【課題】乾燥機等における可燃性物質の熱安定性を適切に評価できる乾燥工程における熱安定性測定装置を提供する。
【解決手段】粉体または粒状の物質からなる被乾燥物Ｍを乾燥する乾燥工程における、被乾燥物Ｍの発熱挙動を測定する装置であって、被乾燥物Ｍにおける表面の一部を、表面の一部を周囲の気体から隔離した状態で加熱しうる加熱源１２と、加熱源１２によって加熱されている状態における被乾燥物Ｍの内部の温度を測定する温度センサ３４と、を備えており、加熱源１２は、被乾燥物Ｍを、被乾燥物Ｍの表面に周囲の気体と接する部分が形成されるように保持しうるものである。実際の乾燥工程に近い状態で、被乾燥物を乾燥させたときに生じる被乾燥物の酸化反応による発熱現象を再現することができ、乾燥工程における被乾燥物Ｍの酸化反応による発熱挙動を把握することができる。 （もっと読む）

【課題】チャンバを用いずに乾燥可能な乾燥用冶具とそれを用いた乾燥装置とその乾燥方法を提供する。
【解決手段】複数の被乾燥物内へ気体の供給及び排出を行う給排気部２ａおよび前記給排気部２ａに連接される給排気接続ポート端子２ｃを有する給排気機構部２と、複数の被乾燥物が載置される載置部３ａおよび前記給排気機構部２を取外し可能に支持する支持部３ｂを有する支持機構部３と、前記載置部３ａ上に前記被乾燥物の各々をそれぞれ挟むように設置され、且つ前記被乾燥物の対向面にそれぞれ接触する複数のヒータ４とを備える。 （もっと読む）

【課題】貯留槽を効率よく不活性ガス置換することができ、乾燥中に粉粒体が劣化することを防止することができる乾燥装置、および、その乾燥装置に用いられる不活性ガス置換方法を提供すること。
【解決手段】
粉粒体を貯留する貯留槽１１を備え、粉粒体をほぼ常圧で乾燥する乾燥装置１に、貯留槽１１を減圧するポンプ４１と、貯留槽１１に窒素ガスを供給する窒素発生装置２１とを備え、ポンプ４１により貯留槽１１を減圧し、窒素発生装置２１からの窒素ガスを貯留槽１１に供給する。 （もっと読む）

微多孔性熱可塑性シートを乾燥させる装置が記載されている。かかる装置は、少なくとも１種の熱可塑性組成物を含みシートの中にある量の希釈剤を有する多孔性シートを供給するための手段；シートの第１の表面を接触させ乾燥の間にシートを進行方向に搬送するためのローラー；および不活性ガスの流れをシートの第２の表面に方向付けるための少なくとも１つの手段であって、約３０°〜約１５０°の範囲の角度βでこの流れを供給するような位置にある手段；を含む。ここで、βは、ローラーの中心とフィルムがローラーに接触している部分の中点とで形成されるラインと、流れの方向とで形成される角度である。熱可塑性フィルムを乾燥させる関連方法も記載されている。 （もっと読む）

【課題】水を含む高沸点、高蒸発潜熱の洗浄剤においても、再付着がなく、洗浄後の乾燥効率が高く、洗浄、乾燥時間を短縮でき、複雑な形状の被洗浄物でも乾燥シミを作ることなく乾燥させることができるベーパー洗浄を可能にする。
【解決手段】被洗浄物をベーパー洗浄するためのベーパー洗浄槽６と、ベーパー洗浄槽６内における下方部分に蓄えた洗浄剤１６と、ベーパー洗浄槽６に連通した乾燥槽５と、ベーパー洗浄槽６と乾燥槽５間を遮断又は開放可能とした遮断蓋１３と、被洗浄物を載置可能であるとともにベーパー洗浄槽６と乾燥槽５間を移動可能なキャリアと、を具備した装置本体２と、装置本体２に連結された、装置本体２の内部を加減圧する圧力調整手段３と、被洗浄物に付着した洗浄剤等を排液するための排液弁１７と、洗浄剤１６を加熱するための加熱システム１９と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】排気を分散させることによって乾燥不良を防止することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空ポンプによって排気機構７５を介してチャンバ内の気体を排出するが、排気機構７５はチャンバ内の気体を複数箇所から排気するので、チャンバ内において排気が偏りにくい。したがって、溶剤ノズルによってチャンバ内に形成された溶剤蒸気雰囲気が偏ることを防止でき、処理液から露出された基板Ｗに付着している液滴が偏って引かれることを防止できる。その結果、基板の乾燥不良を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】基板にウォーターマークが発生することを防止でき，かつ，低コストを図ることができる基板処理方法，記録媒体及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】薬液を用いて基板Ｗを処理する薬液処理工程を行った後，基板Ｗを乾燥させる乾燥処理工程を行う基板処理方法であって，前記薬液処理工程で使用される薬液の種類に応じて，基板Ｗの周囲の湿度を調節する。基板Ｗに供給される薬液の種類に応じて，基板の周囲の湿度を調節することにより，基板の周囲の湿度を低減させるために要するコストを低減できる。 （もっと読む）

【課題】複数枚のウエハや支持基板等の基板を洗浄槽から引上げて乾燥させる際に表面張力により基板同士が貼り付いて乾燥不良を起こすことがなく、また、乾燥を効率的に行なえる基板の乾燥方法及び乾燥装置を提供すること。
【解決手段】洗浄槽に満たした洗浄液に複数枚の基板を浸漬させておき、前記洗浄槽から基板を引上げて乾燥させる基板の乾燥装置において、前記洗浄槽の底部中央に基板面に対して垂直方向に気泡発生手段を敷設し、前記複数枚の基板を引上げる際に、前記気泡発生手段から気泡を発生させ、この発生させた気泡を各基板間に通すことによって乾燥させるようにした基板の乾燥装置。 （もっと読む）

【課題】ホッパー内に高温気体を循環させて樹脂ペレットの乾燥を行う除湿乾燥機で、樹脂ペレットの均一乾燥及び酸化防止を実現する高温ガスの供給方法の提供。
【解決手段】樹脂ペレット２０１が貯留されているホッパー１０、１０Ａの最下部から、高温の窒素ガスをホッパ１０、１０Ａ内に供給し、該窒素ガスをホッパ１０、１０Ａ内に循環させることで、樹脂ペレット２０１の乾燥を行なう。窒素ガスの供給量は、常に一定の量あるいは必要に応じて間欠的に大量とすることができる。 （もっと読む）

【課題】基板上に複数の薬液や気体を供給して、基板を洗浄・乾燥する基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板が在置されるチャックを有する基板支持機構と、基板の上面に乾燥用流体を噴射する第１のノズルユニットと、上部が開放され、チャックの周辺を囲むような形状を有する下部カバーと、基板に対する乾燥工程が外部と隔離された状態で行なわれるように、下部カバーの上部を開閉する上部カバーと、を含むことを特徴とする基板処理装置。 （もっと読む）

【課題】 被処理物の入出口に複雑な仕切り機構を必要とせず、かつ、槽内に供給する不活性ガスの供給量を低減する。
【解決手段】 ＩＰＡ蒸気２４を充満させた槽１０内に被処理物である基板１８を挿入し、基板１８の表面に付着した水分を除去して処理させるようにした蒸気処理装置において、基板１８の挿入時に窒素ガスを槽１０内に供給するガス供給器２６と、基板１８の熱負荷に応じてガス供給器２６から槽１０内に供給する窒素ガスの流量を制御する制御器３４とを具備している。 （もっと読む）

【課題】湿式工程後に基板表面に存在する純水や湿気を乾燥工程を通じて容易にとり除くことが可能な基板乾燥装置及びこれを利用した基板乾燥方法を提供する。
【解決手段】本発明の基板乾燥装置１００は、純水供給手段１１を具備し、該純水供給手段１１の内部で基板Ｓの洗浄を行う洗浄槽１０と、前記洗浄槽１０で洗浄された前記基板Ｓを乾燥させるように、少なくとも一つ以上のノズル７０、８０、９０を具備し、前記ノズル７０、８０、９０を通じて前記基板Ｓに乾燥気体が噴射されるように構成され、いずれか一部が湾曲した形状を持つ乾燥槽３０と、前記基板Ｓを前記洗浄槽３０から前記乾燥槽３０に移送する移送手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、乾燥時に乾燥流体だけを局部的に加熱するだけで、リンス液の表面張力の影響によりパターン倒れや素子の固着が発生しうる微細なパターンを形成した１００ｍｍ以上の大口径基板に対して効率良く短時間で均一に乾燥させることができる微細構造乾燥処理法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】
高圧容器内にリンス液に浸漬又は濡れた状態の微細構造を有する基板を設置する工程と、前記高圧容器内に前記リンス液の比重と異なる比重の乾燥流体を導入して満たす導入工程と、前記乾燥流体によって満たした前記高圧容器を設定角度に傾斜させて前記流体と前記リンス液の比重差を利用して前記リンス液を選択的に前記高圧容器内より排出させるリンス液排出工程と、前記流体を局部的に臨界温度以上に加熱する工程と、前記流体を局部的に加熱しながら大気圧まで減圧する減圧工程とを有することを特徴とする微細構造乾燥処理法にある。 （もっと読む）

【課題】 装置の製造コストを高額とすることなく、チャンバー内をの圧力を複数段階に変更することが可能な減圧乾燥装置、排気装置および減圧乾燥方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板Ｗをチャンバー１０内に搬送する搬送工程と、チャンバー１０内を小さな排気量で排気するとともにチャンバー１０内に不活性ガスを供給する第１乾燥工程と、チャンバー１０内を小さな排気量で排気したまま不活性ガスの供給を停止する第２乾燥工程と、チャンバー１０内を大きな排気量で排気する第３乾燥工程と、チャンバー１０内に不活性ガスを供給してチャンバー１０内をパージするパージ工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 連続的に走行しているウェブの塗膜を熱エネルギーを使用することなく、高速乾燥、高精度乾燥することの可能な乾燥方法及び装置を提供する。
【解決手段】 塗布により液状の塗膜を形成したウェブ２を、その塗膜側を上側として水平に且つ連続的に、乾燥装置本体３内に形成している複数の乾燥室９、１０、１１内に通し、その乾燥室を減圧状態に保持しておくことで、塗膜に負圧を作用させ、加熱することなく塗膜の溶媒を蒸発させる構成とする。 （もっと読む）

１個の円板状基板を保持するための手段、円板状基板の表面上にリンス液を供給するための手段、エアゾールを発生させるための手段、及び円板状基板の表面上に前記エアゾールを供給するための手段を備えた円板状基板の乾燥装置が明らかにされる。更に、１個の円板状基板を準備し、円板状基板の表面にリンス液を適用し、円板状基板の表面にエアゾールを適用する諸段階を含み、ここに、エアゾールは分散相として乾燥用液体及び連続相として不活性気体よりなる円板状基板の乾燥方法が明らかにされる。エアゾールの供給中、液体の少なくも一部分が円板状基板上にあり、エアゾールの滴は液体面において凝結する。
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【課題】 本発明は、蒸気雰囲気中に高圧加熱水蒸気を供給して木材を加圧加熱し、一定圧に達したら高圧加熱水蒸気の供給を停止して常圧近くに戻す、これらの処理を数十回繰り返し行うことで木材を乾燥する木材乾燥における蒸煮方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 本発明の木材乾燥における蒸煮方法は、高圧蒸気注入手段からの高温高圧の水蒸気を供給し、前記木材乾燥室を加圧しつつ水蒸気を供給し、所定圧にまで上昇したら前記高圧蒸気注入手段からの水蒸気の供給を遮断する工程と、木材乾燥室を常圧１．０気圧付近まで戻す工程と、そして再び前記高圧蒸気注入手段からの高温高圧の水蒸気を供給し、前記木材乾燥室が所定圧にまで上昇したら前記高圧蒸気注入手段からの水蒸気の供給を遮断する工程と、前記木材乾燥室を常圧１．０気圧付近まで戻す工程とを数十回繰り返すことにより、木材の含水率を低下させて木材を乾燥させるものである。 （もっと読む）

プロダクトの滴を凍結してペレットを形成し、ペレットを凍結乾燥し、アッセイし、コンテナに入れる、凍結乾燥生成物で充填されたコンテナの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 良好かつ均一な水切り、乾燥効果を得ることができる水きり乾燥装置を提供すること。
【解決手段】 アルコール類とハロゲン化炭化水素類とからなる第一の溶剤を貯留する水切り槽部４と、ハロゲン化炭化水素類からなる第二の溶剤を貯留するすすぎ乾燥槽部１０と、これら第一の溶剤および第二の溶剤の蒸気を滞留させる蒸気滞留部１６，１７と、前記水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０と前記蒸気滞留部１６，１７とを連通させる連通部２０，２１と、前記水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０と前記蒸気滞留部１６，１７との連通を遮る方向に前記連通部２０，２１内において蒸気の流れを発生させる蒸気流発生手段１５，３２，３４，３５，３６と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

処理室内で超小型電子基板を処理するためのシステムであって、湿式処理から乾式処理への移行（特に、洗浄から乾燥への移行工程）のための改良された技術を含む。湿式処理語に流体供給ラインに残留する液体の少なくとも一部が、基板上に直接パージされるのを避ける通路を介して取り除かれる。また、本発明は、関連した方法を含んでいる。
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