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Fターム[4J100FA19]の内容

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Fターム[4J100FA19]に分類される特許

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【課題】高解像のパターンを良好な形状で形成でき、PEB温度のパターン寸法への影響も少ないレジスト組成物、該レジスト組成物を用いるレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】露光により酸を発生し、且つ、酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)を含有するレジスト組成物であって、前記基材成分(A)が、下記一般式(a0−1)又は(a0−2)で表される基を含む構成単位(a0)と、酸の作用により極性が増大し且つ多環式基を含む酸分解性基を含む構成単位(a11)と、酸の作用により極性が増大し且つ単環式基を含む酸分解性基を含む構成単位(a12)と、を有する共重合体(A1)を含有するレジスト組成物。式中の基−R−S(R)(R)、Mm+はそれぞれ、全体で芳香環を1個のみ有するか又は芳香環を有さない。
[化1]
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【課題】光酸発生剤を用いずに、特定の部分をアルカリ溶液で溶解して除去した高分子膜の提供。
【解決手段】(A)窒素カチオンを有するオニウム塩と(B)アルカリ難溶性樹脂を含有する組成物を支持体の上に適用して膜を形成すること、および上記膜の表面の一部または全部に、プラズマを照射してプラズマ照射した部分をアルカリ溶液で溶解除去することを含む高分子膜の製造方法。 (もっと読む)


【課題】低燃費性、ウェットグリップ性能、ドライグリップ性能及び耐摩耗性をバランス良く改善できるタイヤの提供。
【解決手段】ゴム成分及びシリカを含有し、ゴム成分は、共役ジエンに基づく構成単位と下式(I)で表される構成単位とを含み、下式(II)で表される基を有する化合物によって重合体が変性されてなり、シリカの分岐粒子間の平均長Wが30〜400nm。


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【課題】レジスト組成物、レジストパターン形成方法、高分子化合物、新規な化合物の提供。
【解決手段】露光により酸を発生し、酸の作用により現像液に対する溶解性が変化するレジスト組成物であって、酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)を含有し、基材成分(A)は、式(a0−1)で表される構成単位(a0−1)を有する樹脂成分(A1)を含有する[式中、Rは水素原子、炭素数1〜5のアルキル基又は炭素数1〜5のハロゲン化アルキル基]。
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【課題】疎水性が高く液浸水への溶出が低く、酸拡散制御による、高解像性パターンプロファイルの構築。
【解決手段】(A)式(1−1)の化合物(B)式(1−2)で示される酸発生剤、(C)ベース樹脂、(D)有機溶剤を含有するArF液浸露光用化学増幅ポジ型レジスト材料。


(Arはアリール基。)


(R1はアルキル基、アルケニル基又はアラルキル基。R2は水素原子又はトリフルオロメチル基。Arはアリール基。) (もっと読む)


【課題】良好なウェットグリップ性能を維持又は改善しつつ、耐摩耗性を向上できるタイヤ用ゴム組成物、及びこれを用いたタイヤを提供する。
【解決手段】ゴム成分、シリカ、ジエン系重合体と、水酸化アルミニウムを含み、前記ジエン系重合体が、下記(A)と(B)を反応させて得られる変性されたジエン系重合体であり、前記ジエン系重合体の数平均分子量が1000〜100000であり、ゴム成分100質量部に対する前記ジエン系重合体の含有量が2〜200質量部であるタイヤ用ゴム組成物。(A):下記(C)の存在下に、共役ジエンモノマー又は共役ジエンモノマーと芳香族ビニルモノマーとを重合させることにより得られるアルカリ金属末端を有する活性共役ジエン系重合体。(B):官能基を有する変性剤。(C):下記式(1)で表される化合物と有機アルカリ金属化合物を反応させて得られる化学種。
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【課題】EUV用又はEB用として有用なレジスト組成物、及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】一般式(a5−0−1)又は(a5−0−2)で表される基を含む構成単位(a5)を有する重合体(A1)を含有し、該構成単位(a5)を誘導するモノマー量が、該重合体(A1)に対して100ppm以下であるレジスト組成物。式中、Q及びQは単結合又は2価の連結基である。R、R及びRは有機基であり、RとRとは相互に結合して式中のイオウ原子と共に環を形成してもよい。ただし、式中の基−R−S(R)(R)は全体で芳香環を1個のみ有するか又は芳香環を有さない。
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【課題】本発明は、シリカ系無機充填剤等の各種無機充填剤との親和性に優れ、加硫物としたときに、転がり抵抗特性と、押し出し加工性、耐疲労性及び耐カット性のバランスが高度に優れるタイヤサイドウォール用変性共役ジエン系重合体組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のタイヤサイドウォール用変性共役ジエン系重合体組成物は、(A)特定の多官能性アニオン重合開始剤を用いて重合して得られる重合体の重合活性末端を特定の官能基を有する化合物で変性することによって得られる変性共役ジエン系重合体10〜90質量部、並びに(B)天然ゴム、ハイシスポリブタジエンゴム及びポリイソプレンからなる群より選ばれる少なくとも1種のゴム状重合体10〜90質量部を含有するゴム成分100質量部に対し、シリカ系無機充填剤0.5〜300質量部を含む。 (もっと読む)


【課題】転がり抵抗特性、押し出し加工性、及び耐カット性のバランスが高度に優れるサイドウォール用ゴム組成物を提供すること。
【解決手段】(A)アニオン重合開始剤を用いて、共役ジエン化合物を重合することによって、又は共役ジエン化合物と芳香族ビニル化合物とを共重合することによって得られる共役ジエン系重合体の重合活性末端に、シリル基に結合したアルコキシ基の総数が4個以上であり、1つ以上の窒素原子を有する化合物を反応させてなる変性共役ジエン系重合体を20質量%以上含有するゴム成分30〜70質量部、及び(B)天然ゴム、ハイシスポリブタジエンゴム、ポリイソプレンから選ばれる少なくとも1種のゴム状重合体70〜30質量部からなるゴム組成物と、(C)シリカ系無機充填剤を含むサイドウォール用ゴム組成物。 (もっと読む)


【課題】接着性能を満足し、かつ低誘電率で、耐加湿信頼性を有する粘着剤層を実現することができる粘着剤を提供すること。
【解決手段】炭素数10〜18のアルキル基をエステル末端に有するアルキル(メタ)アクリレートを30〜99.5重量%および環状窒素含有モノマーを0.5〜50重量%を含むモノマー成分を重合することにより得られた(メタ)アクリル系ポリマーを含むことを特徴とする粘着剤。 (もっと読む)


【課題】低ヒステリシスロス性能とウェットスキッド抵抗性能に優れ、これらの性能バランスに優れ、耐摩耗性と破壊強度とのバランスに優れた変性共役ジエン系重合体組成物、これを構成する、耐コールドフロー性に優れた変性共役ジエン系重合体、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】アニオン重合開始剤を用いて、共役ジエン化合物を重合、又は共役ジエン化合物と芳香族ビニル化合物とを共重合することによって得られる共役ジエン系重合体を得る工程と、アルコキシシリル基と窒素原子とを有する変性剤を、2回以上に分けて分割添加し、前記共役ジエン系重合体の活性末端に、前記変性剤を反応させる工程と、
を、有する変性共役ジエン系重合体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】MEEF、DOF及び解像性に優れるフォトレジスト組成物、並びにこのフォトレジスト組成物を用いたレジストパターンの形成方法の提供。
【解決手段】[A]側鎖にスルホラクトン環を有するノルボルナン環を有する(メタ)アクリレート単位(I)、単環の脂環式基を有する酸解離性基を含む構造単位(II)及びラクトン基を含む構造単位(III)を有する重合体、並びに[B]感放射線性酸発生体、を含有するフォトレジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】重合末端にチオカルボニルチオ基と、側鎖に複数のラジカル重合が可能な二重結合とを備え、有機溶媒に可溶な重合体の提供。
【解決手段】チオカルボニルチオ基を有する連鎖移動剤と、ラジカル重合開始剤との存在下で、1分子中に2つのラジカル重合可能な二重結合を有し、かつ、非対称構造であるモノマーを含むモノマー成分をラジカル重合して得られる、重合末端にチオカルボニルチオ基と、側鎖にラジカル重合が可能な複数の二重結合とを備えている重合体。この重合体は、アセトン、テトラヒドロフラン、クロロホルム、トルエンのいずれかに溶解する。 (もっと読む)


【課題】優れたラインエッジラフネスのレジストパターンを製造し得るレジスト組成物の提供。
【解決手段】式(I)で表される化合物、樹脂及び酸発生剤を含有し、樹脂が、式(a1−0)で表される構造単位を含み、かつ、アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂であるレジスト組成物。
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【課題】ブタジエン系重合体ゴムにシリカ及びヒドラジド化合物を配合した、耐摩耗性、低燃費性、及びウェットグリップ性に優れたゴム組成物、及びそれを用いたタイヤを提供すること。
【解決手段】本発明のゴム組成物は、ゴム成分として、(A)質量平均分子量が0.6〜170万である溶液重合した変性ブタジエン重合体及び/又は変性スチレン−ブタジエン共重合体からなる変性ブタジエン系重合体ゴムを10質量%以上含み、補強充填剤として、(B)100〜350m/gのBET比表面積で、表面の含水率が0.50〜5.00質量%のシリカをゴム成分100質量部に対して80〜250質量部含み、また、(C)ヒドラジド化合物をゴム成分100質量部に対して0.2〜4質量部を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】従来技術と比較して、セメント混和剤における各種の性能をより一層改善しうる手段を提供する。
【解決手段】本発明の親水性共重合体の製造方法は、化学式1で表されるカルボン酸単量体と、化学式2で表されるポリエーテル単量体とを必須成分として含有する単量体成分を反応器中、溶媒の存在下で溶液重合させることを含む。そして、初期仕込み液中に存在するナトリウム、マグネシウムおよびカルシウムの合計量が、初期仕込み液中に存在する前記ポリエーテル単量体の質量を基準として1〜350質量ppmである点に特徴を有する。 (もっと読む)


【課題】減水性に優れ、凝結遅延がなく、さらにフレッシュコンクリートの粘性が低く練り混ぜが容易であり、施工性に優れたセメント分散剤を提供する。
【解決手段】下記単量体(a)、(b)及び必要に応じ(c)を反応して得られる共重合体もしくはその塩であって、単量体(a)乃至(c)の共重合比が質量基準で(a):(b):(c)=50〜95:5〜50:0〜40である共重合体もしくはその塩(A)と、(a):(b):(c)=0〜45:5〜30:30〜90である共重合体もしくはその塩(B)とを含有する水硬性組成物用混和剤。(a)下記一般式(1):RO−(AO)n−H(1)で表される化合物1モルに対し、炭素数2〜4のアルキレンオキサイドを0〜10モル付加し、さらに該付加物をα,β−不飽和カルボン酸と反応させて得られるエステル化合物、(b)α,β−不飽和カルボン酸又はその塩、及び、(c)その他の共重合可能な単量体。 (もっと読む)


【課題】低ヒステリシスロス性能とウェットスキッド抵抗性能に優れ、これらの性能バランスに優れ、耐摩耗性と破壊強度とのバランスに優れた変性共役ジエン系重合体組成物、これを構成する変性共役ジエン系重合体が提供する。
【解決手段】少なくとも1個の重合器に、炭化水素溶媒と、アルカリ金属系開始剤及び/又はアルカリ土類金属系開始剤と、共役ジエン化合物、又は共役ジエン系化合物と芳香族ビニル化合物とを添加して、活性末端を有する共役ジエン系重合体を得る工程と、その後、シリル基に結合したアルコキシ基の総数が4個以上であり、1つ以上の窒素原子を有する変性剤(A)、及びシリル基に結合したアルコキシ基の総数が2又は3個であり、1つ以上の窒素原子を有する変性剤(B)を連続的に添加し、共役ジエン系重合体の活性末端と変性剤(A)及び/又は変性剤(B)を反応させる変性反応工程を含む変性共役ジエン系重合体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】シリカ系無機充填剤の分散性が良好で、低ヒステリシスロス性能とウェットスキッド抵抗性能に優れ、かつこれらの性能のバランスに優れ、高い耐摩耗性、破壊強度が発現される変性共役ジエン系重合体組成物を得る。
【解決手段】変性共役ジエン系重合体(I)を1質量%〜50質量%と、変性共役ジエン系重合体(II)を50〜99質量%とを含む変性共役ジエン系重合体であって、前記変性共役ジエン系重合体(I)は下記(A)の条件を満足し、前記変性共役ジエン系重合体(II)は下記(B)の条件を満足する変性共役ジエン系重合体。
(A)分子中に第2級のアミノ基を1個以上及びアルコキシ基が結合したシリル基を2個以上含む官能基を有している。
(B)分子中に第2級アミノ基又は第3級アミノ基を2個以上及びアルコキシ基が結合したシリル基を1個以上含む官能基を有している。 (もっと読む)


【課題】露光ラチチュード、及びLWRなどのパターンラフネス特性に優れ、経時による性能の変動が少ない感放射線性樹脂組成物、それを用いた感放射線性膜及びパターン形成方法、並びに電子デバイスの製造方法及び電子デバイスを提供する。
【解決手段】放射線の照射により分解して酸を発生させる下記一般式(1)で表される化合物、及び酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂を含有する感放射性樹脂組成物。一般式(1)中、R及びRは、各々独立に、アリールを表し、RとRが連結していてもよい。R及びRは、各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、又はアリール基を表す。また、RとRが連結していてもよい。Rは、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アリール基、アラルキル基、又はアルキルカルボニル基を表す。Rは、RもしくはRと連結していてもよい。
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