【課題】気体の過飽和溶解水の製造は、従来より加圧溶解方法があり常圧に戻すと過飽和を維持するのが難しい。また、気泡粒径が大きいほど未溶解ガスが大気放出されガスの消費量も多くなり装置も大型化する。
オゾンは、上記の問題がありオゾンの有用な効果を長期にわたり維持するための方策が求められている。
本発明の目的は、ナノ領域のオゾン気泡を含む水溶液の特徴を活かした利用方法を提供する。
【解決手段】先に本出願人が提案した、フッ素樹脂パイプに線状スリットを設けた気液混合溶解手段および分級リサイクル手段を組組合せた気液混合溶解装置によって、溶存オゾンおよび飽和濃度の３倍以上過飽和溶存酸素の水溶液製造を可能にした。本水溶液は優れた殺菌効果があること、またナノ領域の気泡を含んでおり大気へのオゾン放出が微小であり水中での上昇速度が緩慢であることを利用した殺菌・水処理・廃水処理・下水道管腐食防止を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】被洗浄基板、例えばフォトマスク基板、フォトマスクブランク、フォトマスクあるいはそれらの製造中間体等を洗浄した場合に、微小異物（パーティクル）の発生を極めて少なくすることができる洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄液中の異物を除去する異物除去工程を含み、異物を除去した洗浄液を被洗浄基板に供給して洗浄する洗浄方法であって、少なくとも、前記洗浄液をフィルタで濾過して洗浄液中の異物を除去する前記異物除去工程において、併せて洗浄液中の気泡を除去し、前記気泡の除去および異物の除去を行った洗浄液を被洗浄基板に供給して洗浄することを特徴とする洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】汚染水を従来より全体的に簡単、確実に曝気して揮発性有機化合物を揮発脱離させることができ、ランニングコストを低く抑えることができる汚染水曝気装置及びそれを用いたランニングコストを低く抑えることができる汚染水処理装置を提供する。
【解決手段】汚染水吸引吐出用ポンプ１１と、ポンプ１１からの汚染水Ｗ１を曝気しつつ気水混合水として放出する曝気ノズル４１と、ノズル４１からの気水混合水を受け入れ、それから放出される揮発性有機化合物（ＶＯＣ）ガスを保持する気水分離室２とを含んでおり、気水分離室２は、ノズル４１からの放出水を受け入れる水槽部２２及びその上方のガス保持空間部２３を含んでいる汚染水曝気装置１０及び装置１０にＶＯＣガス除去装置５及び装置５へガス保持空間部２３のガスを引き込み通過させるブロア６を組み合わせた汚染水処理装置Ａ。 （もっと読む）

【課題】脱気効率に優れ、コスト廉価で維持管理も容易な脱気装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る脱気装置１９は、洗浄液の通過する流路を備え、該流路の途中に流路の内腔断面積を狭めた絞り部２１を設け、前記流路を変形不可能な剛性パイプ２０で構成し、該剛性パイプの適宜位置においてその径を絞ることにより、前記絞り部２１を形成し、該絞り部の後方側でキャビテーションを発生させることにより、洗浄液中の溶存空気を気泡化することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】気泡除去装置の従来の分離方法では送られてくる液体に大量の空気が混入している場合、空気を排出してしまうことや、構成の複雑さから装置が大型化してしまうことや、除去できる空気の量に制限がある等の問題があった。
【解決手段】装置上部に開口部を設けた器に液体を注入し、気泡の浮力により気体を除去する。器に液体を注いで最下部の液体排出弁を液体で満たしておき、規定の水位を超えるとフロートが浮上して連動する液体排出弁を開き液体のみ排出する。大気圧では排出圧が足りないときにはさらにフロートが浮上して上部の開口部を塞ぎ液体の排出に注入圧を使用する。液体排出口や繋ぐチューブの内径を使用する液体が表面張力で隙間なく留まれる大きさに設定し、途中で気体が混入することなく液体を送り出すことを可能にした。 （もっと読む）

【課題】 従来の気水分離器は、横型仕様で大型なために重量も重く高価であった。
また、流入口と流出口に高低差があるために形状のバランスが悪く、施工性にも困難を要していた。 なお、配管脱気方式も空気溜り部分が無く、補助的性質のものだった。
三分の一程度の大きさの縦型仕様で、従来の気水分離器と配管脱気方式の欠点を解消しつつ、１台で両方を兼用できる配管気泡脱気タンクを提供する。
【解決手段】 縦型円筒の上下を凸面形状に形成したタンクにおいて、流入管をタンクの下部から内部へ中間点より上の位置まで立ち上げて立設する。 流出管はタンク内の先端口を上方から斜め下方に向けてカットし、タンク下部側面から外部横方向に貫設させる。 この流入管と流出管のそれぞれの先端口にフランジを遊着し、更にタンクの上部に空気抜き口と、下部に水抜き口とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 従来、気液ポンプ等の気液混合流を気液分離する装置はあったが水位の自動調整機能がないため、装置内の水位形成が上端、下端に片寄る場合が多く、一旦分離後、気体に液体が、液体に気体が再度混入したり、脈動を起こす等の現象が頻繁に起きた、また、水中と陸上では機種が異なり、不便で実用性に乏しく普及も十分でなかった、従って気液ポンプの用途は狭いものであった。
【手段】 密閉容器内のフロートに自動的に連動する液体開閉装置と気体開閉装置を設けて気体と液体の流量を自動的に制御する装置を付設することで、フロートの上下変動は上端、下端に片寄った水位形成ができない装置となり、かつ、吸い付き力、吸引力、摩擦力の影響のない、一旦分離後も気液の再度の混合がなく、脈動の起きない、水中、水面、陸上のいずれにも使用でき、気液分離の機能を確実化して、気液ポンプの用途を拡大させた水陸自在気液分離装置。 （もっと読む）

【課題】効率的に気泡分離をすることができる小型且つ簡易な構造の気泡分離器及びそれを用いたオイルタンクを提供する。
【解決手段】気泡分離器１は遠心分離式気泡分離手段１０と補助的気泡分離手段２０を備える。遠心分離式気泡分離手段１０は、第１気泡分離器本体１１に設けられた第１液体導入部１２と第１液体排出部１３と第１気体排出部１４を備える。補助的気泡分離手段２０はガイド部１８と第２気泡分離器本体２１と第２液体導入部２２と第２液体排出部２３と第２気体排出部２４とを備える。本発明の気泡分離器によれば、微小な気泡のみならず、遠心分離式気泡分離手段で分離しきれなかった大きな気泡をも分離できる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、水流を均等に分散させて、泡の飛沫及び下流側への泡の混入を低減することができる発泡防止装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 上流側水槽２の下流側を堰き止める堰３と、堰３の下流側に設置され底部を開いて下流側に開放した壁５との間に有孔板６を設置する。この有孔板６を堰３の天端よりも低い位置に設置することで、有孔板６の複数の孔６ａ全てに排水が通るようにして、分散させることができる。これにより、泡の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】多相流から混合液体を良好に抽出することを可能とする混合液体抽出装置を提供する。また、この混合液体抽出装置を含む混合液体密度計測装置を提供する。
【解決手段】混合液体抽出装置は、オリフィスと、一対の連通管１３と、気液抽出タンク１４と、気液排出管１５と、液溜タンク１７と、液流量調節弁１８、１９とを有している。パイプラインにスラグ流等が流れることにより、オリフィス前後の圧力差が周期的に変化する。これに伴って一対の連通管１３と気液抽出タンク１４とでは、気液の抽出と気体を主とした排出とが同時に行われる。気液抽出タンク１４内においては、気液が左右、上下などに強制的に揺さぶられて撹拌され、液体を伴う気体が排出される。これによって気液抽出タンク１４内には、液相の比率が高い気液が残ることになる。そして、この液相の比率が高い気液から気体が除去されて混合液体が抽出され、液溜タンク１７に溜まるようになる。 （もっと読む）

【課題】 空気中に存在する希薄な水分と酸素を用いても、安定して過酸化水素を製造できる過酸化水素製造装置並びにそれを用いた空気清浄機及び加湿器を提供することを目的としている。
【解決手段】 水素イオン導電性を有する電解質膜２と電解質膜２の第１の面に接して配置された陽極電極３と電解質膜２の第２の面に接して配置された陰極電極４とにより構成された電解セル１と、陽極電極３に水を供給する手段と、陰極電極４で発生するガスと液体を分離する気液分離手段１６と、この分離手段により分離されたガスを陽極電極３に供給するガス供給手段１７と、陽極電極と陰極電極との間に直流電圧を印加する電源１９とを備えたもので、少量の水で過酸化水素を製造できる。 （もっと読む）

【課題】 添加物を使用することなく安全なオゾン水処理方法を提供する。
【解決手段】 含有オゾン気泡の粒径Ｒが０＜Ｒ≦１０００ｎｍであるオゾン水を、添加物を含めない気液混合方法によって生成するオゾン水生成工程と、当該オゾン水生成工程において生成したオゾン水を用いて被処理物を処理するオゾン水処理工程と、を含めてなる。上記範囲の粒径のオゾン気泡であればオゾン水の水面に浮上しづらいので脱気量が極めて少ない。したがって、オゾンの溶解度・濃度を高く維持できる。使用するオゾン水は添加物を用いないので安全である。 （もっと読む）

【課題】容器を回転ベースに固定した状態で被攪拌材料を攪拌可能な攪拌脱泡装置を提供することを課題とする。
【解決手段】被攪拌材料Ｋを収容する容器１０が周縁部に固定される回転ベース６と、回転ベース６を回転自在に支持する支持部材３と、回転ベース６を回転させることで容器１０を公転させる第１回転駆動機構５と、を備え、容器１０内に収容された被攪拌材料Ｋにずり速度を発生させるずり速度発生手段７をさらに備えるように構成した。このずり速度発生手段７は、ずり速度発生部７１と、このずり速度発生部７１を回転駆動する第２回転駆動機構７２とから構成される。 （もっと読む）

【課題】吐出薬液に気泡が混入することを抑制することができる薬液供給装置、および薬液に混入した気泡に起因するパターン形成不良の発生を抑制することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】薬液が貯蔵された容器１はフィルタハウジング５に導入管２を介して接続される。フィルタ６はフィルタハウジング５の下部側に配設される。薬液は、ポンプ３により容器１からフィルタハウジング５へ送出される。フィルタ６より上方のフィルタハウジング５の内面には、薬液に対して親和性を有する親液面１３が設けられている。フィルタハウジング５には、フィルタ６よりも下方に、流路を開閉する供給弁７が介在された供給管８を介して薬液を対象物に供給する供給部９が接続される。また、フィルタ６よりも上方に、流路を開閉する排出弁１１が介在された排出管１０を介して薬液を外部に排出する排出部１２が接続される。 （もっと読む）

【目的】容器全体を振動させず、粘性流体の気泡除去方法を提供する。
【構成】本発明の気泡除去方法は、容積が変化できる構造を有する容器を用い、気泡が含まれる粘性流体の容積を、振動を用いて変化させ、容器内の減圧・加圧を交互に行うことにより気泡体積を増加・減少し、気泡を除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】清浄液への気泡の混入を防止することのできる液体サイクロンを提供すること。
【解決手段】円筒部２ａとこの円筒部２ａの下方から漸次縮径する円錐部２ｂとからなる本体２と、円筒部２ａに連接した処理液導入口２ｃと、円錐部２ｂ下方を開口してなる異物排出口２ｄと、清浄液を一時貯留する上部ケース３と、本体２と同心で、本体２上方に配設した上部ケース３に繋がる出口管４とからなる液体サイクロン１において、出口管４内周部に隙間をあけて、周面をメッシュ状とした筒体６を上部ケース３から挿入するとともに、筒体６の上部ケース３内突出部を囲繞する環状体７によって出口管４の上部ケース３内出口に流出制動部７ａを形成する。 （もっと読む）

【課題】 リソグラフィー工程などで使用する薬液処理装置を、パターン欠陥などの不良を引き起こす薬液中の気泡を確実に除去できるようにする。
【解決手段】 薬液供給タンク１内の薬液Ｌを薬液圧送ポンプ４によりパーティクルフィルター５に圧送し、パーティクルフィルター５を透過した薬液Ｌを薬液吐出ポンプ６により処理部２のウェハーＷに供給する薬液処理装置において、薬液タンク１と薬液圧送ポンプ４との間に複数の気泡除去装置３Ａ，３Ｂを配設する。複数の気泡除去装置３Ａ，３Ｂによって気泡の除去がより確実なものとなる。 （もっと読む）

【課題】使用する方向と関係なく気液分離機能を行うことが可能な気液分離装置を提供すること。
【解決手段】直接液体燃料電池からの液体と気体とを受け入れ、液体と気体とを分離して排出する気液分離装置１００において、所定の端面形状を有し、側面には開孔部１１１が形成された円筒管１１０と、円筒管の両端に設置され、円筒管内の液体を選択的に透過させる液体抽出部材１２０と、開孔部を被覆するように形成され、気体を選択的に透過させる気体抽出膜１１５と、液体と気体とを管の内部に導入する引き込み口１４０と、液体抽出部材の外部側を被覆するチャンバ１３０と、チャンバに連結され、チャンバ内の液体を外部に排出する排出口１３２と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】消泡性能を向上することができるとともに、コストを低減することができる液体の消泡装置を提供する。
【解決手段】容器３１の内部に無数の細隙３８ａを有する泡捕捉ネット３８を収容する。下蓋３４にインキを供給するためのインキ取込口３４ａ，３９ａを設ける。下蓋３４に泡捕捉ネット３８の細隙３８ａを透過して貯留されたインキを外部に吐出するための吐出口３４ｂを設ける。泡捕捉ネット３８の内側のインキＩに含まれる気泡Ｋは、泡捕捉ネット３８の内側面３８ｂに沿って上方に移動され、ネット内上部空間Ｒ３から泡捕捉ネット３８の上部の細隙３８ａを透過して容器３１のネット外上部空間Ｒ４に移動される。このネット外上部空間Ｒ４内の空気は、上蓋部３２ａに設けた排気口３２ｂによって外部に排出される。 （もっと読む）

【課題】貯留槽内のクロラミン濃度をあまり上昇させずに、窒素成分の除去を行うことのできる電解窒素除去システムが望まれていた。
【解決手段】貯留タンク１から被処理水を取り出し、再び貯留タンクに戻すための循環路６の途中に、通過型電解装置９で電気分解された被処理水を、循環路の下流側から再処理のために循環路上流側へ戻すバイパス経路１４を設ける。
【効果】バイパス経路１４により、通過型電解装置９で電気分解された被処理水は、貯留タンク１に戻る前に再び通過型電解装置９へ与えられて電気分解され、複数回のパスを経て、窒素除去が迅速にかつ効率良く実現できる。 （もっと読む）