替部１１０に接続されたバキュームポンプ１１３と、を備える。切替部１１０が、供給管１０７をバキュームポンプ１１３に連通させた状態と、供給管１０７をバキュームポンプ１１３から遮断した状態とに選択的に切り替わるよう設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布されるインキの膜厚を精度良く維持して印刷品質を向上させるとともに、インキを塗布する作業効率を向上させることができるインキ塗布システム及びインキ塗布方法を提供する。
【解決手段】本発明によるインキ供給システム１は、インキを供給するインキ供給タンク２と、このインキ供給タンク２に、インキ供給ライン３および三方弁４により連結された流路切替装置５を介して連結された一対のシリンジポンプ６、７とを備えている。流路切替装置５に、インキ吐出ライン８を介して、基板３０に対して一方の第１シリンジポンプ６から送られるインキを吐出するインキ吐出ノズル９が連結されている。三方弁４とインキ排出タンク１１との間にインキ排出ライン１０が連結されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェット装置のノズルに不吐出ノズルが発生しても、生産性を落とすことなく、均一な塗布膜を形成することができる機能膜製造方法を提供すること。
【解決手段】機能膜製造方法においては、撥液性を有する区画領域（３）により囲まれた機能膜を形成する吐出領域に対して、１回の走査により複数のノズル（６）から機能液（９）の液滴を吐出して塗布するステップにおいて、１つの吐出領域に対して塗布する複数のノズルにおいて、不吐出ノズルが存在する場合、当該吐出領域に対して塗布する他の吐出ノズルから吐出する機能液の液滴量を不吐出ノズルが存在しない場合に比べて増加させている。 （もっと読む）

【課題】キャリア輸送層の成膜不良を低減すること。
【解決手段】塗布領域Ｒ１が露出する開口部３１と、非塗布領域Ｒ２を覆う枠部３２とを備え、その枠部３２における開口部３１側であり、枠部３２の上面から開口部３１側の下面に向かって傾斜する斜面３３を有しているマスクＭの枠部３２を基板１０の非塗布領域Ｒ２に重ねて配置し、マスクＭの開口部３１内の塗布領域Ｒ１から枠部３２の斜面３３にかけて、また、枠部３２の斜面３３から開口部３１内の塗布領域Ｒ１にかけて、ノズルＮを相対移動させるノズルプリント方式により液状体Ｌを塗布するようにすることで、塗布領域Ｒ１と非塗布領域Ｒ２の境界に液状体Ｌのメニスカスの発生を抑えることを可能にして、キャリア輸送層の成膜不良を低減した。 （もっと読む）

【課題】キャリア輸送層の成膜不良を低減すること。
【解決手段】塗布領域Ｒ１が露出する開口部３１と、非塗布領域Ｒ２を覆う枠部３２とを備え、その枠部３２における開口部３１側であり基板１０側となる下面側に所定の空間部３３を有しているマスクＭの枠部３２を基板１０の非塗布領域Ｒ２に重ねて配置し、マスクＭの開口部３１内の塗布領域Ｒ１から枠部３２の上面にかけて、また、枠部３２の上面から開口部３１内の塗布領域Ｒ１にかけて、ノズルＮを相対移動させるノズルプリント方式により液状体Ｌを塗布するようにすることで、塗布領域Ｒ１と非塗布領域Ｒ２の境界に液状体Ｌのメニスカスの発生を抑えることを可能にして、キャリア輸送層の成膜不良を低減した。 （もっと読む）

【課題】減圧乾燥を用いた光学素子の製造方法において、基板面内での膜厚ムラ（ばらつき）を抑制するための方法及び装置を提供する。
【解決手段】給気口１０と排気口１１を具備した減圧乾燥装置において、基板１を支持するステージ３上部に、基板１に対する角度を変更可能な変速板１２を取り付ける。この装置により、基板１上の流速分布が、排気口１１に近づくにしたがって大きくなる分布となり、この結果、基板１上部の溶媒蒸気濃度を場所によらず、かつ時間によらず一定とすることができる。このため、乾燥状態が基板１全面にわたって同一となるため、膜厚ムラの少ない光学素子を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】着弾位置精度の測定や位置補正の実施のための工程時間の増大や、これらの工程を制御する制御装置の負荷の増加を必要とせずに、吐出された液滴の飛行方向が所定方向からずれることによって、形成される膜の平面形状及び膜厚の精度が損なわれることを抑制することができる液状体吐出ヘッド、液状体吐出装置、液状体吐出方法、電気光学装置の製造方法、及び電子機器を提供する。
【解決手段】液状体吐出ヘッドは、液状体を吐出する吐出ノズル孔と、案内針と、を備え、案内針は、吐出ノズル孔の一端が開口しているノズル孔形成面における吐出ノズル孔の開口を貫通する位置に配設されている。液状体吐出方法は、ノズル孔形成面に開口する吐出ノズル孔から液状体を吐出する液状体吐出方法であって、ノズル孔形成面における吐出ノズル孔の開口を貫通する位置に配設されている案内針によって、吐出ノズル孔から吐出される液状体の方向を案内する。 （もっと読む）

【課題】偏肉がある基材に対しても複数のノズルを設けたディスペンサー方式で有機ＥＬパネルの発光層を全面にわたって均一に形成すること。
【解決手段】隔壁間の溝に対向するノズルとして突き出し形状のノズルを用い、ノズルと基材載置テーブル間に電界を印加することによりノズル外形エッジ部分で形成されるビードの安定性を向上させることにより、ノズル先端と基材上面との間隔を遠ざけても、はみ出しの無い安定した連続線を塗布できる。 （もっと読む）

ワークピース上にサブピクセル行の規則正しい配列を形成する方法が提供される。サブピクセルは３つの異なる色を有し、かつサブピクセルピッチｓを有する。３色のうち、ｑ色は印刷により形成され、ｒ色は非印刷方法により形成される。この方法は、（１）ノズル間隔ｐを有する行内に配置されたｚ本のノズルを有する印刷ヘッドを設けるステップであって、ｚ＝３ｎ₁であり、ｐ＝２ｓであり、印刷ヘッドはワークピースに対して第１の位置にある、印刷ヘッドを設けるステップと、（２）ｑ印刷色のそれぞれに１つずつ、ｑ個の異なる印刷インクを提供するステップと、（３）規則正しい交互パターンで印刷インクのそれぞれをノズルに供給するステップと、（４）印刷ヘッドを使用して、第１の組のｚサブピクセル行を印刷するステップと、（５）移動させ、第１の印刷パターンで印刷するステップであって、（ａ）ワークピースを印刷ヘッドに対して距離ｄ₁だけ横方向に移動させるステップであって、ｄ₁＝３ｎ₂ｓである、移動させるステップ、および（ｂ）印刷ヘッドを使用してｚサブピクセル行の組を印刷するステップを有する、移動させ、第１の印刷パターンで印刷するステップと、（６）移動させ、第２の印刷パターンで印刷するステップであって、（ｃ）ワークピースを印刷ヘッドに対して距離ｄ₂だけ横方向に移動させるステップであって、ｄ₂は、ｄ₁＋ｄ₂＝ｐｚであるようなｄ₂＝３ｎ₃ｓである、移動させるステップ、および（ｄ）印刷ヘッドを使用してｚサブピクセル行の組を印刷するステップを有する、移動させ、第２の印刷パターンで印刷するステップと、（７）ステップ（５）および（６）を同じ順序で複数回繰り返すステップと、（８）ｒ色を非印刷方法で塗布するステップとを含む。
変数は、
ｎ₁：０よりも大きな整数、
ｎ₂およびｎ₃：ｎ₂＋ｎ₃＝２ｎ₁であるような奇数の整数、
ｑ：１〜３の整数、および
ｒ：ｑ＋ｒ＝３であるような整数
を含む。
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【課題】発光特性の良好な有機ＥＬ素子を容易に製造可能な製造方法を提供する。
【解決手段】陽極と、該陽極上に設けられた第１の層と、発光材料を含有する第２の層と、陰極とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、陽極がパターン形成された基板を用意する工程と、前記陽極表面に存在する基又は原子に対する反応性基Ｘを有する化合物を含む溶液を、前記陽極表面に接触させて前記陽極上に未処理層を形成した後、該未処理層をＵＶオゾン処理により改質して平均膜厚が１０ｎｍ以下の第１の層を形成する工程と、前記第２の層が形成される層形成領域に対応する形状を有する凸部１２ａを備え、当該凸部１２ａの表面部に複数本の凹溝１２ｂが形成された凸版印刷版１１を用いて、凸版印刷法により、前記発光材料を含むインキを前記層形成領域に供給し、第２の層を形成する工程と、陰極を形成する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

ワークピース上にサブピクセル行の規則正しい配列を形成する方法が提供される。サブピクセルは、４つの異なる色を有し、かつサブピクセルピッチｓを有する。４色のうち、ｑ色は印刷により形成され、ｒ色は非印刷方法により形成される。この方法は、（１）ノズル間隔ｐを有する行内に配置されたｚ本のノズルを有する印刷ヘッドを設けるステップであって、ｚ＝４ｎ₁であり、ｐ＝３ｓであり、印刷ヘッドはワークピースに対して第１の位置にある、印刷ヘッドを設けるステップと、（２）ｑ印刷色のそれぞれに１つずつ、ｑ個の異なる印刷インクを提供するステップと、（３）規則正しい交互パターンで印刷インクのそれぞれをノズルに供給するステップと、（４）印刷ヘッドを使用して、第１の組のｚサブピクセル行を印刷するステップと、（５）移動させ、第１の印刷パターンで印刷するステップであって、（ａ）ワークピースを印刷ヘッドに対して距離ｄ₁だけ横方向に移動させることであって、ｄ₁＝４ｎ₂ｓである、移動させること、（ｂ）印刷ヘッドを使用してｚサブピクセル行の組を印刷することにより、移動させ、第１の印刷パターンで印刷するステップと、（６）移動させ、第２の印刷パターンで印刷するステップであって、（ｃ）ワークピースを印刷ヘッドに対して距離ｄ₂だけ横方向に移動させることであって、ｄ₂＝ｄ₁である、移動させること、（ｄ）印刷ヘッドを使用してｚサブピクセル行の組を印刷することにより、移動させ、第２の印刷パターンで印刷するステップと、（７）移動させ、第３の印刷パターンで印刷するステップであって、（ｅ）ワークピースを印刷ヘッドに対して距離ｄ₃だけ横方向に移動させることであって、ｄ₃は、ｄ₁＋ｄ₂＋ｄ₃＝ｐｚであるようにｄ₃＝４ｎ₃ｓである、移動させること、（ｆ）印刷ヘッドを使用してｚサブピクセル行の組を印刷することにより、移動させ、第３の印刷パターンで印刷するステップと、（８）ステップ（５）〜（７）を同じ順序で複数回繰り返すステップと、（９）ｒ色を非印刷方法で塗布するステップとを含み、
ｎ₁は０よりも大きな整数であり、
ｎ₂は、３の倍数ではなく、かつｎ₂≦ｎ₁であるような、０よりも大きな整数であり、
ｎ₃は、２ｎ₂＋ｎ₃＝３ｎ₁であるような整数であり、
ｑは１〜４の整数であり、
ｒはｑ＋ｒ＝４であるような整数である。
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【課題】特性の高い複数の有機ＥＬ素子を印刷法で作製することができる有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】一対の電極と、該電極間に配置される発光層と、該発光層に隣接して前記電極間に配置される隣接層とをそれぞれが備える複数の有機エレクトロルミネッセンス素子を、基板上に作製する有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、一対の電極のうちの一方の電極が設けられた基板を用意する基板用意工程と、隣接層形成工程と、発光層となる材料を含むインキを用いて、印刷法によって発光層を形成する発光層形成工程と、一対の電極のうちの他方の電極を形成する工程とを含み、隣接層形成工程の開始から発光層形成工程の終了までの前記基板雰囲気中の酸素濃度および水分濃度を、体積比でそれぞれ大気濃度未満に保つことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】所期の性状の有機層を実用的なキャピラリーコート法を用いて形成することができる有機ＥＬ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】塗布液を吐出するノズル１３を有するキャピラリーコートシステム１１を用いて、１層以上の有機層のうちの所定の有機層を形成する有機材料を含む塗布液１７を、当該有機層が形成される被形成面に塗布し、これを固化することにより有機層を形成する工程を含み、被形成面に塗布液１７を塗布する前工程及び／又は後工程であって、ノズル１３上端から吐出される塗布液１７が被形成面から離液した状態において、ノズル１３上端に近接させて乾燥防止部材２１を配置し、塗布液１７を乾燥防止部材２１に接液させた状態を保持することにより、ノズル１３上端からの塗布液１７の乾燥を防止することを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】乾燥後の発光層の形状を均一にし、かつ、安価な機能性素子の製造方法および装置を提供するものである。
【解決手段】有機機能性材料を溶媒に溶解若しくは分散させた有機機能性インクを、バンク構造を有する基板Ｐ上の塗布領域Ｐ１に塗布し、その基板上の有機機能層の塗布膜を、減圧チャンバー内１００で乾燥させる乾燥方法において、前記減圧チャンバー内の圧力を前記溶媒の蒸気圧以下にする減圧工程を、塗布領域の周囲より溶媒を供給しながら行う。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬの発光層を形成するインクのような液体材料を塗工ギャップ（ノズル−被塗布材間の距離）が広く少量吐出で且つ高速に安定して塗布可能な液体塗布装置を提供する。
【解決手段】液体を塗布対象物に塗布する液体塗布装置を、塗布液の吐出口３を複数設けたノズル１を有し、前記ノズル１は気体の吸引口２を更に有し、少なくとも前記吐出口３のそれぞれに対応した気体の吸引口２を設け、前記吐出口の上流側の範囲１３及び前記吐出口間の上流側の範囲１２に気体の吸引口２が存在するように構成した。 （もっと読む）

【課題】有機発光素子に対する水分の浸入を防止することにより、発光特性の劣化が発生することがなく、信頼性の高い有機発光装置を作製する。
【解決手段】基板１０１と、基板１０１上に設けられた有機発光素子と、有機発光素子を覆う樹脂保護膜１０９と、樹脂保護膜１０９を覆う無機保護膜１１０と、から構成される有機発光装置の製造方法において、樹脂保護膜１０９をスクリーン印刷法で形成する工程を含む。スクリーン印刷工程は、基板１０１上の印刷領域の周囲に、スクリーン印刷版が接触しないようにして樹脂保護膜１０９を形成する。 （もっと読む）