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Fターム[4J100BC01]の内容

付加系(共)重合体、後処理、化学変成 (209,625) |  (19,108) | 飽和脂環 (7,963)

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【課題】優れたパターン倒れ耐性(PCM)で、欠陥の少ないレジストパターンを製造することができるレジスト組成物の提供。
【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂(但し、式(I)で表される構造単位を含まない)及び式(II)で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。


[式中、Rは、水素原子又はメチル基;Aはアルカンジイル基を表す。] (もっと読む)


【課題】特定の構造を有するアクリル系共重合体、およびこの共重合体を用いることにより、放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性を有する樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記式で表される繰り返し単位を含むアクリル系共重合体およびこの共重合体を用いた感放射線性樹脂組成物。
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【課題】新規化合物、高分子化合物、レジスト組成物、酸発生剤及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】式(1−1)で表される化合物[式中、R、Rはそれぞれ独立に、単結合又は2価の連結基であり、Aは2価の連結基であり、R、Rはそれぞれ独立に、水酸基、置換基を有していてもよい炭化水素基、又は式(1−an1)、(1−an2)又は(1−an3)で表される基である。n0は0又は1である。Y1は単結合又は−SO−であり、Rはフッ素原子で置換されていてもよい、炭素数1〜10の1価の炭化水素基、炭素数3〜20の環状の1価の炭化水素基、又は炭素数3〜20の環状の部分構造を有する1価の炭化水素基である。Mは有機カチオン又は金属カチオンである]。
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【課題】低色分散、高光線透過率等の優れた光学特性を有し、光学レンズ・プリズム材料に求められる種々の特性バランスに優れ、さらに湿熱条件のような厳しい実使用条件でも屈折率の分岐を生じることなく、高度の光学特性を維持した新規な多官能(メタ)アクリル酸エステル共重合体と、それを使用した硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】脂環式構造を有する単官能(メタ)アクリル酸エステル(a)、2官能(メタ)アクリル酸エステル(b)と、2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン(c)及びチオール化合物(d)を含む成分を共重合して得られる共重合体であって、側鎖に2官能(メタ)アクリル酸エステル(b)由来の反応性の(メタ)アクリレート基を有し、末端に2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン(c)及びチオール化合物(d)由来の構造単位を有する共重合体、及びこれを含む硬化性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】通常露光(ドライ露光)のみならず液浸露光に於いても、プロファイルの劣化が少なく、パターン倒れが改良され、スカムの発生が抑制された、レジスト組成物及び該レジスト組成物を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(A)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(C)疎水性樹脂及び
(D)溶剤を含有し、樹脂(A)の重量平均分子量と疎水性樹脂(C)の重量平均分子量との差が、下記式を満たすレジスト組成物及び該レジスト組成物を用いたパターン形成方法。
樹脂(A)の重量平均分子量 − 疎水性樹脂(C)の重量平均分子量 ≧3000 (もっと読む)


【課題】ダブルパターニングプロセスにおいて、2回目以降のパターニングの影響を受けにくいレジストパターンを形成できるレジストパターン形成方法、及びこれに用いる樹脂の精製方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、樹脂(A1)と有機溶剤(S1)とを含有する第一のレジスト材料を用いて第一のレジストパターンを形成する工程と、前記第一のレジストパターンが形成された前記支持体上に、樹脂(A2)と、該樹脂(A2)を溶解し且つ前記樹脂(A1)を溶解しない有機溶剤(S2)とを含有する第二のレジスト材料を用いてレジストパターンを形成する工程とを含むレジストパターン形成方法であって、前記樹脂(A1)を、該樹脂(A1)を溶解せず且つ前記樹脂(A2)を溶解する有機溶剤(W)を含有する洗浄液で洗浄することにより精製して前記第一のレジスト材料に配合することを特徴とするレジストパターン形成方法。 (もっと読む)



【課題】本発明は、撥水撥油組成物を提供することを課題とする
【解決手段】下記一般式(1)で表される含フッ素オリゴマー及び有機溶剤を含むPTFE微粒子の分散剤。
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【課題】耐光性や耐熱性及び形状保持性にも優れた成形体を短時間で形成することができる樹脂組成物の提供。
【解決手段】該組成物は、脂肪族(メタ)アクリレート系オリゴマー(A)と、(メタ)アクリレート系モノマー(B)及び/又はα−メチレンラクトン構造を有するモノマー(C)とを含み、モノマー(C)は、下記一般式(1);[化1]


(式中、R、R、R及びRは、同一若しくは異なって、水素原子、炭素数が1〜20のアルキル基、アリール基、シクロアルキル基、−OAc基、−CN基、−CO−R基、又は、−C−O−R基を表す。Ac基はアセチル基を表す。)で表されるモノマーである成形用アクリル樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】アクリル系高分子化合物よりも水分保持能が向上し、皮膚外用剤や化粧料に配合した場合には、該皮膚外用剤や化粧料に保湿性や粘性を付与し、使用感に優れる親水性高分子化合物を提供する。
【解決手段】水分保持能が非常に高いピログルタミン酸に重合性基を導入して重合性単量体化し、別の重合性単量体と共重合させることで、水又は水アルコール溶液に可溶であるか、或は、水又は水アルコール溶液中で膨潤するという性質を有する親水性高分子化合物を得る。 (もっと読む)


【課題】 基材に対する密着性に優れるとともに、耐熱性、耐薬品性、特に耐溶剤性試験後の基材への密着性に優れた硬化物の得られる共重合体を提供する。
【解決手段】 本発明の共重合体は、イソシアネート基又はブロックされたイソシアネート基を有するビニル単量体Aに対応するモノマー単位、下記式(1)
【化1】


(式中、Raは水素原子又は炭素数1〜7のアルキル基を示し、Aは単結合又は2価の炭化水素基を示す。Rb、Rcは、同一又は異なって、炭素数1〜6のアルキル基、アリール基又は炭素数1〜6のアルコキシ基を示し、Rdは炭素数1〜6のアルキル基を示す。xは0又は1であり、yは1〜10の整数である)
で表されるアルコキシシリル基含有ビニル単量体Bに対応するモノマー単位、及び3〜5員の環状エーテル基を有するビニル単量体Cに対応するモノマー単位を少なくとも含む。 (もっと読む)


【課題】ウォーターマーク欠陥やBlob欠陥等を抑制することができる上層膜用組成物を提供すること。
【解決手段】一般式(1)及び(2)で表される単位のいずれか、並びにそれ以外の特定の単位を有する重合体(A)を含む重合体と溶剤とを含有する上層膜用組成物。
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【課題】ポリカーボネート系樹脂の原料モノマーであるカーボネート基含有化合物及びその(共)重合体を効率よく製造する方法の提供。
【解決手段】ノルボルネン系置換基を有するエポキシ化合物と二酸化炭素とを反応させることによるノルボルネン系置換基を有するカーボネート基含有化合物の製造方法、及び該ノルボルネン系置換基を有するカーボネート基含有化合物を重合又は共重合(特に、付加重合、付加共重合、開環メタセシス重合又は開環メタセシス共重合)させることによるノルボルネン系(共)重合体の製造方法。該エポキシ化合物は、ノルボルネン系アルデヒドと式(4)で表される硫化メチレン化合物とを反応させて得ることができる。


該硫化メチレン化合物は、トリメチルスルフィドと強塩基とを反応させて得ることができる。 (もっと読む)


【課題】レジスト組成物用の酸発生剤として有用な新規な化合物、酸発生剤、レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】下記一般式(B1−1)で表される化合物。該化合物からなる酸発生剤。該化合物からなる酸発生剤を含有するレジスト組成物。式中、Rは、置換基を有していてもよい炭化水素基であり;Qは置換基を有していてもよい炭素数1〜12のアルキレン基または単結合であり;nは0または1であり;Yは炭素数1〜4のアルキレン基またはフッ素化アルキレン基であり;Aは窒素原子を含有する有機カチオンである。
[化1]
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【課題】光開始剤を含有せず、硬化時に不快な臭気を発せず、黄変を起こさず、または水または溶媒との接触時に材料をしみ出させない活性な水相溶性エネルギー硬化性組成物を提供する。
【解決手段】実用的な強度およびエネルギーレベルで硬化することが可能な、マレイミド誘導体、水相溶性樹脂および水から構成される活性な水相溶性エネルギー硬化性組成物、およびそれを硬化させる方法。 (もっと読む)


【課題】めっき触媒等の金属に対して十分な吸着性を有し、更に、重合性にも優れた新規ポリマーを提供すること。
【解決手段】下記式(1)で表されるユニット、及び、下記式(2)で表されるユニットを含むことを特徴とするポリマー。
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【課題】高い放射線感度を有し低露光量であっても寸法精度および強度に優れ、現像工程やラビング工程においてパターンが剥離することがなく、しかも加熱工程において昇華物が発生のない感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】上記感放射線性樹脂組成物は、(A)(a1)不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物よりなる群から選択される少なくとも1種と、(a2)他の不飽和化合物との共重合体、(B)重合性不飽和化合物、(C)感放射線性重合開始剤、ならびに(D)下記式(1)


(式(1)中、「*」は結合手であることを示す。)で表される構造を有する化合物を含有する。 (もっと読む)


【課題】微細パターン(特に線幅100nm以下)の形成においても、ラインエッジラフネスが改良されたレジスト組成物を調製することができる、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂の製造方法、該製造方法によって製造された樹脂、該樹脂を含有するレジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(A)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を重合によって製造する方法であって、溶媒として、特定の、スルホン構造を有する化合物を用いる樹脂の製造方法、該製造方法によって製造された樹脂、該樹脂を含有するレジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】ビタミンB12修飾ハイパーブランチポリマーおよび脱ハロゲン化触媒を提供する。
【解決手段】高度分岐高分子であるハイパーブランチポリマーにビタミンB12化合物を共有結合で固定化し、高い触媒効率と、これまでの単分子触媒とは異なる生成物選択性を有する新規ハイブリッド触媒の提供、およびビタミンB12化合物を高分子に固定化することで、ビタミンB12触媒を容易に回収・再利用できる方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】熱風中で連続的に架橋し、架橋物の表面に粘着性がなく、内部に異常な発泡を起こすこがなく、耐熱性、圧縮永久歪に優れ、特に薄ものゴム製品に好適な、押し出し加工性に優れた架橋物が得られるエチレンープロピレン系共重合ゴム組成物を提供する。
【解決手段】(A)(a1)エチレン由来の構成成分40〜80質量%、(a2)プロピレン由来の構成成分20〜60質量%、及び、(a3)官能基含有オレフィン化合物由来の構成成分0.1〜10質量%(ただし、(a1)〜(a3)の合計は100質量%)を含有するエチレン−プロピレン系共重合ゴム、(B)有機過酸化物、並びに(C)金属酸化物を含有するエチレン−プロピレン系共重合ゴム組成物である。 (もっと読む)


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