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Fターム[4K018AA22]の内容

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Fターム[4K018AA22]に分類される特許

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【課題】 膜剥離の問題を改善し、さらに低い電気抵抗値を維持できる、MoTiターゲット材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、Tiを20〜80原子%含有し残部がMoおよび不可避的不純物からなる組成を有し、前記不可避的不純物の一である水素が10質量ppm以下であるMoTiターゲット材である。また、本発明のMoTiターゲット材は、MoTi焼結体を100Pa未満の圧力、800℃以上、0.5時間以上の条件で熱処理する工程とで得られる。 (もっと読む)


【課題】簡素化した製造工程でも低酸素の焼結Mo合金スパッタリングターゲット材を得ることができる製造方法を提供する。
【解決手段】(Ti、Nb、Ta)の群から選択される1種または2種以上の金属元素Mを0.5〜60原子%含有し、残部がMoおよび不可避的不純物からなるMo合金スパッタリングターゲット材の製造方法であって、Mo原料粉末と平均粒径200μm以下の水素化した前記金属元素Mの粉末とを混合処理した混合粉末を加圧容器に充填し、次いで該加圧容器を加熱しながら減圧脱気処理をした後、熱間静水圧プレスで加圧焼結してMo合金焼結体を作製する焼結Mo合金スパッタリングターゲット材の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】 耐湿性や耐酸化性を改善し、さらに、低抵抗な主導電層であるAlと積層した際に、加熱工程を経ても低い電気抵抗値を維持できる、Mo合金からなる被覆層を用いた電子部品用積層配線膜および被覆層を形成するためのスパッタリングターゲット材を提供する。
【解決手段】 基板上に金属膜を形成した電子部品用積層配線膜において、Alを主成分とする主導電層と該主導電層の一方の面および/または他方の面を覆う被覆層からなり、該被覆層は原子比における組成式がMo100−x−y−Ni−Ti、10≦x≦30、3≦y≦20で表され、残部が不可避的不純物からなる電子部品用積層配線膜。 (もっと読む)


【課題】 本発明の目的は、Moの分散性が良い、均一微細な組織をもったMoTiターゲット材の製造方法およびMoTiターゲット材を提供することである。
【解決手段】 本発明は、(1)Mo一次粒子が凝集したMo凝集体を平均粒径10μm以下に解砕してMo粉末を作製する工程と、(2)前記Mo粉末と平均粒径50μm以下のTi粉末とを混合して混合粉末を作製する工程と、(3)前記混合粉末を加圧焼結してMoTi焼結体を作製する工程とを有するMoTiターゲット材の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】低コストで、に第三元素を添加しない、低酸素MoCrターゲット材を製造する方法およびMoCrターゲット材を提供すること。
【解決手段】Crを0.5〜50原子%含有し残部Moおよび不可避的不純物からなるMoCrターゲット材の製造方法であって、(1)Mo焼結体を平均粒径20〜500μmに粉砕してMo粉末を作製する工程と、(2)該Mo粉末を還元性雰囲気中で熱処理して還元処理Mo粉末を作製する工程と、(3)平均粒径20〜500μmのCr原料粉末を準備する工程と、(4)前記還元処理Mo粉末と前記Cr原料粉末とを混合した混合粉末を作製する工程と、(5)該混合粉末を加圧焼結してMoCr焼結体を作製する工程とを有するMoCrターゲット材の製造方法。 (もっと読む)


【課題】
Cu−高融点金属の複合材料のヒートシンク用材料としての熱特性と機械的性質を原料粉末の複雑な前処理を必要とせず比較的簡単な方法で改善する。
【解決手段】
粉砕した原料粉末を冷間CIPプレスし、グリーン圧縮体を高純度Arガス中で液相焼結し、得られた焼結複合体をHIP処理して得た、Cuが10〜40質量%と高融点、低熱膨張性の硬質金属が90〜60質量%で、Cuの一部を焼結体全量に対し、0.1質量%以下のNiと置換してなり、高融点金属はその粒子間はCuの液相ネットによって連結された、高融点金属粒子の外面にはNiとの金属間化合物層が形成されているヒートシンク用複合焼結体。 (もっと読む)


【課題】サファイア単結晶の製造等、高温での使用環境下において、ふくれの発生を抑制した耐久性に優れたルツボを提供する。
【解決手段】高融点金属に酸素吸着金属粒子またはその酸化物粒子を分散させたことを特徴とするルツボ1であって、前記高融点金属はタングステン、モリブデンまたはタングステンモリブデン合金のいずれか1種であることが好ましく、また、前記酸素吸着金属粒子またはその酸化物粒子はチタン、ジルコニウム、ハフニウム、タンタルの金属粒子またはその酸化物のいずれか1種以上であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】 スパッタリング中の異常放電を抑制できる、アルカリ金属化合物が微細に分散
したMo系スパッタリングターゲットおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、KとNbとの複合酸化物でなる粉末とMo粉末との焼結体であ
って、前記複合酸化物を0.4〜9.0質量%含有し、Mo母相中に内接円直径が20μ
m以下の凝固した前記複合酸化物が分散するMo系スパッタリングターゲットである。ま
た、本発明のMo系スパッタリングターゲットは、加圧容器に充填し、前記複合酸化物の
溶融温度以上、Moの溶融温度以下で加圧焼結することにより得られる。 (もっと読む)


【課題】 熱膨張率、強度などの優れたオルタネータ用Mo焼結部品を提供する。
【解決手段】 銅を10〜50質量%含有するモリブデン合金材からなるオルタネータ
用Mo焼結部品において、モリブデン合金材は、モリブデン結晶の平均粒径10〜100
μm、単位面積500μm×500μmあたりのMo結晶の面積比のばらつきが平均値の
±10%以内であることを特徴とする。MoとCuの存在割合のばらつきが小さいので熱
膨張率などの特性が優れている。 (もっと読む)


【課題】耐電圧や遮断性能やコンデンサ開閉性能を向上できる真空遮断器用電極材料の製造方法及び真空遮断器用電極材料を提供する。
【解決手段】真空遮断器用電極材料は、混合工程と、プレス焼結工程と、Cu溶浸工程で製造する。混合工程で、粒径が0.8〜6μmのMo粉と粒径が40〜300μmのテルミットCr粉とを、混合比率をMo:Cr=1:1〜9:1にすると共に混合重量をMo≧Crにして均一に混合する。プレス焼結工程で、混合した混合物をプレス圧1〜4t/cmで加圧成形して成形体を形成し、かつ成形体を加熱炉において1100〜1200℃の温度で1〜2時間保持する焼結を行って仮焼結体を作る。Cu溶浸工程で、仮焼結体上にCu薄板を配置し、加熱炉において1100〜1200℃の温度で1〜2時間保持することで仮焼結体中にCuを液相焼結させて溶侵させる。 (もっと読む)


【課題】 効率的に高い接合強度で長尺の一体型のターゲットを実現可能な円筒型Mo合金ターゲットの製造方法を提供する。
【解決手段】 Mo粉末とMo以外の高融点金属粉末とからなる複数の円筒型成形体を端面で接合する円筒型Mo合金ターゲットの製造方法であって、一方の円筒型成形体の接合端面を5〜85度のテーパー状に形成し、他方の円筒型成形体の接合端面を前記テーパー状の端面に対して補角となるすり鉢状に形成し、前記円筒型成形体を、前記接合端面同士が当接するように中空の円筒型充填空間を有する金属カプセルに挿入した後、減圧封止し、その後、熱間静水圧プレスを施し、一体型の焼結体を得る円筒型Mo合金ターゲットの製造方法である。 (もっと読む)


【課題】 2000℃の高温使用時においても局部的膨れ発生・結晶粒粗大化を抑制して部材の長寿命化を実現し、且つ複雑な加工工程を必要せず、大型部材の作製も容易となる作製方法・組成を提供する。
【解決手段】 Mo粉末に、Nb,TaおよびWの1種または2種以上の添加粉末を、マトリックスとなるモリブデン粉末に対し、20〜50原子%混合し、固化成形してなることを特徴とするモリブデン合金。上記マトリックスのモリブデン粉末の平均粒径が6〜30μmであること。また、上記添加粉末として、該添加粉末の平均粒径が15〜50μmであること、およびその製造方法。 (もっと読む)


【課題】高温強度、特に底部と側壁部とを連結する角部の高温強度に優れるタングステンモリブデン合金製ルツボ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】タングステンを1〜60質量%、残部モリブデンからなるタングステンモリブデン合金からなる底部2と側壁部3とが角部4を介して連結された上部開放部を有する有底筒状のタングステンモリブデン合金製ルツボ1であって、平均結晶粒径が100μm以下であり、当該ルツボ1の製造方法は、タングステン粉末とモリブデン粉末を混合する混合工程と、圧力1ton/cm以上のCIP成形にてルツボ形状に成形する成形工程と、水素雰囲気中1400℃以上の温度で焼結する第一の焼結工程と、還元雰囲気中または不活性雰囲気中2000℃以上の温度で焼結する第二の焼結工程からなる粉末焼結法により製造する。 (もっと読む)


少なくとも2つの耐熱金属を有する合金及びこのような合金を形成するための方法が提案されている。この合金において、合金の小さな方の部分を形成する第1の耐熱金属、例えばタンタルは、合金の大きな方の部分を形成する第2の耐熱金属、例えばタングステンに完全に溶解される。この合金は、共通のるつぼにこれら2つの耐熱金属を供給するステップ(ステップS1)、電子ビームを当てることにより両方の耐熱金属を溶融するステップ(ステップS2)、前記溶融した耐熱金属を混合するステップ(ステップS3)及び前記溶融物を凝固させるステップ(ステップS4)によって形成される。溶融した状態で前記耐熱金属の成分を完全に混合することが可能であるため、凝固した合金の改善した物質特性が達成される。さらに、レニウムに代わり、タンタルをタングステンと一緒に使用することで、安価であり、耐性のある耐熱金属が製造され、この合金は例えばX線の陽極の焦点軌道の領域を形成するのに使用される。
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【課題】 スパッタリング時の異常放電の防止、あるいはターゲットの製造中やスパッタリング中の割れや欠けを防止できる緻密で高強度のNaを含有するMo系スパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】 平均粒径15μm以下のNaF粉末と平均粒径20μm以上のMo粉末との焼結体からなり、NaFを0.1〜8質量%含有し、相対密度90%以上かつ抗折力が150N/mm2以上であるMo系スパッタリングターゲットである。 (もっと読む)


【課題】結晶粒の粗大化を抑制し、強度の低下を防止し、かつ従来品以上の耐久性および信頼性を高め、高温にて強度がある立体形状の粉末成形体を、歩留良く安価に効率よく製造できるMo成形体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】成形容器1内に中子2を配置し、該成形容器1と中子2の間にMo粉末3を充填してHIP処理することよりなる立体形状のMo成形体4。上記Mo粉末またはMo粉末とNb粉末、W粉末、高融点のセラミックス粉末の1種または2種以上を混合した粉末3を充填してHIP処理した後のMo成形体4を2分割する立体形状のMo成形体の製造方法。 (もっと読む)


スパークプラグ(20)は、スパーク端部(28,32)を有する少なくとも1つの電極(22,24)を含む。スパーク端部(28,32)は、10.0重量パーセントから60.0重量パーセントの量のクロムと、0.5重量パーセントから10.0重量パーセントの量のパラジウムと、モリブデンおよびタングステンのうち少なくとも1つから実質的になる残部とを含む高温性能合金で形成される。スパーク端部(28,32)は火花接触面(36,44)を呈し、内燃機関の中のスパークプラグ(20)の使用の際などの少なくとも500℃の温度で火花接触面(36,44)に酸化クロム(Cr2O3)の層(50)が形成する。Cr2O3の層(50)は、燃焼室の極端な条件からスパーク端部32,38の大部分を保護し、侵食、腐食、および球状化を防止する。
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【課題】耐熱性非酸化物と金属材料との複合材料からなり緻密性に優れた接点部材を生産性良く、かつ少ないエネルギーで製造できる接点部材連結体およびその製造方法と、前記特性に優れた接点部材と、前記接点部材を用いた遮断器とを提供する。
【解決手段】接点部材連結体1は、前記複合材料によって、複数個の接点部材2と1個の末端部材4とを連結部3を介して列をなすように連結した形状に一体に形成し、接点部材2は、連結部3を破断することにより、複数の側面のうち少なくとも1つの側面において破断面が露呈させる。連結部3を有する連結体を一体にプレス成形し、次いで前記列の先端側から末端側へ向けて順次、昇温、降温して末端部材内に気孔を寄せ集める製法により、個々の接点部材2の密度を97%以上とする。 (もっと読む)


多相構造の、即ち自己集合により特性長が10μm以下である第一の相の粒子が第二の相中に均一に分散している熱電材料の製造方法において、少なくとも二相熱電材料が、その少なくとも二相熱電材料の成分でない金属または該金属のカルコゲニドとともに溶融され、混合後に、冷却または反応性粉砕により結合させられる。 (もっと読む)


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