【課題】処理効率が高く、簡単且つ低コストな改質方法および改質装置を提供する。
【解決手段】改質装置は、冷電子放出素子からなる面放射型電子源１を備え、この面放射型電子源１から放射される電子線を物体に照射することにより、その物体の特性や表面の改質を行う。冷電子放出素子からなる面放射型電子源１を用いているため、熱電子放出素子に比べて消費電力の低減、並びに電子放出までの立ち上がり時間が短縮でき、点又は線状の熱電子放出素子からなる電子源を用いる従来方法および従来装置に比較して、処理効率が高く、簡単且つ低コストな改質方法および改質装置が実現できる。 （もっと読む）

【課題】ランプハウス内に断面扁平４角形状のエキシマランプと、その上方に不活性ガス供給管が配置され、前記エキシマランプの上方壁には高圧側電極が、化法壁には低圧側（接地）電極が設けられたエキシマ光照射装置において、ランプとガス供給管の間に不所望の異常放電が発生することのない構造を提供することにある。
【解決手段】不活性ガス供給管の前記高圧側電極に対向する角部に電解集中回避手段を施したことを特徴とし、具体的には、角部を切り落とした平坦面とし、弧状面とし、あるいは、絶縁性被膜を被覆したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、電子放出量が多い素子でも素子内電流量は小さい、電子放出効率の高い電子放出素子を提供する。
【解決手段】電子放出素子１は、電極基板２と薄膜電極３との間に電子加速層４を有する。電子加速層４は、絶縁体微粒子５とＡｌｑ_３６とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】排ガス中の炭素を主成分とする微粒子を捕捉し、捕捉した微粒子を酸化または酸化分解により酸素と結合した無害の低分子ガスにして、浄化対象ガスを浄化することができるガス浄化装置およびガス浄化方法を提供する。
【解決手段】ガス浄化装置１０は、炭素を主成分とする微粒子である粒子状物質（以下、ＰＭという）含む浄化対象ガスＥＧが導入されるガス流路２０を備えている。このガス流路２０には、ＰＭを帯電させるためのプラズマを発生する機構を備えたプラズマ発生部３０と、ＰＭを酸化反応させて分解する機構を備えた酸化分解処理部４０とを備えている。すなわち、ガス流路２０の一部は、プラズマ発生部３０および酸化分解処理部４０で構成されている。 （もっと読む）

【課題】高濃度の有効成分を保持する機能ミストを生成することのできる機能ミスト生成装置を提供する。
【解決手段】本発明の機能ミスト生成装置を、液体中に気体を加圧注入することで該液体にナノメータサイズの気泡が混合した気液混合液を生成する加圧部１１と、加圧部１１内にて加圧された状態にある気体に放電を生じさせる放電部３と、放電部３に高電圧を印加させる電圧印加部４と、放電により有効成分が生じた気体を加圧注入することで生成された気液混合液から成る機能液をさらにミスト化するミスト発生部９とを具備したものとする。 （もっと読む）

【課題】高効率の触媒反応を可能とする信頼性の高いマイクロリアクターと、そのようなマイクロリアクターを簡便に製造する方法を提供する。
【解決手段】マイクロリアクター１を、内部に触媒Ｃを担持した金属製のマイクロリアクター本体２と、このマイクロリアクター本体２の少なくとも１つの面に電気絶縁層１１を介して配設された発熱体１４とを有するものとし、電気絶縁層１１は、マイクロリアクター本体２側から軟質金属酸化物膜１２と金属酸化物膜１３が積層された多層構造とし、軟質金属酸化物膜１２の硬度は、ＳＡＩＣＡＳによる切削時の水平方向の荷重値が１〜１０ｍＮ／ｓの範囲、垂直方向の荷重値が１〜１０ｍＮ／ｓの範囲のものとする。 （もっと読む）

【課題】 高い洗浄処理能力を得ることができ、しかも、結合エネルギーが高い化学結合を有する有機化合物についても確実に除去することができる照射装置を提供する。
【解決手段】 放電容器および一対の電極を有するエキシマランプと、エキシマランプにおける一方の電極に誘電体を介して対向するよう配置されたプラズマ放電用電極とを備え、エキシマランプにおける一方の電極およびプラズマ放電用電極を介してプラズマ発生回路が形成されてなり、エキシマランプにおける一対の電極間に印加される高周波電界によって放電容器内にエキシマ放電が発生されると共に、エキシマランプとプラズマ放電用電極との間にプラズマ発生用反応性ガスが流過された状態で、エキシマランプにおける一方の電極とプラズマ放電用電極との間に印加された高周波電界によってプラズマ放電が発生されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高濃度の有効成分を含む微細気泡を液中において安定的に長期間存在させることができ、しかも、このような高濃度の有効成分を発生させるためのエネルギを低減することのできる機能液生成装置を提供する。
【解決手段】本発明の機能液生成装置を、液体中に気体を加圧注入することで該液体にナノメータサイズの気泡が混合した気液混合液を生成する加圧部１１と、加圧部１１内にて加圧された気体中に放電を生じさせる放電部３と、放電部３に高電圧を印加させる電圧印加部４とを具備したものとする。 （もっと読む）

【課題】このプラズマ反応器は，誘電体と柵状電極から成るプラズマ反応構造体を用いて，放電空間でプラズマ放電を所定の場所で所定の等間隔に安定して発生させ，しかも柵状電極の加工を容易にして製造コストを安価にする。
【解決手段】このプラズマ反応器は，柵状電極１，２を複数の柵６とそれらを連繋する導電体７から形成し，互いに対向する柵状電極１，２の柵６を互いに異なった方向の延ばして交差させる。柵状電極１，２間に誘電体３を挿入して形成したプラズマ反応構造体５を複数並列に配設してガスＧが通過できる放電空間１０を１層以上形成する。柵状電極１，２と誘電体３間，又は柵状電極１，２を覆った誘電体３間の放電空間１０にガスＧが通過させて柵状電極１，２に電圧をかけてプラズマ放電を発生させ，ガスＧを反応させる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ放電に伴う電気的ノイズの発生、改質効率の低下及びハニカム電極の劣化を抑制することができるプラズマリアクタを提供する。
【解決手段】被改質ガス２の導入口４及び改質ガス６の排出口８が形成された反応容器１０と、反応容器１０の内部空間に相対向するように配置された、プラズマを発生させる一対の電極１２と、一対の電極１２に対して電圧を印加するパルス電源１４と、被改質ガス２の改質反応を促進する触媒とを備え、一対の電極１２の一方は導電性セラミックスからなり、ガスの流路となる複数のセルが区画形成されたハニカム電極１２ｂであり、一対の電極の他方はハニカム電極１２ｂの端面と対向するように配置された対向電極１２ａであり、触媒がハニカム電極１２ｂの隔壁に担持されているとともに、ハニカム電極１２ｂが対向電極１２ａに対向する端面の中央部に凹曲面３０Ａが形成されたものであるプラズマリアクタ１Ａ。 （もっと読む）

本発明は、第１の電極（１０６）と第２の電極（１０７）と機能媒体を有するそれらの間の電極間ギャップ（１１）とを有するエネルギ変換システムに関し、第１の電極（１０６）が、全長Ｌ、湾曲断面及び曲率半径Ｒを有し、多少の開口パターンを有する頑丈な組み立て構造に構成され、任意の場所で同じ電位を有し得ることで前記第１の電極（１０６）を構成する少なくとも１の細長い導電手段で作成される。このシステムは、Ｒが４０×１０^−６ｍ（４０マイクロメートル）よりも小さく、電極間ギャップが１×１０^−９ｍ乃至５×１０^−３ｍ（１ナノメートル乃至５ミリメートル）の厚さを有し、第１の電極（１０６）の前記少なくとも１の導電手段の全長Ｌが１×１０^３ｍ（１キロメートル）よりも長く、Ｌ／Ｒ比が１０^６（１００万）よりも大きく、第１の電極（１０６，３０６）が、ナノメートル乃至ミリメートル規模で、第２の電極（１０７）によって感知される電場の顕著な増加を発生させる。 （もっと読む）

【課題】絶縁破壊が発生し難いと共に、容易で安価に製造でき、安定かつ良好な量の電子放出が可能な電子放出素子を提供する。
【解決手段】電子放出素子１は、電極基板２と薄膜電極３との間に、絶縁体微粒子５を含み、かつ導電微粒子を含まない電子加速層４を有する。電子放出素子１は、電極基板２と薄膜電極３との間に電圧を印加すると、電子加速層４で電子を加速させて、薄膜電極３から電子を放出する。 （もっと読む）

【課題】微細気泡の発生方法および微細気泡発生装置において、簡単かつ小型の機器構成で、液体の物性による制約が少なく広範囲の種類の液体に適用可能とし、微細気泡を安定的に発生可能とする。
【解決手段】本方法は、弾性表面波Ｗを励振するための複数の櫛歯状の電極２１を表面Ｓに備えた圧電基板２を液体１０中に配置し、電極２１によって表面Ｓに弾性表面波Ｗを励振し、液体１０中で表面Ｓを伝播する弾性表面波Ｗによって液体１０中に微細気泡Ｂを発生させる。液体１０中の圧電基板２の表面Ｓを伝播する弾性表面波Ｗによって微細気泡Ｂを発生させるので、旋回流を起して剪断力を発生させるために用いる高圧ポンプなどの機械的な動作を行う機器が不要であり、簡単かつ小型の機器構成で微細気泡を安定的に発生させることができる。 （もっと読む）

【課題】オゾンよりも短い所定の寿命を有する活性粒子の発生密度および発生効率を向上させることができる活性粒子発生装置を提供する。
【解決手段】接地電極１と、空隙を介して接地電極１と対向し、空隙側の表面が誘電体４で覆われた高圧電極２との間に、高電圧を印加して誘電体バリア放電を生じさせるとともに、空隙に原料ガス８を供給して、誘電体バリア放電により活性粒子を発生させる活性粒子発生装置であって、活性粒子の寿命を、原料ガス８が空隙に滞在する平均時間で除した値が０．１以上１０以下であり、接地電極１および高圧電極２の単位面積に供給される放電電力が、原料ガス流の上流側から下流側に向けて増加されるものである。 （もっと読む）

ナノワイヤの沈着のための方法、システム、および装置が提供されている。沈着システムは、閉鎖流路、入口ポート、および電気信号源を備えている。上記入口ポートは、上記流路にナノワイヤを含む懸濁液を供給する。上記電気信号源は、上記電極対に上記懸濁液からの少なくとも１つのナノワイヤを付随させるための電場を生成するために、上記流路中の上記電極対に接続されている。上記沈着システムは、複数の溶液タイプを受容するように構成されていること、様々な電極の形状を有していること、回転可能な流路を有していること、追加の導電体を有していること、および他の側面を含んだ様々な他の特徴を含んでいてもよい。
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【課題】簡易かつ低コストで、導電微粒子を少量かつ所望の領域に均一に存在させることができ、安定かつ良好な電子放出できる電子放出素子を製造する方法を提供する。
【解決手段】電子放出素子１の電子加速層４の形成工程は、絶縁体微粒子５が分散された分散液を塗布して絶縁体微粒子５を含む微粒子層を形成する微粒子層形成工程と、この微粒子層に、導電微粒子６の分散液をインクジェット法にて塗布する導電微粒子塗布工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】簡易に形成でき、電子加速層や薄膜電極の劣化を防止でき、耐久性が高く、長期に渡って安定した電子放出が可能な電子放出装置を提供する。
【解決手段】電子放出装置１０では、電極基板２と薄膜電極３とに挟持された電子加速層４は、導電微粒子６と該導電微粒子６の平均粒径よりも大きい平均粒径の絶縁体微粒子５とを含んでおり、電源部７は、薄膜電極３側が負となるように電極基板２と薄膜電極３との間に電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】プラズマの発生に影響を与える処理対象ガスの複数種類の環境要素の変化に対して、ガス処理能力を適切に調整する。
【解決手段】ハニカム構造体４の上流側に風速センサ２１と湿度センサ２２と温度センサ２３を設け、風速センサ２１が検出する処理対象ガスＧＳの風速、湿度センサ２２が検出する処理対象ガスＧＳの湿度、温度センサ２３が検出する処理対象ガスＧＳの温度を制御部ＣＮＴへ与える。制御部ＣＮＴにおいて、処理対象ガスＧＳの風速，湿度，温度に基づいて風速，湿度，温度毎に現在のプラズマの発生状況を判断し、この風速，湿度，温度毎の現在のプラズマの発生状況の判断結果を総合的に判断し、この総合的な判断結果に基づいて高電圧印加部２０からのハニカム構造体４の電極８と電極９との間への高電圧を制御する（印加時間や休止期間を制御する）。 （もっと読む）

【課題】排ガスの浄化システムに利用した場合に、その浄化システムをできるだけ小型化できるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】 本発明の放電装置は、第１誘電性部材と、空間を介して第１誘電性部材に対向する第２誘電性部材と、第１誘電性部材の内部又は表面に設けられ、交流電位に応じて空間にプラズマを発生させ、直流電位に応じて空間に電界を生じさせる第１電極群と、第２誘電性部材の内部又は表面に設けられ、交流電位に応じて空間にプラズマを発生させ、直流電位に応じて空間に電界を生じさせる第２電極群と、第１電極群および第２電極群の一方に交流電位を供給し、第１電極群および第２電極群の他方に直流電位を供給し、第１電極群と第２電極群との間で交流電位と直流電位とを切り換える切換部とを有する。 （もっと読む）

【課題】気流を発生させる際の放電によって発生するオゾンを分解することができる気流発生装置を提供する。
【解決手段】気流発生装置１０は、固体からなる誘電体２０と、誘電体２０の一方の表面２０ａに設けられた第１の電極３０と、誘電体２０の他方の表面２０ｂ近傍に、第１の電極３０に対設された第２の電極３１と、誘電体２０の一方の表面２０ａ上に形成されたオゾン分解層４０とを備える。気流発生装置１０は、第１の電極３０と第２の電極３１との間に電圧が印加されることで、誘電体２０の一方の表面近傍の気体の一部をプラズマ化し気流を発生させる。 （もっと読む）