説明

Fターム[4E068CE02]の内容

レーザ加工 (34,456) | レーザ光と加工物の相対移動 (3,368) | 2軸走査型 (2,156) | 照射系移動 (1,197)

Fターム[4E068CE02]の下位に属するFターム

Fターム[4E068CE02]に分類される特許

81 - 100 / 492


【課題】密閉型電池に用いる角形ケースを、特に複数個並べて一度に溶接するに際し、コーナー部で溶接不良を発生させることなく溶接し、生産性よく角形ケースを製造する。
【解決手段】複数のケースを同一の形態で並べて配置し、当該ケースの辺部及びコーナー部を含めたケース外表面とレーザ光の焦点位置との距離を一定値に保ちながらレーザ光を照射する。
ケース外表面とレーザ光の焦点位置と距離を一定値に保つために、レーザヘッドを、角形ケースの辺部では当該辺部に平行に直線的に走査させ、コーナー部ではコーナーrに沿って円弧状に走査させる。 (もっと読む)


【課題】レーザー加工装置において、エネルギー損失が少なく、エッジが効いた(すなわち加工されている部分とされていない部分との違いが明確な)形状で高速なライン加工を実現する。
【解決手段】レーザーヘッド1から出力されるレーザー光についてエキスパンダー光学系2によって成形を行って平行光を生成する。この成形された平行光について、絞り部3により、その少なくとも一部分を必要に応じて遮断する。成形されたレーザー光を、絞り部3、レーザー用光学鏡筒4、対物レンズ5を介して自動搬送ステージ6に載置された加工対象7に照射して加工を行う。エキスパンダー光学系2によってレーザー光を成形し、成形後の光について絞り処理を行うことにより、エネルギー損失が少なく、エッジが効いた形状で加工を行うことができる。 (もっと読む)


【課題】基板上に形成される複数の層のそれぞれに、製造効率を落とさずに複数の加工ラインが所定の間隔で且つ相互に重ならずに形成可能な薄膜太陽電池製造用のレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置1は、レーザヘッド31、測定装置11,21および制御装置80を備える。レーザヘッド31の、一方側に測定装置11が、他方側に測定装置21が配置される。基板100上の第2層に対して、レーザヘッド31が一方側に移動するとき、測定装置11はレーザヘッド31の移動方向前方において第1加工ラインの位置情報を測定し、レーザヘッド31が他方側に移動するとき、測定装置21はレーザヘッド31の移動方向前方において第1加工ラインの位置情報を測定する。制御装置80が上記位置情報に基づきレーザ光の照射位置を制御する。第1加工ラインに沿う第2加工ラインが第2層上に形成される。 (もっと読む)


【課題】 高い残留応力を持つ脆性材の切断加工においても蓄熱を抑制して亀裂など生じさせることなく加工可能なレーザ加工方法を提供すること。
【解決手段】 加工対象物Wにレーザ光を照射して加工する方法であって、レーザ光をパルス発振して加工対象物Wに一定の繰り返し周波数で照射すると共に走査するレーザ照射工程を有し、加工対象物Wの加工面に樹脂フィルム7を接着すると共に、加工対象物Wの加工面の反対面に金属フィルム8を接着し、該金属フィルム8を取り付け治具4に密着させて該取り付け治具4に加工対象物Wを固定し、樹脂フィルム7上からレーザ光を加工面に照射する。 (もっと読む)


【課題】 高い残留応力を持つ脆性材の切断加工においても亀裂など生じさせることなく加工可能なレーザ加工装置およびレーザ加工方法を提供すること。
【解決手段】 加工対象物にレーザ光を照射して加工する装置であって、レーザ光をパルス発振して加工対象物に一定の繰り返し周波数で照射すると共に走査するレーザ光照射機構を備え、レーザ光照射機構が、繰り返し周波数をH、レーザ光のビーム径をa、レーザ光の同一加工線上への走査回数をn、パルスレーザ光の1照射あたりの移動距離Lをn/2×aとしたとき、レーザ光の走査速度SをL/(1/H)とすると共に、走査回数1回目のレーザ光の照射開始位置をL1として、走査回数n回目のレーザ光の照射開始位置Lnを、L1+(L/n)×(n−1)として走査毎に照射開始位置をずらして照射を行う。 (もっと読む)


【課題】光ファイバによって伝送されたレーザ光で被処理体を加工する際に、被処理体に照射されるレーザ光の幅を容易に変化させることができ、かつ、安価に製造することができるレーザ照射装置を提供すること。
【解決手段】レーザ照射装置は、レーザ光Lを発振するレーザ発振器21と、レーザ発振器21から発振されるレーザ光Lを案内するとともに当該レーザ光Lを端面から外部に照射する複数の光ファイバ25と、光ファイバ25の端面を被処理体60に対して相対的に加工進行方向PDに沿って移動させる加工移動部35と、を備えている。レーザ照射装置は、複数の光ファイバ25のうちの少なくとも一つに連結され、当該光ファイバ25の端面を前記加工進行方向に直交する成分を含む方向に移動させるファイバ移動部10と、光ファイバ25の端面から照射されるレーザ光Lの各々が入射される一つの結像レンズ17も備えている。 (もっと読む)


【課題】広い幅のレーザー加工溝を形成することができ、加工ラインに沿って効果的な加工を施すことができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物Wを保持するチャックテーブル36と、レーザー光線LBを照射するレーザー光線照射手段52と、両者を相対移動する加工送り手段とを具備する。レーザー光線照射手段はレーザー光線発振手段53と、レーザー光線を集光する集光器6とを具備し、集光器はレーザー光線を光学軸に対して平行な偏光成分と垂直な偏光成分に位相差を生じさせる波長板621a,622aとレーザー光線を所定の分離角度で分離する複屈折型ビームスプリッター621b,622bとからなる分離器621,622を複数個直列に配設したレーザー光線分離手段62と、複数のレーザー光線を集光する集光レンズ63とによって構成され、各複屈折型ビームスプリッターは異なる分離角度に設定される。 (もっと読む)


【課題】薄い半導体ウェハを比較的短時間で容易に製造することができ、かつ基板の割れを防止し、製品率を向上させる。
【解決手段】基板10上に非接触にレーザ集光手段16を配置する工程と、レーザ集光手段16により、基板10表面にレーザ光を照射し、基板内部にレーザ光を集光する工程と、レーザ集光手段16と基板10を相対的に移動させて、基板10内部に2次元状内部改質層12を形成する工程と、レーザ集光手段16と基板10を相対的に移動させて、2次元状内部改質層12のレーザ集光手段16側およびまたはレーザ集光手段16と反対側に少なくとも1層のパターン状改質層36を形成する工程と、基板10表面にパターン状改質層36を露出させる工程と、パターン状改質層36および2次元状内部改質層12をエッチングする工程とを有し、レーザ集光手段16と基板10の相対的な移動方向は、基板10の劈開方向と一致していない基板加工方法。 (もっと読む)


【課題】薄い半導体ウェハを比較的短時間で容易に製造することができ、かつ製品率を向上させる。
【解決手段】基板10上に非接触にレーザ集光手段16を配置する工程と、レーザ集光手段16により、基板10表面にレーザ光を照射し、基板内部にレーザ光を集光する工程と、レーザ集光手段16と基板10を相対的に移動させて、基板10内部に2次元状内部改質層12を形成する工程と、レーザ集光手段16と基板10を相対的に移動させて、2次元状内部改質層12のレーザ集光手段16側およびまたはレーザ集光手段16と反対側に少なくとも1層のパターン状改質層36を形成する工程と、基板10表面にパターン状改質層36を露出させる工程と、パターン状改質層36および2次元状内部改質層12をエッチングする工程とを有する基板加工方法。 (もっと読む)


【課題】基板の密封に使用されるレーザビーム照射装置、及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第1基板と第2基板との間に配置された密封部にレーザビームを照射することにより第1基板及び第2基板を密封するレーザビーム照射装置であって、レーザビームを照射するレーザヘッドと、レーザビームの走行速度及び運動方向を制御する制御部と、を備えている。レーザビーム照射装置の制御部による制御下で、レーザビームは、密封部が形成する経路に沿って前後方向に反復運動を行い、経路上の同一位置を2回以上通過するように照射される。 (もっと読む)


【課題】加工対象物に対するレーザ光の照射を高速でオン・オフすることができるレーザ加工装置及びその加工方法を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置1は、ガルバノミラー4とプリント基板10との間でレーザ光を吸収可能な光吸収部材7と、プリント基板10に対するレーザ光の照射を一時的に中断するために、光吸収部材7にレーザ光を照射させるようにガルバノミラー4によるレーザ光の偏向角度を制御する制御部8とを備える。 (もっと読む)


【課題】レーザビームのエネルギを最大限に活用し、かつ、加工領域外の薄膜や基板への熱的ダメージを抑制する。
【解決手段】基板1上に形成された薄膜2の除去方法である。前記基板1を介して除去する薄膜2にレーザビーム3を照射する。前記基板1へのレーザビーム3の入射角を、レーザビーム3の反射が最小となる角を維持しつつ、前記基板1とレーザビーム3を相対移動させる。
【効果】レーザビームのエネルギを最大限に活用できるので、レーザビームの照射時間を長くしたり、照射するレーザビームのエネルギを高める必要がなく、基板上の加工領域外の薄膜や基板に与える熱的ダメージを抑制できる。 (もっと読む)


【課題】光吸収剤を介して樹脂部材のレーザー接合を行うに際して、照射するレーザー光の利用効率を高めつつ、しかも樹脂部材どうしの接合を良好に行いうる樹脂部材のレーザー接合方法を提供。
【解決手段】ステージ31上に2以上の樹脂部材10a、10bを載置し、該樹脂部材10a、10bを光吸収剤層20を介して接触させ、その接触面に対してステージ31と対向する方向からレーザー光50を照射して樹脂部材10a、10bを溶着させ、該樹脂部材10a、10bを接合する樹脂部材10a、10bのレーザー接合方法であって、前記ステージ31が、前記レーザー光50に対して70%以上の光反射率を有するレーザー光反射部材30を備えて構成されていることを特徴とする樹脂部材10a、10bのレーザー接合方法。 (もっと読む)


【課題】減圧チャンバー1の大型化を抑えること、レーザ溶接の自由度を高めること。
【解決手段】少なくとも天井部1a及び側壁部1bがレーザLの透過率85%以上の構成材料からなる減圧チャンバー1を用い、減圧チャンバー1内に複数の金属部品W1,W2を突き合わせるようにセットし、減圧チャンバー1の外側に独立して配設されかつレーザLを集光する集光レンズ11を備えたレーザ溶接ヘッド9を用い、減圧チャンバー1内を0.1気圧以下の減圧雰囲気に保持した状態で、レーザ溶接ヘッド9から突き合わせ部Bに対してレーザLを照射すること。 (もっと読む)


【課題】 ドリルに対して識別記号が鮮明に付与することができる識別記号付与方法を提供すること。
【解決手段】 本発明のドリルの識別記号付与方法は、ドリルの表面に、第1スキャンスピードでレーザー照射して識別記号パターンの下地処理を行う工程、前記下地処理されたドリル表面に、前記第1スキャンスピードより低い第2スキャンスピードでレーザー照射して識別記号パターンを印字する工程、および前記識別記号パターンに対して白黒反転させたパターンを前記第2スキャンスピードより高い第3スキャンスピードでレーザー照射して識別記号の端部を処理する工程を包含する。 (もっと読む)


【課題】バキューム装置を板金ワークの下方に位置し加工ヘッドの移動に応じて位置を変化させることで、板金ワークのパスライン不良による加工精度への影響の問題を解消し、且つ効率の良い機械運用を可能としたレーザ加工機を提供することを目的とする。
【解決手段】直交するX軸とY軸上を移動可能な被加工板材Wを加工するための加工ヘッド3と、X軸とY軸にそれぞれ平行なU軸とV軸上を、被加工板材Wを保持して移動可能な複数のバキューム装置2と、被加工板材Wから切取られた製品Pを移動し収集する設置テーブル6とを備えたレーザ加工機1であって、バキューム装置2が、被加工板材Wを保持するための複数の吸着支持手段2aを有し、加工ヘッドの移動及び被加工板材Wの形状及び大きさに応じて複数の前記バキューム装置2が所定の位置に移動して被加工板材Wを保持することを特徴とするレーザ加工機。 (もっと読む)


【課題】被加工物に照射するレーザ光と同軸でアシストガスを被加工物に吹き付けることができなくても、レーザ切断によって生じる溶融ガス、ドロス等を除去し、該ドロス等起因のレーザ切断面の品質低下を防止することができるレーザ加工装置及び方法を提供する。
【解決手段】レーザ発振器からのレーザ光をリモートヘッド20で偏向して走査し被加工部材2に照射して加工する際に、前記被加工部材のレーザ光照射面に、前記レーザ光を透過する材料で形成されたレーザ光照射範囲全体を覆う第1の箱体3を配置し、前記被加工部材のレーザ光照射面の裏面に、前記レーザ光照射範囲の裏面に当たる部分全体を覆う第2の箱体4を配置し、前記第1の箱体内が正圧を維持するようにガスを供給するとともに、前記第2の箱体内が前記第1の箱体内より圧力が低い状態を維持するように減圧しながら、レーザ光を被加工部材に照射して加工する。 (もっと読む)


【課題】撥液性及び生産性に優れた周期構造の形成方法及び当該周期構造を有する燃料噴射装置を提供することにある。
【解決手段】周期構造の形成方法では、金属材料からなる噴孔プレート20の外表面にパルスレーザーを照射及び走査して、微細な複数列の溝からなる周期溝250が外表面において放射状に延びるように形成するものである。 (もっと読む)


【課題】集電体がさらに薄くなっても、集電体になる金属箔と集電板になる金属板との溶接において、溶接不良が少なく安定した溶接結果が得られる接合方法を提供する。
【解決手段】(工程1)金属箔111の端部111aが絶縁膜112の端部112aよりも外側に位置するように、金属箔111と絶縁膜112とを交互に積層して、各金属箔111の端部111aが全ての絶縁膜112の端部112aのいずれよりも外側に位置する積層構造物110を作製し、(工程2)金属板120が積層構造物110の端部に接触するまで、金属板120を垂直方向に移動させ、金属板120が積層構造物110の端部に接触した状態で、金属板120を積層方向にずらしながら、金属板120を積層構造物110に押し付け、(工程3)金属箔111の端部111aが積層方向に揃って曲がった状態で、金属箔111の端部111aと金属板120とを溶接する。 (もっと読む)


【課題】固体レーザやファイバレーザによる被切断材の切断可能厚さを向上させることができ且つ該被切断材を二次元的に切断することができるレーザ切断装置を提供する。
【解決手段】レール31に沿って走行可能に構成された走行台車32と、走行台車の走行方向とは直交する方向に横行可能に構成された横行台車33と、前記横行台車に搭載されたレーザ発振器11とノズル3を有するレーザトーチ12と、レーザ発振器からレーザトーチのノズルの間に構成された光学系と、レーザトーチ12に接続された酸素ガス供給系、を有し、レーザ発振器から出射されたレーザビームを光学系を介してリング状のビームに形成してレーザトーチのノズルから被切断材4に向けて照射すると共に酸素ガス2をノズルから被切断材に向けて噴射することで被切断材を切断する。レーザトーチ12に反射光の漏洩を防ぐカバー36を設ける。 (もっと読む)


81 - 100 / 492