【課題】簡単な処理方法で高純度の塩化ナトリウムを精製する塩化ナトリウムの製造システムを提供すること。
【解決手段】本発明は、燃焼排ガス中に重曹を添加して生成される生成物を水に溶解させ、溶解液を精製して塩化ナトリウムを製造する塩化ナトリウムの製造システムにおいて、溶解液中の炭酸根を分解して除去する脱炭酸槽４によって炭酸根が除去された溶解液中に残留する硫酸根、重金属及びフッ素化合物を沈澱除去する沈澱除去手段と、この沈澱除去手段によって硫酸根、重金属及びフッ素化合物を沈澱除去して得られた上澄液を加熱濃縮して塩化ナトリウムを晶析させる晶析槽１０と、この晶析槽１０によって晶析された塩化ナトリウムを分離して得られた母液を再びシステム内へ戻して循環させる送液手段１４と、を備えることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 洗浄工場において出荷の直前に、イオン交換樹脂または限外ろ過膜の品質の良否を簡易且つ迅速に判定することができるイオン交換樹脂または限外ろ過膜の検査方法を提供する。
【解決手段】 被検体としてのイオン交換樹脂を充填したカラムまたは被検体としての限外ろ過膜を装填した限外膜ろ過装置に、溶存酸素を除去した超純水を供給して通水し、該カラムから流出したカラム流出水をウエハを装填したウエハホルダに供給してウエハと接触させ、接触後のウエハの表面状態を測定することにより、当該被検体としてのイオン交換樹脂または限外ろ過膜の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】吐出薬液に気泡が混入することを抑制することができる薬液供給装置、および薬液に混入した気泡に起因するパターン形成不良の発生を抑制することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】薬液が貯蔵された容器１はフィルタハウジング５に導入管２を介して接続される。フィルタ６はフィルタハウジング５の下部側に配設される。薬液は、ポンプ３により容器１からフィルタハウジング５へ送出される。フィルタ６より上方のフィルタハウジング５の内面には、薬液に対して親和性を有する親液面１３が設けられている。フィルタハウジング５には、フィルタ６よりも下方に、流路を開閉する供給弁７が介在された供給管８を介して薬液を対象物に供給する供給部９が接続される。また、フィルタ６よりも上方に、流路を開閉する排出弁１１が介在された排出管１０を介して薬液を外部に排出する排出部１２が接続される。 （もっと読む）

【課題】液体から気体を放散させるための膜ユニットを複数設置する場合に、省スペース化が十分に可能となる気体放散構造を提供する。
【解決手段】中空糸膜の膜壁に液体を透過させて、液体中に吸収されている気体を放散するための気体放散構造であって、中空糸膜の束を備えた複数の膜ユニットが、放散後の液体及び気体を受け入れる槽に対して、膜ユニットから延びる直管を接続可能なように配置される、気体放散構造。 （もっと読む）

【課題】半導体の量産工場での純水の製造量を増加させることなく、溶存ガスをほとんど含まない純水と、溶存ガスを含む純水を供給できるシステムを提供する。
【解決手段】溶存ガス濃度０．４ｐｐｍ以下の純水を製造する純水製造手段と、前記純水製造手段から純水を供給可能な第１の純水供給手段と、前記純水製造手段と連結部により連結され、該連結部を介して前記純水製造手段から移送された前記純水に気体を溶存させる溶存手段と、前記溶存手段で気体を溶存させた純水を供給可能な第２の純水供給手段とを有することを特徴とする純水供給システムにより、純水を供給する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、含有する油分の種類、組成、含有量の多少を問わず、様々な含油物質に適用でき、かつ、油分除去を効率良く行うことのできる脱油方法および脱油システムを提供することを目的とする。
【解決手段】常温常圧の条件下で気体である物質の液化物を含油物質に接触させ、該液化物に該含油物質中の油分を溶解させて油分高含有の液化物を得る工程（１）、および、該油分高含有の液化物中の常温常圧の条件下で気体である物質を気化させることにより気体として油分から分離する工程（２）を含むことを特徴とする液化物を用いた含油物質の脱油方法、及び上記気体を加圧する圧縮機と、加圧された前記気体を液化物とする凝縮器と、前記液化物を含油物質と接触させ該物質中の油分を溶解させ油高含有の液化物とする氷除去器と、該氷高含有の液化物中の常温常圧の条件下で気体である物質を気化させる蒸発器と、気体と氷とを分離する分離器とが直列に連結して構成されることを特徴とする脱油システム。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプなどの減圧機構を使用することなく、安全に所望のガス濃度のガス溶解洗浄水を製造することができ、使用済みのガス溶解洗浄水の水と特定ガスを再利用することができ、高度な清浄度を必要とする電子部品などの洗浄に好適に使用することができるガス溶解洗浄水の製造方法、製造装置及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】特定ガスを水に溶解したガス溶解洗浄水の製造方法において、特定ガスを大気圧を超える加圧下に水に溶解して大気圧下の溶解度以上の濃度のガス溶解水とし、次いでガス溶解水を減圧して溶存ガスの一部を除去するガス溶解洗浄水の製造方法、特定ガスを大気圧を超える加圧下に水に溶解するガス溶解装置と、ガス溶解装置からのガス溶解水を、ガス溶解時の圧力より低い圧力に減圧し、溶存ガスの一部を除去するガス部分除去装置とを有するガス溶解洗浄水の製造装置、及び、該ガス溶解洗浄水を用いる洗浄装置。 （もっと読む）

アミン溶媒を使用して供給ガスストリームからアミンで捕捉可能なガスを除去するための方法であって、その方法は、（ａ）供給ガスストリームを希薄アミン溶媒と接触させて濃厚アミン溶媒を形成させるステップと、（ｂ）濃厚アミン溶媒からアミンで捕捉可能なガスをストリップして希薄アミン溶媒およびオーバーヘッドの還流ストリームを形成させるステップと、（ｃ）希薄アミン溶媒および濃厚アミン溶媒の一方または両方の少なくとも一部分を周期的にアニオン交換樹脂と接触させて第１の熱安定塩希薄アミン溶媒を形成させるステップと、（ｄ）アニオン交換樹脂を定期的に再生するステップであって、アミン溶媒を洗い流して第２の熱安定塩希薄アミン溶媒を製造するステップと、（ｅ）熱安定塩希薄アミン溶媒の少なくとも一部分を、供給ガスからアミンで捕捉可能なガスを捕捉するのに使用するためにリサイクルするステップとを含む。

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【課題】被処理水の制菌処理用に特別の機器を設けることなく被処理水を制菌することのできる、電気脱イオン装置を備えた燃料電池システムの制菌方法、及び電気脱イオン装置を備えた制菌可能な燃料電池システムを提供する。
【解決手段】燃料電池システム１は、燃料電池本体２と、燃料電池本体２の前段に設けられ、イオン交換膜によって区画された陰極室３１Ｂ及び陽極室３１Ａを有する電気脱イオン装置３１と、電気脱イオン装置３１の陰極室３１Ｂからの排出水（陰極水）を燃料電池システム１における制菌対象箇所に通水する返送管９とを備える。 （もっと読む）

【課題】石炭ガス化工程において発生するガス洗浄排水中に含まれるＣＯＤ起因物質を、効率よく除去することができる石炭ガス化排水の処理方法を提供する。
【解決手段】石炭の部分酸化により得られたガスを洗浄した際に生ずる石炭ガス化排水を凝集沈澱処理して懸濁物質を除去した後、懸濁物質を除去した石炭ガス化排水のｐＨを３〜６に調整して、酸化剤の存在下で紫外線を照射した後、ｐＨ７以上に調整して水蒸気又は空気で曝気してアンモニアを除去することを特徴とする石炭ガス化排水の処理方法及び該処理方法の前記紫外線照射が２槽の紫外線処理槽で処理する方法であって、１槽目で酸素ガス又は空気で曝気しつつ紫外線照射し、２槽目で過酸化水素を添加して紫外線照射する石炭ガス化排水の処理方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】被処理液を効率よく脱気することができると共に、被処理液中の異物を除去することができる装置を提供する。
【解決手段】被処理液貯留槽に貯留された被処理液を循環させる流路を設ける。この流路中に、上流側から順にフィルタ１２、脱気槽１３、送液ポンプ１４及び吐出圧調整部１５を設ける。脱気槽１３には、内部の気体を吸引するためのエゼクタ２１を接続する。被処理液は、脱気槽１３よりも上流側では脱気槽１３内の減圧により、下流側では送液ポンプ１４により、それぞれ被処理液を送液する。この装置では、フィルタ１２により被処理液中の異物が除去されると共に、脱気槽１３により被処理液が脱気される。吐出圧調整部１５を調整することにより、脱気槽１３では被処理液を供給し、排出することが連続的にできるため、被処理液を効率よく脱気することができる。 （もっと読む）

【課題】 脱水機やコンベア等の設備の耐久性を向上させ、凝集剤などの薬品コストを抑えた、低コストで効率の良い有機性廃棄物の処理方法とその装置を提供すること。
【解決手段】 有機性廃棄物を嫌気性消化処理し、該嫌気性消化処理で得られた消化汚泥に好気的生物処理を行った後、リン酸マグネシウムアンモニウム粒子を分離及び／又は回収する工程へ導くことを特徴とする有機性廃棄物の処理方法。有機性廃棄物を嫌気性消化する嫌気性消化槽、該嫌気性消化槽からの消化汚泥を処理する好気的生物処理槽、及び該好気的生物処理槽からの汚泥からリン酸マグネシウムアンモニウム粒子を分離／回収するリン酸マグネシウムアンモニウム分離回収装置を備えたことを特徴とする有機性廃棄物の処理装置。 （もっと読む）

【課題】被処理水中の過酸化水素を迅速かつ確実に除去することができ、特に半導体、液晶などの電子材料を扱う産業において用いられる超純水製造装置における超純水中の過酸化水素の除去に適した過酸化水素の除去方法及び除去装置を提供する。
【解決手段】過酸化水素を含む被処理水を、平均粒子径１〜５０ｎｍである白金族の金属ナノコロイド粒子を担体に担持させた過酸化水素分解触媒に接触させることを特徴とする水中の過酸化水素の除去方法、及び、平均粒子径１〜５０ｎｍである白金族の金属ナノコロイド粒子を担体に担持させた触媒を充填した過酸化水素分解装置と、過酸化水素を含む被処理水を該装置に供給する給水手段と、該触媒と接触した水を該装置から排出する排水手段とを有することを特徴とする過酸化水素の除去装置。 （もっと読む）

【課題】電解処理及びアンモニアストリッピングを効果的に組み合わせることにより、夫々の処理における問題点を解消して効率のよいアンモニア除去を可能とした水処理方法及びシステムを提供する。
【解決手段】廃水１０を中性域から弱アルカリ域としてアンモニアストリッピング塔１に導入し、アンモニアストリッピング処理してアンモニア性窒素を低減した後に、電解装置２にて塩化物イオン存在下での電解処理により次亜塩素酸を生成し、該次亜塩素酸により残存するアンモニア性窒素を除去する構成とし、好適にはアンモニアストリッピング処理する廃水１０のｐＨを７〜９の範囲内とする。 （もっと読む）

【課題】乾式メタン発酵と称されるような事実上有機物に加水しないでメタン発酵させる場合でも、メタン発酵をより効果的に継続させること。
【解決手段】上部から有機物が導入され、下部から発酵後の前記有機物の残渣が排出されるメタン発酵槽を備えた発酵ガス生成装置において、前記メタン発酵槽内において上下方向に延びる回転軸と、前記回転軸の径方向に延び、上下方向に離間して前記回転軸に多段に設けられ、前記回転軸の回転により前記メタン発酵槽内の前記有機物を撹拌する撹拌部材と、少なくとも一つの前記撹拌部材に設けられ、前記メタン発酵槽内で発生したガスの一部であって、精製処理が行なわれた精製ガスを噴出する噴出部と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】発電所や各種産業プラントから排出されるアンモニア含有排水を処理するに際し、アンモニア放散塔における硬度成分の析出による閉塞を抑制して、該放散塔の長期間の連続運転を可能とし、アンモニア含有排水から、アンモニアを効率よく除去する方法を提供する。
【解決手段】（ａ）硬度成分を含むアンモニア含有排水に、アルカリを加えてｐＨを８〜１４に調整すると共に、凝集剤を加えて前記硬度成分を凝集させ、固液分離する脱塩処理工程、及び（ｂ）前記（ａ）工程で固液分離された排水に酸を加えて、該排水のｐＨを低下させ、かつ８未満にならないようにｐＨを調整したのち、この排水からアンモニアを除去する工程、を有するアンモニア含有排水の処理方法である。 （もっと読む）

【課題】 高溶解度・高濃度オゾン水を効率よく簡単に生成することのできるオゾン水生成装置を提供する。
【解決手段】
被処理水を通過させるための配管（２７３）と、当該配管の途中に設けた気液混合構造（２０５）と、当該気液混合構造にオゾンを供給するためのオゾン供給構造（２０３）と、を含めて構成したオゾン水生成装置（２０１）において、当該気液混合構造には、内部に磁力を作用させるための磁石（２４３）を設けてある。被処理水とオゾンの双方に磁力を作用させることによって、高溶解度・高濃度オゾン水を効率よく簡単に生成することができる。 （もっと読む）

再生装置からのリーンソルベントがフラッシュされ、ここから補助的水蒸気が回収され、この水蒸気を次いで圧縮機、最も好ましくはサーモコンプレッサーを使用して再生装置にフィードバックされるフラッシュドラムを含む企図された溶媒再生装置。かかる装置は、電気エネルギー需要の増大にもかかわらず、実質的に低減された正味の水蒸気およびエネルギー必要量を有し、さらに再生装置中で中立の水収支を維持している。
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【課題】この発明は、微少気泡の適用範囲の拡大、特に、身近な分野への適用を重視し、電気製品であるポンプを使用することなく、極めて簡便小型安価な構成で、従って、身近な分野への利用が容易となる気泡発生装置およびその使用方法を提供するものである。
【解決手段】連通孔５を備えた隔壁２で内部が上方に位置する攪拌室３と下方に位置する気泡分離室４とに区分された容器１、その上端に設けられ先端に設けたノズル１２から攪拌室３内に有圧の上水道水を導入する給水口１１、容器１の上端に回転可能に取り付けられノズル１２からの導入水流で回転するタービン１０、このタービン１０と同軸に一体に取り付けられ攪拌室３内で回転可能に構成されたスクリュー１４、気泡分離室４から気泡溶解液を導出する取出口１８、この取出口１８に接続され気泡溶解液を減圧して放出する減圧調整バルブ２０、および容器１の下端に設けられた排水バルブ１７を備えた。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、超純水を製造するため、特に、液浸リソグラフィ法にて使用されるシステム及び方法に関する。本発明の１つの実施の形態において、液浸リソグラフィ装置にて使用される超純水を均一に提供することのできる自己密閉型のユースポイントキャビネットが提供される。本発明は、また、液浸リソグラフィ装置に対して所定の屈折率を有する材料を提供するシステム及び方法にも関する。 （もっと読む）