【課題】排ガスダクト内のアンモニア水注入ノズル下流付近において発生する未蒸発アンモニアとダクト底部に堆積した灰との化合物の堆積を抑制し、安定的な脱硝装置の運用を実現すること。
【解決手段】排煙処理設備の入口煙道６内に注入ノズル８からアンモニア水を注入する際に該ノズル８の後流部のダクト下部壁６ａ上の適切な位置に灰堆積防止用のスートブロワ１０を設置する。またスートブロワ１０本体の排ガス流れ方向の前後において発生する灰堆積を防止するため、スートブロワの前後に灰堆積防止用の整流板１１ａ、１１ｂを設置する。 （もっと読む）

【課題】効率のよいスクラバー機構を提供しようとするもの。
【解決手段】親油性を有する水溶性有機溶剤を含有する液滴を気相中の揮発性有機化合物に及ぼして捕捉せしめ、この液滴を水溶液中に移行させて浄化処理するようにした。揮発性有機化合物に対する親和性が向上し捕捉効率に優れたものとなっていると共に、親油性を有する水溶性有機溶媒と親和して分散され浄化作用を受け易い状態となっている。前記親油性を有する水溶性有機溶剤としてエチルアルコール又は／及びイソプロピルアルコールを選択し、電気分解により揮発性有機化合物が低減した水溶液を再び液滴にして気相中の揮発性有機化合物に及ぼすようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】本発明は半導体製造装置および排気トラップ装置に関し、冷却コイルに生成した未反応ガスの堆積物によって排気ガス通過経路が閉塞することを防止する半導体製造装置および排気トラップ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の排気トラップ装置は、ハウジングと、前記ハウジングの内部に排気ガスを導入する排気ガス導入口と、前記ハウジングの外部に排気ガスを導出する排気ガス導出口と、前記ハウジングの内部に設けられた冷却コイルと、前記冷却コイルに冷媒を供給する冷媒供給手段と、前記冷却コイルを加熱する加熱手段と、を備えることを特徴とするものである。 （もっと読む）

イオンを生成するために従来のアノードとカソードとの間に使用される典型的な３Ｖよりもはるかに少ない値を使用して水酸化物イオンおよび／または重炭酸イオンおよび／または炭酸イオンを生成する低電圧で低エネルギーの電気化学システムおよび方法；その結果、本発明のシステムおよび方法に起因する二酸化炭素の放出が大幅に減少する。一実施形態において、本発明のシステムは：カソードに接触する第１の電解質と；アノードに接触する第２の電解質と；第１のイオン交換膜によって第１の電解質から分離された第３の電解質と；第２のイオン交換膜によって第２の電解質から分離された第４の電解質と；第３および第４の電解質を分離する第３のイオン交換膜と含む。 （もっと読む）

【課題】 コストの増加を抑えつつ吸着塔内における圧力損失の上昇を抑えることが可能な排ガス処理装置及び排ガス処理方法を提供すること。
【解決手段】 排ガス処理装置は、媒体により有害物質を除去する吸着塔３０と、媒体を再生する脱離塔２と、吸着塔３０から排出された媒体を脱離塔２に送る搬送ライン３ａと、脱離塔２で再生された媒体を吸着塔３０に返す返送ライン３ｂ，３ｃと、吸着塔３０から排出された媒体を吸着塔３０に戻す循環ライン４と、を備え、吸着塔３０は、導入部８、第一の反応室、第二の反応室、第一の反応室から排出される媒体を回収する第一の回収ホッパー１６、及び第二の反応室から排出される媒体を回収する第二の回収ホッパー１７を有し、導入部８は返送ライン３ｂ，３ｃ及び循環ライン４に接続されており、第一の回収ホッパー１６は搬送ライン３ａに接続されており、第二の回収ホッパー１６は循環ライン１７に接続されている。 （もっと読む）

【課題】ＶＯＣ吸着ロータにおけるＶＯＣの分離効率が低下するのを回避し、設定によってＶＯＣ除去効率を最大にすることのできるＶＯＣ除去装置を提供する。
【解決手段】ＶＯＣを含む処理対象ガスFを通流させる処理対象ガス通流路Aと、処理対象ガスFよりも高温に加熱された加熱ガスHを通流させる加熱ガス通流路Bと、多数の通流孔34を有するＶＯＣ吸着ロータ14と、通流孔34を通流する前の加熱ガスHに水蒸気を添加する水蒸気添加手段24とを備えるＶＯＣ除去装置10において、水蒸気添加手段24に、通流孔34を通流した後における処理対象ガスF中のＶＯＣ濃度に基づいて加熱ガスHに添加する水蒸気量を制御する水蒸気量制御手段56を設けることにより上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】生物反応槽での硫化水素除去が高効率で行え、しかも生物反応槽からの排エアーに硫化水素が揮散することがない排ガス処理方法を提供する。
【解決手段】臭気成分を含む排ガスを吸収塔１３に導入し、吸収塔１３の吸収層３４で排ガスと吸収液を接触させて臭気成分を吸収液に吸収させた後、その浄化後の排ガスを吸収塔１３から排気し、吸収塔１３で臭気成分を吸収した吸収液を生物反応槽１２に導入し、その生物反応槽１２で、酸素を含む気体を吹き込んで、液中の臭気成分等を微生物によって酸化分解し、その反応後の気体を生物反応槽１２から排気すると共に生物反応槽１２の液ｌを吸収液として吸収塔１２に循環する排ガス処理方法において、生物反応槽１２内を曝気以外の撹拌装置１７で撹拌し、生物反応槽１２内の液の溶存酸素濃度が、０．１〜１．０ｍｇ／Ｌとなるように酸素を含む気体を吹き込むものである。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で効果的に電極を冷却し、電極の寿命を大幅に伸ばすことができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】電極１間にプラズマを発生させ、被処理物を処理するプラズマ処理装置において、電極１に液体を浸潤するように供給する液体供給機構６を設ける。 （もっと読む）

【課題】揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の除去効率に優れた揮発性有機化合物の除去方法と、その方法で使用する揮発性有機化合物の除去装置とを提供すること。
【解決手段】揮発性有機化合物の除去装置は、水または水溶液を霧化して霧状の水粒子を発生させるための超音波霧化装置２５と、揮発性有機化合物を含んだ被処理ガスを超音波霧化装置２５によって発生されられた霧状の水粒子に接触させる第１の処理室２１と、微生物担持担体の充填層３４を具備した第２の処理室３１とを備える。超音波霧化装置２５で発生させた霧状の水粒子に被処理ガスを接触させた後、これらを充填層３４に送り込むことで、被処理ガスから揮発性有機化合物が除去される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、その中で大気圧プラズマを生成させる絶縁管を冷却するシステムを提供する。
【解決手段】 半導体プロセス機器の排出口から再生ラインに使用済みプロセス流体を通流させ、前記半導体プロセス機器の排出口から前記使用済みプロセス流体を再生し、 前記再生ラインに接続された流体センサで前記使用済みプロセス流体の状態を測定し、前記流体センサから制御器へ前記プロセス流体の状態を表わす信号を送るとともに、該信号が所定範囲内にあることを設定し、前記信号が前記所定範囲内に入る場合は前記半導体プロセス機器に前記使用済みプロセス流体を回収し、また前記信号が前記所定範囲から外れる場合は前記使用済みプロセス流体の少なくとも一部をシステムドレインに流す。 （もっと読む）

【課題】微生物に対する必要最小限の量の栄養剤を補給しながら安定かつ経済的な運転を行うようにしたＶＯＣガス処理装置の運転方法を提供すること。
【解決手段】ＶＯＣを含む排気ガスを捕集し、微生物を付着させた担体を充填した生物処理槽１に導いて生物分解するＶＯＣガス処理装置の運転方法において、生物処理槽１の底部に栄養剤ｄを含む循環水ｃを貯留する貯留水槽１３を設けるとともに、貯留水槽１３内の循環水ｃのアンモニウムイオン濃度及び／又はリン酸イオン濃度を測定する濃度計測器５と、アンモニウムイオン及び／又はリン酸イオンを含む栄養剤ｄを貯留水槽１３に注入する栄養剤注入装置とを設け、濃度計測器５の値が所定値未満とならないように栄養剤注入装置を運転して栄養剤ｄを貯留水槽１３に注入する。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成と簡便な処理によって、安全かつ除去効率の高い水素化スズの除害方法および除害装置を提供すること。
【解決手段】 プロセス装置１からの配管部２と、除害筒３と、排ガス流路４と、流量計５と、流量調整器６と、吸引ポンプ７とから構成される除害装置１０において、予め基材の表面に形成させた金属スズあるいはスズ化合物の表層Ａを有し、該表層Ａとの反応によって水素化スズを分解させるとともに、分解して生成した金属スズあるいはスズ化合物によって形成された新たな表層Ｂによって、さらに水素化スズを分解させる機能を有する除害剤を用いることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】活性炭層内で発火現象が生じたときに、その発火現象箇所の位置によらず検知できるようにして活性炭層の発火を確実に予知し、発火防止につなげることができる活性炭層の発火予知方法及び装置を提供すること
【解決手段】排ガス中の有害成分を吸着させて除去するために活性炭を充填した活性炭層の発火を予知する活性炭層１において、活性炭層内のあらゆる位置を起点として、各起点から１ｍの領域内に少なくとも一つの温度センサ２が存在するように複数の温度センサ２を配置し、これらの複数の温度センサ２で計測した温度のうち少なくとも一つが所定温度以上となったときに発火の危険があると判断し、発火防止策を講じる。 （もっと読む）

【課題】大気中に放散される極く希薄な揮発性炭化水素ＶＯＣを含む大量の排ガス中のＶＯＣを燃焼させずにそのまま回収する方法を提供すること。
【解決手段】吸着剤としてプレコートしたメソポア活性炭充填した層からなり、吸着と脱着を交互に行う吸着装置を用い、一方の吸着装置にＶＯＣを含む排ガスを通過せしめ、該吸着装置内の吸着剤層にＶＯＣを吸着させ、ＶＯＣを含まない排ガスを吸着装置の出口から放出し、その間に、他方の吸着装置を脱着に切り替え、先に吸着されたＶＯＣを系外に取り出して冷却し、液体として回収することからなる、希薄なＶＯＣを含む大量の排ガス浄化方法において、前記吸着装置として、上部にメソポア活性炭からなるハニカム状の吸着剤層を、下部には粒状のメソポア活性炭を充填した上下連通した吸着装置を用い、かつ、原料排ガスの供給位置が、前記吸着装置の上部と下部の中間に位置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により低コストでドライアイスを容器の外部へ搬出することができ、二酸化炭素の回収効率を向上することができる二酸化炭素回収装置を提供すること。
【解決手段】二酸化炭素を含む排ガスを冷却することにより当該二酸化炭素を固化させてドライアイスとし、当該ドライアイスを回収することにより排ガスから二酸化炭素を回収するサブリメータ４０であり、二酸化炭素の固化温度以下の冷媒を流す伝熱管４６を内部に有し、排ガスと冷媒とを間接熱交換させる容器４１を備え、容器４１に連通して設けられ、当該容器４１内で生成されたドライアイス６０を当該容器４１から搬出するスクリューフィーダ装置１００を備えた。 （もっと読む）

【課題】伝熱管における金属疲労の発生や振動騒音の発生を回避しつつ、ドライアイスの付着・堆積を効果的に抑制し、排ガスからの二酸化炭素の回収効率を向上することができる二酸化炭素回収装置を提供すること。
【解決手段】二酸化炭素を含む排ガスを冷却することにより当該二酸化炭素を固化させてドライアイスとし、当該ドライアイスを回収するサブリメータ４０であり、二酸化炭素の固化温度以下の冷媒を流す伝熱管４６を内部に有し、排ガスと冷媒とを間接熱交換させる容器４１を備え、伝熱管４６に超音波振動を付与する超音波振動装置５０を更に備えた。そして、ドライアイスが伝熱管４６の外表面に付着する前に超音波振動装置５０を作動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】排水処理を必要としない、安価で、ランニングコストの低廉な無排水化吸着塔を提供する。
【解決手段】本発明は、被処理ガス中の有機溶剤の吸着、吸着した有機溶剤の脱離を交互に連続して行う吸着材を備えた複数の吸着塔と、有機溶剤を含む被処理ガスを送風機により吸着塔に送る送風ラインと、キャリアガスを吸着塔に送風するとともに、有機溶剤を吸着材から脱離する脱離手段と、脱離後の有機溶剤を濃縮、分離回収する回収ラインとからなる吸着回収装置において、
有機溶剤と共に回収、分離された水相を前記送風ラインに気化するよう戻すリターン手段を設けたことを特徴とする無排水化吸着回収装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】大排気量の場合にも適用できる脱臭技術を提供する。
【解決手段】ケーシング１体と、縦寸法略ａで横寸法略ｂの開口部が縦方向にはＭ列で横方向にはＮ行のＭ×Ｎ個の数だけ格子状に形成された前記ケーシング体の出口側に設けられた枠体２と、縦寸法略ａで横寸法略ｂの開口部が縦方向にはＭ列で横方向にはＮ行のＭ×Ｎ個の数だけ格子状に形成された前記ケーシング体の入口側に着脱自在に設けられた枠体と、前記ケーシング体の内部を、前記出口側の格子状枠体２と入口側の格子状枠体との間において、寸法略ｃの間隔で区分けするように設けられた（Ｌ−１）個のエキスパンドメタル体３と、前記枠体と前記エキスパンドメタル体との間、前記エキスパンドメタル体とエキスパンドメタル体との間に、各々、Ｍ×Ｎ個だけ積層して充填されてなる縦寸法ａ’・横寸法ｂ’・幅寸法ｃ’の脱臭体４とを具備する脱臭フィルタ。 （もっと読む）

【課題】 フッ素含有ガスの分解処理において、高い分解処理能力を長時間にわたって維持することができるとともに、分解処理後の分解処理剤をフッ素原料として再利用に適した形態で回収可能な分解処理剤を提供する。
【解決手段】 フッ素含有ガスを加熱下で分解する分解処理剤であって、水酸化アルミニウムと水酸化カルシウムと炭酸カルシウムとからなる分解処理剤２である。脱水反応によって表面が酸化アルミニウムおよび酸化カルシウムとなり、これらと炭酸カルシウムと、脱水反応によって生じる水（水蒸気）とがフッ素含有ガスと反応することによって、高い分解処理能力を長時間にわたって維持できる。また、分解処理能力の向上により分解処理剤２の交換頻度が減少し、分解処理装置１の稼働効率を向上させることができる。また、分解処理後の分解処理剤２をフッ素原料として再利用に適した形態で回収することができる。 （もっと読む）

流体流から微量汚染物質を吸着するフロースルーモノリス吸着剤（４０８、４１０、４１４）の使用管理方法であって、この方法は、列の上流入口端からこの列の下流出口端へと流体流を通すことができるように初期列の状態で設置されている、微量汚染物質を吸着して有している２以上のフロースルーモノリス吸着剤（４０８、４１０）を提供するステップ、フロースルーモノリス吸着剤の入口端部分（４０８）を、列の入口端位置から取り除くステップ、フロースルーモノリス吸着剤の下流部分（４１０）を、列の下流位置から列の入口端位置へと移動させるステップ、および、交換用フロースルーモノリス吸着剤（４１４）部分を、列の下流位置に取り付けるステップ、を含む。
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