【課題】レーザ耐力が異なる欠陥を１台で修正可能なリペア装置、およびリペア方法を提供する。
【解決手段】本発明の位置決め装置は、載置ステージと、対象物を撮像する撮像部と、差画像データにより欠陥を抽出する第１欠陥抽出部と、レーザ照射範囲を設定するレーザ形状制御部と、レーザ光を照射する光源と、前記レーザ形状制御部が設定した照射範囲にレーザ光を照射する第１光学系と、差画像データと輝度情報により、欠陥を抽出する第２欠陥抽出部と、前記第２欠陥抽出部が抽出した欠陥の一部にスポット照射する第２光学系と、前記光源から照射されたレーザ光の光路を、前記第１光学系と前記第２光学系とに切り替える切替部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】空間光変調素子へ照射するレーザ光のエネルギーを高めることなく、加工対象に対する微細加工を可能とするレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるレーザ加工装置１００は、可視領域あるいは近赤外領域のレーザ光を出射するレーザ光源４１と、レーザ光源４１から出射されたレーザ光を加工パターンに対応させて空間変調する空間光変調素子４３と、空間光変調素子４３によって空間変調されたレーザ光の波長を紫外領域の波長に波長変換する波長変換素子４５と、波長変換素子４５によって波長変換されたレーザ光を対象物に投影する結像レンズ４８、対物レンズ３１と、波長変換素子４５と結像レンズ４８との間に設けられ、波長変換素子４５によって波長変換されたレーザ光を結像レンズ４８、対物レンズ３１の光軸に偏向させる回折光学素子４７とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザー光線発信器から発振されたレーザー光線の出力を高速制御することができるレーザー光線照射機構およびレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】レーザー光線発振器と集光レンズとの間に配設された出力調整手段６３とを具備するレーザー光線照射機構であって、出力調整手段は、１／２波長板と、直線偏光のレーザー光線を入光してS偏光成分を反射させP偏光成分を透過せしめる第１の偏光ビームスプリッター面および第２の偏光ビームスプリッター面を備えたプリズム６３２と、S偏光成分とP偏光成分との間に位相差(α)を生成する光路長調整手段６３３と、偏光成分合成手段６３６と、偏光成分合成手段で合成されたレーザー光線を分光する偏光ビームスプリッター面を備え、偏光成分合成手段で合成されたレーザー光線のS偏光成分とP偏光成分との位相差(α＋β)を０度から１８０度の間で制御する制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】駆動源の数を従来よりも少なくすることにより小型化及び低コスト化を図ると共に、ワークの寸法公差等が大きい場合でも円形状又は多角形状の溶接対象部を確実に溶接することができるレーザ溶接装置を提供する。
【解決手段】レーザ溶接装置１４は、バスバー３６とバスバー３６に形成された孔部４２、４４、４６に挿入された端子３０、３２の溶接対象部１６０にレーザ発振器６０から第１レーザヘッド６８に導かれたレーザ光１２を照射する。第１レーザヘッド６８は、ファイバ支持管８８を介してレーザヘッド本体８６に対して回転可能に設けられた支持部材１１０と、支持部材１１０を回転する回転モータ１１２と、支持部材１１０に軸支された支軸１２０、１２２に固着されたミラー９２と、回転モータ１１２の駆動力を利用してミラー９２を支軸１２２の周方向に揺動する角度変更機構９６とを有する。 （もっと読む）

【課題】空間光変調素子の劣化を防止することができるパターン投影装置およびレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるレーザ加工装置１００は、レーザ光源４１から出射されたレーザ光を複数のミラーによって空間変調する空間光変調素子４５と、基板１を照明する照明系３６を含む照明光学系と、空間光変調素子４５に空間変調された変調光を対象物に投影する結像レンズ３８と、空間光変調素子４５から出力されたレーザ光の進行方向を結像レンズ３８の光軸と一致する方向に偏向させる偏向素子４６と、を備え、空間光変調素子４５は、空間光変調素子４５に入射するレーザ光の進行方向が該空間光変調素子４５の基準面の法線とおおよそ平行である。 （もっと読む）

【課題】コリメーションレンズ装置、曲率可変ミラーを備えた構成であって、コンパクト化を図ることのできるレーザ加工ヘッドを提供する。
【解決手段】光ファイバー７の出射端から出射されたレーザ光を平行光線化するためのコリメーションレンズ装置１９と、上記平行光線化されたレーザ光のビーム径を調節するための曲率可変ミラー４５と、この曲率可変ミラー４５によって反射されたレーザ光を集光レンズ方向へ屈曲するための第１ベンドミラー５１Ａとを備えたレーザ加工ヘッドであって、前記コリメーションレンズ装置１９、このコリメーションレンズ装置１９で平行光線化されたレーザ光を前記曲率可変ミラー４５へ反射する第２ベンドミラー４７Ａ及び前記曲率可変ミラー４５を同一平面内に配置して備え、前記コリメーションレンズ装置１９と前記曲率可変ミラー４５とを近接して備えると共に、前記第２ベンドミラー４７Ａを、前記コリメーションレンズ装置１９、前記屈曲可変ミラー４５よりも前記第１ベンドミラー５１Ａに近接して配置してある。 （もっと読む）

【課題】コリメーションレンズ装置におけるコリメーションレンズの冷却を行うことのできるレーザ加工ヘッドを提供する。
【解決手段】レーザ加工ヘッドハウジング９に取付けたコリメーションハウジング２１に、光ファイバー７の出射端側を接続する出射端側支持部材２３を備えると共に、当該コリメーションハウジング２１に装着したモータＭ１によって軸方向へ位置調節可能な移動パイプ部材２５を備え、この移動パイプ部材２５に、光ファイバー７の出射端から出射されたレーザ光を平行光線化するためのコリメーションレンズ３７を保持したレンズホルダ３９を備え、前記移動パイプ２５内を流れるパージエアーを流通するための気体通路４１Ｃを前記レンズホルダ３９に備えると共に、当該レンズホルダ３９を通過したパージエアーを排出するためのパージエアー排出手段４３Ａを、前記コリメーションハウジング２１又は前記出射端側支持部材２３に備えている。 （もっと読む）

【課題】ターゲットに照射される光ビームの焦点位置を精度良く検出でき、光ビームの焦点位置を制御できるレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、レーザ光源１から供給される光ビームをターゲット３６に集光するための集光光学素子１１と、光ビームの光路の途中に設けられ、光ビームの波面曲率を変更するための可変曲率ミラー１２と、光ビームの光路の途中に設けられ、回折ビーム３３を発生するための回折格子と、回折ビーム３３を受光して、ターゲット３６に照射される光ビーム３２の焦点位置を検出するための焦点位置検出装置４１などを備える。 （もっと読む）

本発明は、レーザアブレーションマイクロリソグラフィに関する。具体的には、画素毎に複数のミラーを使用して、ミラーに損傷を与えない程度にＳＬＭミラー面上のエネルギー密度を維持しつつ、レーザアブレーションを容易にするエネルギー密度にエネルギーを集中させる、新たなＳＬＭ設計およびパターニング方法を開示する。複数のマイクロミラーは、現行のＤＭＤ装置をはるかに超える非常に高い周波数で再設定することができる。
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【課題】反射鏡を支える支持脚の長さや平面度の精度を向上させる必要がなく、反射面の曲率を変えることが可能で、焦点距離やビーム径、ビームモードの調整が可能な曲率可変鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】曲率可変鏡１は、円形反射鏡２と、円形反射鏡２の裏面２Ｂ側に距離を隔てて配置される構造部材３と、裏面２Ｂと構造部材３との間に裏面２Ｂの中心を挟んで配置された一対の固定部材４と、一端が裏面２Ｂに垂直に固定され、他端が２本を一組として固定部材４にそれぞれ固定される二組の反射鏡支持脚５と、一端が固定部材４の中間位置に固定され、他端が構造部材３に固定される固定部材支持脚６と、裏面２Ｂの中心２Ｅ付近に一端が固定され、他端が構造部材３に固定される距離変更手段であるピエゾアクチュエータ７と、を備えている。反射面２Ａの曲率を変更することができる。 （もっと読む）

【課題】 レーザ加工部中心を常時監視することができ、かつ、加工部中心からの反射光を受光する光ファイバの受光部が焼損せず、レーザ加工ヘッドとワークとの衝突を事前に回避してレーザ加工ヘッドの破損を防止可能なレーザ加工装置及び同装置を用いたレーザ加工状態監視方法の提供。
【解決手段】 レーザ加工ヘッドにベンドミラー保持体を設け、該ベンドミラー保持体にレーザ光を集光レンズへ反射し、かつ加工部からの可視光からなる反射光を透過させるベンドミラーを設け、ベンドミラーの背後に前記反射光を受光する光ファイバーの受光端部を設け、該受光端部が受光した反射光の有無を検出する反射光検出手段を設け、該反射光検出手段が前記反射光を検出したか否かによりワークの有無を判断することを特徴とするレーザ加工装置の提供。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で拡散光が減衰し得るレーザー光の遮蔽機構を提供する。
【解決手段】 レーザー光を入射し、内部にて複数回減衰反射させることによりレーザ光を減衰させる減衰部１０と、レーザー光の光路に減衰部１０を進退させる駆動装置２０とを備えたレーザー光の遮蔽機構１とした。 （もっと読む）

【課題】真円状の加工穴を形成することができるレーザ加工機を得る。
【解決手段】レーザ発振器１１と、第１スキャンミラー１２ａを有しその第１スキャンミ
ラーを軸の周りに揺動させ、第２スキャンミラー１２ｂを有しその第２スキャンミラーを
、前記第１スキャナミラーが揺動する軸とほぼ直交する軸の周りに揺動させるガルバノス
キャナ１３とを備え、前記レーザ発振器１１から出射されたレーザ光が前記第１スキャン
ミラー１２ａから前記第２スキャンミラー１２ｂを経て走査されるレーザ加工機にあって
、前記スキャンミラーには偏光制御膜が施されており、一方はＳ波の位相をＰ波に対して
遅らせるミラーであり、他方はＰ波の位相をＳ波に対して遅らせるミラーである。 （もっと読む）

【課題】低コストで高い精度で樹脂材料同士を溶着することができる溶着方法および溶着装置を提供する。
【解決手段】レーザ光はロール材１４ａの表面に鋭角の入射角αで入射する。反射面３３、３４での反射に基づきロール材１４、１４ａに焦点が合わせられる。ロール材１４、１４ａの表面は、例えばロール材１４、１４ａの輪郭に規定される側面すなわち破断面に比べて高い平坦性を確立する。その結果、ロール材１４、１４ａの側面から界面に沿ってレーザ光が入射する場合に比べて、レーザ光の散乱や屈折の度合いは著しく低減される。レーザ光は高い精度で界面に到達する。効率よく溶着は実施される。しかも、レーザ光の吸収材が界面に配置されなくてもよいことからコストは低減される。加えて、ブロック１６、１７はレーザ光の焦点でロール材１４、１４ａに確実に押し付け力を作用させる。ロール材１４、１４ａの密着性は高められる。 （もっと読む）

【課題】レーザービームの内回り現象が発生しても、描画対象物に付与されるレーザービームのエネルギーが増大するのを抑制することができるようにする。
【解決手段】レーザー照射装置は、描画する形状を複数の線分の繋がりで定義する描画データにおける線分が規定の湾曲度よりも大きい湾曲度の湾曲部を形成する線分であるか否かを判定し、規定の湾曲度よりも大きい湾曲度の湾曲部を形成する線分を描画する場合、レーザービームのパワーを低減させる。 （もっと読む）

【課題】レーザ溶接用トーチヘッドにレーザビーム光路偏向機構を設け、レーザヘッド自体を固定とし、ハイブリッド溶接を行う場合は、レーザビームの照射位置とアークの発生位置との位置関係を保持したまま、レーザ溶接用トーチヘッドとレーザヘッドとを一体的に、位置調整可能、姿勢調整可能としたレーザ溶接用トーチヘッドの提供。
【解決手段】内部にレーザビーム４が通過する光路空間２０と、該光路空間の先端部に設けられ、レーザビーム光軸と直交する回転中心を有するミラーハウジング３１と、該ミラーハウジング内部に該ミラーハウジングと同心で回転可能なミラーホルダ４４と、該ミラーホルダに保持される偏向ミラー４３と、前記ミラーハウジングと前記ミラーホルダとを連動して回転する回転機構とを有し、レーザビームは前記偏向ミラーにより偏向され、前記回転機構は前記ミラーハウジングと前記偏向ミラーとを２：１の比率で回転するよう構成された。 （もっと読む）

【課題】曲線を含む加工ラインに沿ってスクライブラインを形成する装置において、冷却のための機構の移動制御を簡単にする。
【解決手段】この装置は、テーブル１と、レーザビーム形成機構２と、ガルバノスキャナ３と、冷却機構４と、各コントローラ５，７，８と、を備えている。レーザビーム形成機構２はレーザビームを形成し、ガルバノスキャナ３はガラス基板上にビームスポットを形成する。冷却機構４は、冷却ノズル２０から冷却媒体を吐出し、固定された位置に冷却スポットを形成する。そして、各コントローラによって、冷却スポットが常にビームスポットの終端部に位置するようにテーブル１が移動制御され、ビームスポットが加工ラインに沿って走査される。このとき、レーザビームと冷却ノズル２０とが干渉するのを避けるために、冷却ノズル２０が退避位置に移動させられる。 （もっと読む）

【課題】レーザビームによってスクライブラインを形成する装置において、冷却ノズルに供給される冷却媒体の漏れを抑える。
【解決手段】この装置は、冷却ノズル２０と、モータ３０と、筒状の回転部材３１と、４つの軸受３２〜３５と、配管５１〜５５と、軸受用配管継ぎ手４３〜４６と、を備えている。冷却ノズル２０はガラス基板に冷却媒体を吐出して冷却スポットを形成する。モータ３０は冷却ノズル２０を旋回軸の回りに旋回させる。筒状の回転部材３１は、先端に冷却ノズル２０が支持されるとともに、モータ３０によって回転駆動され、内部をレーザビームが通過する。各軸受３２〜３５は内輪が回転部材３１に固定されるとともに外輪が自由に回転し得る。配管５１〜５５は冷却媒体を冷却ノズル２０に導く。軸受用配管継ぎ手４３〜４６は、軸受３２〜３５の外輪に装着され、配管が連結される。 （もっと読む）

【課題】ミラーの温度変化に起因するビーム位置決め精度の低下を改善し、良好なビーム位置決め特性を有するガルバノスキャナ用制御装置及びレーザ加工機を提供する。
【解決手段】ミラー温度センサ５、振動周波数取得部７、及び振動抑制部１２，１３を備える。レーザ光を反射するミラーの温度をミラー温度センサにて測定し、得られたミラー温度におけるガルバノスキャナ３の振動周波数を振動周波数取得部にて求める。求めた振動周波数を振動抑制部にて減衰させる。このような構成によりミラーの温度上昇によりガルバノスキャナの振動周波数が変化した場合でも、ミラーの温度に対応した振動周波数の減衰が行われる。 （もっと読む）

【課題】対物レンズ等の可動光学部品が光路中に存在する光学系において、可動光学部品が移動しても全体の光路長が変動せず常に一定に保たれ、かつ、構成が簡素で実用的な光学系を提供する。
【解決手段】レーザヘッド１から発せられるレーザ光線ＬをＸ方向に移動する対物レンズ３３に導く光学系１３において、対物レンズ３３と一体的にＸ方向に移動する第１のミラー２１で固定状態の第２のミラーにレーザ光線Ｌを反射させ、第１のミラー２１と第２のミラー２２間でレーザ光線Ｌを往復させて、ミラー２１，２２間に、対物レンズ３３の移動量に応じて増減する光路長調整光路を設ける。光路長調整光路によって対物レンズ３３の移動量に応じた光路長の変動量を相殺し、対物レンズ３３の位置にかかわらず全体の光路長を常に一定とする。 （もっと読む）