【課題】 ラフネス特性、露光ラチチュード、焦点深度及び現像欠陥性能に優れ且つ良好な形状の微細な孤立ラインパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】 酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する構造部位（Ｓ１）と、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液中への溶解速度が増大する構造部位（Ｓ２）とを備えた繰り返し単位（Ａ）を含み、繰り返し単位（Ａ）の含有率が樹脂中の全繰り返し単位に対し、３０ｍｏｌ％未満である樹脂（Ｐ）を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】ラフネス特性、露光ラチチュード、焦点深度及び現像欠陥性能に優れ且つ良好な形状の微細な孤立スペースパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する構造部位（Ｓ１）と、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液中への溶解速度が増大する構造部位（Ｓ２）とを備えた繰り返し単位（Ａ）を含み、繰り返し単位（Ａ）の含有率が樹脂中の全繰り返し単位に対し、３０ｍｏｌ％以上である樹脂（Ｐ）を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】感度、ＰＥＢ温度依存性及びラフネス特性に優れ且つ良好な形状のパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性組成物、並びに、これを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る感活性光線性又は感放射線性組成物は、下記一般式（Ｂ−Ｉ）により表され、活性光線又は放射線の照射により分解して一般式ＨＢ_Ａにより表される化合物を発生する第１化合物を含有している。
【化１】
（もっと読む）

【課題】生産性を低下させずに、重合体中に残存する未反応の単量体成分を低減できる重合体の製造方法を提供する。
【解決手段】重合溶媒中にて、重合開始剤の存在下で、単量体を重合反応させて重合体を生成する重合工程と、前記重合工程で得られた反応溶液を貧溶媒中に供給して再沈殿させる精製工程を有する、重合体の製造方法であって、前記重合工程において、前記単量体の一部または全部が滴下により供給され、かつ前記重合反応に供される、重合溶媒の質量が単量体全体の質量の２．０倍以下であることを特徴とする重合体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】電圧の印加により光透過率が変化し、着色時の刺激純度が低い調光シート及び該調光シートを備える調光体を提供する。また、該調光シートを用いた合わせガラス用中間膜及び該合わせガラス用中間膜を備える合わせガラスを提供する。
【解決手段】エレクトロクロミック化合物を含有するエレクトロクロミック層と、支持電解質塩とエレクトロクロミック層の色調を補正する色調補正剤とを含有する色調補正電解質層とが積層されていることを特徴とする調光シート。 （もっと読む）

【課題】塗布膜厚の均一性が改善され、且つ、液浸露光により形成されたパターンのウエハー面内における寸法均一性に優れるパターンを提供可能な感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】（Ａ）下記一般式（Ａ１）で表される繰り返し単位を含み、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する化合物、及び（Ｃ）フッ素原子を有する基で置換されたラクトン構造を有する繰り返し単位を含む樹脂を含有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。（式中、Ｒ_１は水素原子、アルキル基、フッ化アルキル基、ハロゲン原子又はＣＨ_２ＯＨを表す。Ｒ_２はアルキレン基、シクロアルキレン基、またはそれらを組み合わせた２価の連結基を表す。ｎは０〜５の整数を表す。ｎが２以上の場合、複数のＲ_２は同一でも異なっていてもよい。）
【化１】
（もっと読む）

【課題】単安定性を示す強誘電性液晶を用いた液晶表示素子において、強誘電性液晶の自発分極の向きを制御することが可能な液晶表示素子を提供する。
【解決手段】第１基材と、第１基材上に形成された第１電極層２ａと、第１電極層上に形成された第１配向膜３ａとを有する第１配向処理基板、および、第２基材と、第２基材上に形成された第２電極層２ｂと、第２電極層上に形成された第２配向膜３ｂと、第２配向膜上に形成され、反応性液晶を固定化してなる反応性液晶層４とを有する第２配向処理基板を、第１配向膜と反応性液晶層とが対向するように配置し、第１配向膜と反応性液晶層との間に強誘電性液晶を挟持してなる液晶表示素子であって、強誘電性液晶が単安定性を示すものであり、第２電極層が負極となるように電圧を印加したときに、強誘電性液晶の分子方向が上記第１配向処理基板面に対して平行に強誘電性液晶のチルト角の約２倍変化する。 （もっと読む）

【課題】高エネルギー密度コンデンサーの性能要件を満たすように、良好な電気的特性及び良好な機械的特性を有するシアノレジンフィルムを提供する。
【解決手段】ポリマー側鎖の約１０％〜約６０％がシアノ基を含み、残りのポリマー側鎖の実質的にすべてがヒドロキシル基を含むシアノレジンポリマーについて記載する。また、かかるシアノレジンポリマーを形成する方法について記載する。さらに、かかるシアノレジンポリマーを含む誘電体フィルムを有するコンデンサーについても記載する。 （もっと読む）

【課題】パターン形成方法の提供。
【解決手段】支持体上に、第一のポジ型レジスト組成物を塗布して第一のレジスト膜を形成し、第一のレジスト膜を露光し、露光後ベークを行い、アルカリ現像して第一のレジストパターンを形成する工程（１）と、第一のレジストパターンが形成された支持体上に、第一のレジスト膜を溶解しない有機溶剤を含有する第二の膜形成用組成物を塗布して第二の膜を形成し、アルカリ現像することによりレジストパターンを形成する工程（２）とを有し、第一のポジ型レジスト組成物は、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分及び露光により酸を発生する酸発生剤成分）を含有するポジ型レジスト組成物であって、基材成分が酸解離性溶解抑制基を含むアクリル酸エステルから誘導される構成単位を有する樹脂成分を含有することを特徴とするパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】螺旋誘起力が大きく、他の液晶化合物との溶解性に優れ、重合性を有する液晶性化合物及び重合体を提供する。
【解決手段】式（１）で表される化合物。この化合物を含有する液晶組成物、およびこの化合物または組成物を重合させることによって得られる重合体。


式（１）において、Ｑ^１〜Ｑ^４は独立して、式（２）、水素、ハロゲン、アルキルなどであり、Ｑ^１〜Ｑ^４の少なくとも２つはそれぞれ異なる基を表してもよい式（２）であり；式（２）において、Ａは独立して、１，４−シクロへキシレン、１，４−フェニレンなどであり；Ｘは独立して、単結合、アルキレンなどであり；Ｚは、単結合、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−などであり；ｎは、０〜３の整数であり；Ｐは、３種類の重合性基である。 （もっと読む）

【課題】 露光前後のアルカリ溶解速度コントラストが高く、高感度で高解像性を有し、ラインエッジラフネスが小さい、特に超ＬＳＩ製造用あるいはフォトマスクパターン作製における微細パターン形成材料として好適なネガ型レジスト材料、特に化学増幅ネガ型レジスト材料、これを用いたパターン形成方法及びフォトマスクブランクを提供する。
【解決手段】 少なくとも、下記一般式（１）で示される繰り返し単位ａを含む、重量平均分子量が１，０００〜５００，０００の範囲である高分子化合物を含むことを特徴とするネガ型レジスト材料。
【化１】
（もっと読む）

【課題】硬化した硬化物が比較的高い屈折率と十分な帯電防止能とを併せもつことができる硬化性組成物を提供する。
【解決手段】分子中にフルオレン骨格及び複数の重合性不飽和二重結合を有する重合性フルオレン化合物と、周期律表１５族元素のうちの少なくとも１種、好ましくはリン、が金属酸化物にドープされてなる粒子状のドープ金属酸化物とを含む、さらに好ましくは、ドープされていない粒子状の周期律表４族金属原素の金属酸化物を含む、硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】パターン転写性に優れたインプリント用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】インプリント用硬化性組成物において、（Ａ）重合性単量体および（Ｂ）重合開始剤を含有し、かつ、前記（Ａ）重合性単量体の少なくとも１種を繰り返し単位として含むポリマーを実質的に含有しないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】線幅感度、直線性に優れ、加熱後のしわ発生が抑制されたパターンを形成しうる、カラーフィルタに有用な着色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）着色剤、（Ｂ−１）一般式（Ｉ）で表され、酸性基を有するバインダー樹脂、（Ｂ−２）一般式（ＩＩ）で表される構造単位と酸性基を有する構造単位とを含むバインダー樹脂、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）オキシム系光重合開始剤、及び（Ｅ）溶剤を含有し、（Ｂ−１）：（Ｂ−２）の含有比が３：７〜７：３である着色感光性樹脂組成物。
（もっと読む）

【課題】シリカ系無機充填剤等の各種無機充填剤との親和性に優れ、加硫物としたときに、ウェットスキッド特性と低ヒステリシスロス性とのバランスに優れ、実用上十分な耐摩耗性及び破壊強度を満足する変性共役ジエン系重合体を提供する。
【解決手段】ポリビニル芳香族化合物とリチウムとのモル比（ポリビニル芳香族化合物／リチウム）が０．０５〜１．０の範囲で調製された多官能アニオン重合開始剤を用いて、共役ジエン化合物を重合、又は共役ジエン化合物と芳香族ビニル化合物とを共重合することによって得られる共役ジエン系重合体の重合活性末端に、特定の化合物を反応させることにより得られる変性共役ジエン系重合体を提供する。 （もっと読む）

【課題】 露光ラチチュード（ＥＬ）及びデフォーカス余裕度（ＤＯＦ）に優れたパターンを形成可能とするパターン形成方法並びにレジスト組成物を提供する。
【解決手段】 本発明に係るパターン形成方法は、（Ａ）レジスト組成物を用いて膜を形成することと、（Ｂ）前記膜を露光することと、（Ｃ）有機溶剤を含んだ現像液を用いて前記露光された膜を現像することとを含んでいる。上記レジスト組成物は、（ａ）酸の作用により分解する樹脂であって、下記式（１）により表されるΔＳＰが２．５（ＭＰａ）^１／２以上である樹脂と、（ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、（ｃ）溶剤とを含有している。 （もっと読む）

【課題】酸分解性基を含有するラクトン化合物を高収率で得ることができる製造方法、及び、レジスト性能が改善された感活性光線性または感放射線性樹脂組成物の製造方法を提供すること
【解決手段】下記一般式（ＩＢ）で表される化合物の製造方法であって、下記一般式（ＩＡ）で表される化合物を用いる製造方法。
【化１】


式中、Ｑは、重合性基を表す。Ｌ_１は、ｍが２以上の場合は各々独立に、連結基を表す。Ｌｃはラクトン構造を有する基を表す。Ａ_１は酸の作用により脱離する基、又は酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する基を有する基を表す。ｍは０以上の整数を表す。 （もっと読む）

【課題】 コレステリック反射フィルムの選択反射の波長領域を容易に拡大し、かつ、生産性に優れた重合性液晶組成物提供し、併せて、当該重合性液晶組成物をを用いた外観の優れたコレステリック反射フィルム及び反射型偏光板を提供する。
【解決手段】 ａ）重合性官能基を１つのみ有し、かつ、トラン骨格を有する液晶化合物を１種又は２種以上含有し、ｂ）重合性官能基を１つのみ有し、トラン骨格を含まない液晶化合物を１種又は２種以上含有し、ｃ）重合性官能基を２つ以上有する液晶化合物を１種又は２種以上含有し、ｄ）重合性官能基を１つ以上有するキラル化合物を１種又は２種以上含有し、ｅ）重合開始剤を１種又は２種以上含有することを特徴とする重合性液晶組成物。 （もっと読む）

【課題】現像性が改善され、更に、液浸露光時に於ける液浸液に対する追随性が良好なパターンを形成することが可能な感活性光線性または感放射線性樹脂組成物、及び該組成物を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】下記一般式（Ｉ）で示される繰り返し単位を有する樹脂（Ｂ）と、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂（Ａ）と、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物とを含有する感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。


（式中、Ｘは、置換基を有していてもよいアルキレン基、酸素原子または硫黄原子を表す。Ｙは、電子求引性基を表す。Ｒｆは、構成炭素上の水素原子の一部または全部がフッ素原子で置換された直鎖状、分岐状または環状の炭化水素基を表す。ｎは、０以上の整数を表す。） （もっと読む）

【課題】本転がり抵抗と耐摩耗性が高いレベルでバランスしたタイヤを提供する。
【解決手段】燃焼ガス生成帯域内で高温燃焼ガスを生成させ、次いで反応帯域に原料を噴霧導入してカーボンブラックを含む反応ガス流を形成させたのち、反応停止帯域にて、多段急冷媒体導入手段により、該反応ガス流を急冷して、反応を終結させることにより得られたカーボンブラックを特定の割合で含み、かつゴム成分として、天然ゴムラテックスを酸化した後、極性基含有ヒドラジド化合物を天然ゴムの分子鎖の末端に付加させてなる変性天然ゴムを含むゴム組成物であって、前記ゴム配合用カーボンブラックが、関係式、（１）１０＜Ｘ＜４０、および、（２）９０＜Ｚ＜１００、を満たす。Ｘは原料導入位置から、第１番目の急冷媒体導入後のカーボンブラックのトルエン着色透過度（％）を示し、Ｚは、最後の急冷媒体導入後のカーボンブラックのトルエン着色透過度（％）を示す。 （もっと読む）