【課題】プラズマを利用して効率よくガスを処理することができるプラズマ反応器、及びプラズマ反応装置を提供する。
【解決手段】プラズマ反応器１は、導体３を埋設したセラミックス誘電体４で形成されて互いに対向して間隙を隔てて配置された一対の平板電極２で構成され、一対の平板電極２間に電圧を印加することにより平板電極２間を放電部１１としてプラズマを発生させ放電部１１に流通する第一のガスを反応させるプラズマ反応部１０と、そのプラズマ反応部１０に隣接して積層されて一体として形成され、第二のガスを流通させることにより第二のガスの熱をプラズマ反応部１０に付与して第一のガスの反応を促進させる熱付与ガス流通部２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大掛りな装置を必要とせず、目的とする触媒粒子の性状を変化させずに誘電体表面に容易に結合・固定化すると共にプラズマ放電場の特性を最大限に生かすための触媒粒子を、誘電体のプラズマ放電性能を阻害することなく誘電体表面に容易に結合・固定化する誘電積層体の製造方法を提供する。
【解決手段】誘電体表面にポリシラザン類含有溶液層を形成し、該溶液層が固化する前に溶液層に触媒粒子を散布して触媒粒子層を形成した後、該溶液層を固化して、誘電体表面に触媒粒子層を結合・固定化することを特徴とする誘電積層体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】従来の平行平板構造のプラズマリアクタよりも低温で、かつ常圧で使用できるとともに、より高い収率で効率的に水素を含有する改質ガスを生成できる新構造のプラズマリアクタを提供する。
【解決手段】平板状の第一電極３と、平板状で、第一電極３に対して垂直に所定間隔で並列配置された複数の第二電極５ａ、５ｂと、第一電極３と第二電極５ａ、５ｂとの間に配置されたハニカム構造体７と、第一電極３と第二電極５ａ、５ｂとの間に電気パルスを印加するためのパルス電源１３とを備えたプラズマリアクタ。 （もっと読む）

【課題】誘導電流が形成されるのを防止するトロイダル・プラズマ・チャンバを提供する。
【解決手段】トロイダル低電場プラズマソースとともに用いられ得る金属製プラズマチャンバ１００は、第１の誘電体領域１０８および第２の誘電体領域１１０を含む。誘電体領域１０８および１１０は、プラズマチャンバ１００を、第１の領域１１２および第２の領域１１４に電気的に分離する。第１の領域１１２および第２の領域１１４の各々は、高度真空シールにより誘電体領域１０８、１１０に接続されることにより、プラズマチャンバ１００を形成している。誘電体領域１０８、１１０は、プラズマチャンバ１００の組み合わせ面１１６を分離する誘電体スペーサを有してなっていてもよい。 （もっと読む）

【課題】単位電極間にガスを導入し、プラズマを発生させて効率よく処理することが可能なセラミックプラズマ反応器、及びプラズマ反応装置を提供する。
【解決手段】板状のセラミック誘電体４と、その内部に配設された導電膜３とから形成され、所定の間隙を隔てて積層されてなる第一電極２ａと第二電極２ｂを有する。第一電極２ａの、単位電極２ａ，２ｂ間の間隙とは反対側の面側に、保持部材７によって間隙を隔てて保持された隔壁板９を備え、保持部材７及び隔壁板９によってガス導入流通部２１が形成されている。また、第一電極２ａには、貫通孔１５が形成され、ガス導入流通部２１から貫通孔１５を流通させて単位電極間にガスを導入し、単位電極２ａ，２ｂ間に電圧を印加することによって単位電極２ａ，２ｂ間を放電部１１としてプラズマを発生させる。 （もっと読む）

【課題】ストリーマ放電時において被処理成分の処理量に対して処理能力が過剰となり、放電電力の無駄に消費してしまうこと抑制し、空気浄化装置の省エネルギー性の向上を図る。
【解決手段】ストリーマ放電を行う放電装置（40）の電源手段（45）に放電制御部（63）を設ける。そして、上記放電制御部（63）により、空気浄化装置で処理される被処理成分の処理量に応じて放電装置（40）の放電電力を増減させるようにする。 （もっと読む）

【課題】真空中だけでなく大気圧中でも安定した電子放出を可能とし、かつ電子放出に伴うオゾンやＮＯｘ等の有害物質の発生を抑制した、電子放出素子を提供する。
【解決手段】電子放出素子１は、基板２と上部電極３との間に微粒子層４を備え、微粒子層４は、抗酸化力が高い金属微粒子６と、金属微粒子６の大きさより大きい絶縁体の微粒子５とを含んでいる。電子放出素子１は、真空中だけでなく大気中でも安定して電子放出でき、放電を伴わないためオゾンやＮＯｘ等の有害物質をほぼ生成せず、酸化劣化しない。そのため、電子放出素子１は、寿命が長く大気中でも安定して長時間連続動作できる。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体と金属電極との組合せを容易にし、製造効率を向上した排気ガスのプラズマ処理装置の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックを材料として形成されたハニカム構造体２の内部に、複数の貫通孔２ａ、及び貫通孔２ａを画定する隔壁２ｂが形成されている。ハニカム構造体２の外周部を金属電極３ａが覆っており、金属電極３ａが貫通孔２ａに沿って延在している。ハニカム構造体２の隔壁２ｂ内には金属電極３ｂ〜３ｅが埋め込まれており、金属電極３ｂ〜３ｅが貫通孔２ａに沿って延在している。ハニカム構造体２を押出し成形する際に、金属電極３ａ〜３ｅはハニカム構造体２の押出し成形に用いる金型の内部に配置される。したがって、ハニカム構造体２を押出し成形する際に、ハニカム構造体２と金属電極３ａ〜３ｅとが一体となる。 （もっと読む）

【課題】基板上に配設された流路内において、通流する液体の連続性を分断して送液するための技術を提供することを主な目的とする。
【解決手段】基板１上に配設された流路１１内に気体又は絶縁性液体のいずれかの流体を導入することにより、流路１１内を通流する液体を分断して送液することを特徴とする液体送液方法を提供する。この送液方法において、流路１１内に微小粒子Ｐの分散液が通流される場合には、微小粒子Ｐの間に流体を導入して、流路１１内を通流する分散液を所定数の微小粒子Ｐごとに分断して送液することができる。この場合には、さらに分断された分散液に付与された電荷又は磁化に基づいてその送流方向を制御することにより、前記微小粒子Ｐの分別を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 放電方向に均一な放電を発生させ、放電効率を高める構造を提供すること。
【解決手段】 放電用電極体９，１０は電極２，３と電極２，３を覆う固体誘電体とを備えたものであって、固体誘電体の放電側表面が希土類元素を含む酸化物からなる。また、放電用電極アセンブリ１００は、放電用電極体を２つ備えてなり、これら放電用電極体を対向させてなる。放電処理装置は、放電用電極アセンブリを用いてプラズマを発生させるようになしたものである。これらにより、放電効率が向上するとともに、放電用電極体の放電側表面のプラズマに対する耐食性が向上する。 （もっと読む）

【課題】外部への熱の影響を抑制しながら高効率の触媒反応を可能とする信頼性の高いマイクロリアクターと、このようなマイクロリアクターを簡便に製造するための方法を提供する。
【解決手段】マイクロリアクター１を、真空筐体２と、この真空筐体内の真空密閉キャビティ３内に配設されたマイクロリアクター本体４と、マイクロリアクター本体の少なくとも１つの面に位置する発熱体７とを備えるものとし、真空筐体２は、厚みが０．１〜０．５ｍｍの範囲であるステンレス鋼からなり、リードピン１４を貫通するための貫通孔１２を有し、この貫通孔１２はガラス部材１３で封止され、リードピン１４の長さ方向に沿ったガラス部材１３の長さが０．５〜１．４ｍｍの範囲となるように、真空筐体２の貫通孔１２の周辺部位を肉厚部１１とする。 （もっと読む）

【課題】大気圧・窒素中の放電が容易で、広範囲で均一な処理ができ、対象物に低ダメージの処理ができ、処理時間が短縮されたプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】第１系列アノードセグメントの周期的配置からなる第１系列アノードユニット（１１_a，１１_b，…，１１_e）、第１系列アノードセグメントの周期的配置と１／２周期ずれた位置に交互に挿入された第２系列アノードセグメントの周期的配置からなる第２系列アノードユニット（１２_a，１２_b，…，１２_e）を有する複系列分割型アノード電極と、複系列分割型アノード電極に対向して配置されたカソード２４とを備える。複系列分割型アノード電極とカソード２４間に処理ガスを導入し、第１系列アノードユニットと第２系列アノードユニットのそれぞれに、同一繰り返し周波数で互いに位相の異なるパルスを印加して、複系列分割型アノード電極とカソード２４間にプラズマを生成する。 （もっと読む）

【課題】割れやすい誘電体材料によって複雑な形状を有するプラズマ電極を容易に製作することを可能とするとともに、製作された電極において部材の割れを抑制することのできるプラズマ電極の製作方法を提供することを課題とする。
【解決手段】プラズマ電極１２の製作方法は、第１電極本体２、第２電極本体３２及び誘電体７を有するプラズマ電極１２において、ディップコーティングによってガラスを第１電極本体２に被覆して誘電体７を形成するものである。よって、プラズマ電極１２は、第１電極本体２にガラスを被覆し、ガラスが被覆された第１電極本体２の貫通空間部２ｂに、スチールウール３２ａからなる第２電極本体３２を挿入することによって、容易に製作されることが可能である。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ場のばらつきを抑制し、流体を良好に分解することができるプラズマ発生体および及びプラズマ発生体を用いた各種装置を提供することにある
【解決手段】 本発明のプラズマ発生体は、内部空間Ｓを挟んで対向する一対の第１電極４を備える管状の外囲体１と、一対の第１電極４間に、間に空隙を介して配置される第２電極５とを備え、２電極５は、一方の端部３ａが外囲体１に固定され、且つ他方の端部３ｂが自由端であり、一対の第１電極３のそれぞれと第２電極４との間にプラズマを発生させるものである。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波を用いたプラズマ発生装置において、導波管内部における放電現象の発生を簡単且つ確実に防止する。
【解決手段】プラズマ発生装置ＰＵは、マイクロ波μを発生するマイクロ波発生装置１０、このマイクロ波発生装置１０に接続され前記マイクロ波μを伝搬させる導波管２０、及び、該導波管２０に設けられたプラズマ発生部３０を備える。プラズマ発生部３０は、マイクロ波μを受信する棒状のアンテナ４０を有する。アンテナ４０は、導波管２０の内部に導入される第１端部４１の側と、導波管２０の外部へ突出する第２端部４２の側とを含む。そして、第１端部４１が接地され、第２端部４２において処理ガスにマイクロ波μのエネルギーを与える。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜の絶縁耐圧の向上を図ることのできる絶縁膜の製造方法、反応装置、発電装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】反応物の反応を起こすマイクロリアクタ１は、金属基板である上板２及び底板３等から構成されてなり、底板３とその表面に設けられる薄膜ヒータ３２との間に絶縁膜３１として、希土類元素Ｒの結晶構造を有するＲ_２Ｏ_３膜（Ｙ_２Ｏ_３膜）が形成されている。Ｒ_２Ｏ_３膜は、底板３の表面にＲ膜を成膜した後、水素化してＲＨ_２膜を形成し、さらに酸化することによって形成される。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、誘電体の機械的強度を低下させることなくプラズマ出力を向上させることが可能なプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】一方向に配列された複数の誘電体と、該各誘電体の内部に配設された導電体とを有し、導電体間に電圧を印加することにより誘電体間にプラズマを発生可能なプラズマ発生体であって、誘電体は３つ以上であり、誘電体の配列方向における端部以外の少なくとも１つの誘電体において、導電体は、その少なくとも一部が誘電体の配列方向に平行に配列された複数の導電体層からなり、複数の導電体層が内部に配設された誘電体において、他の誘電体に対向する表面と該表面に隣接する導電体層との間の距離は、複数の導電体層のうち両端の導電体層の間の距離よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】中央部の放電空間における温度上昇を抑制することができるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】一方向に配列された複数の誘電体３と、該各誘電体３の内部に配設された導電体５とを有し、導電体５間に電圧を印加することにより誘電体３間の放電空間にプラズマを発生可能なプラズマ発生体であって、誘電体３が４つ以上であり、誘電体の配列方向の中央部における誘電体の内部に配設された第１導電体の電気抵抗値は、端部における誘電体の内部に配設された第２導電体の電気抵抗値よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、非常に短いパルス状の放電で非常に長い（数メートルまでの）距離に亘ってプラズマボール及びプルームを生成する新しい装置に関する。
【解決手段】これらのプラズマボールは、誘電体ガイド内を伝わり、誘電体ガイドの端部には、はっきりとしたプラズマプルーム状ゾーン（その形状及び輝度は、放電繰り返し率に依存している）が生成され、二次混合プラズマは、主要ガス流に他のガス流束を加えることにより任意の表面の付近に生成され得る。プラズマボールは、単発から数キロヘルツの範囲内の繰り返し率でガス中に生成され得る。 （もっと読む）

【課題】中央部の放電空間における温度上昇を抑制することができるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】一方向に配列された複数の誘電体３と、該各誘電体３の内部に配設された導電体５とを有し、導電体５間に電圧を印加することにより誘電体３間の放電空間にプラズマを発生可能なプラズマ発生体であって、誘電体３が４つ以上であり、誘電体３の配列方向における中央部の放電空間を挟んで対向する導電体５間の対向面積は、誘電体３の配列方向における端部の放電空間を挟んで対向する導電体５間の対向面積よりも小さい。 （もっと読む）