【課題】本発明は、自動車内外装、家具、建築材料、家電製品などに使用される金属調の各種プラスチック成形品を得るための、熱成形しても初期の金属調の変化が少ない金属調を呈した熱成形加工用の金属調加飾シートを提供する。
【解決手段】本発明の熱成形加工用の金属調加飾シートは、透明な熱可塑性樹脂フィルム２の少なくとも片面に金属蒸着層１を設け、全光線透過率を１０〜５０％とした金属蒸着フィルム４を、着色された熱可塑性樹脂シート５に積層することによって得られる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、クランプを備えたスパッタ装置により、厚さの異なる半導体基板に金属膜を形成する工程を含む半導体装置の製造方法に関し、厚さの異なる半導体基板に形成された金属膜の膜質を略均一にすることを課題とする。
【解決手段】厚さの異なる半導体基板２３−１，２３−２をステージ２１上に固定するクランプ２５を備えたスパッタ装置１０により、厚さの異なる半導体基板２３−１，２３−２に金属膜２９を形成する金属膜形成工程を含む半導体装置の製造方法であって、クランプ２５を絶縁すると共に、可変抵抗２６を介して、ステージ２１をグラウンド電位とし、金属膜２９を形成するときに、可変抵抗２６に流れる電流が所定の値となるように可変抵抗２６の抵抗値を調整する。 （もっと読む）

【課題】斜め蒸着、蒸着レートの低下を防止した蒸着を、小型の装置で実現すること。
【解決手段】蒸発源と、この蒸発源の上方に対向配置され、半導体基板を支持して、平面内でステップ移動可能に設けられた基板ホルダと、この基板ホルダおよび前記蒸発源間に固定配置され、前記基板ホルダに支持される半導体基板の一部を前記蒸発源に露出する開口部を有する防着マスクとを備えた真空蒸着装置。 （もっと読む）

【課題】密封式油圧ダンパのダイヤフラムゴム膜の放熱性を改良したガスバリヤ構造およびその作製方法を提供する。
【解決手段】密封式油圧ダンパのダイヤフラムを構成するゴム膜１０のガスバリヤ構造であって、上記ゴム膜１０の表面に形成されたアルミニウム薄膜１４と、該アルミニウム薄膜１４上に形成されたフレキシブルＤＬＣ膜１８とを備え、上記アルミニウム薄膜１４と上記フレキシブルＤＬＣ膜１８とが両者間に介在するアルミニウム・シリコン共晶層１６により相互に接合されていることを特徴とするガスバリヤ構造。 （もっと読む）

【課題】蒸着装置により長時間連続して安定的に蒸着を行うことを可能とする極めて実用性に秀れた蒸着材料供給装置の提供。
【解決手段】真空槽内に設けた蒸発源１に充填された蒸着材料２を加熱して蒸発させて基板上に付着させる蒸着装置に設けられ、前記蒸発源１に前記蒸着材料２を供給する蒸着材料供給装置であって、供給用の前記蒸着材料２が収納される材料収納体３に、この供給用の蒸着材料２を前記蒸発源１内に案内供給する案内供給口４を設け、この案内供給口４若しくは材料収納体３を、前記蒸発源１に対して接離自在に設けて、前記案内供給口４を、前記蒸発源１に近接せしめた近接供給状態と、前記蒸発源１から離反せしめた離反退避状態とに切替動自在に構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、樹脂基材上に金属多層膜を成膜するにあたって、安価な材料費で耐久性に優れた多層膜を、安全な作業環境化で短時間に歩留まり良く成膜する方法を提供することにある。
【解決手段】回転自在に支持された基材ホルダー５に成膜される樹脂基材６を取り付け、前記樹脂基材６を囲むように固定して配設された複数個のカソード３の夫々に異なる種類の金属ターゲット４を取り付け、不活性ガス雰囲気内で金属ターゲット４の夫々をスパッタして前記回転する基材ホルダー５に取り付けられた前記樹脂基材６に順次交互に成膜して金属多層膜を形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板９の温度を比較的低温に保ちながら、微細なホール９０の内面に配線材料を埋め込むことを可能にする。
【解決手段】基板９に形成された微細なホール９０の内面にアルミのベース薄膜９３をイオン化スパッタによって作成した後、３００℃程度の温度でアルミ膜をスパッタによって作成しながらリフローさせてリフロー薄膜９１を作成する（Ｄ）。ホール９０内のベース薄膜９３が厚いためにリフロー薄膜９１の拡散が促進され、ボイド９２の無い埋め込みが可能になる。ベース薄膜９３は途切れを防止するため１５０℃以下の温度で作成される。スパッタチャンバーはプラズマを形成するイオン化手段を有し、このプラズマ中でスパッタ粒子がイオン化される。イオン化スパッタ粒子は電界設定手段が与える電界によって基板９に垂直に多く入射し、ホール９０内のカバレッジが向上する。 （もっと読む）

車両構造体は、車両構造体に３次元的触感のあるパターンを付与するコーティングを備えることができる。更に、車両構造体を形成する方法は、車両構造体に３次元的触感のあるパターンを付与するフィルムを塗付することを備えることができる。前記車両構造体は、前記フィルムにより装飾用触感のある特徴が付与される車両のトリム片であってもよい。薄膜金属層を、物理蒸着などの金属化技術により基材の上に塗付し、その後、放射線硬化性配合物を付与しＵＶ光などの放射線源により露光することができる。前記放射線硬化性配合物は、フィルム上の別々の異なる位置に離間してあり、人間の触覚で識別可能な程度に金属層から延設されたＵＶインクであってもよい。
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【課題】包装材料としての通常の加工を施してもガスバリア性が劣化しない透明なガスバリア性積層フィルムを提供する。
【解決手段】透明なプラスチックフィルムからなる基材層（１）と、前記基材層（１）上に形成された厚さ５〜３００ｎｍの酸化アルミニウム蒸着薄膜層（２）と、前記酸化アルミニウム蒸着薄膜層（２）上に形成され、その表面が酸素プラズマ処理された厚さ１〜５ｎｍのアルミニウム蒸着薄膜層（３）と、前記アルミニウム蒸着薄膜層（３）上に形成された、重合可能なアクリル系のモノマーまたはモノマーとオリゴマーとの混合物を硬化させてなる厚さ０．０２〜２０μｍのガスバリア性被膜層（４）とを有し、前記酸化アルミニウム蒸着薄膜層（２）と前記アルミニウム蒸着薄膜層（３）との二層における波長３６６ｎｍの光線透過度が６５〜９０％であることを特徴とするガスバリア性積層フィルム。 （もっと読む）

【課題】マスクと被成膜物とを重ねた状態で、開口部におけるエッジ部分の被成膜物側周囲に、空隙部が設けられているため、所定パターンを形成する際に被成膜物に開口部のエッジ部分が接触することがなく、発光層上に陰極を蒸着しても、陽極と陰極とが導通して短絡してしまうことを確実に防止することのできるマスクおよびマスクを使用した表示素子ならびにマスクを使用した表示素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】被成膜物上に所定パターンを形成するために用いられ、その上下面を貫通するとともに前記所定パターンに対応した開口部が設けられたマスクであって、前記マスクと前記被成膜物とを重ねた状態で、前記開口部におけるエッジ部分の被成膜物側周囲に、空隙部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】生産性に優れ、コストのニーズにも対応できる耐食金属フレーク顔料の製造方法を提供する。
【解決手段】乾式めっき法により、耐塩基性を有する基材の表面に、Ａｌ膜を成膜し、Ａｌ膜の上に、Ｎｉ、ＣｒまたはＴｉからなる耐食金属膜を成膜し、Ａｌ膜および耐食金属膜を基材と共に塩基性溶液に浸漬し、超音波を照射することにより、Ａｌ膜を溶解させ、耐食金属膜を基材から剥離し、かつ、破砕する。Ａｌ膜と耐食金属膜を順次積層して、複数の耐食金属膜を同時に得ることが可能であり、この際、異なる耐食金属からなる混合フレークを得ることもできる。 （もっと読む）

【課題】工程数を増加させることなく、受光センサ部上に導波路を設けて集光効率を向上させる。
【解決手段】受光センサ部１２上方の絶縁層１４に導波路１８が設けられ、この導波路１８の側壁部に反射膜１７が設けられた固体撮像素子１０を製造する際に、図１のイオン化スパッタリング装置１によるイオン化スパッタリング法により、導波路形成用穴１８ａ内に反射膜１７を形成することにより、導波路形成用穴１８ａの側壁表面に直に均一な反射膜１７を形成すると同時に、イオン化されたターゲット材料７により導波路形成用穴１８ａの底部などに堆積した反射膜１７が除去される。これによって、従来技術のように、導波路１８の底部に形成された金属膜の反射膜１７を除去する工程は不要となる。また、反射膜１７と導波路形成用穴１８ａの側壁表面との間には従来のように下地膜が形成されない。 （もっと読む）

【課題】基板としてプラスチック基板を用いた薄膜トランジスタ基板の製造工程中で用いられるレジスト膜を除去する際に、プラスチック基板に化学的なダメージを与えない層構成を有した薄膜トランジスタ基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】酸素プラズマ耐性のある無機層１１が全面に形成されたプラスチック基板１０を準備する工程と、無機層１１上に半導体膜を形成する工程と、半導体膜上にレジスト膜をパターニングする工程とを有し、レジスト膜の除去工程がプラズマアッシング法により行われる方法により薄膜トランジスタ基板を製造する。このとき、無機層が、クロム、チタン、アルミニウム、シリコン、酸化クロム、酸化チタン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸窒化アルミニウム、酸化シリコン、窒化シリコン、及び酸窒化シリコンの群から選択されるいずれかからなることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】主としてプラスチック材料で構成された基材を備え、電磁波（電波、光）の透過性に優れるとともに、美的外観に優れた装飾品を提供すること、また、前記装飾品を備えた時計を提供すること。
【解決手段】本発明の装飾品１の製造方法は、主としてプラスチック材料で構成された基材１２を準備する工程と、基材１２上に酸化物被膜１３を形成する酸化物被膜形成工程と、酸化物被膜１３上に所定のパターンで開口部２１が設けられたマスク２を配した状態で、気相成膜を行うことにより、所定のパターンで開口部１６が設けられた金属被膜１４を形成する工程と、マスク２を除去する工程と、コート層１５を形成する工程とを有している。金属被膜１４の形成は、マスク２として磁性材料で構成されたものを用い、基材１２のマスク２に対向する面とは反対の面側に配された磁石により、マスク２と、酸化物被膜１３が設けられた基材１２とを密着させた状態で行う。 （もっと読む）

【課題】スパッタリングにより成膜される無機質膜の緻密性を向上させることができるスパッタリング成膜装置を提供する。
【解決手段】軸心方向２ａに回転する筒状をなし外面に複数の基板４を周方向に離間して保持する基板ホルダー２と、基板に対向して配置されるターゲット材６を保持するターゲットホルダー８と、基板表面に対するターゲット材表面の角度を変化させるためにターゲットホルダーの取付角度を変えるターゲットホルダー取付角度可変機構１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】合金を成膜対象物に注入可能な成膜装置を提供する。
【解決手段】本発明は第一、第二の同軸型蒸着源３ａ、３ｂを有しており、第一、第二の蒸着源３ａ、３ｂの第一、第二の開口３９ａ、３９ｂからは正の微小荷電粒子が放出され、その微小荷電粒子はクーロン力によって飛行方向が曲げられて成膜対象物６８表面に到達する。このとき、成膜対象物６８の表面に負電圧を印加すれば、微小荷電粒子の飛行速度が加速されるので、微小荷電粒子が成膜対象物６８表面に注入される。第一、第二の同軸型蒸着源３ａ、３ｂの蒸着材料として異なる種類の金属材料を用いれば、成膜対象物６８表面に合金が注入される。 （もっと読む）

【課題】 マスク材を容易に剥がすことができ、試料を真空装置内に入れた時にマスク材からのアウトガスが少ない電極パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】
本発明に係る電極パターン形成方法は、試料１の表面に対して、基材２の表面に粘着剤３が設けられたマスク材１２,１５を貼り付けることにより、試料１の表面の一部をマスクする工程と、マスク材１２,１５の上から試料１の表面に、気相成長法によって金属膜２０を成膜する工程とを備え、基材２は、フッ素樹脂製であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属箔を使用することなく、金属箔並みの高度なガスバリア性をもつ実用性の高い積層体を提供する。
【解決手段】２層の蒸着薄膜層の間に水溶性高分子を含むコーティング剤を塗布して形成されたガスバリア性中間層を介在した構成が基材上に設けられた積層体。 （もっと読む）

【課題】金属調の凹凸感をもった加飾がなされるとともに凹凸感の無い非金属調加飾が混在した金属調加飾成形体の提供。
【解決手段】透明樹脂１３に設けた凹凸模様１３ｂの一部に非金属着色層１６を積層してなる非金属調加飾部を有し、該凹凸模様１３ｂの他の部位に金属薄膜層１４を積層してなる金属調加飾部を有する金属調加飾成形体１１であり、該凹凸模様１３ｂを形成する透明樹脂の凹凸高さを０．１μｍ〜５．０μｍ、物理的蒸着法により形成される金属薄膜層１４の層厚を１０ｎｍ〜３５ｎｍとした。そのため、この凹凸模様１３ｂの凹凸に沿って直接金属薄膜層１４を設けるだけで凹凸模様１３ｂを視認させることができ、その一方で、凹凸に沿って直接非金属着色層１６を設けるだけで凹凸模様１３ｂを視認させないことができる。 （もっと読む）

【課題】バリエーションに富んだ発色性を示し、また、従来の製造方法に比べて、容易な方法で得られ、色むらの発生による不良品の発生率が低い干渉色金属調表面を備えた樹脂成形体を得ることを課題とする。
【解決手段】中心線平均粗さ（Ｒａ）が１μｍ以下である平滑表面を有する樹脂成形体基材の前記平滑表面に厚み０．１〜０．４μｍの透明性金属薄膜を形成することにより得られる干渉色金属調表面を備えた樹脂成形体を用いる。 （もっと読む）