【課題】配管の内壁や噴射ノズルの内壁等に付着した凝集体が再飛散することによる圧粉体の形成や膜厚のむらを防止する。
【解決手段】この成膜方法は、エアロゾル生成部において原料粉をガス中に分散させることによりエアロゾルを生成する工程（ａ）と、エアロゾル生成部から搬送管に供給されるエアロゾルを、成膜室に配置されたノズルに搬送する工程（ｂ）と、成膜室において、ノズルと基板との相対位置を変化させながら、ノズルから基板に向けてエアロゾルを噴射することにより基板上に原料粉を堆積させて膜を形成する工程（ｃ）と、ノズルと基板との相対位置に応じて、エアロゾル生成部と搬送管とノズルとの内の少なくとも１つを間欠的に振動させる工程（ｄ）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】高効率の触媒反応を可能とする信頼性の高いマイクロリアクターと、このマイクロリアクターを簡便に製造することができる製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロリアクターを、１組の金属基板が接合された接合体と、この１組の金属基板の少なくとも一方の基板の接合面に形成された微細溝部で構成されたトンネル状流路と、このトンネル状流路に連通している原料導入口およびガス排出口と、トンネル状流路に形成された触媒担持層と、この触媒担持層に担持された触媒と、接合体の少なくとも１つの面にセラミックス絶縁層を介して配設された発熱体とを備えるものとし、セラミックス絶縁層を備える接合体の表面の中心線平均粗さ（Ｒ_a）を０．０５〜０．１０μｍの範囲、１０点平均粗さ（Ｒ_z）を０．４μｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】構造体表面の液滴の形成、消失、液滴量の増減を制御しうる液滴アクチュエータを提供する。また、生物培養の培地や薬剤スクリーニング試験として良好な環境を提供しうる液滴アクチュエータを提供する。
【解決手段】電解質体の外側にポーラス状の主電極部及び副電極部を電気的に離間して設け、前記主電極部の一部における分子もしくはイオン透過性を主電極部のその他の部分と異なるようにする液滴制御部を設けた構造体であって、前記両電極部に電圧を印加して該液滴制御部上の液滴の形成、消失、もしくは液滴量の増減を制御しうる液滴アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法及び構成で、液体中の気泡を捕捉又は除去でき、液体を微細な流路内に安定かつ均一に供給できる。
【解決手段】
流通する液体中の気泡を捕捉する機能を備えた流路構造体であって、第２の滞留部２８と、第２の滞留部２８に連通する複数の流路と、を備え、複数の流路のうち、少なくとも１つの流路が第２の滞留部２８に液体を供給する供給流路２６であり、供給流路２６以外の流路が第２の滞留部２８内の液体を排出する第２の分岐流路３０Ａ〜３０Ｄであり、第２の滞留部２８の上部には、供給流路２６から第２の滞留部２８内に供給した第２の液体Ｌ２中の気泡６４を捕捉する気泡捕捉手段が設けられている。 （もっと読む）

自己集成した物品は、固定化した電荷を有する化学官能基を含む表面；およびコアの表面上に集成された複数の粒子を含み、該粒子は、コアの電荷と反対の電荷の固定化した化学官能基を含む表面を有する。
（もっと読む）

【課題】 ＵＶ照射チャンバーをクリーニングする方法を提供する。
【解決手段】 ＵＶ照射チャンバーをクリーニングする方法は、（ｉ）ＵＶ照射チャンバーに設けられた光透過窓を透過したＵＶ光で基板を照射することを完了した後に、ＵＶ照射チャンバー外でクリーニングガスのラジカル種を発生させる工程と、（ii）ＵＶ照射チャンバーの外部からＵＶ照射チャンバー内へラジカル種を導入することによって、光透過窓をクリーニングする工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】酸素雰囲気下においても少ない消費電力でＮＯ_ｘを効率よく電気分解することが可能なＮＯ_ｘ分解用電気化学素子を提供すること。
【解決手段】固体電解質からなる基板１１と、基板１１の両面に形成された一対の電極とを備えるＮＯ_ｘ分解用電気化学素子１であって、
前記電極のうちの一方の電極１３が、基板１１上に形成された電子伝導性物質からなる第一層１３ａと、第一層１３ａ上に形成されたジルコニア固溶体からなる第二層１３ｂとを備えるＮＯ_ｘ分解電極１３であり、且つ、
前記ジルコニア固溶体が、正方晶と単斜晶との合計量に対する正方晶の結晶相比率［〔正方晶〕／（〔正方晶〕＋〔単斜晶〕）］が５０〜８０％の範囲にあるものであること、
を特徴とするＮＯ_ｘ分解用電気化学素子。 （もっと読む）

【課題】高純度のガスを３００〜１２００℃の温度に汚染なしに加熱するための方法を提供する
【解決手段】高純度のガスを０．１〜１０ｂａｒの圧力（絶対圧）で、ガスを汚染しない高純度の固形物を介して案内し、この場合、該固形物が、高純度の容器内に位置しており、該容器の壁が、赤外線放射に対して８５％よりも過度に多く透過性である材料から成っており、容器に赤外線放射によって照射し、これによって、固形物を加熱し、該固形物が、ガスを加熱するようにした。 （もっと読む）

【課題】所要量の触媒作用能力を備えたガス処理用の定型化された触媒ユニットの提供。
【解決手段】通気性を備えて定型ブロック化された触媒体と、複数の前記触媒体が被処理ガスの流路に対して当該流路を面的に遮断するように配設された集合状態、或いは、前記集合体状態が被処理ガスの流下方向に複数段重なるように配設された積層集合状態を保持する触媒保持枠体とを備え、前記触媒体又は集合体或いは触媒保持枠体を単位として触媒交換を可能としたことを特徴とする。
又、ボルト締め手段によって集合状態の集合体の触媒体を圧縮して高集密度状態にユニット化することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】導電性の高い液体も含め、広範囲の液体中において安定にプラズマを発生することができる液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法を提供すること。
【解決手段】液体３に設けられるプラズマ発生用電極４と、プラズマ発生用電極４に対向して設けられる対向電極５と、プラズマ発生用電極４と対向電極５との間に高周波を印加する高周波回路７と、プラズマ発生用電極４と対向電極５との間に設けられた絶縁部材６を有する。 （もっと読む）

本発明は、スクリーン印刷による「開放」微小流体デバイスの加工方法に関する。本方法は以下のステップを含む：
ａ）少なくとも１つのスクリーン印刷形状物を、それぞれの形状物が微小流体デバイスに対応する所望のパターンに形成するために、ガラス、ガラス−セラミック、またはセラミック、の前駆体材料、及び有機媒体の混合物を、スクリーン印刷によって、基板上に堆積すること、
前記基板はガラス、ガラス−セラミック、及びセラミックから選択される材料で作られる；及び
ｂ）スクリーン印刷形状物を、前駆体材料が溶融して基板に結合することが可能となる温度で焼成すること。
本発明の対象は、ガラス、ガラス−セラミック、またはセラミック、のシートによって「閉鎖」された微小流体デバイスの加工方法にも関する。
（もっと読む）

【課題】信頼性のある耐久性を有し、安定的かつ均一なプラズマを発生させることができる性能を有することができ、各種システムが要求する位置に簡単かつ効率的に取付て稼動できるようにしたプラズマ反応器の提供。
【解決手段】本発明は、プラス電極とマイナス電極及びスペーサを順次に積層して積層物を構成し、前記積層物は積層物の一側にのみ積層物を保持する反応器本体と、前記プラス電極とマイナス電極はスペーサにより気体が通過する通路を有するように交互に反復して配列され、前記プラス電極とマイナス電極には熱膨張・収縮等により局部的に熱応力が発生しないように防止し、熱衝撃性能を高めるために応力を分散させる変形防止手段を更に備え、前記反応器本体にはプラス及びマイナス電極に接続するための外部端子を備え、前記反応器本体の表面に積層物の積層方向と垂直方向に形成して、簡単にケースに固定することができる突出部を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＰＭＭＡやＰＣ等のポリマー材料に対して、反応性イオンエッチング法を用いて、正確に微細なピラーアレイ構造を安価に形成することができるマイクロピラーアレイ素子の製造方法と製造装置並びにマイクロ流体チップ等に用いるマイクロピラーアレイ素子を提供する。
【解決手段】 真空容器１２内にプラズマを発生させて反応性イオンを生成し、真空容器１２内に設けられた被エッチング材料３０を、反応性イオンによりドライエッチングする。被エッチング材料３０はポリマー材料であり、ポリマー材料の表面にマイクロピラーアレイ構造に対応した所定形状のマスクを施す。酸素もしくは酸素を主体とした不活性ガスやハロゲン含有ガスとの混合ガスを用いて、これら混合ガスによる反応性イオンのプロセス圧力を０．０１Ｐａ以上０．２Ｐａ以下の条件にして、ドライエッチングを行い、ポリマー材料に微細なピラー構造を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、配列欠陥が少なく、規則性の高いコロイド粒子配列構造を簡便に作製するための方法および装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の方法は、（ａ）エッジ部８を備えたカバー部材３を準備するステップと、（ｂ）カバー部材３を基板２の上に間隔を空けて、エッジ部８が前記基板２に対して鋭角αをなして対向するように、エッジ部８と基板２との間に隙間を形成するように、カバー部材３を支持するステップと、（ｃ）カバー部材３と基板２との間の所定の空間部分７にコロイド溶液を貯留するステップと、（ｄ）カバー部材３と基板２とを、所定の方向に相対スライド運動させることにより、空間部分７に貯留したコロイド溶液を前記エッジ部８と前記基板２との間の隙間９から外側に漏出させ、前記基板２上にコロイド粒子を配列するステップと、から成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流路を流れる流体の温度を正確に測定することができると共に、流れに乱れを生じさせないようにできる、流路形成体への温度センサの取付構造を提供すること。
【課題手段】流路形成体（１，２）への温度センサ（３）の取付構造であって、断面積が１ｍｍ^２以上且つ８ｍｍ^２以下の流路（７）を形成した流路形成体（１，２）と、前記流路（７）を流れる流体の温度を測定するための温度センサ（３）とを備え、前記流路（７）を形成する壁の一部に、流体の流れる方向に略平行な凹部（５２）を有し、この凹部（５２）に温度センサ（３）の測温部（３１ａ）を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 流体に溶解、混合、又は分散状態で含まれる物質を、温度勾配、電位勾配、磁位勾配、加速度、超音波振動、時間に対して非対称な振動、吸脱着、化学的親和性、などを分離の駆動力として連続的にかつ高速で分離することのできる物質分離デバイス、および物質分離方法を提供する
【解決手段】 長さと幅に対して厚さが薄い分離流路の、該厚さ方向の内壁面の少なくとも一方に、前記厚さ方向から見て、分離流路の長さ方向に対して斜めに、互いに略平行な複数の溝を形成し、分離流路の上流側に流体の導入口、下流側の幅方向に於ける異なる位置に２つの取出口を設けた物質分離デバイス。 （もっと読む）

【課題】超音波洗浄などの処理を行うとともに放電プラズマによる処理を効率よく行うことができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置１１は、洗浄水Ｗを導入可能な容器１２と、超音波発生装置１３と、マイクロ波発生装置１４と、減圧装置１５とを備える。超音波発生装置１３は、容器１２内の洗浄水Ｗ中に超音波を照射してキャビテーションを多発的に生じさせ、洗浄水Ｗに含まれる有害物質を液相から気相に移行させる。マイクロ波発生装置１４は、容器１２内における気相にマイクロ波を照射して気相中にて放電プラズマを発生させ、気化した有害物質をその放電プラズマで分解して無害化する。 （もっと読む）

基板上の超親水性被膜は、防反射性及び防曇性であることができる。該被膜は、長期間にわたって防反射性及び防曇性を維持することができる。該被膜は、反対電荷の無機ナノ粒子を含むことができ、かつ有機ポリマーを実質的に含まなくてもよい。 （もっと読む）

【課題】球状の微粒子を製造すること。
【解決手段】少なくとも一対の電極（３，４）および前記電極（３，４）間に配置された
絶縁部材（８）により形成された空間（９）に、粉体（Ｆ）を収容して、前記電極（３，
４）間に前記粉体（Ｆ）を往復動させる電圧を印加することにより、粉体（Ｆ）から球状
の粒子を形成することを特徴とする球状粒子製造方法。 （もっと読む）

【課題】親水性を呈する薄膜上に撥水性を呈する薄膜を形成せしめる熱交換素子の適用に好適な構造を提供することを課題とする。
【解決手段】撥水を呈する部分と親水性を呈する部分を有する薄膜を有し、前記親水性を呈する部分は、基材上に形成される第１の薄膜からなり、該第１の薄膜は親水性を呈する部材で被覆された粒子が２次元的又は３次元的に接して形成されるものであり、前記撥水性を呈する部分は、前記第１の薄膜上に形成される第２の薄膜からなり、第１の薄膜中の粒子の粒子径を０．５〜５０μｍ、親水性を呈する部材の厚みを前記粒子径の０．０１倍以上、第２の薄膜の下部に位置する親水性を呈する部材の厚みを前記粒子径の０．０１倍以上０．５倍以下とすること。 （もっと読む）