【課題】面に接した液体を所望の方向へ優先的に広げることのできる液体制御装置を提供する。
【解決手段】液体制御装置３０は液体の広がり方を制御する。液体制御装置３０は、液体の供給される上面３１ｃを有する本体３１と、網目状に編まれ、上面３１ｃに接するように設けられたメッシュ４７と、メッシュ４７に対して本体３１側と反対側で接するように設けられたメッシュバンド５２と、を備える。メッシュバンド５２は、網目状に編まれて形成されている。本体３１には、その内部から上面３１ｃへ液体を供給する供給口が設けられ、メッシュ４７及びメッシュバンド５２は、供給口を覆うように設けられている。 （もっと読む）

【課題】発熱体の発熱容量に対して少量の液体を蒸発させる場合、発熱体の下部は蒸発すべき液体が存在しないため、高温状態が続き発熱体や他の構成機器の寿命に悪影響を及ぼす。逆に、液体が少量の場合に、発熱量を減らすと、液体の供給開始から目標湿度が達成されるまでに時間がかかるという問題が発生する。
【解決手段】本件発明では、本体容器と本体容器内部に立設された円筒型発熱体と、円筒型発熱体の外側面および上面を被覆する液体蒸発層と、円筒型発熱体上面の液体蒸発層へ液体を供給する第一液体供給管と、円筒型発熱体外側面の液体蒸発層へ液体を供給する第二液体供給管と、本体容器内部へキャリアガスを供給するガス供給管と、蒸発物とキャリアガスの混合気体を本体容器外部へ排出する混合気体排出口と、円筒型発熱体の制御を行う制御部と、からなる蒸発装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】発熱体の発熱容量に対して少量の液体を蒸発させる場合、発熱体の下部は蒸発すべき液体が存在しないため、高温状態が続き製品寿命に悪影響を及ぼす。逆に、液体が少量の場合に、発熱量を減らすと、液体の供給開始から目標湿度が達成されるまでに時間がかかるという問題が発生する。
【解決手段】本体容器と、本体容器内部に立設された第一円筒型発熱体と、第一円筒型発熱体の下部に連接し立設された第二円筒型発熱体と、第一円筒型発熱体の側面および上面を被覆する第一液体蒸発層と、第二円筒型発熱体の側面を被覆する第二液体蒸発層と、第一円筒型発熱体上面の第一液体蒸発層へ液体を供給する液体供給管と、キャリアガスを供給するガス供給管と、混合気体を本体容器外部へ排出する混合気体排出口と、両円筒型発熱体の発熱量、液体供給管の液体供給量、ガス供給管からのガス供給量の制御を行う制御部と、からなる蒸発装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】異なる沸点を有する複数の材料から成る液体材料を気化する場合でも残渣の発生を防止して好適に気化可能な液体材料気化装置を提供する。
【解決手段】液体材料ＬＭとキャリアガスＣＧとを混合して気液混合体ＧＬを生成する気液混合部１と、前記気液混合部１からの気液混合体ＧＬを気化しこの気化によって生じたガスを前記キャリアガスＣＧによって外部へ導出する加熱型の気化部２と、前記気液混合部１と前記気化部２とを接続し、内部に前記気液混合体ＧＬの流路を有する接続部３と、前記接続部３を冷却する接続部冷却部４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】安定したガスの濃度管理が可能なガス発生装置を提供する。
【解決手段】液体試料を収容可能な試料収容室１４、及び試料収容室１４の上方に設けられると共に、仕切り板１１ｂによって試料収容室１４と仕切られ、液体試料を加熱して気化させることが可能な熱媒を収容可能な加熱室１２を備える外管１０と、上端２１が外管１０の加熱室１２より上方に位置し、下端２２が外管１０の試料収容室１４の液体試料に浸されるように外管１０内に設けられ、外管１０の加熱室１２に対応する位置において気化された気体試料が上昇可能な少なくとも１つの上昇管２０と、上昇管２０内に向けて空気を噴射することにより上昇管２０内に液体試料によって膜が形成された気泡を形成可能な気泡形成機構３０とを備え、気泡は、気泡の表面が上昇管の内面と接するように形成される。 （もっと読む）

【課題】化学蒸着（ＣＶＤ）用金属含有前駆体を一定濃度で蒸発させる装置及び方法を提供する。
【解決手段】本装置は外部ケーシング１０２と内部ケーシング１１０からなりその間を流体で恒温とした蒸発器１００と熱交換器３０４からなり、内部ケーシングはキャリア流体を導入する第１の導管２１０と前駆体を同伴したキャリア流体を取り出す第２の導管２１４、熱交換器から蒸発器へ前駆体を導入する第１の前駆体導管３０６からなっている。熱交換器を蒸発器の近傍に配置することによって、蒸発器内の前駆体の温度と同じ温度で蒸発器に新たな前駆体を供給できるので、蒸発器内の前駆体を実質的に一定の温度に維持できる。 （もっと読む）

【課題】従来から用いられている蒸発ガスを発生させる蒸発装置では、キャリアガスおよび液体が蒸発した蒸発気体が流通する容器内部にセラミックビーズが充填されているため、キャリアガス及び蒸発気体の流通が妨げられてしまう。このため、圧力損失が大きいという問題があった。
【解決手段】そこで、本件発明では、本体容器と、本体容器内部に立設された円筒形発熱体と、前記円筒形発熱体の頂部を被覆する液体拡散層と、前記円筒型発熱体の側面の全部または一部を被覆する液体蒸発層と、本体容器内部へキャリアガスを導入するガス供給管と、本体容器上部から液体拡散層へ液体を供給する液体供給管と、液体が蒸発した蒸発物とキャリアガスの混合気体を本体容器外部へ排出させる混合気体排出口と、からなる蒸発装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】連続的かつ正確な配量正確性が保証されるとともに、添加剤をガス状かつ配量して配量位置へ供給することが可能な装置及び方法を提供すること。
【解決手段】蒸発性の液体用のための少なくとも１つのリザーバ１，２と、第１管路を介して前記リザーバ１，２に後置接続され、かつ、流通する液体質量を計測するための質量計測器５と、第２管路を介して前記質量計測器５に後置接続され、かつ、所定の分量に配量可能なコントロールバルブ６と、該コントロールバルブ６と配量位置９の間の第３管路へキャリアガスを供給できるようにするための供給装置７とを備える構成とした。
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【課題】化学薬品前駆体の高流速または高真空下もしくは高差圧条件下での流動を可能にする一方で、高水準なスプラッシュガードの機能を与える。
【解決手段】本発明は、浸漬管入口；該浸漬管の出口および該容器の排出口の間に配置され、該邪魔円盤および該容器の該側壁の間に狭い環状の間隙を与え、液滴が該容器の該排出口および該容器の側壁の内側表面に入ることを防止する少なくとも１つの邪魔円盤、ならびに該邪魔円盤の近傍の該側壁上に半径方向の内側に張り出した環状の偏向突起を有する容器である。また、本発明は上記の構造を有する容器から化学薬品前駆体を供給する方法である。液体および蒸気供給の両方が想定されている。 （もっと読む）

ガス生成装置は、混合チャンバーを有するハウジングと、該ハウジング内に収納された起爆剤とを備えている。液体を収納する容器がハウジング内に設置され、開放端部および閉鎖端部を有する。端部キャップが該開放端部を閉鎖し、着脱可能に連結されたピストン部を有し、さらに、このピストン部が端部キャップから離間すると該液体容器内の液体を加圧できるように容器内で可動である。該ピストン部は起爆剤が点火されると起爆剤から発生する燃焼ガスに晒される位置に設けられており、かつ、この燃焼ガスが所定の圧力を超えると端部キャップから分離可能である。別の一実施形態では、上記液体容器が押し潰し可能なチューブであってもよい。上記液体容器の閉鎖端部は、容器内の液体の圧力が所定の圧力を超えると開放されるように構成された脆弱部を有する。上記起爆剤および液体容器の脆弱部は混合チャンバーと流体を通じて繋がれ、こうすることによって、起爆剤の点火によって発生する燃焼ガスが混合チャンバー内において上記液体と混合して液体を気化させ、無毒で、低温の、微粒子が少ない膨張ガスが生成される。
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【課題】薬液気化タンクにおいて、複数の被処理体に供給する処理ガスの濃度のばらつきを抑えること。
【解決手段】その内部空間が仕切り部材により横方向に気密に仕切られて複数の気化室が形成されるタンク本体と、各気化室の液面下に、各気化室間で薬液を流通させるために各仕切り部材に設けられた薬液流通路と、各気化室の液面よりも上方にて各気化室間を連通するように仕切り部材に設けられた、各気化室間で気圧を均一にするためのガス流通路と、を備えるように薬液気化タンクを構成し、例えば液面レベルを管理して各気化室間で薬液の量を制御する。 （もっと読む）

【課題】より簡易且つ高精度に液体材料の気化量を制御することのできる気化装置及び気化装置用ジェットノズルを提供する。
【解決手段】ジェットノズルを構成するノズル単体２２は、液体材料を充填する充填室２５と、ピエゾ素子２８を収容する作動室２７とを備え、これら充填室２５及び作動室２７はダイアフラム２６にて仕切られている。充填室２５は、開口部２４へ向けてテーパ状に延びている。ピエゾ素子２８が伸長すると、ダイアフラム２６により充填室２５の容積の一部が排除される。これにより、充填室２５内の液体材料が開口部２４を介して噴出気化される。 （もっと読む）

蒸気加熱装置は電磁反応材料および非導電材料で構成される。過酸化水素などの蒸発させるべき抗菌流体を加熱装置に供給して抗菌流体を蒸気に変換する。本発明の一実施形態では電磁反応材料の粒子が非導電材料内に埋め込まれる。本発明の別の実施形態では、熱を発生するためマイクロ波が使用される。 （もっと読む）

【課題】 高温ガス炉用微小粒子を製造する工程の内、微小粒子を流動床に装荷し、メチルトリクロロシラン（ＭＴＳ）を熱分解させることによりＳｉＣ層の被覆を施す工程において、キャリアガスの水素にＭＴＳを効率よく混合させるＭＴＳガス発生装置を得る。
【解決手段】 内部に液体状のＭＴＳを貯留するタンクと、該タンク内の液中に水素ガスを導入する水素導入管と、水素ガスとＭＴＳガスとの混合物を排出する混合ガス排出管とを備えたＭＴＳガス発生装置において、水素導入管がタンク内の液中に浸漬された泡発生手段を備えているもの。 （もっと読む）

【課題】 スイープガスのバブリングによる液体原料の蒸気ガス混合工程中に亘って、容器内の液体原料の液面高さを常に一定に維持して混合比が一定した混合ガスの供給を可能とするバブリング式気化器の提供。
【解決手段】 液体原料中に放出されたスイープガスがバブルとして浮上する間にバブルに取り込まれた液体原料の蒸気を容器本体内の液面上でスイープガスとの混合ガスとして回収するバブリング式気化器において、蒸着用液体原料を収容するための容器本体がバブリング室及びバブリング室とオーバーフロー壁によって仕切られたオーバーフロー室を内部に備え、バブリング室には液体原料中でスイープガスを放出するノズル手段が配置され、バブリング室とオーバーフロー室とがバブリング室からオーバーフロー室へ溢流した液体原料をバブリング室に再供給する循環系を介して接続されているものとした。 （もっと読む）