【課題】 塗工液の幅方向流量分布を容易に均一化することができるダイヘッドを提供する。
【解決手段】 互いに平行な対向平面１１ａ，１２ａをそれぞれ有する一対のダイ板１１，１２と、一対のダイ板１１，１２の間に形成される流路と、前記流路内に設けられる内部ブロック３０とを備え、供給された塗工液が前記流路を介して吐出されるダイヘッドであって、ダイ板１２は、少なくとも２つの受け面１２ｂ，１２ｃを有しており、内部ブロック３０は、受け面１２ｂ，１２ｃに当接した状態で、ダイ板１２に取り付けられ、受け面１２ｂ，１２ｃは、側面視において対向平面１２ａに対して傾斜している。 （もっと読む）

【課題】 ミストの発生を伴わずに処理液の置換を効率よく行って処理品質を向上させるとともに、被置換処理液の回収効率を向上させること。
【解決手段】 第１リンス処理部１６４では、基板Ｇ上で現像反応を停止させるため、つまり現像液Ｒをリンス液（純水）Ｓに置換するために、二重ノズルユニット１６８の吸引ノズル１７０と吐出ノズル１７２が搬送方向（Ｘ方向）と逆方向に基板Ｇの上を基板の前端から後端まで一定速度で走査する。この走査中、前部の吸引ノズル１７０は基板Ｇ上の現像液Ｒを所定の吸引力で吸い取り、後部の吐出ノズル１７２はリンス液Ｓを所定の圧力または流量で吐出することで、二重ノズルユニット１６８の真下で現像液Ｒが吸い取られると同時またはその直後にリンス液Ｓが供給される。 （もっと読む）

【課題】 被塗工物に形成される塗工膜の厚みをより確実に均一化することができるダイヘッドを提供する。
【解決手段】 供給された塗工液が流路を介して吐出されるダイヘッドであって、前記流路は、少なくとも一方のダイ板１２に形成され互いに連通する複数のマニホールド部１２１，１２２と、一対のシム板１３，１３により各対向平面１２ａの間に形成された隙間部とを備えており、シム板１３は、ダイ板１２の側縁に沿って前記流路の終端まで延びる第１の部分１３１と、隣り合うマニホールド部１２１，１２２間において該マニホールド部に沿って延びる第２の部分１３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 塗工液の凝集体による塗工面のキズの発生を防止して、塗工精度を高めることができるダイヘッドを提供する。
【解決手段】 一対のリップ２１，２２を先端部に有し、リップ２１，２２の各対向面１１ａ，１２ａ間に形成されたスリット３０を介して塗工液を吐出するダイヘッドにおいて、少なくとも一方のリップ２１は、対向面１１ａの先端縁部３１が側面視円弧状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】軽量で、かつ発生する内圧力に対してスリットの開度の変化を極小にすることができるようにする。
【解決手段】塗布材料Ａを吐出口３ａから吐出するスリット３の両側に、かつスリット３に平行して第２のマニホールド７ａ，７ｂを設け、これらマニホールド７ａ，７ｂの開口部をダイヤフラム１０ａ，１０ｂで塞ぐ。これらマニホールド７ａ，７ｂに塗布材料またはその他の加圧流体を充填して内圧力を発生させる。塗布時、スリット３を塗布材料Ａが通ることにより、このスリット３内に内圧力が発生してスリット３の開度ｈを広げようとするが、マニホールド７ａ，７ｂに発生した内圧力によってこれが抑圧される。また、マニホールド７ａ，７ｂに発生した内圧力により、マニホールド外郭部９ａ，９ｂが変形変位するが、ダイヤフラム１０ａ，１０ｂがこれとともに変形し、スリット３の開度ｈに影響しない。 （もっと読む）

【課題】 パーツの公差を（従来程度に）許容しつつも、（従来より）高いシール性を確保することが可能なシール装置とその製造方法の提供。
【解決手段】 （１）目的変数であるシール装置のシール不良の大きさを説明変数であるシール装置の複数の構成条件から予測できる制御式を作成し、該制御式を用いて、シール装置にシール不良を起こさせないための目的変数の条件を満足する、シール装置の複数の構成条件の組を選択する選択工程と、該選択された組の構成条件を有するシール装置構成部材同士を組み合わせてシール装置を組立てる組立工程と、を有するシール装置の製造方法。
（２） シール装置のシール不良の大きさをシール装置の複数の構成条件から予測できる制御式を用いて、シール装置にシール不良を起こさせないための条件を満足する、シール装置の複数の構成条件の組を選択し、該選択された組の構成条件を有するシール装置構成部材同士で構成したシール装置。 （もっと読む）

【課題】 部品を交換することなく任意の塗布幅に変更することができ、かつ塗工液の吐出精度が高いダイヘッドを得る。
【解決手段】 Ｌ型に加工された段差部を有するフロントメインブロック、リアメインブロックおよびスライドブロックを用い、フロントメインブロックとリアメインブロックとのＬ型段差部を対向するように密着させて配置することにより固定幅のスロット部分を形成する。また、スライドブロックとリアメインブロックとのＬ型段差部を対向するように密着させ、スライドブロックをスライドさせることにより可変幅のスロット部分を有するダイヘッドを得る。また、塗工液供給経路途中に円柱形状のシャッターロッドを設け、所定の角度に回転させることにより、瞬時に塗工液供給流路の開閉を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ノズル保護部材がノズルを適切に保護可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】スリットノズル４１は、吐出部４１ｂを本体部４１ａから基板９０の方向へ突出させた構造を有する。スリットノズル４１は、基板９０に対してレジストを吐出することにより、基板９０の表面９０ｓへレジストを塗布可能である。本体部４１ａの側面には、スリットノズル４１の保護部材であるバンパー４１５がネジ止めされる。バンパー４１５の下端面４１５ａは、吐出口４１ｃよりも保持面３０に近接するように固定されている。保持面３０と垂直な方向における下端面４１５ａと吐出口との間隔は、リニアゲージ８１，８２によって測定される。 （もっと読む）

【課題】 相並ぶ複数のノズルからの吐出量を簡易に均等化すること。
【解決手段】 相並ぶ複数のノズル２２から吐出される液体を基板１に塗布する塗布方法において、各ノズル２２の吐出孔２２Ａの孔径Ｄを互いに同一にし、孔長Ｌを互いに調整することにより、各ノズル２２の吐出量を均等にするもの。 （もっと読む）

【課題】スリット隙間を調節するために大掛かりな機構を使用せず、スリットダイ自体の剛性を低下させる事なく、膜厚均一性の高い高品質な塗布膜を形成する事が可能なスリットダイと、簡易的な方法でスリット隙間を極微小に再現性良く調節するスリット隙間調節方法と、塗布装置を提供する。
【解決手段】マニホールド４とスリット５、スリットの出口部両側に狭幅のリップ８、液を供給する経路６とエアーを排出する経路７を有するスリットダイ１において、スリットダイの長手方向に、スリット隙間を調節するための複数の調節用ボルト３１、３２、３３、３４、３５、３７を具備すること。複数の調節用ボルトの締め付けトルクの大小によりスリット隙間を調節すること。 （もっと読む）

液体噴射装置１０は、電磁式開閉吐出弁２４から液体燃料が供給される液体供給通路１０−２、チャンバー１０−３、スリットを備えた波体導入通路部１０−４、及び圧電／電歪素子を含むアクチュエータ１１を備えている。アクチュエータ１１は、液体導入通路部１０−４のスリットの通路面積を周期的に変更する。これにより、スリットを通流する液体に圧力変動及び／又は流速変動が付与される。
加圧ポンプにより加圧された液体は、電磁式開閉吐出弁、燃料供給通路、液体導入通路、及びチャンバーの順に通流し、チャンバーの液体噴射孔１０−３ａから噴射される。噴射される液体は、前記圧力変動及び／又は流速変動が付与されているから、液体噴射空間で微粒子化する。
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【課題】 ダメージを抑制しつつ基板に流体を供給することのできる流体吐出ノズルを提供する。また、この流体吐出ノズルを用いて基板への汚染物の再付着を抑制することのできる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 気体流入口２と液体流入口３から流入された気体および液体は、混合部４で混合された後、導出路５の端部に設けられた噴射口６から半導体ウェハ７に向かって噴射される。噴射口６から導出路５の長手方向には湾曲部８が延設されていて、湾曲部８は、導出路５の中心軸１２から離れる方向に徐々に湾曲した形状を有する。導出路５は、長手方向に矩形状の断面を有するものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】 インクの蒸発及び吸湿による重量変化を抑制することでインクの正確な重量を測定できるインク重量測定装置、インク重量測定方法およびそれを備えたフィルタ製造装置を提供する。
【解決手段】 制御部５０は、インク３３が入る前のシャーレ１１の重量を電子天秤１２によって測定する。インクジェット方式のインクヘッド３１は、１本のノズルからシャーレ１１にインク３３を吐出する。シャーレ１１内には有機溶媒１３が一面に満たされている。シャーレ１１内に吐出されたインク３３は、有機溶媒１３の下側に沈み、有機溶媒１３で覆われる。制御部５０は、インク３３が入った後のシャーレ１１の重量を電子天秤１２によって測定する。制御部５０は、インク３３が入った後のシャーレ１１の重量からインク３３が入る前のシャーレ１１の重量を減算し、さらにインク３３の滴数で除算することで、１滴あたりのインク３３の重量を算出する。 （もっと読む）

【課題】 複数の画素領域の配列方向に沿った描画スジが発生することなく、複数の画素領域内に機能液滴を吐出・着弾させることができる液滴吐出装置等を提供することを課題とする。
【解決手段】 機能液滴吐出ヘッド１８を、描画処理に際し、ノズル列６４が行方向および列方向に対して斜めに傾いた状態で搭載するキャリッジ１４と、基板Ｗを、列方向がＸ軸方向と平行になるように搭載するセットテーブル２１と、基板Ｗに対し、機能液滴吐出ヘッド１８をＸ軸方向に相対的に移動させる移動手段１２と、機能液滴吐出ヘッド１８および移動手段１２を制御する制御手段７と、を備え、制御手段７は、各画素領域５０７ａ内を行方向および列方向のマトリクス状に分割した複数の仮想着弾ポイントＰのそれぞれに対して機能液滴を吐出・着弾させることで、描画処理を行わせるものである。 （もっと読む）

【課題】油系離型剤を適正な量で金型の成形面に均一に塗布する金型の離型剤塗布装置を提供する。
【解決手段】金型の離型剤塗布装置１は、少なくとも一対の金型３の成形面５の側を予め決められた間隔をあけて相対向して配置する。この間隔内に前記各金型３の成形面５に向けて油系離型剤を帯電せしめて吐出すべく高電圧を付与するノズル７を支持する支持部材１１，１３を配置する。この支持部材１１，１３を前記金型３の長手方向へ往復動自在であると共に前記ノズル７が各金型３の成形面５に向くように前記支持部材１１，１３を前記金型３の長手方向に対してほぼ垂直方向に旋回可能に設けている。 （もっと読む）

【課題】 ワイピングを伴う回復処理の回数を減らし長時間に渡って安定的な吐出が可能な液滴吐出ヘッドおよびこの液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】 ノズル２１から機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドのノズル基板のノズル面２２ａには、ノズル２１の開口部２１ａを含む周辺域に開口部２１ａに近づくほど親液性が上昇するように親液処理を施こした。そして親液処理された領域の外側には下地処理として撥液処理を施こした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、塗布された導通剤の塗布状態を正確に認識でき、信頼性および生産効率の向上化を得られる表示パネルの製造装置および導通剤の検出方法を提供する。
【解決手段】供給ノズル１３の先端部１３ａは、アレイ基板に対して平行な第１の面ｅ１とアレイ基板に対して斜めに形成される第２の面ｅ２を有し、導通剤を供給する供給孔１６が開口し、導通剤供給時は先端部がアレイ基板に接触し、供給後はアレイ基板から離間するよう昇降自在に駆動し、ランプ機構１４をノズル先端部の第１の面側にノズルと一体に支持してノズルがアレイ基板から離間した状態でノズル先端部のアレイ基板接触位置に対して光軸ｄ１を向けるよう取付け、カメラ機構１５をノズル先端部の第２の面側にノズルと一体に支持してランプ機構からアレイ基板で反射した光を受けて撮像し、検出装置１１はカメラ機構の撮像信号を受けて画像処理し導通剤の塗布状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】 ワイピングを伴う回復処理の回数を減らし長時間に渡って安定的な吐出が可能な液滴吐出ヘッドおよびこの液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】 ノズル２１から機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドのノズル基板のノズル面２２ａには、ノズル２１の開口部２１ａを含む周辺域に開口部２１ａに近づくほど撥液性が上昇するように撥液処理を施した。そして撥液処理された領域の外側には下地処理として親液処理を施した。 （もっと読む）

【課題】シーラントの塗布工程と仕上げ工程を同時に行えるようにして塗布作業に要する時間を低減し、所望の帯状範囲に合わせて短時間で塗布作業を済ませるようにする。
【解決手段】シーラントＳの吐出口として拡幅された矩形状箱体６内を複数の通路６ａ〜６ｅで区切り、各通路６ａ〜６ｅを開閉する仕切り扉７ａ〜７ｅを設ける。吐出したシーラントＳを均すために吐出口端から前方に上面板６ａ_１〜６ｅ_１を突出させる。また、通路６ａ〜６ｅの側面は、傾斜して塗布できるように先端側ほど下方を切り欠く。ファスナ穴３ａを避けて塗布する場合、ファスナ穴３ａの両側の塗布する位置に対応する、離れた二つの通路、例えば扉７ａ、７ｅを開放してシーラントＳを通路６ａ、６ｅから吐出させる。同時に、本シーラント塗布装置１を傾斜させ適宜な圧力を加えながら移動させる。 （もっと読む）

【課題】 マスク材に供給口の形成に悪影響を与えるようなピンホールがあったとしても、精度よくインク供給口を形成可能な、インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 基板１のインク供給口８を形成するためにマスク６が設けられる面について、異方性エッチング時にマスクで覆われる部分が、サイドエッチングの量を考慮して、ＯＳＦ層１１が設けられる部分と、設けられない部分１５とで構成されている。 （もっと読む）