【課題】マイクロ流体システムにおける、流体種の制御及び操作を提供すること。
【解決手段】
１つの様態において、本発明は、例えば、電界、機械的変形、介在流体の添加等を用いて、液体に囲まれた流体の小滴を生成するシステム及び方法に関する。特定の例において、小滴の各々にほぼ均一の数の成分を含有させることができる。例えば、小滴各々の９５％以上に同一数の特定種成分を含有させることができる。別の様態において、本発明は、例えば電荷及び／又は双極子と、電界との相互作用を通して、流体小滴を２つの小滴に分割するためのシステム及び方法に関する。また、本発明は、本発明の別の様態において、例えば電荷及び／又は双極子と電界との相互作用を通して、小滴を融合させるためのシステム及び方法に関する。特定の例において、小滴の融合によって、反応を開始させ又はこれを判別することができる。 （もっと読む）

【課題】ソリューションプラズマ放電において放電電極間の距離あたりの電圧を低く抑え、安定したプラズマ状態を維持することができるプラズマ放電装置を提供する。
【解決手段】本発明のソリューションプラズマ放電装置１０１は、放電電極１の上部に位置する基板２に、液体１２中のプラズマにより発生した気泡を蓄える凹部３を備え、凹部３に溜まった気泡中でプラズマ放電をさせることにより、放電電極間の距離を長くまたは放電電極間の印加電圧を低くできるので、放電電極間の距離あたりの電圧を低く抑え、安定したプラズマ状態を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】煩雑な工程を要せずに、アスペクト比の高い所望の形状のパターンを形成することのできるパターン形成方法、このパターン形成方法を用いた電子装置または光学装置の製造方法、並びに、このパターン形成方法を用いた電子装置または光学装置の製造装置を提供する。
【解決手段】誘電率及び／又は磁化率が異なる２以上の物質からなるネガパターンに電場及び／又は磁場を印加して電気力線及び／又は磁力線の疎密差を前記ネガパターンの近傍に発生させ、前記電気力線及び／又は磁力線の疎密差に沿って少なくとも１以上の流動性のある物質を移動させて所望のポジパターンを形成する方法であって、前記ネガパターンの内部に前記流動性のある物質の少なくとも一部が進入することでポジパターンを形成し、その後少なくとも１以上の流動性のある物質の少なくとも一部を固化形成する。 （もっと読む）

【課題】流体混合物、例えばガス混合物を、プラズマを用いて処理するためのプラズマ処理システムを始動させる方法の提供。
【解決手段】マイクロ波電源と、この結合手段内にある絶縁管１６を通って流れる流体混合物特にはガス混合物とを結合させる手段を具備し、結合手段はマイクロ波エネルギーの一部を流体混合物へと伝播させてそこにプラズマを発生させ、それにより流体分子の化学結合を破断させることを可能とし、まずアルゴンが管内へと注入され、次に高圧放電がアルゴンの注入の導入位置の近傍に位置した電極23を使用して放電を点火させるのに十分なマイクロ波出力によって発生させられ、次にアルゴンがプラズマ放電を維持するように処理されるべき流体混合物の注入で徐々に置換される。 （もっと読む）

【課題】安定で制御可能なプラズマを得ること。
【解決手段】プラズマを生成するプラズマ生成部と、独立して制御可能な第１電力と第２電力をプラズマ生成部に付与する電源と、を備え、第１電力は、プラズマを始動する高電圧小電流であり、第２電力は、プラズマを維持する低電圧大電流である、プラズマ生成装置、及び、プラズマガスに高電圧小電流の第１電力を付与してプラズマガスを始動状態にし、プラズマガスの始動状態に低電圧大電流の第２電力を付与してプラズマ状態を維持する、プラズマ生成方法。 （もっと読む）

【課題】電源部の規模の大型化を抑制しつつ、ストリーマ状放電の先端数をより増加させることができる液体ストリーマ状放電発生装置を提供する。
【解決手段】液体３４中の放電を生成する一対の電極３１，３２と、これら電極３１，３２間に所定の周期で繰り返し高電圧パルスを印加して放電を行わせる電源部２０とを備え、電源部２０は、一対の電極３１，３２間に印加する高電圧パルスとして、立ち上がりが急峻な高電圧パルスを印加する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、その中で大気圧プラズマを生成させる絶縁管を冷却するシステムを提供する。
【解決手段】 半導体プロセス機器の排出口から再生ラインに使用済みプロセス流体を通流させ、前記半導体プロセス機器の排出口から前記使用済みプロセス流体を再生し、 前記再生ラインに接続された流体センサで前記使用済みプロセス流体の状態を測定し、前記流体センサから制御器へ前記プロセス流体の状態を表わす信号を送るとともに、該信号が所定範囲内にあることを設定し、前記信号が前記所定範囲内に入る場合は前記半導体プロセス機器に前記使用済みプロセス流体を回収し、また前記信号が前記所定範囲から外れる場合は前記使用済みプロセス流体の少なくとも一部をシステムドレインに流す。 （もっと読む）

【課題】反応装置本体から輻射される輻射のうち適切な波長領域を断熱容器の外部へ放出させる。
【解決手段】反応装置本体１１と、反応装置本体１１を収容する断熱容器２０とを備え、断熱容器２０は輻射線を透過する輻射透過領域２３，２５を有し、輻射透過領域２３，２５には可視光を反射する誘電体多層膜２３ｂ，２５ｂが設けられている反応装置１０である。 （もっと読む）

【課題】従来のこの種の気流発生装置は、プラズマの発生点が無秩序であり、プラズマの発生により誘起されるイオン風の方向に一貫性が無いため、誘起できる気流が小さいという問題があった。
【解決手段】面状誘電体の両面に設けた２つの電極のうち、少なくとも一方が多点の末端を有する電極で構成され、両電極が、前記面状誘電体の面に対し垂直方向で重ならず、一定の隙間を有し、両電極に交流電圧を印加するとともに、どちらか一方を接地することを特徴としており、プラズマの発生に伴い誘起されるイオン風の方向に一貫性を持たせることができ、結果的に、気流を大きくすることができる気流発生装置を得る。 （もっと読む）

【課題】 電源装置の複雑化、大型化を必要とせず、汚れなどが付着しやすい配管や排水口の内面と液面とが接する部分の浄化や改質を可能とした放電装置及び放電方法を提供する
【解決手段】 パルス電源と、
前記パルス電源の端部に接続された一対の電極とを有し、
前記電極のうち一方の電極の少なくとも一部の領域が誘電体で覆われてなる放電装置であって、
前記誘電体と前記他方の電極との間に、誘電体に液面が接するように液体を介在させ、
前記一対の電極間に、パルス電圧を印加し、
前記パルス電圧の極性が、正または負の直流であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より取扱が容易な流体制御方法及び流体デバイスを提供すること。
【解決手段】水中に一対の電極を配置し、直流電圧を印加することにより水流を発生させる流体制御方法とする。また、水を収納可能なハウジングと、該ハウジング内に配置される一対の電極と、を有する流体デバイスとする。 （もっと読む）

【課題】低電圧でプラズマを放電空間に発生させることが可能な誘電性構造体を提供する。
【解決手段】誘電性構造体は、互いに対向する表面を備えた２つの誘電体３と、各誘電体の内部にそれぞれ設けられた導電体４と、表面同士の間の空間Ｓに設けられた複数の誘電性粒子５とを備える。誘電性粒子５は、対向方向における空間の中央部と２つの誘電体３のうち少なくとも一方との間に設けられ、中央部から誘電体３に向かうにつれて、粒径が小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】処理を行う流体の条件によって、各放電空間内のプラズマ密度をり最適化し、消費電力を低減することが可能なプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】一方向に配列された複数の誘電体と、該各誘電体の内部に配設された導電体とを有し、導電体間に電圧を印加することにより誘電体間にプラズマを発生可能なプラズマ発生体であって、誘電体は、３つ以上であり、導電体は、所定の間隔で配置されており、互いに隣接する少なくとも１組の誘電体対における誘電体間の距離が、他の組の誘電体対における誘電体間の距離と異なる。 （もっと読む）

【課題】 消費エネルギーやコストの上昇を抑制しつつ、排気ガスを良好に浄化することのできるプラズマ反応器を提供すること。
【解決手段】 誘電体１２と、この誘電体１２を挟んで対向する１対の電極１３（高電圧極４３および接地極３３）とを備えるプラズマ反応器３において、相対的に比誘電率が高い高誘電板１６と相対的に比誘電率が低い低誘電板１７とを、誘電体１２の電極１３との対向方向に沿って配置することにより、全体として誘電体１２を形成する。そして、高誘電板１６の配置される側が、排気ガスの流れ方向上流側になるように、プラズマ反応器３を設置する。 （もっと読む）

【課題】本発明のプラズマスクラバーは、電力消耗を減らしながら、反応炉内に高い温度雰囲気を形成して、難分解性気体を効果的に分解除去する。
【解決手段】本発明のプラズマスクラバーは、難分解性気体が供給される第１反応炉１０、前記第１反応炉１０内に設置され、前記難分解性気体の流れ方向に突出形成され、前記第１反応炉１０との放電によって前記第１反応炉１０との間に供給される前記難分解性気体にプラズマを発生させる電極４０、前記第１反応炉１０に連結装着され、前記プラズマが前記電極４０に付着して（anchoring）連続的なアークジェットを形成する第２反応炉２０、及び前記第２反応炉２０に連結装着され、前記第２反応炉２０で電子及び反応性の高い化学種を含む高温の反応部を形成して、滞留時間増加及び反応性を高め、前記難分解性気体を分解する第３反応炉３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】 誘電体に付着するＰＭ（粒子状物質）を効率よく除去し、優れた排気ガス浄化性能を長期にわたって実現することのできる排気ガス浄化装置を提供すること。
【解決手段】 排気ガス浄化装置１において、誘電体１２と、この誘電体１２を挟んで対向する１対の電極１３（浄化時高電圧極４３および浄化時接地極３３）とを備えるプラズマ反応器３と、プラズマ反応器３よりも排気ガスの流れ方向上流側に、清掃用電極２４を配置する。そして、電極１３と清掃用電極２４との間で放電させることによりプラズマを発生させ、このプラズマ中の活性種により誘電体１２の清掃処理を行なう。 （もっと読む）

本発明は、広くは、ガス流れ内の粒子状物質の量を低減するための非熱プラズマベースのシステム、ならびに、そのようなシステムを使用するための方法を対象とする。本発明は、具体的には、自己洗浄表面を有する、そのような非熱プラズマベースの粒子状物質低減システムを対象とする。具体的には、システムにおける非熱プラズマ産生の低減を引き起こす可能性が高い粒子状物質蓄積を低減する自己洗浄表面、したがって、そのようなシステムがガス流れ内の粒子状物質の量を低減する能力が検討される。
（もっと読む）

【課題】マイクロリアクターへの位置決めと溶接が容易な発熱基板と、高効率の触媒反応を可能とする信頼性の高いマイクロリアクターを提供する。
【解決手段】マイクロリアクターに溶接して使用する発熱基板１を、金属基板２と、この金属基板２上に電気絶縁層３を介して配設された発熱体４とを有するものとし、金属基板２は、周縁部に複数の凸部５を有し、これらの凸部５の先端を結ぶ形状を、マイクロリアクター１１の溶接対象面１１Ａの周辺形状と一致するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 触媒と放電を併用したＶＯＣｓを処理する空気処理装置において、触媒の性能を低下させず、放電を停止させることなく、連続的に運転できる高い処理効率を有する空気処理装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 高圧電極２と、この高圧電極２に対向して所定の距離を隔てて配置され、接地された多孔質触媒体３と、この多孔質触媒体（接地電極）３の側面部外周に取り付けられた加熱用の発熱体４と、高圧電極２と多孔質触媒体（接地電極）３間に高電圧を印加するために接続された高圧電源５と、さらに、多孔質触媒体（接地電極）３の後方に設けられた吸気用ファン６と、高圧電極２の前方に設けられた除塵フィルタ７とを備えた空気処理装置。触媒と放電の併用により、効率よくＶＯＣｓを処理することができる。 （もっと読む）

【課題】大気圧・窒素中の放電が容易で、長時間のストリーマ放電に耐え、広範囲で均一な処理ができ、対象物に低ダメージの処理ができ、処理時間が短縮されたプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】一辺に刃部を設けた複数の板状のアノード埋込ブレード１１_l-1〜１１_l-6を、互いの主面を対向させて並列配置した分割型アノード電極と、アノード埋込ブレード１１_l-1〜１１_l-6のそれぞれの刃部に対向して配置されたカソードとを備える。アノード埋込ブレードのは、板状のアノード誘電体と、このアノード誘電体の内部に埋め込まれたアノードメタルからなる。複数のアノード埋込ブレードは、長手方向の両端部において、スペーサブロック７１₁〜７１₆，７３₁〜７３₆，７２₁〜７２₆，７４₁〜７４₆を挟む。 （もっと読む）