【課題】比較的簡単な構成で、ワークの処理面の形状に拘わらず、その形状に対応してプラズマ処理を施すことができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置１は、第１の電極２と、ワーク設置部２１の第１の電極２の対向側に位置し、外周面が前記ワーク設置部２１に設置されたワーク１０の処理面１１に対面するように設置され、中心軸を回動軸として回転可能な円筒状の第２の電極３とを有し、発生したプラズマにより処理面１１を処理するものであり、第２の電極３は、その外周面に、周方向に沿って、有効電極領域３１ａの幅が変化している部分を有し、この第２の電極３を、その中心軸を回動軸として回転させることにより、処理面１１と対面する有効電極領域３１ａの幅が変化するよう構成され、ガス供給手段５により、有効電極領域３１ａの幅の大きさに応じて、処理ガスを供給する幅も変化するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】 高品質で効率性及び経済性に優れた高機能化・多機能化のために任意な平面パターンの一層微細な溝からなる流路が緻密に高集積化され積層されるマイクロチップ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のマイクロチップは、複数の基板２が積層され相互に接合された積層体１と、積層体１の基板２に相互に連通するように形成され所定位置に配置された適宜数量の流入口３、４及び流出口５と、各基板２の接合面に相互に対向して鏡面対称状に形成され、流入口３、４と流出口５とを繋ぐ所定の平面パターンの微細溝からなる片面流路１０ａ、１０ｂが、各基板２の接合により突き合わされて構成された閉断面流路１０とを備え、前記積層体１には、各基板２の接合時に対向する片面流路１０ａ、１０ｂの正確な位置合せを行なう位置決め機構が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 電極間を任意に設定することができ、且つ、製造容易な放電リアクターを得ることができると同時に、内部電極３の安定した固定支持と沿面放電による放電効率の向上を実現できる放電リアクターの提供。
【解決手段】 高電圧電極１と、中心電極２と、内部電極３と、誘電体４と、外部電極５を備える放電リアクターであって、内部電極３を、外周部に複数の突起１０を波状に形成した鋸歯状電極部材１１ａ〜１１ｄをスペーサ１２を介して中心電極２の軸方向に沿って所定間隔Ｐ１で複数配列して形成し、中心電極２の一端部２ａを高電圧電極１に固定し、中心電極２の他端部２ｂ側に取り付けられる鋸歯状電極部材１１ｄの外周部を誘電体４の内壁４ａに当接させて該中心電極２の他端部２ｂを固定支持した。 （もっと読む）

【課題】廃電線等の複合材や廃油等の混合物を処理して有用物と不要物とを分離するための物質の分離方法、及び物質分離装置を提供する。
【解決手段】物質分離装置１は廃電線等の複合材や廃油等の混合物を処理するためのものであり、収容槽２と、過熱蒸気発生装置（過熱蒸気発生手段）３とを備える。過熱蒸気発生装置３で作られた過熱蒸気は、過熱蒸気導入部５３へ送られ、複数の過熱蒸気導入配管５６から処理対象の複合材等に向かって噴射される。複合材等が廃電線等の金属と熱可塑性プラスチック又は合成ゴムとを含むものである場合には、過熱蒸気の作用により、複合材中の熱可塑性プラスチック又は合成ゴムは熱分解ガス化する。一方、複合材中の金属は酸化されることなくそのまま回収可能である。 （もっと読む）

【課題】チューブ型セルを用いる場合に、スタック内で容易に直列接続が可能なリアクターセル支持体、電気化学リアクタースタック、及び電気化学リアクターシステムを提供すること。
【解決手段】リアクターセル支持体１は、第１電極集電体３及び第２電極集電体５と、両集電体３、５の間に配置された絶縁性を有するセパレータ７とから構成され、複数の電気化学リアクターセル９を平行に配置して保持できる構造を有している。第１電極集電体３と第２電極集電体５とセパレータ７とにおいてその一方の側の上方、従ってリアクターセル支持体１の一方の側には、電気化学リアクターセル９が嵌り込むＵ字状の格納溝１１が平行に形成されている。第１電極層１３はその露出部１３を介して第１電極集電体３に電気的に接続され、第２電極層１７は第２電極集電体５に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】微小流路内に触媒が均一に分散して充填されると共に流体が効率的に反応することが可能なマイクロチップを実現すること。
【解決手段】流入させた流体に化学反応を行わせる微小流路を有するマイクロチップにおいて、微小流路を有し、この微小流路の両端に流体の流入口及び流体の流出口が形成され、複数のピラーが一列に並んで形成される第１及び第２のピラー部が前記微小流路の両端近傍にそれぞれ流体の流れる方向に垂直に形成される基板と前記微小流路内であって前記第１のピラー部と前記第２のピラー部との間の領域に充填される触媒とを備える。 （もっと読む）

【課題】被処理物の表面処理の高速化を可能とするプラズマ表面処理装置を提供する。
【解決手段】グロー放電によりプラズマを発生さるプラズマ表面処理装置は、放電空間４に供給される少なくとも１種のガスの流路上であって、放電空間４の上流に多孔質体９が設置されており、多孔質体９に液状の作用物質を浸透させた状態で、前記ガスを通過させることによって、前記作用物質のミストが形成され前記ガスに含有されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】プラズマにより発生した異物を捕捉するとともに、アーク放電を防止するプラズマ処理装置およびこれを用いてワークの被処理面を処理する表面処理方法を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置１は、ワーク１０に対して相対的に移動可能な互いに対向する１対の電極２、３と、１対の電極２、３間に電圧を印加する電源７２を備えた電源回路７と、１対の電極２、３間にプラズマ生成のための処理ガスを供給するガス供給手段８と、ワーク１０の被処理面１０１に向けてプラズマを噴出するプラズマ噴出部５とを備え、１対の電極２、３間に、処理ガスを供給しつつ、電圧を印加することにより、処理ガスを活性化してプラズマを生成させ、該プラズマによりワーク１０の被処理面１０１が処理されるよう構成されているプラズマ処理装置１であって、プラズマ噴出部５またはその近傍に、プラズマの生成により発生した異物４０を捕捉する多孔質の絶縁性材料で構成された異物捕捉部９を有する。 （もっと読む）

鞍形ランダム充填要素は、横方向に間隔を空けたアーチ形サイド部材と、内部容積を形成するためにサイド部材からおよびその間に伸びる複数の内側および外側リブ要素と備える。少なくとも１つのより低いリブ要素は、サイド部材から伸びて、少なくとも部分的に内部容積内に配置され、その結果、充填要素の表面領域の少なくともの約２０％が内部容積内に配置される。
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【課題】内部でプラズマが発生する反応管の開口近傍の内壁を保護し、メンテナンスを容易に行うことができる技術を提供する。
【解決手段】センターリング１は、真空を保持して２つの配管の中心軸を位置合わせして接続するために、Ｏリング装着用溝５を外周面に有した第１円環部２と、第１円環部２の円環の中心軸方向両側にそれぞれ隣接した２つの第２円環部３とを有し、第１円環部２に隣接する一方の第２円環部３ｂは、外径が他方の第２円環部３ａと等しく、かつ、内径が他方の第２円環部３ａより小さく形成されると共に、内周面の全周縁に、円環の中心軸に平行な方向に突起部４を備える。 （もっと読む）

【課題】弁ユニット、弁ユニット備えた微細流動装置、及び微細流動基板を提供する。
【解決手段】常温時には固体状態であり、エネルギーを吸収することにより、溶融する相転移物質を含む弁物質が保存される弁物質コンテナ４２Ａと、流体の流路を形成するチャンネル３５と弁チャンバとを連結する弁連結路４４Ａと、チャンネル上で弁連結路の両側にそれぞれ設けられた一対のドレインチャンバ４６、４７と、を備え、弁物質コンテナまたは弁連結路の内部で硬化された弁物質にエネルギーを供給することにより、弁物質が溶融、移動、及び再硬化し、チャンネルが閉鎖され、チャンネルを閉鎖する弁物質にエネルギーを供給することにより、弁物質がドレインチャンバに排出され、チャンネルが開放されるように構成されたことを特徴とする弁ユニット４０Ａ及びそれを備えた微細流動装置である。 （もっと読む）

本発明の局面は、少なくとも第一の面が少なくとも一つの開放マイクロチャネル構造を有する平坦な基板と、第一の面が該平坦な基板の該第一の面に取り付けられたふた形成シート材料であって、該少なくとも一つのマイクロチャネル構造の少なくとも一部分を覆うふた形成シート材料とを含み、該ふた形成シート材料が、該基板と該ふた形成シート材料との間の間隔を制御するための粒子を含む結合材料によって該平坦な基板に取り付けられている、マイクロ流体アセンブリを含む。本発明の他の局面は、詳細な説明、図面および請求の範囲に反映されている。

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【課題】高機能性薄膜を、大面積へ均一に、生産性高く、且つ、高性能に形成する薄膜形成方法、該薄膜を有する物品、光学フィルム、および、それを達成するための誘電体被覆電極およびプラズマ放電処理装置を提供する。
【解決手段】導電性母材を誘電体で被覆した角柱型の誘電体被覆電極であって、前記誘電体の空隙率が１０体積％以下であることを特徴とする誘電体被覆電極 （もっと読む）

【課題】温度制御が可能で且つ小型化が可能なプラズマ発生体、反応装置及び光源装置を提供する。
【解決手段】プラズマ発生体１は、放電空間５Ａ，５Ｂ，５Ｃにプラズマを発生させる電極１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄと、電極１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄが固定され、電極１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄに沿って流体を流動させ、プラズマ発生体１の温度制御を可能ならしめる流路１７を有し、一体的に形成された誘電体としての基体３とを備える。 （もっと読む）

【課題】高効率の触媒反応を可能とする信頼性の高いマイクロリアクターと、このマイクロリアクターを簡便に製造することができる製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロリアクターを、原料導入口およびガス排出口が連通した密閉空間を有する容器と、この容器の内部壁面から密閉空間へ突出する複数の突起と、これらの突起及び内部壁面に形成された触媒担持層と、この触媒担持層に担持された触媒とを備えるものとする。 （もっと読む）

【課題】放電空間を形成する部材の耐久性を向上できるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】プラズマ発生体１は、放電空間５を有し、一体的に形成された誘電体としての基体３と、基体３に固定され、放電空間５内でプラズマを発生させる電極１５とを備える。 （もっと読む）

非熱プラズマ（ＮＴＰ）および一体触媒システム（ＩＣＳ）は、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）および／もしくはハロゲン化揮発性有機化合物（ＨＶＯＣ）の中和に使用される。これらの化合物の一部は、商業的および／もしくは産業的な空気の流れによって環境中に放出された臭気性を有するおよび／もしくは微細な有機粒子（煙）である排出物である。このシステムは、誘電体バリア放電（ＤＢＤ）電極および誘電設計を利用して、ＮＴＰフィールドを発生させ、触媒機能と組み合わせて十分な反応性酸素種（ＲＯＳ）、ヒドロキシル種および他の高イオン化分子および原子種を生成し、それによってその後環境中に放出可能なより単純な非汚染物質、無臭の化合物に分解すべき空気流中のＶＯＣおよび／もしくはＨＶＯＣおよび／もしくは微細な有機粒子状汚染物を酸化および／もしくは還元させる。このシステムは、汚染された、もしくは汚染されていない大気圧の空気および／もしくはガスを、ＤＢＤ装置によって生成されるＮＴＰフィールドを通して吸引し、この空気を処理されるべき空気および／もしくはガスと合わせることによって動作する。ＤＢＤ装置は、ＤＢＤセルに一体化した触媒材料、およびセルの直後に任意の追加触媒を備えた設計とされており、商業的もしくは産業的な処理に固有の大規模な空気流を通過させるよう設計されている。 （もっと読む）

【課題】マスク表面に亘るエッチング速度の極めて均一な分布を実現するプラズマリアクタを提供する。
【解決手段】プラズマリアクタは、円筒形側壁と、側壁の上にある天井と、側壁の上端上に支持され、天井を支持し、外面と内面とを備えたリングとを備えた真空チャンバを含む。複数の通路が外面から内面へとリング内を半径方向に延び、リングの円周に沿って間隔をあけて配置されている。チャンバ外部に在る外部ガス流導管装置はチャンバの円周に沿って延び、処理ガス供給源に結合されている。チャンバ外部に在る複数のガス流バルブは導管に沿って間隔をあけて配置された各々の位置でもって外部導管に結合され、その各々は（ａ）リングの外面の複数の通路の各々に結合された制御されたガス出口ポートと、（ｂ）バルブ制御入口とを有する。ガスバルブ構成コントローラは各バルブのバルブ制御入口を制御する。 （もっと読む）

【課題】 制御されたあるいは微細な粒径の微粒子を分散させた流体の混合物を生成することができる流体処理装置及び方法を提供する。
【解決手段】 この流体処理装置は、多孔質体２２を介して隣接する第１及び第２の流路２０ａ，２０ｂと、これらの流路にそれぞれ第１及び第２の流体１４ａ，１４ｂを連続的または断続的に送る流体輸送手段１８ａ，１８ｂとを備え、第１の流体１４ａを前記多孔質体を介して第１の流路から第２の流路に流出させて粒子３０とし、第２の流体１４ｂと合流させるようにした流体処理装置である。多孔質体の表面から漏出した流体粒子を前記多孔質体から早期に離脱させる離脱促進手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】硝酸塩やＮＯｘの保護層表面への付着を抑制する一方で、放電効率を高めて、イオンやオゾンの発生量を増大させることが困難であった。
【解決手段】保護層が、絶縁性基板から上面までの高さが互いに異なる第１の領域と第２の領域とを有し、平面視した場合に第２の領域は第１の領域を挟むように配置され、第１の領域が第２の領域よりも放電電極上の厚みが小さいことにより、硝酸塩やＮＯｘの保護層表面への付着を抑制する一方で、放電効率を高め、多くのイオンやオゾンを発生させることが可能な放電素子を提供することができる。 （もっと読む）