【課題】本発明の目的は、誘電体の機械的強度を低下させることなくプラズマ出力を向上させることが可能なプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】一方向に配列された複数の誘電体と、該各誘電体の内部に配設された導電体とを有し、導電体間に電圧を印加することにより誘電体間にプラズマを発生可能なプラズマ発生体であって、誘電体は３つ以上であり、誘電体の配列方向における端部以外の少なくとも１つの誘電体において、導電体は、その少なくとも一部が誘電体の配列方向に平行に配列された複数の導電体層からなり、複数の導電体層が内部に配設された誘電体において、他の誘電体に対向する表面と該表面に隣接する導電体層との間の距離は、複数の導電体層のうち両端の導電体層の間の距離よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生領域の体積を大きくしたプラズマ発生装置。
【解決手段】プラズマ発生装置１１０は、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）を原料とする焼結体から成る筐体部１１を有する。筐体部１１は、スリット状のガス導入口１１ｉ及び複数個の円筒状のガス噴出口１１ｏを有する。ガス導入口１１ｉからプラズマ化領域Ｐの直上までは、スリット幅（２．Ａの前後方向、図２．Ｂの左右方向）を１ｍｍとし、内径１〜２ｍｍのガス噴出口１１ｏはプラズマ化領域Ｐの長手方向に一直線状に形成されている。プラズマ化領域Ｐの断面は一辺２〜５ｍｍの正方形とした。電極２ａ及び２ｂは各々向き合った表面に凹部（ホロー）を有する。商用交流電圧である、６０Ｈｚ、１００Ｖを用いて約９ｋＶに昇圧し、２０ｍＡで電極２ａ、２ｂ間に印加し、アルゴンをガス導入口１１ｉから導入すると、電極２ａ及び２ｂ間を４ｃｍ迄離間しても、プラズマ化が確認された。 （もっと読む）

【課題】触媒を用いずに、電極間のギャップをμｍオーダーとし大気圧中でのパッシェンミニマム付近で作動することで、活性力が大きい低温プラズマを発生させ流体の浄化を向上させることができるプラズマを用いた流体浄化方法及び流体浄化装置を提供する。
【解決手段】複数の貫通孔１１，１２を有する金属基板１３，１４、２枚を、貫通孔同士の位置が一致するように平行に配設し、金属基板間に電圧を印可して放電を発生させるとともに、貫通孔に流体を通過させて流体を浄化する方法であって、金属基板の対向する少なくとも一方の表面にはポーラスな誘電体膜１６が露出して形成されていることを特徴とするプラズマを用いた流体浄化方法。 （もっと読む）

二酸化炭素を非熱プラズマ雰囲気中で炭素と酸素に分解する二酸化炭素のプラズマ分解装置及び方法が開示されており、当該装置は、二酸化炭素の流入口及び炭素と酸素の排出口を有する二酸化炭素分解反応器と；前記反応器内に配置されて長さ方向に伸長する棒状の複数の陽極と；前記反応器内の複数の陽極内に配置されて長さ方向に伸長する棒状の複数の陰極と；前記複数の陽極と前記複数の陰極との間に所定の電圧を印加する電源と、を含む。 （もっと読む）

履物のような１またはそれ以上の大型物品に、望ましい表面特性を付与するために、処理チャンバ（１４）へ物質を運搬する運搬システム（１０）は、液体が充填される第１コンテナ（１６）と、第１コンテナ（１６）から液体を受ける第２コンテナ（１８）と、第１コンテナから第２コンテナ（１８）に流れる液体の量を制御する第１流量制御手段（２０）と、第２コンテナ内の液体を気化させる気化手段（３０）と、第２コンテナ（１８）から処理チャンバ（１４）に流れる気化した物質の流量を制御する第２流量制御手段（３８）と、を具える。 （もっと読む）

【課題】大容積中の液体を省エネルギーでプラズマ処理する液体中プラズマ発生装置の提供。
【解決手段】液体中プラズマ発生装置１内に、被電気分解溶液（電解質溶液）５を電気分解するための対向する直流電圧印加用電極３の一対と、その単電極の一つおよび電気分解によって発生した気泡６−１の双方に接着するように配置された誘電体で被覆された交流電圧印加用電極４が電解質溶液５中浸漬し、交流電圧印加用電極４からの交流電圧印加により直流電圧印加用電極３を固定電極として誘電体バリア放電が励起され、プラズマが気泡６−１内に生成される。 （もっと読む）

【課題】電極とその上流側または下流側のガス通路を形成する部材との間からのガス漏洩を確実に防止可能なプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】電極２０の上流側に通路部材５０を設け、その連通路５１を放電空間１ａに連ねる。電極２０の放電空間１ａを向く面を誘電部材４０の覆部４１で覆う。覆部４１の通路部材５０側の端部から電極２０の側へ鍔４２を突出させ、通路部材５０と誘電部材４０との間にはシール材６１を介在させる。挟持部材７１の挟持部７３を鍔４２と電極２０の間に差し入れ、ネジ部材７５を通路部材５０を通してねじ受け部７２にねじ込む。 （もっと読む）

【課題】プラズマを利用してガスの処理を行うガス処理装置において、汎用性が高く、特に芳香族化合物など処理が困難な成分を含有する大量のガスを速やかに処理することができるガス処理装置を提供する。
【解決手段】ガスの流路上に直列配置された複数のガス処理ユニット２０Ａ，２０Ｂからなるプラズマ装置列と、プラズマ装置列の各プラズマ装置２０Ａ，２０Ｂの動作を制御する制御部１０とを備える。各プラズマ装置２０Ａ，２０Ｂは、ガスの流路に連通する導電体からなるキャビティ２２Ａ，２２Ｂと、このキャビティ２２Ａ，２２Ｂ内にプラズマを発生させるプラズマ発生器２３Ａ，２３Ｂと、このプラズマ始動部２３Ａ，２３Ｂの発生するプラズマにマイクロ波を照射するマイクロ波照射器２４Ａ，２４Ｂとを有する。制御手段１０は、稼働するプラズマ装置２０Ａ，２０Ｂの数を、導入されるガスの成分に応じて選択する。 （もっと読む）

【課題】レシプロエンジン、ロータリーエンジン、ジェットエンジンやガスタービンなどの熱機関等からの酸素を含む排気ガス中の粒子状物質を、高効率、かつ、低コストで、また、アンモニアや尿素を使用しない乾式により、触媒を使用しない場合であっても低温で処理を行うことができ、装置構成が小型化された排ガスの物質浄化装置を提供する。また、排ガス中のＮＯｘ及び煤や炭化水素の同時除去も可能とする。
【解決手段】排気通路から排ガスが導入されるキャビティ７と、マイクロ波吸収体材料４を添加した耐熱性材料で形成されキャビティ７内に収納された微粒子捕集用フィルタ２と、ＧＨｚ帯域の周波数の電磁波を出力するパルス電磁放射供給源９と、パルス電磁放射供給源９からの電磁波を供給されキャビティ７内にマイクロ波を放射するマイクロ波アンテナ８とを備え、キャビティ７は、マイクロ波アンテナ８から放射されるマイクロ波を共振させ閉じこめる。 （もっと読む）

本発明は、表面を、表面障壁放電により形成される大気圧プラズマを用いて乾式洗浄、活性化、被覆、変性及び生物汚染除去（細菌除去、消毒、滅菌）するための方法及び一連の装置に関する。本発明は、表面を、表面障壁放電により流動状の所定のガス雰囲気内に形成される大気圧プラズマを用いて乾式洗浄、活性化、被覆、変性及び生物汚染除去するために用いられ、誘電体又は強誘電体で覆われた高電圧電極、接地された導電性の接触電極、高電圧供給部及びガス供給部、並びにガス出口開口部を備えたガスノズルを含んでおり、この場合にガスノズルは、接地された接触電極のすぐ近くに配置され、又は、ガスノズルは、接地された接触電極内に組み込まれ、又は、ガスノズルはそれ自体、接地された接触電極として作動するようになっており、かつガス出口開口部は、流出するガス流を接地された接触電極に向けるように構成されている。方法は、ガスノズルを有する接触電極と処理すべき材料とを互いに相対的に運動させることを特徴としている。
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【課題】空間内を通過する流体のプラズマ反応を高めることができるとともに、構造体の破損を抑制することができる構造体およびこれを用いた装置を提供する。
【解決手段】平板状の第１電極３を有する第１電極部１と、平板状の第２電極４を有するとともに、主面が第１電極部１に対向して配設される第２電極部２と、第１電極部１と第２電極部２との間に空間８が形成されるように、第１電極部１と第２電極部２とを保持するスペーサ部７とを備え、空間８に流体が流れるとともに、第１電極部１は、スペーサ７部の流体の流れの上流側における側面１ａよりもさらに上流側に突出している突出領域９を備えている。 （もっと読む）

真にパルス状のプラズマ流を生成する装置および方法が開示される。装置は、カソードおよびカソードホルダーを備えるカソード組立体と、アノードと、２つ以上の中間電極とを含み、アノードおよび中間電極がアノードの方へ広がるプラズマチャンネルを形成する。カソードに最も接近した中間電極はカソード先端部の周りにプラズマチャンバを形成する。内面の少なくとも一部分に沿って管状絶縁体を有する延長チャンネルを形成する延長ノズルは装置のアノード端部に取り付けられる。動作中に、電圧がカソードとアノードとの間に印加され、電流がカソード、プラズマ、および、アノードを通過させられる。電圧プロファイルおよび電流プロファイルは、所要の特性をもつプラズマ流の急速な発生を引き起こすように選択される。プラズマパルスの実質的に一様な温度および電力密度分布が延長ノズルの中で実現される。さらに、オゾンがプラズマパルスの生成中に延長ノズルの中に生成されることがある。 （もっと読む）

【課題】プラズマ生成用ガスを有効利用する。
【解決手段】電極基板４に形成された複数の貫通孔６を介して被処理物２の表面にプラズマ生成用ガスを直接供給する。これにより、被処理物２の表面処理に必要な量だけのプラズマ生成用ガスを供給することにより、プラズマ生成用ガスを有効利用し、プラズマ生成用ガスの消費量を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な機構で粉体の攪拌効率を高めることができ、該粉体の全表面に金属触媒等の被覆物を均一に形成することのできる粉体処理装置を提供する。
【解決手段】粉体処理装置１０は、少なくとも底部１１ａと無端の立上がり壁部１１ｂとを有し、該立上がり壁部１１ｂの内周面には複数の掬い堰１１ｃ、…がその周方向に亘って設けられており、所定の傾斜角方向に延びる該底部１１ａの垂線軸回りに自転自在で、粉状カーボン担体Ｃ，…を収容するためのチャンバー１１と、該チャンバー１１に所定の時間間隔で衝撃を付与する衝撃付与手段１５と，チャンバー１１内にプラズマを照射する照射手段（アークプラズマガン３）と、を少なくとも具備している。 （もっと読む）

【課題】処理対象体を損傷させることなく、より短時間でプラズマ処理し得るプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】準マイクロ波帯またはマイクロ波帯の高周波信号Ｓを生成すると共にこの高周波信号Ｓの電力を制御可能に構成された高周波電源２と、高周波信号Ｓを入力して放射する放射器１４とを備え、電力が制御された高周波信号Ｓを高周波電源２から放射器１４に出力することにより、プラズマ放電用ガスＧが内部に供給された処理対象管５の内部における放射器１４の近傍にプラズマＰを高密度で発生させて、処理対象管５の内面を効率よくプラズマＰで処理する。 （もっと読む）

ナノ粒子、ミクロ粒子、及びナノ粒子／液体溶液を連続的に製造するための方法及び装置。ナノ粒子（及び／又はミクロン・サイズの粒子）は、考えられ得る種々様々な組成、サイズ、及び形状を成す。粒子（例えばナノ粒子）は、少なくとも１種の調節可能なプラズマ（例えば少なくとも１つのＡＣ及び／又はＤＣ電源によって生成する）を利用して、液体（例えば水）中に存在（例えば生成）させられることになる。このプラズマは、液体の表面の少なくとも一部と連通する。連続法は、少なくとも１種の液体をトラフ部材内に流入させ、トラフ部材を貫流させ、そしてトラフ部材から流出させる。このような液体は、前記トラフ部材内で処理され、コンディショニングされ、且つ／又は影響を与えられる。
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【課題】 稼動時の熱に起因する熱応力によって破損したとしても、使用することが可能な構造体を提供することにある。また、構造体の使用方法、ならびに構造体を搭載したプラズマ発生体、オゾン発生器、排ガス処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
第１絶縁部３及び第２絶縁部４のそれぞれの一方端が、第１側部５に対して固定され、且つ第１絶縁部３及び第２絶縁部４のそれぞれの他方端が、第２側部６に対して固定されているとともに、第１絶縁部３には、溝７或いは空洞８もしくはポーラス状部が設けられている。 （もっと読む）

前駆体ガスからＩＶ族半導体ナノ粒子の組を生成するためのプラズマ処理装置が開示される。この装置は、外側チューブ内面と外側チューブ外面とを含み、外側チューブ内面は外側チューブ内面エッチング速度を有する、外側誘電体チューブを含む。この装置はまた、内側チューブ外面を含み、外側チューブ内面及び内側チューブ外面は環状チャネルを定め、さらに内側チューブ外面は内側チューブ外面エッチング速度を有する、内側誘電体チューブも含む。この装置は、外側チューブ外面上に配置された第１の外側電極内面を有する、第１の外側電極をさらに含む。この装置はまた、内側誘電体チューブの内部に配置され、第１のＲＦエネルギー源が第１の外側電極及び第１の中央電極の一方に加えられたとき、第１の外側電極に結合されるようにさらに構成された第１の中央電極と、第１の外側電極と第１の中央電極との間に定められた第１の反応域とを含む。 （もっと読む）

本発明は、平面状配置された光触媒の近傍で表面プラズマを生成するように構成されたガス処理ユニットに関する。光触媒は、薄膜（４）の形態で誘電性基板（３）上に積層されて、少なくとも１つのプラズマ供給電極（１、２）が光触媒薄膜の上方に形成される。このような構成によって、プラズマと光触媒との間の相互作用が増加する。上記ユニットは、汚染制御、臭気削減、もしくは細菌処理といった種類のガス処理に対して高い効率で使用可能である。
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【課題】装置由来の不純物を生じさせることなく汚染粒子を処理できるコンパクトな汚染粒子処理装置を提供する。
【解決手段】外部の気体を遮断し、内部に気体を流通させる気体流通路１１１と、気体流通路１１１の外部に配置され、気体流通路１１１内に高周波を印加してプラズマを発生させる高周波印加部１３０と、汚染粒子を含む汚染気体を気体流通路１１１に導入する汚染気体導入路１１８と、を備え、導入気体をプラズマ化する。このプラズマにより汚染粒子を分解して処理するため、直接に電極と汚染物質が接触することがなく、装置由来の不純物を生じさせない。また、プラズマジェットトーチ等を必要とせず、装置をコンパクトにし、かつ低コストなものにすることができる。その結果、排ガス処理装置として自動車に搭載したり、ＶＯＣやナノ粒子を排出する工場や事業所に設置したりすることができる。 （もっと読む）