【課題】半導体ウェハ搬送および／または加工装置で用いられる反力補償システムを提供する。
【解決手段】レーザビームが、ビーム軸に沿って伝播して、支持部に置かれた加工表面に入射する。支持部は、加工表面上の選択した位置にあるレーザビームの位置まで、レーザビームと目標試料の少なくとも１つを互いに対して移動させる位置決めシステムに動作可能に接続されている。少なくとも１つの反力補償モータは、対応するステージモータの共通力面、およびそれに出来るだけ近く位置している。補償モータと対応するステージモータの間のモーメントアームは、低減または除去されて、補償モータが、実施的ステージ力に直接結合し、実質的にゼモモーメントアームでステージ力と反応することができる。各補償モータが、対応するステージモータに直接結合し、一列に整列しているので、４つのモータのみで６自由度を制御することができる。 （もっと読む）

ビア穴あけシステム(5, 700, 800, 900)は、好ましくは、一度に１つのターゲット(25, 720, 820, 910)を加工するように構成されている。ビア穴あけシステム(5, 700, 800, 900)は、好ましくは、ビア穴あけシステム(5, 700, 800, 900)のフットプリントを比較的小さくし、ビア穴あけシステムの部品間のモーメントアームを比較的短くし、剛性ループを比較的短くし、ターゲット(25, 720, 820, 910)の加工時間を比較的速くする。好ましくは、ターゲット(25, 720, 820, 910)に対して実質的に同時に複数の加工を実行する複数のツール(736, 836, 926)を設ける。 （もっと読む）

【課題】加工ヘッドの応答性を維持しつつ光学系の設計が簡略化でき、高い加工効率を有するレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置は、複数の加工ヘッドを同期して２次元的に移動させて、複数箇所を同時に加工するものであり、レーザ光を発生するレーザ発振器１と、レーザ発振器１からのレーザ光を伝送するための光ファイバ２と、光ファイバ２によって伝送されたレーザ光を平行光にするための光学素子３と、光学素子３からの平行光を分割し、各加工ヘッド１３，１４へそれぞれ供給するための光分岐素子４と、複数の加工ヘッド１３，１４をＸ方向に沿って変位可能なように支持するためのヘッド支持部材２０と、ヘッド支持部材２０をＹ方向に沿って変位させるための変位機構３０などを備え、光学素子３および光分岐素子４はヘッド支持部材２０に設置される。 （もっと読む）

複合電子デバイスの個別化のための改善された方法を提供する。複合電子デバイスは、２つ以上の基板８４、９０を複数のデバイス１２を含む組立体１０に結合することによって製造される。レーザ加工８０を用いて、複合電子デバイス１２を個別化する方法を提供する。提供する方法は、カーフ１４２の幅を最小化し、及びシステムスループットを維持しながら、欠陥、例えば、基板３６、５０の亀裂５８又は欠け３９をより少なくする。 （もっと読む）

【課題】従来のガスレーザ発振装置は、レーザガス消費量が多く、ランニングコストが増大するという問題が発生していた。
【解決手段】レーザガス４を移動させる回転体２１ａ，２１ｂと、回転体２１ａ，２１ｂを駆動する駆動部２２と、回転体２１ａ，２１ｂと駆動部２２を連結する駆動軸２３と、駆動軸２３を貫通させるとともに回転体２１ａ，２１ｂと駆動部２２を隔離する隔壁２５と、隔壁２５と駆動軸２３の間に配置した軸受け２６と、軸受け２６よりも回転体２１ａ，２１ｂ側に配置し、かつ軸受け２６の外形寸法よりも大きな空間部２８と、軸受け２６と空間部２８の間にシール材２７を配置したものである。 （もっと読む）

【課題】レーザビームを走査することなく肉盛り可能なエネルギー密度としたリング形状ビームにて肉盛りを実現して肉盛り加工部の品質を高める。
【解決手段】シリンダーヘッドのバルブシート形成部位に形成されたリング形状凹溝に、リング状の金属材料である金属粉末リング体１５を配置した後、この金属粉末リング体にレーザビームｈｖを照射して溶融固化させることによりバルブシートを形成する。レーザビームｈｖを、バルブシートの直径と近似した径且つバルブシートのリング幅よりも小さい幅のリング形状ビームとして、このリング形状ビームを前記金属粉末リング体全域に亘り偏芯照射させる。 （もっと読む）

パルス状レーザを用いて透明な基板上にパターンを形成する方法が開示される。様々な実施形態は、極短パルス状レーザ、レーザ波長に透明な基板、及びターゲット板を含む。レーザビームは、透明基板を介してターゲット表面に集光される。ターゲット材料は、レーザによって剥離され、対向する基板表面に堆積される。パターンは、例えばグレイスケールであり、ターゲットに対するレーザビームの走査によって形成される。レーザビーム走査速度及び走査線密度の変化によって、材料堆積を制御し、堆積したパターンの光学性質を変化させ、グレイスケールの色彩効果を生成する。いくつかの実施形態において、パターンは、製造工程の間にマイクロ電子デバイスの一部に形成するようにすることができる。いくつかの実施形態において、高繰り返し率ピコ秒及びナノ秒ソースは、パターンを形成するように構成される。
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【課題】合成樹脂等の薄膜シートを有するガラス等の脆性材料基板であっても、簡易な機構で精度良くスクライブ加工することができるレーザ光加工装置及びレーザ光加工方法を提供する。
【解決手段】パルスレーザ光を発振するレーザ発振器と、発振されたパルスレーザ光を集光して照射する集光光学機構とを有するレーザ照射機構と、該レーザ照射機構を脆性材料基板の表面の予定ラインに沿って移動することが可能な移動機構とを備え、脆性材料基板の表面に予定ラインに沿ってスクライブ溝を形成する。脆性材料基板の一面には合成樹脂層が形成してあり、パルスレーザ光は合成樹脂層が形成してある面側から照射する。焦点位置が、合成樹脂層が形成してある面から離れた第一の位置となるよう調整してパルスレーザ光を照射した後、第一の位置よりも合成樹脂層が形成してある面に近い第二の位置となるよう再調整してパルスレーザ光を一定時間照射する。 （もっと読む）

【課題】小型軽量化およびコストの削減を図りつつ被加工物に対するレーザ加工を効率的かつ適切に行うことができるレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】横モードシングルの高調波レーザ光を出射するレーザ装置２と、高調波レーザ光の波長の２８倍以上かつ３６倍以下のコア径を有するラージモードエリアのシングルモードの光ファイバ７と、加工ヘッド８と、該加工ヘッド８を被加工物１の加工位置に移動させる移動手段１０とを備えたこと。 （もっと読む）

【課題】ワークの表面にピッチや寸法、位置が一様でない複数本の加工ラインを効率よく形成できるレーザ加工技術の実現。
【解決手段】レーザビームを複数本のビームに分岐する手段と、各分岐ビーム間のピッチを加減するピッチ調整手段と、各分岐ビームのシャッタ装置と、各分岐ビームの照射位置をＸＹ方向に移動させる照射位置移動手段と、制御部16と、CADデータを取り込み、各加工対象ラインの寸法、位置、ピッチを算出する手段と、各加工対象ラインの寸法、位置、ピッチ、分岐ビームの本数、分岐ビーム間のピッチ調整可能範囲に基づいて、同時加工すべきグループを設定する手段と、同時加工グループ単位で、基準となる分岐ビームの加工開始時点における位置情報と、加工終了時点における位置情報と、各分岐ビーム間のピッチ情報と、加工中に閉塞すべきシャッタ装置の特定情報を求め、これらの情報を含む制御プログラムを生成し、制御部16に送信する手段を備えたレーザ加工装置10。 （もっと読む）

【課題】 加工対象物ＯＢの加工領域全体にわたってピットを適正配置で形成できるようにする。
【解決手段】 テーブル２１が１回転したときに形成されるピットの周方向の数をレーザ光の照射軌跡における隣接する内側の周と外側の周とで同一にするとともに、インデックス信号により基準回転位置が検出されてから次のインデックス信号により次の基準回転位置が検出されるまでのあいだとなるレーザ光の照射位置移動区間毎に、照射位置移動区間におけるレーザ光の照射位置の移動距離を予め設定した周方向ピット間隔Ｂｗｔで除算したときに余りが生じないように、周方向ピット間隔Ｂｗｔを補正する。そして、補正された補正周方向間隔Ｂｗｔ（ｎ）とレーザ光照射位置の線速度とに基づいて、レーザ駆動用パルス信号の周期を算出する。 （もっと読む）

【課題】レーザビームを用いた割断方法にて、十分にレーザ移動速度を維持しながら、安定した割断工程を実現することができる。
【解決手段】本発明の割断方法は、脆性材料からなる基板にレーザを照射して前記基板を割断する割断方法において、基板上にレーザを照射して基板を加熱する工程と、照射した領域を冷却する工程と、照射する領域と冷却する領域とを直線的に走査する工程と、照射および冷却した領域の一部に力を加圧する工程とを有し、照射する時間と、冷却する時間との差Ｔ（ｓ）が、レーザ出力Ｐ（Ｗ）、レーザビーム移動速度ｖ（ｍｍ／ｓ）、レーザビーム照射面積Ｓ（ｍｍ²）、基板厚ｔ（ｍｍ）、係数ｋ、係数ｈを用いて、Ｔ＝ｖＳ（０．１ｔ−ｈ）／ｋＰで表せることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被加工物に開口した孔を透過したレーザ光により、はんだされる各種部品などへのダメージを防ぎ、また、被加工物の法線方向からの観察を行うことを可能にして、ダメージ発生の有無を同時に判断することができるようにし、また、各種はんだ付けに適したレーザ光のスポット形状の切り替えを可能する。
【解決手段】被加工物６に対して斜めにレーザ光２０を照射する。これにより、プリント基板６１の孔６１ａを通過するレーザ光２０を少なくし、プリント基板６１の裏面側に配された挿入部品６２の弱耐熱性部分へのダメージを防ぐ。さらに、観察カメラ２３で被加工物６を法線方向から観察することができるため、プリント基板６１の孔６１ａと挿入部品６２のリード線の隙間から、挿入部品６２の弱耐熱性の樹脂製部分を観察することができ、ダメージを与えるか否かの判断をすることができる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光をハーフミラー及び反射ミラーを用いて複数のレーザ光に分岐し、その分岐方向とレーザ光の走査方向とのなす角度を可変制御できるようにする。
【解決手段】レーザ発生装置から出射されたレーザ光は、最終的にワークの加工面に垂直に照射される。ハーフミラー及び反射ミラーからなる分岐手段をこの垂直に向かう垂直レーザ光の途中に設けてレーザ光を分岐する。このとき、分岐手段の回転中心軸と垂直レーザ光の進行方向とを一致させて、分岐手段全体を回転できるように構成する。これによって、分岐方向とレーザ光の走査方向とのなす角度θを容易に可変制御することができる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光路長を短く略一定として加工品質の悪化を防止するレーザ加工機を提供する。
【解決手段】第１開口部４ａに沿うように第１ベルト部材Ｂ１が配置され、第２導光部に第１移動ユニット５０を設け、第１ベルト部材Ｂ１は、第２導光部が近接する部分以外Ｘ_２では第１開口部４ａを閉塞するように配置され、第２導光部が近接する部分Ｘ_１では、第１導光部から離間した位置に配置されて第２導光部５へのレーザ光Ｌ４の導入を許容し、反射手段４１が、第１移動ユニット５０に支持されて、第１導光部４の内部に突出する形で設けられており、第１移動ユニット５０には、反射ミラー５０４を、第１導光部４から離間した位置に配置された状態の第１ベルト部材Ｂ１の第１開口部側に、反射手段４１から反射されたレーザ光を第２の方向Ｙに反射し得るように設けて構成される。 （もっと読む）

【課題】太陽電池パネル周縁の太陽電池膜を高速かつ高効率的に除去して絶縁帯を形成し、優れた生産性とメンテナンス性、コスト性を備えた太陽電池パネルのレーザ除去加工装置を提供する。
【解決手段】透光性基板を下向きにした太陽電池パネルＰを載置するワークテーブル１３と、ワークテーブルを直線状にスライド移動させる移動装置と、ワークテーブルの下部に配設されワークテーブルの直線移動方向に沿って太陽電池膜の端部をレーザ照射するレーザヘッド１５、１６と、太陽電池膜の未除去部分を除去できるようにワークテーブルを回転させる回転装置１７と、を有するように太陽電池パネルのレーザ除去装置１０を構成する。 （もっと読む）

【課題】眼鏡枠用の線材などの長尺の線材に対してレーザ光によって連続的に自動運転で高精度の模様付け加工を行うための方法および装置を提供する。
【解決手段】長尺の線材３の曲がりを直線矯正部１１により直線状に矯正する手順と、前記線材を線材移動部１４により保持してその軸線方向に所定量だけ移動させる手順と、前記線材を前記線材移動部による保持位置よりも後方の位置で線材固定部１３により保持して固定する手順と、前記線材固定部および前記線材移動部によって保持された両保持位置の中間部分の前記線材の表面に対して、レーザ加工部１５によりレーザ光を照射して模様付け加工を行う手順と、前記線材固定部による前記線材の保持を解放する手順とを順次繰り返すことにより、前記線材に周期的な模様を形成するものである。 （もっと読む）

【課題】複雑な形状の載置治具を用いることなく、良好な歩留まりで屋根板と垂木部材との溶接を行うことができるレーザ接合方法を提供する。
【解決手段】このレーザ溶接方法では、垂木部材２６を配列する垂木配列工程と、屋根板２２を垂木部材２６上に載置する屋根板載置工程とを備える。これにより、複雑な形状の載置治具を用いることなく、屋根板２２に対して垂木部材２６のフランジ部２６ａを当接させることができる。また、レーザビーム３４の照射ピッチＰ２を垂木部材２６の配列ピッチＰ１と一致させると共に、レーザビーム３４の照射幅Ｗ２を、屋根板２２の底面２２ｂとフランジ部２６ａとの当接幅Ｗ１よりも大きくしている。これにより、垂木部材２６の配列ピッチＰ１やレーザビーム３４の照射ピッチＰ２が多少ずれたとしても、良好な歩留まりで屋根板２２にフランジ部２６ａを溶接することができる。 （もっと読む）

【課題】複雑なギャップ管理を行なうことなく、金属板の端部同士を健全な溶接部によって接合できるレーザ溶接方法を提供する。
【解決手段】このレーザ溶接方法では、互いのビームスポットＳ１，Ｓ２が接し、かつ溶接予定線Ｒに直交する方向に並ぶように、レーザビームを第１のレーザビームＬ１及び第２のレーザビームＬ２に分割し、金属板１，２の端部間のギャップＧ内で、レーザビームの照射位置にフィラーワイヤを供給している。この方法では、単一のレーザビームを照射する場合に比べてフィラーワイヤ１６から発生する金属蒸気Ｖが溶接予定線Ｒの幅方向に拡張されるので、厳密なギャップ管理を行わなくとも、ギャップＧ内で溶融したフィラーワイヤ１６と、フィラーワイヤ１６から生じた金属蒸気Ｖによって溶融した金属板１，２の端部とによって、健全な溶接部２１を形成できる。 （もっと読む）

【課題】板厚の異なる金属板の突き合わせ接合において、接合体の疲労強度を十分に確保できるレーザ溶接方法を提供する。
【解決手段】このレーザ溶接方法では、金属板１，２の突き合わせ部分上で互いのビームスポットＳ１，Ｓ２が接し、かつ溶接予定線Ｒ方向に並ぶように、レーザビームを第１のレーザビームＬ１及び第２のレーザビームＬ２に分割している。これにより、金属板１，２への入熱時間が長くなり、溶接予定線Ｒと直交する方向への入熱量が増加するため、溶接部２１の幅が拡張される。また、フィラーワイヤ１６からの金属蒸気が溶接予定線Ｒと直交する方向に拡散し易くなり、溶接部２１の幅の拡張が助長される。したがって、溶接部２１の傾斜部分２２の角度θ_１が緩やかになり、溶接部２１での応力集中が緩和されるので、金属板１，２の接合体の疲労強度を十分に確保できる。 （もっと読む）