【課題】セラミックグリーンシートを支持する支持部材からのレーザ光の反射により、加工部分の形状精度や寸法精度が損なわれることがなく、効率よく信頼性の高いレーザ加工を行うことが可能なレーザ加工用治具、それを用いたレーザ加工装置、および積層セラミック電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックグリーンシート１の周辺部を保持する枠状保持部２と、枠状保持部２により保持された領域の内側の領域において、セラミックグリーンシート１の、分割されるべき個々のシート１ａの境界部を支持する境界領域支持部３とを備えた構成とするとともに、枠状保持部２と境界領域支持部３とを一体的に構成する。
平面的にみた場合における境界領域支持部の幅を、０．１５〜０．６mmとすることにより、機械的強度を確保して変形を防止する。 （もっと読む）

【課題】誘電体セラミックの表面に形成された導体膜の一部をレーザ加工して除去することにより誘電体セラミックが変質・劣化して低下した特性を、導体膜の酸化や導体膜材料の誘電体セラミックへの拡散などを引き起こすことなく回復させて、所望の特性を備えたセラミック電子部品を効率よく製造できるようにする。
【解決手段】誘電体セラミック（誘電体ブロック）１の表面に形成された導体膜（内導体４の一部領域４ａ）（場合によっては内導体４および／または外導体３の一部）をレーザ加工により除去した後、
酸素濃度：１．０×１０^-15ppm〜１．０×１０²ppm、
熱処理のピーク温度：導体膜に用いられる導電性材料の融点をＡ(Ｋ)とした場合において０．５１Ａ(Ｋ)〜０．８５Ａ(Ｋ)の範囲の温度条件
で熱処理を行い、レーザ加工することによって誘電体セラミック（誘電体ブロック）１が還元されることにより低下した誘電体セラミックの特性を回復させる。 （もっと読む）

【課題】母基板には、複数のセルが隣り合うセルの端部から所定の距離を隔てて並べられて備えるため、セルとセルの間の端切れ部分が無駄であるとともに、母基板上にセルを多く配置できず、生産効率が悪かった。さらに、超硬ホイールによる割断方法では、割断後にマイクロチップ（微少な欠けや微少な割れ）等の多くの不具合がある。
【解決手段】本発明では、母基板に隣り合うセルのシール部材を共有することで、以前より同サイズの母基板から、より多くのセルをとることができる。また、レーザ割断手段により、共有するシール部材の真上を割断するため、割断本数を減少することができ、これにより割断工程にかかる時間を短縮することができる。さらに割断部分に塑性変形領域が生じたり、マイクロチップ（微少な欠けや微少な割れ）が生じたりせず、製品歩留まりが向上する。 （もっと読む）

【課題】上下シェルハーフが周壁の突合わせ部位の複数箇所においてレーザービームによりスポット溶接されて形成される扁平なハウジングを備えた記録媒体カートリッジにおいて、溶接時に加圧された不活性ガスを溶接箇所に吹付けて溶接部周囲部分の酸化を防止する場合に、ハウジング内部へのスパッタ等の侵入を阻止する。
【解決手段】加圧された不活性ガスを、上下シェルハーフ３，４の周壁３ｓ、４ｓに垂直な面内において斜め下方から溶接箇所に吹き付けた状態で溶接を行なう。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットプリントヘッドにおいて、異物混入によってインク吐出を妨げられたノズルを他のノズルで補間させる。
【解決手段】 異物混入したノズルに対応する圧力発生素子配線を選択的に切断する。また、配線部のみを選択的に断線させる。 （もっと読む）

【課題】基板を切断する周辺に熱膨張及び衝撃波が全く発生しないフェムト秒レーザーを用いて切断することで、消耗費用を減らせるようにしたフェムト秒レーザーを用いた基板の切断方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るフェムト秒レーザーを用いた基板の切断方法は、基板１００をステージ上に整列する段階、このステージ上に整列された基板の切断する部分にフェムト秒レーザー２０１を照射して切断する段階とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フェムト秒レーザーを用いた基板の切断時に焦点深度の異なる集光レンズを用いることで、切断面のテーパ角度を減らすようにした、フェムト秒レーザー発生装置、及びこれを用いた基板の切断方法を提供する。
【解決手段】フェムト秒レーザー発振器２００で発振したフェムト秒レーザーを第１、第２フェムト秒レーザーに分割する第１ビームスプリッター２１０と、前記第１ビームスプリッターから分割された第１フェムト秒レーザーを、第１焦点深度を有するように集束させる第１集光レンズ２３０と、前記第１ビームスプリッターから分割された第２フェムト秒レーザーを受けて前記第１焦点深度と異なる第２焦点深度を有するように集束させる第２集光レンズ２５０と、前記第１、第２集光レンズで集束された第１、第２フェムト秒レーザーを受け、切断する基板１００の互いに異なる位置に照射する第２ビームスプリッター２６０とを含んでなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 チャックが配置されたカップを水平方向に移動させ、ウエハの表面に液体を介在させてレーザー光により例えばダイシングを行う装置において、レーザー処理の面内均一性を向上させること。
【解決手段】 レーザー光を発光するための光発振部４１と光発振部４１から発光されたレーザー光をウエハ表面に結像するための光学系ユニット４５とを含む光照射部４から、ウエハ表面に液体を供給した状態でレーザー光を照射して所定の処理を行うにあたり、変位計５によりウエハＷ表面と光学系ユニット４５との距離Ｍ１を計測し、この計測値に基づいて光学系ユニット４５のウエハ表面からの高さ位置を補正して所定のレーザー処理を行う。ウエハ表面に凹凸がある場合でも、ウエハ表面と光学系ユニット４５との距離が揃えられるので、レーザー光が均一にウエハに照射されて、面内均一性の高い処理を行うことができる。 （もっと読む）

本発明は、第１の金属要素（２０）と第２の金属要素（１６）とを相互連結するための溶接方法に関する。第１の要素（２０）は、支持体を形成しているかまたは支持体（１２）に追加される。上記方法では、第１の要素（２０）の支持部分（２０Ｂ）に連結するための連結端部（２２）が設けられた溶接部分（２０Ａ）が、第１の要素（２０）に形成される。自由端面（Ｆ）が、第１の要素（２０）の溶接部分（２０Ａ）に、連結端部（２２）の反対側に形成される。ビーム（２４）の軸（Ｘ）が溶接部分（２０Ａ）を自由端面（Ｆ）から連結端部（２２）に向けて通過するように、エネルギービーム（２４）が、第１の要素（２０）の溶接部分（２０Ａ）に向けられることにより、第１の要素（２０）の主要部の少なくとも一部分を溶解させ、溶解した主要部は、該主要部が崩れることによって第２の要素（１６）と接触するようになる。
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【課題】 レーザ加工装置において、レーザ光照射対象の部材の被照射部から発生する気化物や、被照射部の近傍から飛散する溶融物などの、部材への再付着によるダストの付着発生の抑制を図る。
【解決手段】 パルスレーザ光源２と、パルスレーザ光Ｌが導入される透明窓３８を有する局所加工ヘッド３と、パルスレーザ光Ｌの被照射部を有する部材５の支持台４とを有し、局所加工ヘッド３に、支持台４との間に形成される空間内における圧力及び気流を調整する排気手段３２ａ及び３２ｂと、透明窓及び被照射部に近接する局所排気部３７における圧力及び気流を調整する局所排気手段３４とが連結されたレーザ加工装置１において、局所排気部３７を規定する、被照射部に対向する局所加工ヘッド３の開口３９を、短径２ｍｍ以下の略真円形状に選定する。 （もっと読む）

【課題】 ビームスポットを一方向で任意の長さに可変出来るレーザ集光ユニット及びそれを備えたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 集光ユニット１２において、上方のシリンドリカルレンズ２０は固定レンズ保持部２７に保持され、下方のシリンドリカルレンズ２２は本体２４の空洞部２５内で鉛直方向（光軸方向）に移動可能な可動レンズ保持部３４に保持される。可動レンズ保持部３４は、それよりも径が一回り大きい回転リング４２の上に支持されている。回転リング４２を回すと、回転リング４２が回転方向に応じて垂直上方もしくは垂直下方へ移動し、それによって可動レンズ保持部３４および可動シリンドリカルレンズ２２も垂直上方もしくは垂直下方へ移動する。可動シリンドリカルレンズ２２の光軸上の位置を変えることでレーザ光の線状ビームスポットの長さを可変することができる。 （もっと読む）

【課題】広範囲の印字を小さな偏光ビームスプリッタを用いて実現する液晶レーザマーカの光学系にもかかわらず、印字されたパターン外周部もコントラストを良好に保つことが出来る液晶レーザマーカを提供すること。
【解決手段】ワーク２２上に描かれたマークが内周部から外周部になるほど印字部と背景部との照射レーザパワー密度の差が小さくなるのを抑制する手段として、液晶面を構成する素子を透過したレーザ光が前記偏光ビームスプリッタ２０にいたる光路上に凹レンズ１９を設けた。 （もっと読む）

【課題】高速精密レーザトリミングの方法及びシステム、そこで使用される走査レンズシステム、及びそれによって生成される電気装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの電気要素を高速レーザベース精密レーザトリミングする方法、システム、及び走査レンズシステム。本方法は、ある一定の繰返し数での１つ又はそれよりも多くのレーザパルスを有するパルスレーザ出力を発生させる段階を含む。各レーザパルスは、パルスエネルギ、レーザ波長の範囲内のレーザ波長、及びパルス持続時間を有する。本方法は、更に、ある一定の方向に沿った不均一強度プロフィールと僅か約６ミクロンから約１５ミクロンのスポット直径とを有する少なくとも１つのスポットに集束された１つ又はそれよりも多くのレーザパルスを用いて少なくとも１つの電気要素を選択的に照射し、１つ又はそれよりも多くのレーザパルスに少なくとも１つの要素から材料を選択的に除去させ、かつ少なくとも１つの要素内の実質的な微小亀裂発生を回避しながら少なくとも１つの要素をレーザトリミングさせる段階を含む。この波長は、小さなスポットサイズ、厳しい公差、及び高い吸収の望ましい短波長の恩典を生成するほど十分に短いが、微小亀裂発生を引き起こすほど短くはない。 （もっと読む）

【課題】 加工室内の温度変化による加工位置精度への影響を抑えることができる、簡易かつ低廉なレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供すること。
【解決手段】 レーザ光源から放射されたレーザビームを被加工物に導く光学系素子と、レーザビームにより加工される被加工物を載置する加工台と、光学系素子及び該加工台が配置される加工室と、該加工室内へ外気を導入する外気導入手段と、を備えるレーザ加工装置であって、加工室は、外気導入手段により加工室内に外気を導入するための外気導入口と、該加工室と外部とを連通する通気口と、を有し、該加工室内に、該外気導入口から該通気口へ向かう気流流れを形成する、レーザ加工方法及びレーザ加工装置。 （もっと読む）

【課題】 高精度の工作機械を必要とせずに、固定子と可動子とを相互に正確に位置決めでき、高出力かつ高効率の静電モータを安価に製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】 まず、絶縁基板１２の表面１２ａに、複数の電極を形成すると同時にそれら電極から独立した所定輪郭の遮光性マーク３０を局所的に形成して、固定子１６を作製する。次に、基板表面１２ａの遮光性マーク３０に隣接する絶縁基板の局所的領域５２に光５４を照射し、それにより局所的領域５２を、遮光性マーク３０の縁３０ａに沿って遮光性マークを実質的に損傷せずに除去して、取付凹部２８を形成する。そして、固定子１６に形成した取付凹部２８に、第１支持部材の位置決めピン４０を密に嵌入する。それにより、固定子１６が正確に位置決めした状態で第１支持部材に取り付けられる。可動子も同様の手順で、正確に位置決めした状態で第２支持部材に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】レーザー転写法により有機膜層パターンを形成する際に，レーザービームの光利用効率を向上させることができる有機電界発光素子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る有機電界発光素子の製造方法は，画素電極が設けられた基板１１０の上面にドナー基板１３０がラミネートされる段階と，回折光学素子２８０を備えたレーザー照射装置２００を用いてドナー基板１３０の所定領域にレーザービーム２５０，２５５が照射され，基板１１０上に有機膜層パターン１２０が形成される段階と，を含む。 （もっと読む）

【課題】 整流子に電機子巻線のコイルを溶融接合により安定確実に接続すること。
【解決手段】 電機子鉄心の各スロットより整流子１４側にはみ出た各コイル１６の開放端のコイル端末１６ｉを、当該コイルと対応する整流子片１８の端子部２２の溝２２ａに所定の他のコイル１６のコイル端末１６ｊと上下に重ねて嵌め込む。次に、整流子片１８の端子部２２とコイル端末１６ｉ，１６ｊとが接触する部分ＣＮに向けて、ＹＡＧ第２高調波のパルスレーザ光（グリーン光）ＬＢを照射する。このＹＡＧ第２高調波のパルスレーザ光ＬＢが照射された接触部分ＣＮでは、整流子片１８の端子部２２およびコイル端末１６ｉ，１６ｊのいずれもＹＡＧ第２高調波のレーザエネルギーを高い吸収率で吸収して急速に溶融し、スポット溶接（継手溶接）の接合部が形成される。 （もっと読む）

【課題】上下シェルハーフが周壁の複数箇所において突合わせ溶接されて形成されかつ内蔵された記録媒体に対するアクセス用開口を備えた扁平なハウジングと、このハウジングのアクセス用開口を開閉すべくハウジングに移動可能に取り付けられた、開口を備えたシャッタとを有する記録媒体カートリッジにおいて、上下シェルハーフの溶接時に記録媒体が損傷を受けるのを防止する。
【解決手段】溶接箇所Ｗ_１〜Ｗ_３の溶接時には、シャッタ７を、その開口７ａが溶接箇所Ｗ_１〜Ｗ_３と対向しなくなる位置に移動させる。 （もっと読む）

【課題】上下シェルハーフが周壁の複数箇所において突合わせ溶接されて形成された扁平なハウジング内に記録媒体が収容されてなる記録媒体カートリッジにおいて、溶接時にレーザービームが上下シェルハーフの周壁における突合せ部位の隙間を通じてハウジング内に洩れるのを防止する。
【解決手段】スポット溶接の中心Ｗｏを上下シェルハーフ３，４の周壁３ｓ，４ｓの突合わせ部位から上下いずれかの方向に偏位させて溶接を行なう． （もっと読む）

【課題】上下シェルハーフが周壁の複数箇所において突合わせ溶接されて形成された扁平なハウジング内に記録媒体が収容されてなる記録媒体カートリッジにおいて、上下シェルハーフの周壁における突合せ部位に段差が生じるのを防止する。
【解決手段】板バネからなるサイドガイド２３，２４，２５，２７を上下シェルハーフの周壁面上に側方から弾接させた状態で溶接を行なう。 （もっと読む）