【課題】各層の膜厚が均一な多層膜を、効率的に形成することができる。
【解決手段】
支持体１２上に、凝固点の異なる２種類の溶媒Ａ、Ｂを含む塗布層１４を形成する工程と、塗布層１４の厚み方向に、２種類の溶媒Ａ、Ｂのうち溶媒Ｂの凝固点を含む温度分布を生じさせることにより、溶媒Ｂを溶媒Ａから層状に分離して多層膜１６を形成する工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】塗布時の垂れ防止、加温による浸透性の向上、及び加温後の冷却による大幅な粘度上昇を実現可能な防錆組成物、及びこれを用いた防錆処理方法を提供する。
【解決手段】ワックス類と、流動パラフィンと、硬化油と、を含有する防錆組成物に対して、脂肪酸アミドからなる加温型チクソ性付与剤をさらに含有させる。脂肪酸アミドとしては、脂肪酸とポリアルキレンポリアミンとを反応させて得られる脂肪酸アミドであることが好ましく、加温型チクソ性付与剤の含有量としては、２質量％から５質量％であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】自動車車体の狭隘部へ確実にワックスを浸透させると共に、製造ラインにおける垂れ落ちを防止でき、さらに、出荷後においても、車体搬送時およびユーザー使用時のワックス垂れを防止できる自動車車体の防錆処理方法を提供する。
【解決手段】自動車車体Ｗを防錆処理するに当たって、上塗塗膜の乾燥後、自動車車体の防錆処理部位に、加温型チクソ剤を含有するワックスを塗布する工程、このワックスを加熱することによって自動車車体の狭隘部へワックスを浸透させ、かつワックスを増粘させる工程、およびワックスを冷却する工程を実施する。 （もっと読む）

【課題】複数の吐出口から吐出された流動性材料の乾燥速度の均一性を向上する。
【解決手段】塗布装置１では、塗布ヘッド１４が主走査方向に主走査しつつ、主走査方向に垂直な副走査方向に関して等間隔にて配列された複数の吐出ノズル１７から基板９上に有機ＥＬ液を吐出し、主走査が完了する毎に基板９が副走査方向に移動する。このとき、一の主走査の直後では、副走査方向における基板９の相対移動方向後側の吐出ノズル１７にて形成された線状要素の周囲の雰囲気中の有機ＥＬ液の溶媒成分の濃度が比較的低くなるが、基板保持部１１内の流路１１１を循環する水により基板９が冷却されることにより、有機ＥＬ液の乾燥速度が遅くされて乾燥前に次の主走査が行われ、複数の吐出口から吐出された有機ＥＬ液において吐出直後の異なる条件下にて乾燥が終了することが防止され、有機ＥＬ液の乾燥速度の均一性が向上される。 （もっと読む）

【課題】液膜を乾燥させて形成する膜の膜厚均一性を向上させる成膜方法及び成膜装置を提供する。
【解決手段】＋Ｘ方向に配列する複数のノズルの各々から対向する複数の目標点Ｔの各々に実質的に同じタイミングで液滴を着弾させることによって＋Ｘに連続する液膜Ｆを形成する。各熱伝導部材２６が、高伝導領域Ｒｃと対向する加熱面１２ａ上の位置に配設されて、加熱面１２ａからの熱量を、当接する基板Ｓの裏面に供給する。そして、＋Ｘ方向における所定幅の両端部分と、＋Ｙ方向に沿う液膜Ｆの両端部分とがそれぞれ中間部分よりも低温になる温度分布を液膜Ｆに形成して液膜Ｆを乾燥する。 （もっと読む）

【課題】発泡した材料を基体表面に吐出する方法
【解決手段】被覆される基体表面と材料吐出装置の出口開口との間に相対移動を生じさせるステップと、少なくとも２つの材料成分を混合装置の中で混合して、自由に流動する、発泡する吐出材料を供給するステップと、混合装置と、出口開口の放出断面から流れ方向の下流に置かれた吐出領域との間で差圧を生じさせるステップと、吐出材料を吐出材料の混合装置から出口開口へ搬送するステップと、及び吐出材料を出口開口から基体表面へ放出するステップとを有する方法で発泡した材料を広大な基体へ吐出するとき、発泡体吐出の均一性が、特に塗布の粘稠度と厚さとに関して、望ましくないむらにより損なわれる問題がある。そこで、吐出材料を、出口開口の放出断面から上流の隣接領域で、ある一定の圧力で保持し、この領域の吐出材料の発泡率を、発泡工程の終りに生じる発泡率の１０％未満とすることで解決する。 （もっと読む）

【課題】吐出量を精度良く調整できる吐出量調整方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ノズルから液滴を吐出するときの吐出量を調整する吐出量調整方法に係る。ノズルから液滴を吐出する測定用吐出工程と、ノズル付近の温度であるノズル温度を冷却する第１冷却工程及び第２冷却工程と、測定用吐出工程にて、吐出された吐出量を測定する測定工程と、測定工程にて、測定された吐出量を目標吐出量に近づける調整をする調整工程とを有し、測定用吐出工程の後、測定工程及び調整工程を経て吐出量を調整した後、再度測定用吐出工程を行うとき、測定用吐出工程と再度行う測定用吐出工程との間に第１冷却工程及び第２冷却工程を行う。 （もっと読む）

【課題】従来の防食被覆鋼材に比べ、無機化合物被覆層の見かけ拡散係数が低く、海洋等の高塩分環境における塩化物イオンバリア性に優れた無機化合物被覆鋼材の製造方法を提供するにある。
【解決手段】素地鋼材の上に、直接または中間層を介して、溶融した、硫黄を含有する無機化合物を接触させ、素地鋼材上で無機化合物の溶融状態を一定時間保持した後、無機化合物を冷却固化させて無機化合物被覆層を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より屈折率の低い硬化膜が得られる光硬化性組成物、硬化膜の製造方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）シリカを主成分とする粒子、（Ｂ）分子内に１個以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物、（Ｃ）水溶性であり、かつ重合性不飽和基を有しない、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量が２００〜２０，０００の化合物、及び（Ｄ）光重合開始剤を含有する光硬化性組成物を塗布する工程、光照射する工程、及び水に浸漬する工程を含む、硬化膜の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 水性塗料を用いた場合の塗膜の乾燥時間を短縮することができ、ワキの発生がなく、塗装物および被塗物の変形を防止し、生産性が高く、従来と比べて小型で安価な設備による塗膜乾燥方法を提供すること。
【解決手段】 被塗物１３に水性塗料を塗布して被塗物１３上に塗膜８、９を形成する塗布工程と、被塗物１３に塗膜８、９を塗布した塗装物２を加熱して、塗膜８、９の不揮発分が７０〜９０％になるまで予備乾燥する予備乾燥工程と、塗装物２を加熱して塗膜８、９の不揮発分が９７％以上になるまで乾燥する最終乾燥工程と、塗装物２を手で取扱える温度まで冷却する冷却工程とを備え、予備乾燥工程は、塗装物２を一定の周期で加熱と冷却を繰り返して塗膜８、９を予備乾燥する。 （もっと読む）

【課題】プレート部材の温度上昇に起因する性能の劣化を抑制できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、機能液の液滴を吐出する吐出口が形成された吐出面を有するプレート部材と、吐出口から液滴が吐出されていないときに、プレート部材を冷却するために、プレート部材の少なくとも一部と接触するように気流を生成する気流生成装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】加熱された吐出ヘッドを簡易かつ確実に冷却して、正確な液滴吐出を行うことができる液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提案する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド３４から基板に対して液滴Ｌを吐出する液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッド３４により液滴吐出を行う領域外に液滴吐出ヘッド３４を冷却液Ｖに浸漬するヘッド冷却部８１を備える。ヘッド冷却部８１は、液滴吐出ヘッド３４のノズル１８から吐出用液体Ｌを吸引する吸引キャップ部を兼ねる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、スリット状吐出口の厚み方向での噴霧分布の均等性を向上できる噴射ノズルおよびそれを用いた噴霧方法を提供する。
【解決手段】噴射ノズルは、ノズル本体１の先端に並列に形成された２つのスリット状吐出口２ａ，２ｂと、吐出口の上流側に形成された第１の流路３と、流路幅が狭まった第２の流路４と、この第２の流路よりも流路幅が大きな第３の流路５とを備えている。第３の流路５の下流端から第２の流路２の途中部まで、連通流路７を形成する切り欠き凹溝６が軸方向に延びており、切り欠き凹溝６の下流端は、上流からの流体が衝突可能な衝突壁８を形成している。切り欠き凹溝６は第２の流路の対向壁に対向して形成されている。さらに、２つの吐出口２ａ，２ｂは、前記切り欠き凹溝６の対向する方向に対して並列に形成されている。 （もっと読む）

【課題】加熱された吐出ヘッドを簡易かつ確実に冷却して、正確な液滴吐出を行うことができる液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提案する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド３４から基板Ｐに対して液滴Ｌを吐出する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッド３４にワイピングシート９２を当接させつつ液滴吐出ヘッド３４とワイピングシート９２とを相対移動させて液滴吐出ヘッド３４を拭うワイピング部９０と、ワイピングシート９２を液滴吐出ヘッド３４に当接するに先立ってワイピングシート９２に対して冷却液Ｗを吹き付ける冷却液塗布部１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】加熱される液滴吐出ヘッドを、簡単な構成で冷却でき液滴の吐出重量の安定性を
向上させかつ精度の高いパターンを短時間に形成するパターン形成方法、パターン形成装
置及び回路基板を提供する。
【解決手段】前記基台２１の一側には、冷却機構４０が設けられている。冷却機構４０は
、ベース４１に対して冷却台４２が設けられている。冷却台４２の上面にはペルチェ素子
ＰＴが設けられている。ペルチェ素子ＰＴは、その冷却部が、上方に向くように冷却台４
２の上面に取着されている。ペルチェ素子ＰＴは、冷却台４２とともに上下動して吐出ヘ
ッド３０のノズルプレートに当接するようになっている。そして、ペルチェ素子ＰＴがノ
ズルプレートに当接することによって、吐出ヘッド３０を冷却する。 （もっと読む）

【課題】スループットを低下することなく塗布膜からの昇華物の発生を抑制し、ダストの発生による半導体装置の歩留りの低下を抑えることが可能な半導体製造装置および半導体製造方法を提供する。
【解決手段】塗布膜の形成された基板１を所定の温度でベーク処理するためのベークチャンバー２と、ベーク処理された基板１を冷却するための冷却チャンバー３と、ベーク処理された基板１を、ベークチャンバー２から冷却チャンバー３に搬送するための第１の搬送機構３１を備え、冷却チャンバー３は、冷却チャンバー３に搬送された基板１を、冷却チャンバー３内で搬送するための第２の搬送機構３５と、基板を、搬送方向に室温まで降温するための温度制御機構３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄ、３４ｅ、３４ｆを備える。 （もっと読む）

【課題】加熱される液滴吐出ヘッドを冷却して液滴の吐出重量の安定性を向上させかつ精
度の高いパターンを短時間に形成するパターン形成方法、パターン形成装置及び回路基板
を提供する。
【解決手段】ステージ２３は、グリーンシート４Ｇを載置する載置台２３ｂと、その載置
台２３ｂの両側に冷却台２３ｃを有している。載置台２３ｂの下面には、ペルチェ素子Ｐ
Ｔがその発熱部ＰＴｂが載置台２３ｂの下面と向き合うように取着されている。ペルチェ
素子ＰＴの吸熱部ＰＴａは、熱伝導板２４を介して冷却台２３ｃの下面に連結固定されて
いる。ペルチェ素子ＰＴは発熱部ＰＴｂからの発熱によって載置台２３ｂを加熱し、加熱
された載置台２３ｂはグリーンシート４Ｇを所定の温度に加熱する、また、ペルチェ素子
ＰＴは、吸熱部ＰＴａの吸熱によって、熱伝導板２４を介して冷却台２３ｃをそれぞれ冷
却する。 （もっと読む）

【課題】比重の違う混合材料の混合比を一定に保つことができる、塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】この塗布装置１は、比重の違う混合材料を収納するシリンジ２を備え、また、シリンジ２の内部に収納された混合材料の混合比を一定に保つための混合比調整部材としての、攪拌羽３および攪拌軸４からなる攪拌器と沈降抑制弁とを備える。攪拌器の攪拌効果によって、混合材料のうち比重のより大きい材料が沈降することを抑止できる。また他の混合比調整部材としての、冷却部材７を備える。粘性材料を含む混合材料を用いるときには、冷却部材７が混合材料を冷却させることにより粘性材料の粘度を高めることができるので、混合材料のうち比重のより大きい材料が沈降することを抑止できる。したがって、比重の違う混合材料の混合比を一定に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】機械的な手法を用いずに微粒子にクラックを発生させ、衝突時に微細化し易い微粒子を作製する前処理方法を提供する。
【解決手段】セラミックス微粒子をガス中に分散してエアロゾル化し、該エアロゾルを基材上に噴射し衝突させて成膜を行なうＡＤ法による成膜形成に用いられる上記セラミックス微粒子の前処理方法であって、エアロゾル化前において、セラミックス微粒子に熱衝撃を加える方法であり、熱衝撃はセラミックス微粒子を 500℃〜1100℃に 10分間以上保持した後、急冷する処理であり、セラミックス微粒子は、特にアルミナ微粒子である。 （もっと読む）

【課題】ウェハの表面にレジスト液を塗布する塗布処理において、塗布液の省液化を図る。
【解決手段】先ず、ウェハがスピンチャックに保持される（Ｓ１）。その後、ウェハＷが回転され（Ｓ２）、その回転されたウェハの表面に液体窒素が供給される（Ｓ３）。この液体窒素の供給は、冷却用ノズルから液体窒素を吐出した状態で、冷却用ノズルをウェハの表面の外周部上から中央部上まで移動させることにより行われる。この液体窒素の供給により、ウェハを周辺エアの露点温度以下に冷却し、ウェハの表面に水分を結露させることができる。その後、ウェハの表面にレジスト液が塗布される（Ｓ４）。 （もっと読む）