反射性、水密性、水蒸気透過性のメンブレンの製造方法において、水密性、水蒸気透過性のメンブレンを設けるステップと、担体フィルムを設けるステップと、該メンブレンを該担体フィルムに被着するステップと、真空蒸着法によって該メンブレンの自由な表面に金属表面を被着するステップと、水密性、水蒸気透過性のカバー層を被着するステップと、該担体フィルムを除去するステップとを有する製造方法。連続的なカバー層が設けられた金属コーティングを有する反射性、水密性、水蒸気透過性のメンブレンにおいて、ＤＩＮ ＥＮ ＩＳＯ ６３３０：２０００にしたがって３回洗浄を行った後になお活性の金属コーティングの表面の少なくとも８０％が得られることを特徴とするメンブレン。 （もっと読む）

【課題】 画素領域を狭めることなく、画素の点灯に必要な電流を流すことが可能な補助配線を形成することができる膜の製造方法、電気光学装置、及びマスクを提供する。
【解決手段】 細長状の補助配線１６の製造方法は、第１補助配線１６ａと第２補助配線１６ｂとに分割して形成する。まず工程１１では、蒸着マスク５５を基板５２上に固定する。次に、蒸着マスク５５の開口孔６１を介して、基板５２上に第１補助配線１６ａを点線状に形成する。工程１２では、蒸着マスク５５を基板５２に対して相対的に移動させる。工程１３では、蒸着マスク５５の開口孔６１を介して、点線状に形成された第１補助配線１６ａの間を埋めるように、第２補助配線１６ｂを形成する。２回に分けて補助配線１６を形成することにより、蒸着マスク５５の開口孔６１の長さを短くすることができる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも、合成膜の外側を形成する軽くて耐候性を有する樹脂の層ａ）、支持層ｂ）、並びに層ａ）及び層ｂ）の間に配置された金属層ｃ）及び／又は水蒸気耐性を有する金属処理された樹脂の層、からなる複数のシート材料（ａ，ｂ，ｃ）から構成された合成膜（１）の使用に関するものである。 （もっと読む）

【課題】食品,日用品,医薬品などの包装分野において、また電子機器関連部材などの分野において、包装材料としての通常の加工が施されてもガスバリア性が劣化しない、特に高いガスバリア性が必要とされる場合に、好適に用いられる透明なガスバリア性積層フィルムを提供する。
【解決手段】本発明は、透明なプラスチックフィルムからなる基材層１の表面に、厚さ５〜３００nmの酸化アルミニウム蒸着薄膜層２と、厚さ１〜５nmのアルミニウム蒸着薄膜層３と、重合しうるアクリル系のモノマーからなる又はこのモノマーとオリゴマーとの混合物からなる未硬化のフラッシュ蒸着被膜層を、紫外線又は電子線を照射して硬化させてなる、厚さ０.０２〜２０μmのガスバリア性被膜層４とを、順次積層したことを特徴とするガスバリア性積層フィルムである。 （もっと読む）

【課題】Ａｒよりさらに重い非活性ガスをＡｒと混合してボックスカソードスパッタリング(Box Cathode Sputtering)あるいは対向ターゲットスパッタリング（Facing Target Sputtering法で電極またはペッシベーション層を蒸着させた有機発光表示装置及び蒸着方法を提供する。
【解決手段】基板Ｓと、基板Ｓ上に形成された薄膜トランジスタ１７０と、薄膜トランジスタ１７０上に形成された第1電極１１０と、第1電極１１０上に形成された有機物層１３０と、有機物層１３０上に、ボックスカソードスパッタリング法、または対向ターゲットスパッタリング法を利用してＡｒガスにＡｒより重い非活性ガスを混合させてスパッタ蒸着される第2電極層１５０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 蒸着材料を入れたルツボ６の蓋１１を真空雰囲気でも開閉することを可能とし、放熱ロスを抑制することを可能とする。
【解決手段】 被蒸着フィルム３を支持して走行させるコーティングローラ４の直下に置かれるルツボ６を、蒸着のための作動位置と清掃等のための退避位置に容器移動手段によって移動させる構成とし、そのルツボ６の移動に連動して且つルツボ６の移動を駆動源として蓋１１を開閉させる蓋開閉手段１２を設け、ルツボ６が作動位置にある時は蓋１１を開位置とし、退避位置に移動した時には閉位置となるようにする。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェハにおける配線層間の接続抵抗を低減する。
【解決手段】 表面に凸部４ａが形成されたターゲット４を用い、このターゲット４の凸部４ａにプラズマイオン７を衝突させて金属原子８をはじき出して半導体ウェハ上のスルーホールの内壁に金属膜を堆積することにより、ターゲット４の凸部４ａ付近から飛び出してくる金属原子８の飛び出しの方向を狭めることなく金属原子８をはじき出すことが可能になる。これにより、配線層間の前記スルーホール内に形成される金属膜のステップカバレージを向上させることができ、その結果、配線層間の接続抵抗を低減できる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、成膜マスク装置の組立作業を容易にするとともに、スペーサと上下のマスク板の位置ずれによる絶縁不良や断線不良をなくし、作業性、信頼性の高い成膜マスク装置を提供する。
【解決手段】 貫通孔が形成されたスペーサ５と、前記貫通孔に対応するマスクパターンが形成された下部マスク４と、前記貫通孔に対応するマスクパターンが形成された上部マスク６と、マスク押さえ上板７と、マスク押さえ下板１とを具備してなる成膜マスク装置であって、成膜マスク装置の特定の構成部材には、構成部材の板面に固定される基準ガイドピン３３と２つ以上の固定ガイドピン３５，３６が形成され、他の成膜マスク装置の構成部材には、嵌め合うガイド孔と、位置決め孔が形成されており、前記ガイド孔に挿入される固定ガイドピンの頂点が、前記上部マスクの上面とほぼ同じ高さに形成されている。 （もっと読む）

【課題】真空蒸着装置内に配設する機器の構成を簡単にできながら、ルツボおよび長尺帯状基材の熱による破損が生ずることなく、基材に均一な膜を形成できる真空蒸着装置および真空蒸着方法を提供する。
【解決手段】真空蒸着装置1は、真空チャンバー2内に長尺帯状基材5を連続走行させる基材搬送装置4と、溶融された蒸発材料が収容されるルツボ3とを備える。基材搬送装置4は、長尺帯状基材5に成膜する際に、この基材面の幅方向がルツボ3内の溶湯面に対し、7°以上47°以下の範囲で傾斜するように長尺帯状基材5を搬送する。基材搬送装置4により連続走行する長尺帯状基材に、ルツボ3内で溶融された蒸発材料の蒸発分子を膜厚みが均一となるように蒸着して成膜する。 （もっと読む）

【課題】従来のポンプのケーシングにおいては寸法のばらつきにより密閉に不具合が生じた場合、ケーシングの接合部から水漏れが発生していた。
【解決手段】羽根車１を、モータ２に回転可能に軸支して、第１ケーシング３内に装填する。第１ケーシング３には水や湯を取り込む吸水口４と、水や湯を吐き出す吐水口５が設けられており、モータ２は第２ケーシング６に螺合されている。第１ケーシングと第２ケーシングとの接合面７にはゴムパッキン（図示せず）が固定されている。上記のように構成されたポンプ用ケーシング８に真空蒸着を施すと、蒸着に使用されるアルミ粉がケーシング全体をコーティングすることになるので、上記接合面もコーティングされ、ゴムパッキンだけでは不十分な防水効果を補うことができる。 （もっと読む）

【課題】欠陥の少ないかつ結晶粒サイズを制御した低コストでスパッタリング時のスプラッシュ等の不具合の発生のないアルミニウム製のスパッタリングターゲット材を提供する。また、このようなスパッタリングターゲット材用アルミニウム材を、既存の設備を使用して大規模サイズの一枚物として製造できるスパッタリングターゲット材用アルミニウム材の製造方法、及びスパッタリングターゲット材用アルミニウム材を提供する。
【解決手段】Fe、Siをそれぞれ0.001〜0.01質量％、Cuを0.0001〜0.01質量％含有するアルミニウム材料からなり、かつ平均結晶粒径が5mm以下である。また、Fe、Siをそれぞれ0.001〜0.01質量％、Cuを0.0001〜0.01質量％含有するアルミニウム鋳造インゴットを熱間加工し、そのまま連続もしくは別ラインで250℃以下での全加工率が50％以上の条件で加工し、最終焼鈍することによりスパッタリングターゲット材用アルミニウム材を製造する。 （もっと読む）

【課題】 見栄えがよく製品としての照度を確保した樹脂成形品の提供。
【解決手段】 （１） 蓄光材を含有した樹脂部材２０と、樹脂部材２０の表面に設けられ蓄光材が発光した光を透過可能な厚さの金属膜３０と、を有する樹脂成形品１０。（２）金属膜３０は真空蒸着にて形成される。金属膜３０を有するので昼間等の明るい時に高級感を出すことができる。また、金属膜３０は蓄光材が発光した光を透過可能な厚さであるため、昼間等の明るい時には、光が金属膜３０を透過して樹脂部材２０に至り蓄光材が光を蓄えることができるとともに、夜間等の暗い時には、蓄光材の発光した光が金属膜３０を透過する。 （もっと読む）

【課題】エッチング法等によらず、簡単かつ鮮明に、微細な線状模様を、容器表面に付与することのできる、優れた模様付容器の製法およびそれによって得られる模様付容器を提供する。
【解決手段】蓋体４の表面に、パッド印刷によってインクを、幅０．０５〜３．０ｍｍ、高低差０．０１〜０．０３ｍｍの線状模様Ｐとなるよう印刷し、ついで、その印刷面を、厚み０．００４〜０．１ｍｍのアルミニウム薄膜層６で被覆して、上記アルミニウム薄膜層６表面に、その下の線状模様Ｐの凹凸が浮かび上がるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ターゲットとバッキングプレートとをボンディング材を介して接合して構成されるターゲット組立体を用いてスパッタリングにより成膜する場合、接合時に反りが発生していると、処理基板面内の膜厚が不均一になる。
【解決手段】 ターゲット４１と、ボンディング材を介して接合したバッキングプレート４２とからなるターゲット組立体を、バッキングプレートのターゲットより外側に延出した部分４２ａを介してスパッタ電極本体４に取付ける。そして、ターゲットのスパッタ面に対し直交する方向に沿って、ターゲット組立体の中央領域に引張力または押圧力のいずれか一方を加える反り矯正手段７を設ける。 （もっと読む）

ウェーハをＲＦバイアスするステップを含むアルミニウムスパッタリングプロセスと、好ましくは２つの異なるプラズマスパッタ反応器（１６８、１７０）において２つの明確に異なる条件下のスパッタリングによって狭いビアホールにアルミニウムを充填するために使用される２段階アルミニウム充填プロセスおよびこのための装置。第１のステップ（１３０）は、例えば１５０℃未満に保持され、また該狭いホールおよび各オーバーハングにアルミニウム原子を引き付けるように比較的高度にバイアスされる比較的冷たいウェーハ上に高い割合のイオン化アルミニウム原子をスパッタリングするステップを含む。第２のステップ（１３２）は、例えば２５０℃より高く保持され、またより等方的かつ均一なアルミニウムフラックスを提供するために実質的に未バイアスの比較的温かいウェーハ上へのより中性的なスパッタリングを含む。該アルミニウムターゲットの背後で走査される該マグネトロンは（８０）該第１のステップにおいて比較的小型かつ非均衡であってもよく、また（６０）該第２のステップでは比較的大型かつ均衡がとれていてもよい。 （もっと読む）

【課題】 有機ＥＬ素子の長寿命化には基板を加熱してから正孔輸送層を蒸着することが有効であるが、発光層蒸着時まで基板が高温であると発光効率が低下してしまう。
そのため、正孔輸送層蒸着後、発光層蒸着開始までに基板を冷却する必要があるが、基板の反成膜面側から加熱すると基板全体が高温になるために冷却するのに時間を要したり強制冷却手段が必要となる。
【解決手段】 正孔輸送層蒸着直前に成膜面側基板近傍から基板を加熱し、成膜面が所定の温度に達したら基板加熱ヒーターを退避させると同時に成膜を開始することで基板を冷却する工程や時間を大幅に削減できる。 （もっと読む）

【課題】 ボートの温度管理および製作を複雑化することなく、溶解した蒸発材料の濡れ広がりによる電極取付部への付着を防止して、ピンホール等の発生を抑えることができる蒸着用ボートを提供する。
【解決手段】 本発明の蒸着用ボート１１は、抵抗加熱体からなるボート本体１２と、このボート本体１２の両端部に各々設けられた電極取付部１３と、ボート本体１２の表面略中央に位置しており蒸発材料の供給を受けるキャビティ（材料受け部）１４とを備え、ボート本体１２の表面であって、キャビティ１４と電極取付部１３との間の領域に、キャビティ１４から電極取付部１３へ向かう方向と交差する方向に延在する複数の溝部１５を形成することにより、キャビティ１４から電極取付部１３へ向かう蒸発材料の流動を堰き止めて、蒸発材料が電極取付部１３へ到達することを規制する。 （もっと読む）

【課題】壁や他のスクリーンの設置を必要とすることなく、飛散が少しも基板に到達しない蒸発装置を提供すること。
【解決手段】少なくとも１つの物質で複数の基板をコーティングするための蒸発装置であって、溶融区域と、蒸発区域と、溶融区域および蒸発区域の間に設けられ、両者を連結する加熱区域と、溶融区域および蒸発区域の各々を異なる温度に加熱する加熱装置とを有する少なくとも１つの坩堝を具備する蒸発装置である。加熱区域を介して溶融物質が溶融区域から蒸発区域内へ流入するようになっていて、加熱区域の温度は溶融区域の温度および蒸発区域の温度の間である。 （もっと読む）

【課題】主処理チャンバ（１４）と移動するマグネトロン（３０）を収納する真空チャンバ（３２）の両方に封止されるターゲットアセンブリを有する大面積パネルプラズマスパッタリアクタに特に有用なスパッタターゲットアセンブリ（１８、２０）を提供する。
【解決手段】ターゲットタイルが接着されたターゲットアセンブリは、主面に平行にドリルで穴開けされた平行な冷却ホール（６４）を備えた一体型のプレート（６２）を含む。ホールの端部は封止（７４）され、垂直に伸びているスロット（６６、６８、７０、７２）は各々の端部で２つの千鳥状のグループで配列され、バッキングプレートの対向側部において対として冷却ホールの各々の対に機械加工される。４個のマニフォルドチューブ（１０４、１０６）はスロットの４つのグループに封止され、カウンタフローの冷媒経路を提供する。 （もっと読む）

【課題】
金属蒸着フィルムと熱可塑性樹脂シートとが積層一体化された金属調加飾シートにおいて、接着層を設ける工程を省略し、生産効率がよく、より簡易に製造することができ、透明性にも優れた金属調加飾シートを提供する。
【解決手段】
熱可塑性樹脂シートの表面をポリエステル系樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、あるいはポリウレタン樹脂よりなるものとし、この熱可塑性樹脂シートと金属蒸着フィルムの金属層とを接着層を介さずに直接積層一体化する。 （もっと読む）