【課題】金属析出、有機物の反応、フィルムはもとより閉所、管内壁などの表面処理をそれぞれ独立に、若しくは組み合わせて行え、さらに、これらのプラズマ化学反応のプラズマの種々のパラメータを制御した上で、電源スイッチにより反応速度、反応収率、生成物形態を任意に制御できるプラズマジェットを用いた金属粒子の合成法と表面処理法を提供する。
【解決手段】大気圧近傍の圧力下において金属若しくは絶縁体管に高電圧電極を取り付け、この管中にガスを流しながら、低周波数で高電圧を印加させることにより発生させたプラズマと、還元反応によって金属となる化合物若しくはその溶液を反応させることにより金属粒子を合成する、又は表面修飾を行う。 （もっと読む）

【課題】長尺細管を含む種々の被処理物の内面処理が可能な表面処理装置を提供する。
【解決手段】 管状の被処理物２１の一端から導入された処理ガスを、被処理物２１の他端から排気してガス流を生成するための真空ポンプ３２と、被処理物２１の一端側に配置され、放電開始初期にガス流に初期プラズマを供給する励起粒子供給系（１６，１７，１８）と、被処理物２１を挟むように互いに対峙して配置された第１主電極１１及び第２主電極１２と、初期プラズマを維持し、被処理物２１の内部にプラズマ流を生成するデューティ比１０^−７〜１０^−１の電気パルス（主パルス）を第１主電極１１及び第２主電極１２間に印加するパルス電源１４とを備え、プラズマ流に含まれるラジカルにより、被処理物２１の内面を処理する。 （もっと読む）

【課題】 単一の装置で植物の地上露出部と地上非露出部との双方を保護でき、安全かつ容易に取り扱うことができる飛動可能生物収集兼オゾン発生装置及び植物栽培装置を提供する。
【解決手段】 第１の導体によって誘電体に生じた誘電分極により電界を生じさせると共に、第１の導体と第２の導体とによって放電を生じさせる。 （もっと読む）

【課題】有機溶液を分解して無害化する有機溶液分解装置と有機溶液分解方法の提供。
【解決手段】本発明は、有機溶液が供給される反応容器（１１）と、前記反応容器内に配設された複数の導電体ブロック（１２１）で構成され、各導電体ブロックには金属塩が付けられたブロック群と、前記導電体ブロック間にマイクロ波放電を生じさせるようマイクロ波を照射するマイクロ波照射手段（１３）とを備え、金属プラズマにより有機溶液を揮発分解させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】常温において反応性及び反応効率に優れ、反応を安全に実施可能であるマイクロ流体デバイス、反応装置、並びに、反応方法を提供すること。
【解決手段】気体放電を用いるプラズマ生成機構を備えた気体用微小流路、液体用微小流路、並びに、気体用微小流路及び液体用微小流路が合流して形成される気液混相用微小流路を少なくとも有することを特徴とするマイクロ流体デバイス、前記マイクロ流体デバイスを用いた反応装置。また、前記反応装置を準備する工程、前記気体用微小流路に気体を供給する工程、前記液体用微小流路に被反応物を含む液体を供給する工程、前記プラズマ生成機構により前記気体由来のラジカルを発生させる工程、前記気液混相用微小流路において、被反応物を含む前記液体とラジカルを含む前記気体との気泡流又はスラグ流を形成する工程、並びに、前記被反応物と前記ラジカルとを反応させる工程を含む反応方法。 （もっと読む）

エアロゾル（煙霧質）粒子の静電沈着（ＥＳＤ:静電放電）に有用なシステムおよびエアロゾル粒子の基板への静電沈着方法が開示されている。本発明による静電放電システムおよび方法は、粒子生成機を用い、気相合成によって生成されるナノ粒子を基板上に静電的に堆積するために有用である。直流電流は本システムにおいてコロナ漏出を最小限に抑えて用いられうるものであり、これはさもなければ、粒子生成機に損傷を与えたであろう。
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【解決手段】材料を実質的に大気圧のプラズマに曝す工程を含み、それにより、高価な真空装置およびポンプアセンブリを準備する必要性を取り除くと同時に、制御された作業環境においても持続的且つ迅速な処理を促進する、材料を処理するためのプラズマ処理方法である。処理される材料に応じて、複数の処理方法を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】薄膜ヒータと輻射防止膜とを絶縁する絶縁膜の信頼性を向上させる。
【解決手段】反応器２０の表面に設けられた薄膜ヒータ３２と、薄膜ヒータ３２を覆う絶縁膜３７と、絶縁膜３７上に設けられた輻射防止膜３８とを備える反応器加熱装置３０である。絶縁膜３７は結晶性のＲＦｅＯ₃（Ｒは希土類元素）からなる。金属と同等の線膨張係数である絶縁膜３７を塗布法により平坦に形成することができ、高温動作させても絶縁膜３７に亀裂や剥離が生じることがなく、薄膜ヒータ３２と輻射防止膜３８とを絶縁する電気的絶縁の信頼性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】周囲の雰囲気や稼動時の熱に起因する熱応力によってプラズマ発生体が破損する可能性を低減し、セル内を通過するＰＭや酸化性成分、ＨＣ等の流体を良好に浄化することができるプラズマ発生体およびプラズマ発生体の製造方法を提供すること。
【解決手段】プラズマ発生体は、平板状の第１電極１と、第１電極１上に対向して配置される平板状の第２電極２と、平面視でこれら電極同士の対向面の外周領域に設けられ、第１電極１及び第２電極２を一定の距離だけ離間させて支持する一対の側壁５と、からなるセル６を備え、セル６内には流体が流れるとともに、側壁５に、溝７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】気体中において安定してオゾンやラジカル等を生成し、その生成されたオゾンやラジカル等をこれらが消滅する前に微細な気泡として液体中へ拡散させるプラズマ発生装置と洗浄浄化装置等を提供する。
【解決手段】ケース部材３の内側に多孔質セラミックス部材６が配設されている。ケース部材３と多孔質セラミックス部材６との間の領域１５には液体３０が導入される。多孔質セラミックス部材６の内側の領域１４には、線状電極２１と円筒状電極２２が配設されて、少なくとも酸素を含むガスが供給される。線状電極２１と円筒状電極２２との間に所定の電圧を印加することで放電が生じ、ガスがプラズマ化されてオゾンや各種のラジカルが生成される。生成されたオゾンやラジカルを含んだガスは内側の領域１４から微細孔を経て、微細な気泡として液体３０中へ拡散される。 （もっと読む）

【課題】混合ガスに残留するメタンの処理方法の提供。
【解決手段】２００℃〜５００℃の範囲にある温度を有し、少なくとも、５０ｐｐｍ〜２５００ｐｐｍの範囲にある濃度のメタンと、体積にして０．５％〜１２％の範囲にある濃度の酸素とを含む混合ガス中の残留メタンを処理する方法。プラズマ反応器10の内部電極16と外部電極12との間に高電圧の電気信号を印加することによりプラズマ反応器10内に発生させた、１５Ｊ／Ｌ〜１００Ｊ／Ｌの範囲にあるエネルギー密度を有するプラズマによって、残留メタンが処理される。外部電極12は、その形状が円筒状であり、内部電極16を囲んでいる。前記電極から選ばれる少なくとも１つが、混合ガス中に誘電体バリア放電を発生させ、かつ残留メタンの一部を一酸化炭素に変換するために、誘電体材料により被覆されている。 （もっと読む）

【課題】 アーク放電量が多く、処理量の大幅な増大を図ることができる放電分解炉の構造を提供する。
【解決手段】 路本体内の通路部２３に、放電電極棒Ａ１〜Ａ４と、回転手段により回転する電通棒Ｂ１〜Ｂ６と、加重棒Ｃ１〜Ｃ３とから構成される上段の放電部３０と、放電電極棒Ａ５〜Ａ７と、回転する電通棒Ｂ７〜Ｂ１０と、加重棒Ｃ４、Ｃ５とから構成される下段の放電部３１を設け、放電電極棒と電通棒との間、電通棒相互の間および電通棒と加重棒との間にそれぞれ発生したアーク放電のエネルギによる放電熱により処理対象物を熱化学分解する。従って、処理量がかなり多くなり、しかも、容量の増大を図れ、より処理量の増大を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】反応に悪影響を及ぼす温度変化や添加物等が無くとも簡単な仕組みで流路に気体や液体を脈動無く流すことができる反応装置を提供すること。
【解決手段】少なくとも供給路３または排出路４となる溝２と前記溝２に形成された反応部分５を有する基体１と、前記供給路３または排出路４となる溝２の内壁に形成されており、導体または磁性体と、前記導体または前記磁性体を覆う保護膜とからなる複数の微小突起７と、前記複数の微小突起７を駆動する電磁誘導発生手段とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 表面誘電体バリア放電プラズマユニット、および表面プラズマを発生させる方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、表面誘電体バリア放電プラズマユニットに関する。ユニットは、内部電極が配置される内部空間が設けられた固体誘電体構造を備える。さらに、ユニットは、内部電極と協働して表面誘電体バリア放電プラズマを発生させるための別の電極を備える。その上、ユニットには、構造の表面に沿ったガス流路が設けられる。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成で、ワークの処理面の形状に拘わらず、その形状に対応してプラズマ処理を施すことができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置１は、第１の電極２と、ワーク設置部２１の第１の電極２の対向側に位置し、外周面が前記ワーク設置部２１に設置されたワーク１０の処理面１１に対面するように設置され、中心軸を回動軸として回転可能な円筒状の第２の電極３とを有し、発生したプラズマにより処理面１１を処理するものであり、第２の電極３は、その外周面に、周方向に沿って、有効電極領域３１ａの幅が変化している部分を有し、この第２の電極３を、その中心軸を回動軸として回転させることにより、処理面１１と対面する有効電極領域３１ａの幅が変化するよう構成され、ガス供給手段５により、有効電極領域３１ａの幅の大きさに応じて、処理ガスを供給する幅も変化するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】 電極間を任意に設定することができ、且つ、製造容易な放電リアクターを得ることができると同時に、内部電極３の安定した固定支持と沿面放電による放電効率の向上を実現できる放電リアクターの提供。
【解決手段】 高電圧電極１と、中心電極２と、内部電極３と、誘電体４と、外部電極５を備える放電リアクターであって、内部電極３を、外周部に複数の突起１０を波状に形成した鋸歯状電極部材１１ａ〜１１ｄをスペーサ１２を介して中心電極２の軸方向に沿って所定間隔Ｐ１で複数配列して形成し、中心電極２の一端部２ａを高電圧電極１に固定し、中心電極２の他端部２ｂ側に取り付けられる鋸歯状電極部材１１ｄの外周部を誘電体４の内壁４ａに当接させて該中心電極２の他端部２ｂを固定支持した。 （もっと読む）

【課題】生成オゾンが高温の電極に触れて分解するのを防止すると共に、生成オゾンガスの冷却度を上昇させることによって、より高濃度のオゾンを含むガスを得ることを可能とするオゾン発生装置を提供する。
【解決手段】接地電極２と高電圧電極１との間に形成される空間４内に酸素を含むガスを供給し、接地電極２と高電圧電極１の少なくとも一方に誘電体層３を介在させ、空間４に放電を生じせしめてオゾンを生成し、他端側から生成オゾンを含むガスを排出するように構成され、接地電極２の外側に冷媒通路７が設けられたオゾン発生装置において、高電圧電極１のガスの流動方向の終端部よりも下流側に、生成オゾンを含むガスを高電圧電極１と隔絶する遮蔽体１１を設けている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、概して、プラズマリアクタにおいて、大面積基板に必要な容量性デカップリングを提供する装置及び方法を提供する。
【解決課題】本発明の一実施形態は、プラズマリアクタにおいて用いるための基板サポートを提供する。プラズマリアクタは、大面積基板の裏面と接触するための複数の隆起領域のある上面を備えた導電性本体を有している。複数の隆起領域は、上面の表面積の約５０％未満を占める。 （もっと読む）

【課題】チューブ型セルを用いる場合に、スタック内で容易に直列接続が可能なリアクターセル支持体、電気化学リアクタースタック、及び電気化学リアクターシステムを提供すること。
【解決手段】リアクターセル支持体１は、第１電極集電体３及び第２電極集電体５と、両集電体３、５の間に配置された絶縁性を有するセパレータ７とから構成され、複数の電気化学リアクターセル９を平行に配置して保持できる構造を有している。第１電極集電体３と第２電極集電体５とセパレータ７とにおいてその一方の側の上方、従ってリアクターセル支持体１の一方の側には、電気化学リアクターセル９が嵌り込むＵ字状の格納溝１１が平行に形成されている。第１電極層１３はその露出部１３を介して第１電極集電体３に電気的に接続され、第２電極層１７は第２電極集電体５に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】蓋部材の流路部材に対する押圧力を均一化することにより、流路構造体の流路から流体が漏出することを防止する。
【解決手段】流路構造体１では、流路部材３および蓋部材４の周囲の付勢部６により、第１押圧部材２および第２押圧部材５が、流路部材３および蓋部材４を間に挟んで互いに近づく方向に付勢されることにより、流路１０を形成する溝３１１が設けられた流路部材３の上面３１に蓋部材４が押圧される。流路構造体１では、第２押圧部材５の当接部５３が蓋部材４の外周縁よりも内側のほぼ全域に亘って蓋部材４に当接し、外周部５４が蓋部材４の外周縁と積層方向に関して離間する。これにより、蓋部材４の外周縁近傍に押圧力が集中することを防止して第２押圧部材５の撓みを抑制し、蓋部材４の流路部材３に対する押圧力を均一化することができる。その結果、流路構造体１の流路１０から試薬流体が漏出することを確実に防止することができる。 （もっと読む）