【課題】短光のパルスレーザ光を用いたレーザ加工装置において、加工レートを極力低下させることなく、レーザパワーを広範囲に調整させ、パルスレーザ光の光利用効率の高いレーザ加工を行うことができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置１０は、超短光のパルスレーザ光Ｌを出射するレーザ光源１１と、レーザ光源から出射されたパルスレーザ光を加工対象物Ｗに収束させて照射する収束レンズ１４と、外部信号に基づき加工対象物に照射にされるパルスレーザ光のレーザパワーを変更可能に設定するコントローラ１２とを備える。コントローラは、設定されるレーザパワーに基づいて、レーザ光源のパルスレーザ光のパルス条件を変更する。コントローラは、パルス条件をパルスレーザ光のパルス波高値により変更させることが可能であるとともに、パルスレーザ光の繰返し周波数により変更させることが可能である。 （もっと読む）

【課題】効率的に、良好な加工品質で加工を行う。
【解決手段】音響光学偏向器または電気光学偏向器を用いた光偏向器を含み、第１の光軸に沿って進行するパルスレーザビームと第２の光軸に沿って進行するパルスレーザビームとを、１つの光偏向器から出射させる振り分け装置と、レーザ光源に、第１のパルス幅のパルスレーザビーム、第２のパルス幅のパルスレーザビーム、及び第３のパルス幅のパルスレーザビームを出射させ、振り分け装置に、第１のパルス幅のパルスレーザビームを第１の光軸に沿って出射させ、第２のパルス幅のパルスレーザビームを第２の光軸に沿って出射させ、第３のパルス幅のパルスレーザビームの時間軸に沿った一部を第１の光軸に沿って出射させるとともに、他の一部を第２の光軸に沿って出射させる制御装置とを有する。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置において、加工用レーザを被加工対象物に結像もしくは集光する対物用光学素子の焦点を常に被加工対象物に合わせる。
【解決手段】加工用レーザの光軸と略同じ光軸に沿うと共に、僅かに斜めなるように測定用レーザを前記被加工対象物５に照射する。この測定用レーザの反射光をＰＳＤ測定装置１６で受光し、受光位置の変位を計測する。この際に、測定用レーザが対物用光学装置６を通過した後に被加工対象物５に照射され、かつ、被加工対象物５から反射した測定用レーザの反射光が対物用光学装置６を通過した後にＰＳＤ測定装置１６に入射するようにする。ＰＳＤ測定装置１６により計測された測定用レーザの反射光の受光位置の変位に基づいて対物用光学装置６のＺ軸方向の位置を制御する。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工される被加工対象物の表面の高さの変動に対応して、表面に加工用レーザを結像もしくは集光する光学素子の高さ位置を制御し、常時焦点を合わせる。
【解決手段】加工用レーザを被加工対象物５の表面に集光する対物用光学装置６と、被加工対象物５の加工用レーザが照射される部位の高さ位置を測定する高さセンサ１を備える。被加工対象物５の表面の高さ位置の変動に対応して対物用光学装置６を上下に移動し、常時焦点を被加工対象物に合わせる。高さセンサ１は、対物用光学装置６の加工用レーザの移動方向の先側に配置され、加工用レーザが照射される前に高さ位置を測定する。加工用レーザの照射位置が測定位置に達する毎に、測定された高さ位置に対応して対物用光学装置６を移動する。これにより、高さ位置の測定と対物用光学装置６の移動を独立して行え、加工用レーザの移動速度を速くしても、追随して対物用光学装置６を移動できる。 （もっと読む）

【課題】レーザのビームプロファイリングを用いて、レーザを被加工対象物に結像もしくは集光する対物用光学素子の焦点合わせを可能とする。
【解決手段】レーザ加工装置３に設けられたビーム観察装置１には、レーザが照射される測定基準面１３を有する観察用基板１４が配置されている。また、ビーム観察装置１には、ＣＣＤカメラ１５が備えられ、かつ、ＣＣＤカメラ１５で撮像された画像を表示する画像モニタ２０が接続されている。ＣＣＤカメラ１５は、測定基準面１３に照射されたレーザの照射形状を撮影するように、測定基準面１３に焦点が合わせられている。ＣＣＤカメラ１５に撮像されるとともに表示された測定基準面１３におけるレーザの照射形状に基づき、前記対物用光学素子の焦点を前記測定基準面に合わせる。 （もっと読む）

【課題】
熱処理精度を一定に保つことのできるレーザ熱処理装置、ないしレーザ熱処理装置の制御方法を提供する。
【解決手段】
パルスレーザ熱処理装置は、励起源と、ポンピングチャンバと、パルス発振機構と、共振器構造とを有し、パルスレーザ光を発振するパルスレーザ発振器と、パルスレーザ発振器から出射するレーザビームの強度を減衰させるバリアブルアッテネータと、バリアブルアッテネータで強度を調整したレーザビームを熱処理対象物上に照射する光学系と、熱処理対象物を載置するステージと、パルスレーザ光の光強度の時間波形であるパルス波形を計測できる計測器と、計測器が計測したパルス波形のパルス幅に基づき、励起源の励起強度を制御することでパルス幅を調整でき、さらにバリアブルアッテネータの減衰率を制御できる制御装置と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 環状のフレームに張られた拡張可能シートに貼り付けられた板状の加工対象物の内部に改質領域を形成するに際し、フレームに加工用レーザ光を照射してフレームに損傷を与えるのを防止することができるレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】 切断予定ライン５を含むライン５０上に沿って集光用レンズ１０８を相対的に移動させ、加工対象物１とフレーム２２との間に外形を有する加工領域３０上にレンズ１０８が位置している際に、測定用レーザ光Ｌ２をレンズ１０８で集光して、加工対象物１の表面３で反射されたレーザ光Ｌ２の反射光を検出する。この検出により、加工用レーザ光Ｌ１の集光点Ｐが表面３から一定の距離の位置に合うように、表面３とレンズ１０８との距離を略一定に調整しながら、レーザ光Ｌ１をレンズ１０８で集光して、溶融処理領域１３を加工対象物１の内部に形成する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の位置合わせを簡単にし，レーザ光の焦点等をより高い精度でかつ短時間で調整可能とする。
【解決手段】周縁部から中心に向けて所定幅のスリット５００が形成された調整用基板Ｗａｄｊを，レーザ発光装置１００からのレーザ光がスリットを通るように載置台上にセットする工程と，調整用基板の裏面側からスリットを通して調整用基板の表面側に配置した光エネルギー測定装置３００の受光面に向けてレーザ光を照射する工程と，レーザ発光装置を光軸方向に移動させながら，光エネルギー測定装置によってその受光面に照射されるレーザ光のエネルギー量の変化を測定し，その受光面エネルギー量の変化に基づいてレーザ発光装置の光軸方向の位置を所望の位置に調整する工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】レーザ反射光や溶接光に基づいて、高精度かつリアルタイムに溶接品質を判定することのできるレーザ溶接品質判定システムおよび方法を提供する。
【解決手段】レーザトーチ１と、レーザトーチ１に対して所定方向Ｙに相対移動する被溶接部材Ｗ１，Ｗ２から反射するレーザ反射光を溶接進行方向の前方斜め上方から受光し、受光された光の強度に応じて電気信号を出力するレーザ反射光受光装置３と、レーザ光の照射方向と同軸方向から被溶接部材Ｗ１，Ｗ２の溶融蒸発によって生じる蒸気発光やレーザ反射光を含む溶接光を受光し、受光された光の強度に応じて電気信号を出力する溶接光受光装置２と、双方の装置２，３からの電気信号の双方の信号強度またはその変化に基づいて溶接品質を判定する品質判定装置６と、を少なくとも具備した溶接品質判定システム１０である。 （もっと読む）

【課題】ガス供給ノズルの位置ズレを確実に防止しつつ、アシストガスによる溶接異常を起き難くしたレーザ溶接装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被照射部Ｓの溶融状態を示す物理量の変化に基づいて、アシストガスＧに起因した溶接異常の有無が判断し、溶接異常有りと判断する場合にのみ、ガス供給ノズル３を予め設定された初期位置の状態に戻し、溶接異常有りと判断しない場合には、ガス供給ノズル３が初期位置の状態からズレていたとしても初期位置の状態には戻さないようにするレーザ溶接装置１とした。 （もっと読む）

【課題】深さ方向に溶接が進行する場合においても品質判定を確実に行うことができるものとする。
【解決手段】第１の材料１の裏面側に第２の材料２を重ねて第１の材料の表面側から照射したレーザによって第１の材料と第２の材料とを溶接するとともに溶接の良否判定のためにレーザ照射部を観測するにあたり、第１の材料１のレーザ溶接位置中心部に孔４を設けてレーザ溶接を行うとともに上記観測によって孔４が存在することによる光の変化を基にレーザが第２の材料に至ったかどうかの判定を行う。 （もっと読む）

【課題】加工対象物のレーザ光照射面に対して所望の位置に改質領域を精度良く形成する。
【解決手段】トレース記録に際して、平均差分γが所定の閾値を超えた値を有する場合、平均差分γが所定の閾値を超えたライン区間Ｓを含むパーティクル区間Ｚを決定する。これにより、切断予定ライン５上にパーティクルが存在し当該パーティクルで測定用レーザ光が乱反射していることが判断され、切断予定ライン区間においてパーティクルの存在によって制御信号に影響が及ぶ区間がパーティクル区間Ｚとして検出される。そして、パーティクル区間Ｚにおいて制御信号を補正することより、パーティクルの存在による影響で制御信号に誤差が含まれるために集光用レンズが必要以上に移動することを抑止し、表面３に対して加工用レーザ光の集光点を精度良く追従させる。 （もっと読む）

【課題】捩れや屈曲等による応力発生箇所の発見を容易にすることができる伝送ケーブル、伝送装置及びレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】外皮チューブ２３の表面には、伝送ケーブル３への応力により発光する応力発光材料を含む発光ライン４１が設けられるため、伝送ケーブル３に捩れ、又は屈曲の応力が加わるとそれらの応力が加わった箇所Ａ，Ｂにおける発光ライン４１が発光する。 （もっと読む）

【課題】出力のパルス変調を行うレーザ溶接において、溶接欠陥の発生を最小化するのに最適なレーザ出力変調周波数を簡便かつ高速に決定する。
【解決手段】レーザ溶接部で形成されるプラズマ発光、あるいは、プルームから発生する発光の発光強度を光センサで検出し、発光強度が閾値以下となる時間帯の総和あるいは出現頻度から最適なパルス変調周波数を決定する。 （もっと読む）

【課題】深溶込みレーザ溶接時に発生する溶接欠陥を、溶融池の固有振動と一致した周波数でレーザ出力を変動させ、かつ、その波形を適切に制御することで効果的に防止するとのことを、簡便に、最適出力変調波形や周波数を決定することによって実現する。
【解決手段】プラズマもしくはプルームの発光強度の時間変化にしきい値を設定し、発光強度がしきい値以下になる状態を検出することにより、この状態が出力変調波形の特定の位相において最小となるように、出力変調の最適波形と最適周波数とを決定する。 （もっと読む）

【課題】照射量が測定可能で小型化が可能となる光照射装置及び光照射方法を提供する。
【解決手段】基板７〜１０の表面に紫外線を照射する紫外線照射装置１に関する。紫外線照射装置１は、紫外線を発光する発光装置１７と、発光装置１７が発光する紫外線の光強度を制御するＵＶ光源制御装置１８と、基板７〜１０を搭載するテーブル４と、紫外線の照射量を測定する照射測定装置１９とを備えている。照射測定装置１９は受光部１１〜１４を有し、受光部１１〜１４は、テーブル４において、紫外線が基板７〜１０に遮光される場所に配置される。 （もっと読む）

【課題】 良好な加工品質で加工を行う。
【解決手段】
レーザ光源と、レーザ光源から出射したビームが進行する第１光路と斜めに交差する反射界面を備え、第１直線偏光成分を透過し第２直線偏光成分を反射する分離器と、分離器を経たビームの光路上に配置され、第１方向から入射したビームを第２方向または第３方向に選択的に出射することができ、第１方向から入射したビームが第２方向に出射されるとき、第２方向から入射したビームを、第１方向に出射する偏向器と、分離器と偏向器の間の光路上または第２方向に向かうビーム光路上に配置され、直線偏光を円偏光にまたは円偏光を直線偏光に変換する光学部材と、第３方向に向かうビームの光路上に配置されたダンパと、第２方向から偏向器に入射し、分離器を経た光が入射し、第２光路上に配置された光検出器と、光検出器に入射した光の強度が所定値となったとき偏向器に入射したビームが第３方向に出射するよう制御する制御装置とを有するレーザ加工装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】効率良く溝を形成する方法を提供する。
【解決手段】レーザビーム１２を照射して基板３に断面が台形状の溝１を形成するに際し、品質（Ｍ２）が１．０〜２．０の範囲内のレーザビーム１２を、縦横比をＣ、レーザビーム周波数（Hz）をＦq、レーザビームの送り速度（mm／sec）をＶ、溝加工幅（mm）をＷmax、Ｗmaxに対する加工最小幅をＭとした場合、Ｃ＝Ｗmax｛Ｆq×（１−Ｍ²）^1/2｝／Ｖにより求められた縦横比に基づいてビーム成形して使用する。
【効果】照射面の重なり部分を少なくできるので、少ないレーザビームの照射で、かつ焦点深度の大きな状態での溝加工が可能になり、精度良く、速い加工速度で台形状の溝を形成することができる。 （もっと読む）

レーザー溶接において、レーザービーム（３）に対し同軸に、レーザー光学系（４）を通じて溶接領域を結像させる。その際、三角測量線および凝固した溶接継ぎ目のグレーイメージまたはカラーイメージと、溶接プロセスのプロセス放射光との双方を撮影する。これら３つの画像要素から、溶接プロセスおよび溶接継ぎ目の最適な品質判定を行なうことができる。
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【課題】溶接品質の可否の判断を精度良く行うことができるレーザ溶接評価方法を提供する。
【解決手段】このレーザ溶接評価方法では、基準用の出力信号の波形パターンから第１の正規化値を予め算出すると共に、測定用の出力信号の波形パターンから第２の正規化値を別途に算出する。このとき、第１の正規化値と第２の正規化値との差分は、基準用の出力信号の各出力値の分布と、測定用の出力信号の各出力値の分布とのずれ量に比例する。したがって、基準用の出力信号と測定用の出力信号の差分が一見して小さい場合であっても、溶接部Ｗの溶接品質に異常がある場合には、各出力信号の出力値の分布のずれ量の違いから第１の比較データと第２の比較データとの間に明確な差分が生じるので、溶接品質の可否の判断を精度良く行うことができる。 （もっと読む）