【課題】基板幅方向に長いスリット状の吐出口を有するノズルを備えた塗布装置において、ノズル内に侵入した異物や気泡等を効果的に排出させること。
【解決手段】塗布装置１の一部には、メンテナンスステージ２５が備えられている。このメンテナンスステージ２５には、ノズル１０のスリット状吐出口に当接して当該吐出口を封止することができる長尺状して柔軟性を有する素材により形成された封止部材２５ｃが配置されている。前記ノズル１０をメンテナンスステージ２５に移動させて、前記ノズル１０の吐出口を前記封止部材２５ｃに当接させた状態にすると共に、前記ノズルに備えられた薬液導入部および薬液導出部をそれぞれ利用して、ノズル内に薬液を流す動作が実行される。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式による基板への機能性液の打滴が最適化され、好ましい微細パターンを形成し得る液体塗布装置及び方法並びにナノインプリントシステムを提供する。
【解決手段】基板(102)上に機能性液を打滴する複数のノズル(120)、及び少なくとも一部が圧電素子(123)で構成された側壁（121）によって区画され、各ノズルのそれぞれに連通される液室を具備し、圧電素子をせん断変形させて液滴を打滴する液体吐出ヘッド(110)と、基板と液体吐出ヘッドとを相対的に移動させる搬送部(108)と、を具備し、液体吐出ヘッドに具備される複数のノズルについて、両隣のノズルが異なるグループに属するように複数のノズルを３つ以上のグループにグループ化するとともに、同一の打滴タイミングにおいて同一のグループに属するノズルのみから打滴を行い、液体を前記基板上に離散的に着弾させるように圧電素子の動作が制御される。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式による基板への機能性液の打滴が最適化され、好ましい微細パターンを形成し得る液体塗布装置及び液体塗布方法並びにナノインプリントシステムを提供する。
【解決手段】基板(102)上に光硬化性樹脂を含有する液体を打滴するための複数のノズル(120)が所定の方向に沿って一列に並べられた構造を有し、複数のノズルのそれぞれに連通される複数の液室(122)、及び複数の液室に対応して配設される液室内の液体を加圧するための圧電素子を具備する液体吐出ヘッド(110)を備え、基板と液体吐出ヘッドとを相対的に移動させて、液体を基板上に離散的に着弾させるように圧電素子を動作させるとともに、前記液体吐出ヘッドの構造に対応して前記複数のノズルがグループ化され、該グループごとに圧電素子の動作が制御される。 （もっと読む）

【課題】 ドット部のマーキング対象物との密着力が向上する識別コードの提供及び、識別コードを構成するドット部とマーキング対象物との接触面積が大きく、密着力を向上させ、識別コードを構成するドット部の欠けや脱落、倒れを防ぎ、識別コードの判別性を向上させる手段を提供する。
【解決手段】 マーキング対象物の上に、複数のドット部の集合体で構成される識別コードにおいて、各々のドット部を、マーキング材料が複数のドットを積層して形成し、上層のドットの中心位置を、下層のドットの中心位置に対してずらして形成する。 （もっと読む）

【課題】 製品品質の低下を極力防止し、良好なペーストの塗布を行なうこと。
【解決手段】 ステージ４を跨いで設けられた門形フレーム５の梁状部材５ａにガイド装置８を介して塗布ヘッド６を水平移動自在に支持する。ガイド装置８は、梁状部材５ａに固定されたガイドレール８ａ１とこのガイドレール８ａ１に摺動自在に設けられ塗布ヘッド６側に固定された可動台８ａ２とを有する。また、梁状部材５ａには、ガイドレール８ａ１に沿って複数の真空吸引孔５ｂが所定の間隔で設けられ、各真空吸引孔５ｂは、電磁弁を有する配管を介して真空源に接続される。 （もっと読む）

【課題】塗布液（例えばレジスト液）の供給量を少なくして薄い塗布膜を形成する場合でも、基板面内の塗布膜厚さのばらつきを抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】塗布液を基板の中心部に供給するとともに基板を回転させ、基板の表面の全体を塗布液で覆う塗布液塗布工程と、塗布液塗布工程の後に、塗布液の供給を停止した状態で基板を回転させ、塗布液を乾燥させる乾燥工程と、を備えた塗布方法において、乾燥工程において、基板の裏面側から基板の半径方向の特定の範囲の温度を局所的に調節する。この調整は、例えば、温調ノズルによって基板の裏面の半径方向の特定の範囲に温調流体を吹き付けることによって、あるいは熱線を基板の裏面の半径方向の特定の範囲に照射することにより行うことができる。 （もっと読む）

【課題】スロットダイ塗布装置のための塗布ギャップの非常に正確な初期設定及びそれに続く塗布作業中の塗布ギャップの制御を可能にすることで、ウェブスプライス及びウェブ欠陥のために塗布プロセスが中断されないようにする、装置及び方法を提供する。
【解決手段】塗布ヘッドの移動軸に垂直に取り付けられた先細又は楔形調整部材であって、スロットダイハウジングの移動軸に垂直な方向に動くことによって塗布ギャップを約１０マイクロメートル刻みで調整する先細又は楔形調整部材を用いることにより、高精度の初期設定が達成される。基材スプライス及び欠陥が塗布位置に到達する前に検知されるため、フィードフォーワード制御装置が塗布ヘッドを一時的に格納することにより、スロットダイの損傷を回避しつつ塗布プロセスの中断を避けることができるとともに、この装置によれば、スプライス又は欠陥が通過した後、塗布ヘッドをその元の位置に高精度で戻すことができる。 （もっと読む）

【課題】基材の表面にバルジを誘導するためのパターンを形成せずに組成物の液滴を付与して線状パターンを形成する場合に比べ、線状パターンに生じるバルジの方向が制御されるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】基材の表面に組成物の液滴を線状に付与して線状パターン１２Ａ，１２Ｂを形成する線状パターン形成工程と、線状パターンを形成すると共に又は線状パターンを形成する前に、液滴を付与して、前記線状のパターンの幅方向における片側の縁で接触するバルジ誘導用パターン１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを形成するバルジ誘導用パターン形成工程と、を含む。バルジ誘導用パターンを形成した後、線状パターンを形成することが望ましく、予めパターン形成領域外に組成物の液滴を付与してバルジ発生位置を確認するためのバルジ確認用パターンを形成する工程をさらに含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】連続的に長期間の繰り返し塗工を行った場合にも、安定して均一な膜が形成できる塗工方法を提供する。
【解決手段】軸体とその周囲に形成した導電性弾性層とを有する導電性基層ローラに対し全周に亘って間隙を形成するように配置されたリング塗布ヘッドの吐出口から塗布液を吐出し、導電性基層ローラ上に少なくとも１層以上の表面層を形成するローラの製造方法であって、該リング塗布ヘッドと該導電性基層ローラを長手方向に相対移動させずに、前記リング塗布ヘッドの吐出口と前記導電性基層ローラとの間隙に塗布液を充填しながら／もしくは充填した後、前記導電性基層ローラと前記リング塗布ヘッドを相対的に軸回転させる工程と、該導電性基層ローラの長手方向に該リング塗布ヘッドを相対移動させながら、前記リング塗布ヘッドの吐出口から塗布液を吐出させて該表面層を形成する工程、を有することを特徴とするローラの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 例えば太陽電池用のフィンガー配線パターンなどのパターンを、その開始端も含めて均一に形成することができるパターン形成方法およびパターン形成装置を提供する。
【解決手段】 ペーストに加えるせん断応力の増加に応じたペーストの粘度変化（粘度特性）を測定する（ステップＳ１０）。測定した粘度特性に応じて、ノズルからのペーストの吐出を開始する際における基板の移動速度条件を調整する（ステップＳ２０）。調整された速度条件で基板を移動させるとともにノズルからペーストを線状に吐出して基板上に線状のフィンガー配線パターンを塗布形成する（ステップＳ３０）。 （もっと読む）

【課題】インクジェット法により、バンクやマスクを使用しないで、良好な直線性を有したラインを形成することができる、ライン形成の方法を提供する。
【解決手段】インクジェット法により、インキ組成物の液滴をノズルから２以上吐出して、基板上に直線状のラインを形成するライン形成方法であり、予め、基板と液滴との接触角θ（°）、及び、基板上に着弾した液滴の着弾径Ｄ（μｍ）を求め、基板上での液滴の着弾ピッチｐ（μｍ）を制御して、ｐ／Ｄが、下記式（１）〜（３）の３式で囲まれた領域内に含まれるようにしてラインを形成することを特徴とする、インクジェット法によるライン形成方法である。
式（１）：ｐ／Ｄ＝０．００４５×θ＋０．７３２６
式（２）：ｐ／Ｄ＝０．０２０９×θ＋０．０６７２
式（３）：θ＝０ （もっと読む）

【課題】塗布液例えばレジスト液の供給量が少ない場合でも、基板の表面に均一に塗布膜を形成することができる技術を提供する。
【解決手段】塗布方法は、基板（Ｗ）の中心にプリウエット液を供給するとともに基板を回転させてプリウエット液を第１の基板の表面全体に拡散させるプリウエット工程と、プリウエット液が供給された基板に塗布液（例えばレジスト液）を供給し、これを乾燥させることにより前記第１の基板の表面に塗布膜を形成する塗布膜形成工程とを備える。プリウエット液として、塗布膜成分（例えばレジスト成分）を溶解しうる溶剤と、この溶剤よりも表面張力が高い高表面張力液体とを混合することにより得た塗布液よりも表面張力が高い混合液体を用いる。溶剤と高表面張力液体とを別個に用意し、プリウエット液を供給する際に溶剤と高表面張力液体とを混合する。 （もっと読む）

【課題】幅，高さ方向に高精度で均一な塗布ができるようにしたインクジェット塗布装置及び方法を提供する。
【解決手段】各塗布ヘッド１５は、Ｘ軸方向に配列されて、４個ずつで１つのグループをなす。同じグループでは、塗布ヘッド１５がＹ軸方向の位置を異にし、グループ間では、Ｙ軸方向に同じ位置の塗布ヘッドが１つずつある。異なるグループのＹ軸方向に同じ位置の１つずつの塗布ヘッド１５は同じＺ軸保持プレート２０ｂｃに搭載されている。各塗布ヘッド１５は微動Ｚ軸駆動手段２０ａを備え、個別にＺ軸方向に移動可能である。また、Ｚ軸保持プレート２０ｂｃ毎に個別Ｚ軸駆動手段２０ｂ₁が設けられ、これにより、Ｚ軸保持プレート２０ｂｃが個別にＺ軸方向に移動可能である。また、共通Ｚ軸駆動手段３０が設けられ、これにより、全てのＺ軸保持プレート２０ｂｃが、従って、全ての塗布ヘッド１５が同時にＺ軸方向に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】外観品質に優れた自動車の開閉可能な窓ガラスが得られ、しかも繰り返し開閉してもガラス面に設けた被膜に傷が形成されることを抑制できる被膜付き自動車用窓ガラスの製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】窓ガラス１０を上辺１３を上にして保持し、ノズル２０を、凹面１０ａの側辺１１に沿って上方に非塗布領域Ａの下縁ａまで相対移動させ、非塗布領域Ａの下縁ａに沿って側辺１１から側辺１２まで相対移動させ、側辺１２に沿って非塗布領域Ａの下縁ａから下方に相対移動させて、凹面１０ａに塗布液を塗布する工程と、塗布した塗布液を乾燥して被膜を形成する乾燥工程と、を有する被膜付き自動車用窓ガラスの製造方法。 （もっと読む）

【課題】機能液を補充する頻度を少なくする描画方法を提供する。
【解決手段】基材２上に複数種類の機能液を液滴にして吐出する液滴吐出装置を用いてパターンを描画する描画方法にかかわる。パターンを描画するときに各種類の機能液を消費する量の比率である消費量比率を演算する消費量比率演算工程と、各種類の機能液の量の比率を消費量比率と同じ比率にして機能液を液滴吐出装置９に設置する機能液設置工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】一面を描画する際に、先端側から順次描画を実施して、後端の描画においては、必ずしも描画ヘッドにおける全ての吐出ノズルが使用可能ではないことに起因して描画ヘッドの使用効率が低下することを抑制できる描画装置、及び描画方法を提供する。
【解決手段】描画装置は、連続媒体を描画位置に供給する供給手段と、連続媒体における描画位置に位置する被描画領域を吸着保持する保持手段と、液状体を吐出する複数の吐出ノズルを備える吐出ヘッドを備えるヘッドユニットと、ヘッドユニットを、副走査方向に、保持手段に対して相対移動させる副走査手段と、ヘッドユニットを、副走査方向に交差する主走査方向に走査させる主走査手段と、を備え、被描画領域の副走査方向の被描画領域幅ＷＥが、ヘッドユニットの副走査方向の描画時改行幅ＷＭＩに対して、（ｎ−１）ＷＭＩ＋（１／２）ＷＭＩ≦ＷＥ≦（ｎ）ＷＭＩ（ｎは整数）を満たす関係を有する。 （もっと読む）

【課題】基材に活物質層を形成するとき、基材の幅方向で活物質層の厚さを均一にする活物質コーティング装置を提供する。
【解決手段】活物質コーティング装置は、スラリー状態で圧送される活物質を供給する溝を形成し溝に連結して活物質を吐出する吐出スロットの第１リップ部を形成する下部ダイと、下部ダイの上方に配置されて第１リップ部と対向して吐出スロットの第２リップ部を形成し活物質の吐出方向に沿って第２リップ部の後方にヒンジ部を形成する上部ダイと、活物質の吐出方向に沿ってヒンジ部の後方で下部ダイと上部ダイの間に介在して固定ギャップを設定する固定スペーサと、吐出スロットの幅方向両側の第１リップ部と第２リップ部間に介在して可変ギャップを設定するフレキシブルスペーサと、上部ダイに設置されてヒンジ部を中心として第２リップ部をプッシュ／プルして第１リップ部と第２リップ部の間の可変ギャップを調節する調節器とを含む。 （もっと読む）

【課題】塗布剤塗布方法において、時間経過によって粘度が変化する塗布剤の塗布量のムラを抑制するとともに作業効率を向上することができるようにする。
【解決手段】塗布剤塗布方法であって、圧力を塗布剤の硬化開始時からの経過時間に応じて変化させる圧力制御データを決定する圧力決定工程（ステップＳ５、Ｓ９）と、圧力制御データに基づいて予め設定された試し塗布速度で塗布剤を試し塗布する試し塗布工程（ステップＳ６）と、試し塗布量を測定する試し塗布量測定工程（ステップＳ７）と、単位塗布長さ当たりの塗布量が予め設定された目標塗布量となる塗布速度の大きさを算出する塗布速度算出工程（ステップＳ８）と、算出された塗布速度によって被塗布体と吐出口とを相対移動させて、被塗布体に塗布剤を塗布する本塗布工程（ステップＳ１０）とを、備える方法とする。 （もっと読む）

【課題】サイクルタイムに影響を及ぼすことなく、ワークギャップを調整することができる液滴吐出装置のワークギャップ調整方法を提供することである。
【解決手段】ワークテーブル４１に給材されたワークＷに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド７を吐出駆動して描画を行う液滴吐出装置１のワークギャップ調整方法であって、ワークテーブル４１に給材したワークＷを、機能液滴吐出ヘッド７に対しアライメントするアライメント工程と、アライメント工程に並行し、ワークテーブル４１上のワークＷの厚みを測定する厚み測定工程と、厚み測定工程の測定結果に基づいて、ワークＷの表面と機能液滴吐出ヘッド７のノズル面３７とのワークギャップを所定の値に調整するギャップ調整工程と、を備えたこ方法である。 （もっと読む）

【課題】スピン塗布法を用いて塗布液を基板に塗布する場合において、塗布液の塗布量を少量にしつつ、塗布液を基板面内に均一に塗布する。
【解決手段】塗布処理方法は、ウェハを加速回転させた状態で、そのウェハの中心部にノズルからレジスト液を吐出して、ウェハ上にレジスト液を塗布する塗布工程Ｓ３と、その後、ウェハの回転を減速し、ウェハ上のレジスト液を平坦化する平坦化工程Ｓ４と、その後、ウェハの回転を加速して、ウェハ上のレジスト液を乾燥させる乾燥工程Ｓ５と、を有する。塗布工程Ｓ３では、ウェハの回転の加速度を第１の加速度、前記第１の加速度よりも大きい第２の加速度、前記第２の加速度よりも小さい第３の加速度の順に変化させ、当該ウェハを常に加速回転させる。 （もっと読む）