【解決手段】分岐構造を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンを含む付加硬化型シリコーンゴム組成物の硬化物であるシリコーンゴム表面の全面又は一部をメタン及び酸素を含む混合気体存在下でプラズマ重合することにより親水性を付与することを特徴とするシリコーンゴムの親水性付与方法。
【効果】本発明によれば、シリコーンゴム表面を簡単に、しかも長期間に亘り親水化付与することができる。 （もっと読む）

【課題】繰り返し使用後も搬送される基板と良好な剥離性を示す基板搬送用キャリア基板を生産性よく製造することができる、基板搬送用キャリアの製造方法を提供する。
【解決手段】支持体１４上に配置されたシリコーン樹脂層と、加水分解性基を有する金属化合物とを接触させ、シリコーン樹脂層表面の少なくとも一部を表面修飾する表面修飾工程を備える、支持体１４と、支持体１４上に配置され、表面修飾されたシリコーン樹脂層１２とを有する基板搬送用キャリア１０の製造方法。 （もっと読む）

【課題】シリコーンエラストマー微粒子のゴム硬度が低くても、また粒径が小さくても、凝集性が低く、分散性に優れた、シリコーン微粒子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】体積平均粒径が０．１〜１００μｍのシリコーンエラストマー球状微粒子１００質量部と、その表面を被覆するポリオルガノシルセスキオキサン０．５〜２５質量部とを有してなり、前記ポリオルガノシルセスキオキサンは粒状で大きさが６０ｎｍ以下であることを特徴とするシリコーン微粒子。 （もっと読む）

【課題】柔軟性を有するシリコーンゴムを使用して、トナー離型性が優れた定着部材を提供すること。
【解決手段】離型剤を含むトナー粒子で形成されたトナー画像の定着に用いる定着部材であって、前記定着部材は、シロキサン結合を主鎖とするシリコーンゴムの表面に、離型剤に対するバリア層を有し、前記バリア層は１μｍ以下の深さの溝を有する、定着部材。 （もっと読む）

【課題】火炎品質を安定させ、処理効率の良い火炎得て、有機ケイ素化合物を安定供給することのできる表面改質のための表面改質用火炎噴射装置及び表面改質方法を実現する。
【解決手段】バーナ５は、隔壁８により、主バーナ室１１と副バーナ室１２に分割されており、副バーナ室１２の前方には火炎点火検知両用プラグ１５が設けられており、空気燃料ガスミキサ３４によって、空気供給系２から供給される空気と燃料ガス供給系３から供給される燃料ガスが燃焼用ガスとして混合し、燃焼用ガス有機ケイ素化合物ミキサ４６は、燃焼用ガスと有機ケイ素化合物を混合し、空気燃料ガスミキサ３４で混合された燃焼用ガス一部は主バーナ室１１に供給され、残りは副バーナ室１２に供給され、それぞれ火炎として加工物６０の表面に噴射され、火炎点火検知両用プラグ１５は、副バーナ室１２における火炎を検知する。 （もっと読む）

【課題】シリコーンゴム組成物を調製するときのロール加工性の低下を抑制しつつ、シリコーンゴム成型物の耐スチーム性を向上させる方法を提供する。
【解決手段】(1)熱硬化型シリコーンゴム組成物を加熱硬化させてなるシリコーンゴム成型物の表面を処理剤で処理する工程と、(2)工程(1)の後、該シリコーンゴム成型物の表面から過剰な処理剤を取り除く工程と、を含んでなるシリコーンゴム成型物の耐スチーム性向上方法；上記の工程(1)と(2)とを含んでなる耐スチーム性シリコーンゴム成型物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】装置を小型化し、かつ、改質剤化合物と燃料ガスとを均一に混合した状態で燃焼させた火炎を噴射可能な表面改質処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の表面改質処理装置１０は、金属原子、半金属原子または非金属原子と、有機基と、を有する改質化合物を燃料ガスと共にバーナー１８にて燃焼させ、その火炎Ｆを固体物質Ｓの表面に吹き付けて固体物質Ｓの表面の改質を行うものである。本発明は、燃料ガスを液化した液化燃料と液状の改質化合物とを混合状態でボンベ１１に収容し、そのボンベ１１中の一部の混合液体を気化器１４に通すことで改質化合物及び液化燃料を気化させてバーナー１８に供給するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ブロックコポリマーのミクロ相分離を利用して、少ない工程で、且つ安価にパターンを形成することができるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、基板上に高分子膜を形成し、前記高分子膜に対して選択的に第１および第２の条件でエネルギー線を照射することにより、前記高分子膜表面に、表面自由エネルギーの異なる第１および第２の領域を形成し、前記高分子膜上に、第１および第２のブロック鎖を含むブロックコポリマー層を形成し、前記ブロックコポリマーをミクロ相分離させることを特徴とするパターン形成方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】 基板とシート部材とによって構成される試料操作素子に対し、その操作構造での所望の領域を選択的に親水化処理することが可能な試料操作素子の表面処理方法、及び処理装置を提供する。
【解決手段】 下部基板１２と、上部シート部材１４とを有する試料操作素子１０を載置するステージ２０と、素子１０にレーザ光Ｌを供給するレーザ光源３０と、素子１０に対し、シート部材１４側からまたは基板１２側から所定の照射光軸Ａｘに沿って、シート部材と基板との間に形成された操作構造内にビームウエストが位置する集光条件でレーザ光Ｌを照射する集光光学系３５とによって表面処理装置１Ａを構成する。そして、試料操作素子１０の操作構造内において、レーザ発生プラズマにより、シート部材１４で操作構造を構成している凹状構造部の内側表面を親水化処理する。 （もっと読む）

【課題】ポリマー基材の表面に、付着物に対する優れた離型性とそれ以外の用途に応じた機能とを併せ持つことが可能な改質ポリマー基材およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】チオール基と反応する官能基を有する有機成分を含有するポリマー基材の表面に、下記の（ａ）成分および（ｂ）成分を含有する表面処理剤を接触させて、ポリマー基材の表面に、チオール基を２つ以上有する化合物を介して、ポリマー基材の表面に機能を付与するための官能基を有する有機基が結合された改質ポリマー基材を得る。ただし、（ａ）チオール基を２つ以上有する化合物、（ｂ）チオール基と反応可能な官能基と、ポリマー基材の表面に機能を付与するための官能基とを有する化合物。 （もっと読む）

【課題】パターンの形状ラフネスを増加させることなく、パターンを転写することを可能にする。
【解決手段】基板上にハードマスクを形成する工程と、ハードマスク上にマスク補助材を形成する工程と、マスク補助材上に海島構造を有するジブロックコポリマー層を形成する工程と、ジブロックコポリマー層に前記海島構造の島部が凸部となる凹凸状構造のパターンを形成する工程と、ジブロックコポリマー層に形成されたパターンをマスクとしてマスク補助材およびハードマスクをエッチングし、ハードマスクにパターンを転写する工程と、を備え、マスク補助材はエッチング速度が、ハードマスクのエッチング速度より大きく、ジブロックコポリマーの海島構造の海の部分のエッチング速度より小さい材料である。 （もっと読む）

【課題】表面に５０ｎｍ以上の深さの微細凹凸構造を有し、耐溶剤性にも優れたフィルムを提供すること。
【解決手段】光の作用により変形を誘起する光応答性部位を含む３官能のシラン化合物（Ａ）１〜２５モル％と、芳香環を１つ以上有し且つ前記光応答性部位を含まない３官能のシラン化合物（Ｂ）７０〜９８モル％と、４官能のシラン化合物（Ｃ）１〜２５モル％とを混合して調製したゾル溶液を用いて前駆体フィルムを作製し、該前駆体フィルムの表面に微細凹凸構造を形成し、該微細凹凸構造を有する前駆体フィルムに加熱処理を施すことによって得られるフィルムであり、
前記加熱処理後のフィルムの微細凹凸構造の深さが５０ｎｍ以上であり、
前記加熱処理後のフィルムをアセトンに室温で５分間浸漬した場合に、波長４８０ｎｍにおける、前記加熱処理を施す前の前駆体フィルムの吸光度に対する浸漬後のフィルムの吸光度の残存率が９０％以上である、
ことを特徴とする表面に微細な凹凸構造を有するフィルム。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体素子などにおける層間絶縁膜として使用するのに適し、誘電特性などの膜特性、特に、機械強度に優れた絶縁膜、および、該絶縁膜を効率よく製造することができる製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】一般式（１）で表されるカゴ型シルセスキオキサン化合物の重合体を含む膜に、大気圧下にて低温プラズマ処理を施し、硬化させて得られる絶縁膜。
一般式（１） （ＲＳｉＯ_3/2）_n
（一般式（１）中、Ｒはそれぞれ独立して非加水分解性基を表し、Ｒのうち少なくとも２つはビニル基またはエチニル基を含む基を表す。ｎは、８〜１６の整数を表す。） （もっと読む）

【課題】従来、困難とされていた無極性高分子材や平滑金属材等に対して、簡易な装置・方法により、安定した接着性や塗膜密着性の確保が可能となり、接着・塗装工程の生産性を格段に向上させることができる接着方法を提供すること。
【解決手段】被着体対の被接着面の少なくとも一方を火炎処理により表面改質処理後、接着剤を塗布して前記被着対を接着する方法。表面改質処理を、液状で熱分解性の表面改質剤を、可燃性ガスと酸化性ガスとを混合させた燃料ガスの燃焼火炎をキャリヤーとして、火炎バーナ２９から被着体Ｓの被接着面に吹き付けておこなう。その際、表面改質剤を、ナノポンプ１５を介して、火炎バーナ２９への可燃性ガス、前記酸化性ガス又は前記燃料ガスのガス供給路の途中に供給することにより気化（霧化を含む。）させて、火炎バーナ２９に燃料ガスとともに供給する。 （もっと読む）

【課題】Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ結合を含む化合物等の基体に対して極めて平滑な膜を、薄膜から厚膜まで広い膜厚範囲で、マイクロ／ナノ領域に位置選択的に形成可能とした基体への膜形成法を用いた、マイクロ／ナノデバイスの作製のための基盤技術となるデバイス作製法を提供する。
【解決手段】予め改質が施された改質部分２ａを有する基体２上に、マスクを密着配置して、前記改質部分２ａを覆うように、気相中で膜６を位置選択的に形成する工程と、その後、前記改質部分２ａのみを化学エッチングする工程とを備える。これによって、基体２及び膜６からなるマイクロトンネル構造を得る。 （もっと読む）

【課題】感度の良好な感圧センサの製造方法、感圧センサ、および弾性組成物を提供する。
【解決手段】感圧センサの製造方法は、２５℃でゴム弾性を示す材料またはその原材料と、導電性粒子とを混合することにより混合物を得る工程（Ｓ１）と、混合物に電圧を加えることにより、導電性粒子を配向させる工程（Ｓ２）とを備える。混合物を得る工程（Ｓ１）は、原材料と導電性粒子とを混合する工程であり、導電性粒子を配向させる工程（Ｓ２）の後に、混合物を加硫する工程（Ｓ３）をさらに備えることが好ましい。 （もっと読む）

【解決手段】シリコーンゴム成形体を、５０℃での飽和蒸気圧が０．０１〜３０ｍｍＨｇである洗浄用オルガノポリシロキサン中に浸漬させて、上記シリコーンゴム成形体が含有するオルガノポリシロキサンの低分子体を低減させることを特徴とするシリコーンゴム成形体の洗浄方法。
【効果】本発明によれば、シリコーンゴム成形体を５０℃での飽和蒸気圧が０．０１〜３０ｍｍＨｇである洗浄用オルガノポリシロキサン中に浸漬させて、上記シリコーンゴム成形体が含有するオルガノポリシロキサンの低分子体を低減させたシリコーンゴム成形体を得ることができる。また、シリコーンゴム成形体のバックアップ材として樹脂フィルムを用いた場合でも樹脂フィルムの溶解、変形の無いものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】従来技術と比較して、高い水蒸気バリア性を有するシリコン含有封止膜を提供する。
【解決手段】ポリシラザン膜の主面にプラズマ照射を行うことにより形成された変性領域を備え、変性領域は、ケイ素原子と窒素原子とを含み、またはケイ素原子と窒素原子と酸素原子とを含み、変性領域において、原子組成が徐々に変化している、シリコン含有封止膜。 （もっと読む）