【課題】レーザーショックピーニングの有効性のリアルタイムモニタリングのためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】レーザーショックピーニング用のシステム１０は、レーザーパルス２０をワークピース２４の第１の面２２に向けるように配置されたレーザー１２と、ワークピース２４の第２の面３６上のカプラー３０とを含んでいる。このシステム１０はさらに、カプラー３０の速度を測定するように配置されたドップラーシフト検出器１６を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】金属製薄肉パイプの重ね合わせ溶接において溶け込み深さを安定させ溶接品質を向上するレーザ溶接方法を提供する。
【解決手段】金属製の第１パイプ１１と、第１パイプ１１の径外側に嵌合する第２パイプとを溶接するレーザ溶接方法は、不活性ガス注入工程、溶接工程および冷却工程を含む。不活性ガス注入工程では、ガス注入ノズル２１から第１パイプ１１の内側に不活性ガスＧ１を注入するとともに内側の空気Ｇ０を外側へ排出することで溶接時の内壁の酸化を防止する。溶接工程では、第１パイプ１１および第２パイプ１２を中心軸の回りに回転させながらレーザ照射ヘッド５１から第２パイプ１２の外周にレーザ光Ｌを照射し、溶け込み部の先端が第１パイプ１１の板厚内に位置するように金属を溶け込ませる。冷却工程では、不活性ガス注入工程から継続注入される不活性ガスＧ１によって、溶接された箇所を冷却する。 （もっと読む）

【課題】被処理体を保持する保持部の移動方向を切り替える際に、減速時間、停止時間および加速時間を減らすことで、精度良くレーザ加工することができるレーザ加工用ステージとレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】レーザ加工用ステージは、保持部３０と、保持部３０を移動させる第一上方ステージ１０と、第一上方ステージ１０を移動させる第一下方ステージ２０と、を備えている。制御部５０は、固定位置を基準として保持部３０の移動方向を切り替える際に、第一上方ステージ１０によって保持部３０を切り替える前の方向に相対的に移動させるとともに第一下方ステージ２０によって第一上方ステージ１０を切り替わった後の方向に相対的に移動させる、または、第一下方ステージ２０によって第一上方ステージ１０を切り替える前の方向に相対的に移動させるとともに第一上方ステージ１０によって保持部３０を切り替わった後の方向に相対的に移動させる。 （もっと読む）

【課題】ワークへのちりの付着を防止できる穴あけ装置の提供を課題とする。
【解決手段】ワーク６６をワーク回転機構１２の回転軸２８上で支持し上面に開口１５が備えられたワーク支持部材１３と、ワーク支持部材１３に対して昇降可能に設けられ開口１５に被せられる蓋部１６と、蓋部１６が開口１５に被せられた照射室６３と、照射室６３に繋げられ圧縮ガスを供給するガス供給手段４５と、ワーク回転機構１２からワーク支持部材１３の外側方を通って延びるブラケット８１と、ブラケット８１の上部と蓋部１６とを着脱自在に連結する連結手段８３とを備えたことを特徴とする。
【効果】ガス供給手段４５と、排出手段４９とを備えた。レーザ光を照射する場合に、ガス供給手段４５で圧縮ガスを供給しつつ、排出手段４９でガスを排出する。気圧の差を生じさせることにより照射室６３内に気流が発生する。この気流により効率よくちり７２が外部へ排出される。 （もっと読む）

【課題】従来よりも幅が広いバンドを製造し、厚み及び光学特性が均一な従来よりも幅が広い長尺のフィルムを製造する。
【解決手段】幅広のシート材である中央部材１２の側縁１２ｅを位置検出手段３４で検出し、この検出結果に基づいて第１ローラ２６、第２ローラ２７により中央部材１２の搬送経路を制御する。幅狭のシート部材である側部材１１を第３ローラで中央部材１２に寄せる。これにより、側部材１１の側縁１１ｅと中央部材１２の側縁１２ｅとの突き合わせ位置Ｐｃが第４ローラ２９上になるようにする。突き合わせた側部材１１と中央部材１２とを溶接装置４２に送り、長手方向に溶接する。 （もっと読む）

【課題】ウェハから補強部をなくす際のスループットの低下を防ぐこと。設備コストの増大を抑制すること。ウェハ当たりのチップの取れ数が減るのを防ぐこと。
【解決手段】ウェハを垂直または任意の角度で傾いた状態で保持して回転するレーザ加工ステージ２と、レーザ加工ステージ２に保持されたウェハの素子領域とその素子領域よりも厚い補強部との境界またはその境界よりも内側の部位に固定位置からレーザを照射するレーザヘッド３と、レーザ照射部位に斜め上方から、ウェハの回転の向きに対して逆向きでかつウェハの外へ向けてガスを吹き付けるガス噴射部４と、レーザ照射後のウェハに、ダイシング時にウェハを保護するテープを貼り付けるテープ貼り付け装置１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】製造される薄膜太陽電池の製品性能を高い状態で維持しつつ、生産タクトの低下を防止することができるレーザ加工装置を低コストで提供すること。
【解決手段】レーザ加工装置は、被加工基板６０を保持する保持部２０と、被加工基板６０上の基準点Ｐ１〜Ｐ９の位置を検知する検知部１０と、検知部１０の検知結果に基づいて、被加工基板６０上で既に加工された加工済み線の位置を算出する算出部５０と、被加工基板６０の薄膜６５に対してレーザ光Ｌを照射するレーザ照射部３０と、算出部５０の算出結果に従って、保持部２０およびレーザ照射部３０のうちの少なくとも一方を、移動可能とする加工移動部３５と、を備えている。算出部５０は、常温における被加工基板６０上の基準点Ｐ１〜Ｐ９の位置と、熱膨張した被加工基板６０上の基準点Ｐ１〜Ｐ９の位置とを比較することで、熱膨張した被加工基板６０上における加工済み線の位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】スキッドとタップとの干渉を回避してタッピング加工を行うことのできる加工方法、ワーク支持装置、複合加工機を提供する。
【解決手段】板状のワークを支持する複数のスキッドのスキッド列を適宜間隔に備えたワーク支持テーブルの上方位置に、レーザ加工ヘッド及びタッピング加工ヘッドを備えた複合加工機によって前記ワークに対して加工を行う加工方法であって、前記スキッド列とタッピング加工位置とが一致しているタッピング加工位置よりも、前記スキッド列と位置がずれているタッピング加工位置のタッピング加工を先に行った後、前記スキッド列と一致しているタッピング加工位置を前記スキッド列からずらすために、前記ワークをスキッド列に対して直交する方向へ水平に位置をずらし、スキッド列から位置ずれしたタッピング加工位置のタッピング加工を行った後、前記ワークから製品を分離するためのレーザ加工を行う。 （もっと読む）

【課題】レーザビームを利用した基板の加工方法を提供する。
【解決手段】スラッジの発生を防止できる親環境的な基板加工方法に係り、該基板加工方法は、第１レーザビームを生成する段階、回折光学素子を利用して第１レーザビームを複数個の第２レーザビームに分割する段階、分割された複数個の第２レーザビームを、基板の周面と平行な基板内部の平面に集束させる段階、及び基板内部の平面に沿って基板を面分離させる段階を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】板状若しくは管状の工作物２２の選択的な加工のためのレーザー加工機械１であって、移動装置８を含み、移動装置に、板状の工作物の支持のためのワークテーブル７が、ワークテーブルを加工領域２内へ移動させかつ加工領域内から外側へ移動させるために、連結され、管状の工作物の加工時における管状の工作物２２の操作のための操作装置３，４，５，６を含み、操作装置は、管状の工作物の支えのための少なくとも１つの支持装置４，５，６を有している形式のものにおいて、管材加工時のフレキシビリティーを高める。
【解決手段】支持装置５は、管状の工作物の長手方向（Ｘ）に加工領域の少なくとも２０％に亘って、有利には少なくとも半分に亘って、制御した状態で移動させられるようになっている。 （もっと読む）

【課題】ｒθ加工によりヒートモード型の有機記録材料層に、半径方向に予め定めた波長オーダの間隔で、複数の凹部を均一に形成することができる、レーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】レーザ光源から射出されたレーザ光を集光して有機記録材料層に照射するレーザ照射手段を半径方向に移動させながら、回転されたディスク状の加工対象物の表面に形成された有機記録材料層に、描画データに応じて光強度が変調されたレーザ光を照射する際に、半径方向に予め定めた波長オーダの間隔の２倍の幅を有する第１の間隔で複数の凹部列が隣接するように複数の凹部を形成する第１の加工を行った後に、第１の加工に用いたレーザ光より光強度の大きいレーザ光により第１の加工で形成された隣接する２本の凹部列の間に複数の凹部を形成する第２の加工を行う。 （もっと読む）

【課題】コストアップを招くことなく、高速かつ高い精度で太陽電気基板等の積層基板に対してパターニング加工できるようにする。
【解決手段】このパターニング装置は、所定の間隔をあけて配置された１対の支持部１と、ガイドバー２と、加工ヘッド３と、ローラステージ４と、搬送機構５と、を備えている。ガイドバー２は、１対の支持部１の間に配置されるとともに両端がそれぞれ１対の支持部１に支持され、下方を積層基板が通過可能である。加工ヘッド３は、ガイドバー２に装着され、薄膜層をパターニングするためのものである。ローラステージ４は、１対の支持部１の間において加工ヘッド３に対向して配置されるとともに１対の支持部１に回転自在に支持され、外周面に積層基板が載置される。搬送機構５はローラステージ４上に載置された積層基板を搬送する。 （もっと読む）

【課題】コストを低減できるとともに、振動特性の悪化を防止できるタービンローターの製造方法を提供する。
【解決手段】電子銃１０を用いて嵌合部２１を溶接するタービンローターの製造方法であって、嵌合部２１を一回転させる中で、嵌合部２１の位相に対応する電子ビーム１２を電子銃１０より嵌合部２１に複数回照射して、タービンシャフトの周方向において等間隔に配置されるとともに、複数の溶融部を嵌合部２１に形成する溶融部形成工程と、溶融部形成工程の後に、溶融部形成工程で形成される溶融部の幅と同じ幅、あるいは溶融部の幅よりも小さい幅だけ嵌合部２１を回転させる回転工程と、を含み、溶融部形成工程および回転工程は、複数の溶融部が嵌合部２１の全周にわたって連続して形成されるまで繰り返される。 （もっと読む）

【課題】レーザー光を用いたフィルムの切断において、ビード状の隆起物の発生を抑制する切断機を提供する。
【解決手段】本発明に係る切断機は、フィルム９を吸引する吸引ロール５と、フィルム９にレーザー光を照射してフィルムを切断する照射装置６とを備え、吸引ロール５には複数の吸引孔１６が形成されており、照射装置６のレーザー光の照射方向は、吸引孔１６に向かっており、吸引ロール５には、吸引孔１６を介して空気を吸引することによってフィルム９を吸引ロール５の表面１５に向かって吸引する空気吸引装置を備える。 （もっと読む）

【課題】被照射物内に厚さのばらつきが存在する場合であっても、被照射物に対してレーザ光の照射を均一に行うレーザ光の照射方法を提供する。
【解決手段】厚さのばらつきが存在する被照射物にレーザ光を照射する際に、オートフォーカス機構を用いることによって、被照射物の表面にレーザ光を集光するレンズと被照射物間との距離を一定に保ちながらレーザ光の照射を行う。特に、レーザ光に対して被照射物を被照射物の表面に形成されたビームスポットの第１の方向および第２の方向に相対的に移動させて、被照射物にレーザ光の照射を行う場合に、第１の方向および第２の方向のいずれかの方向に移動させる前にオートフォーカス機構によってレンズと被照射物間との距離を制御する。 （もっと読む）

【課題】レーザー加工装置において、エネルギー損失が少なく、エッジが効いた（すなわち加工されている部分とされていない部分との違いが明確な）形状で高速なライン加工を実現する。
【解決手段】レーザーヘッド１から出力されるレーザー光についてエキスパンダー光学系２によって成形を行って平行光を生成する。この成形された平行光について、絞り部３により、その少なくとも一部分を必要に応じて遮断する。成形されたレーザー光を、絞り部３、レーザー用光学鏡筒４、対物レンズ５を介して自動搬送ステージ６に載置された加工対象７に照射して加工を行う。エキスパンダー光学系２によってレーザー光を成形し、成形後の光について絞り処理を行うことにより、エネルギー損失が少なく、エッジが効いた形状で加工を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】レーザ微細加工技術を応用することによって、自由な曲面形状を視覚に応用でき、かつ、新たな視覚的効果を生み出すことを提案する。また、レーザ特有の加工痕（シェルマーク）を制御しながら積極的に付加することによって、反射や拡散において今までに無い見え方（視覚）を提案する。
【解決手段】まず加工対象物の加工面に対して所定の深さの加工を行うためのレーザ光のエネルギー密度を設定し、そのエネルギー密度のレーザ光を加工面に繰り返し照射した場合に、加工面に所望の微細形状が形成されるショット数を設定する。また、設定されたショット数のレーザ光を加工面に照射するための、加工面でのレーザ照射領域の移動速度を計算し、その計算された移動速度でレーザ照射領域に対して加工面を移動させながら、その設定されたエネルギー密度のレーザ光を照射し、微細形状が形成される加工面表面にレーザ光照射による加工痕にからなる超微細凹凸構造を形成するものである。 （もっと読む）

【課題】スクライビング工程とマーキング工程を同時に１つの工程で行えるようにマーキング機能を有するレーザスクライビング装置及びこれを用いた薄膜型太陽電池加工方法を提供する。
【解決手段】太陽電池を移動させる太陽電池移送装置７１と、太陽電池にレーザビームを照射するレーザ部３０と、レーザ部を移動させるレーザ移送装置５０と、太陽電池移送装置、レーザ部及びレーザ移送装置を制御する中央コントロールユニット１０とを含むレーザスクライビング装置であって、中央コントロールユニットは、太陽電池に刻むマーキング情報を入力する入力部１１と、入力されたマーキング情報を格納する格納部１２と、格納部に格納されたマーキング情報によってレーザ部、レーザ移送装置及び太陽電池移送装置を制御するメインコントローラ１３とを含み、スクライビング工程と同時に又はスクライビング工程後に太陽電池に所望の情報を刻めるようにする。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成される複数の層のそれぞれに、製造効率を落とさずに複数の加工ラインが所定の間隔で且つ相互に重ならずに形成可能な薄膜太陽電池製造用のレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置１は、レーザヘッド３１、測定装置１１，２１および制御装置８０を備える。レーザヘッド３１の、一方側に測定装置１１が、他方側に測定装置２１が配置される。基板１００上の第２層に対して、レーザヘッド３１が一方側に移動するとき、測定装置１１はレーザヘッド３１の移動方向前方において第１加工ラインの位置情報を測定し、レーザヘッド３１が他方側に移動するとき、測定装置２１はレーザヘッド３１の移動方向前方において第１加工ラインの位置情報を測定する。制御装置８０が上記位置情報に基づきレーザ光の照射位置を制御する。第１加工ラインに沿う第２加工ラインが第２層上に形成される。 （もっと読む）