【課題】超伝導テープを製造するための全工程を同一環境の下で行うことが可能であって、製造コストと製造時間が短縮され、同一の蒸着条件が超伝導テープ全体に適用されることにより超伝導テープの均一性が向上して性能が優れるし、ドラムによる大面積の基板上への蒸着が可能であって蒸着効率および高品質の超伝導テープが得られる、一貫工程による超伝導テープ製造方法および装置の提供。
【解決手段】反応チャンバの内部で、ドラムに巻かれた基板を熱処理させ、蒸着チャンバから供給された超伝導テープを含む緩衝層、超伝導層、接触抵抗低減層、保護層を成す成分を前記基板上に連続的に蒸着させ、熱処理させることを特徴とする、一貫工程による超伝導テープ製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】周期表上でＶＩ族に属するモリブデン及びタングステンの安定した面心立方格子構造を有するモリブデン若しくはタングステン粒子又は該粒子からなる薄膜及びその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】面心立方格子（ｆｃｃ）結晶構造をもつ粒子であり、熱力学的に安定又は準安定である大径の粒子構造を備えていることを特徴とするモリブデン若しくはタングステン粒子又は該粒子からなる薄膜。面心立方格子（ｆｃｃ）結晶構造であり、かつ５回対称粒子構造を備えたモリブデン若しくはタングステン粒子又は該粒子からなる薄膜。 （もっと読む）

【課題】回収に特段の手間を要することなく、所望の微粒子を製造する。
【解決手段】筒型の回転ステージ２を回転させる工程と、不活性ガスを導入する工程と、物理的気相成長を開始して微粒子１１を生成させる工程と、によって、微粒子の製造を行う。 （もっと読む）

【課題】従来の蒸着装置では、蒸着中に蒸発材料の液面高さが変化し、その影響で基板に成膜される膜厚の均一性が悪化するという問題があった。
【解決手段】蒸発材料を蒸発させるための加熱源として蒸着装置に設けられる蒸発源３８の構成として、高周波誘導加熱に用いられる加熱用容器３９と、高周波誘導加熱を行なう誘導コイル４０と、成膜用の蒸発材料４１を含浸させた状態で加熱用容器３９に収容される多孔質体４５とを備える。 （もっと読む）

【課題】蒸着装置により長時間連続して安定的に蒸着を行うことを可能とする極めて実用性に秀れた蒸着材料供給装置の提供。
【解決手段】真空槽内に設けた蒸発源１に充填された蒸着材料２を加熱して蒸発させて基板上に付着させる蒸着装置に設けられ、前記蒸発源１に前記蒸着材料２を供給する蒸着材料供給装置であって、供給用の前記蒸着材料２が収納される材料収納体３に、この供給用の蒸着材料２を前記蒸発源１内に案内供給する案内供給口４を設け、この案内供給口４若しくは材料収納体３を、前記蒸発源１に対して接離自在に設けて、前記案内供給口４を、前記蒸発源１に近接せしめた近接供給状態と、前記蒸発源１から離反せしめた離反退避状態とに切替動自在に構成する。 （もっと読む）

【課題】任意の異種金属組成の合金を形成することが可能な合金製造方法および合金製造装置の提供。
【解決手段】異種金属をそれぞれの元素ごとに坩堝２３ａ，２３ｂに収容し、高周波誘導コイル４０ａ，４０ｂによって個別に高周波誘導加熱することにより蒸発させ、基板２０上に同時に蒸着させることにより、基板２０上に異種金属の合金を形成する。このように、異種金属をそれぞれの元素ごとに個別に高周波誘導加熱することにより、異種金属それぞれの蒸発量を、高周波誘導加熱条件によってこと細かく調整することが可能となるので、これらの異種金属を基板２０上に同時に蒸着させ、任意の異種金属組成の合金を形成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】必要な蒸発流の指向性を得られる真空蒸着用ルツボ、および、これを用いて層厚均一性の高い蒸着層を形成できる真空蒸着を家を提供する。
【解決手段】ルツボ本体から突出する筒状の蒸気排出口を有し、この蒸気排出口の側面が、蒸気排出方向に広がるように少なくとも一方向に傾斜しているルツボにより、および、前記ルツボを一方向に配列すると共に、この配列方向と直交する方向に基板を往復搬送し、かつ、ルツボの蒸気排出口がルツボの配列方向に傾斜することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 均一な膜厚組成を有する透明バリアフィルムを提供することにある。
【解決手段】 蒸着法により少なくとも片面に金属、あるいは無機酸化物層を積層したプラスチックフィルムを連続的に製造する際に、プラスチックフィルムの幅方向に１００ｍｍ以上５００ｍｍ以下であり、かつプラスチックフィルムと蒸着源との間隔が２５０ｍｍ以上の位置に少なくとも２台の蛍光Ｘ線を利用したモニターを配置し、形成した金属あるいは無機酸化物層の膜厚及び組成を測定しながら製造することを特徴とするロール状の長尺な透明ガスバリアフィルム。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも部分的に防食加工され、特に光沢のある、金属及び／又は非金属支持体の製造方法であって、ａ）支持体に、少なくとも部分的に被覆され得る少なくとも１つの面を設ける段階と、ｂ）第１の金属、第１の貴金属又は第１の金属合金を含む少なくとも１層の金属保護層と、第２の金属、第２の貴金属及び／又は第２の金属合金の少なくとも１種の酸、酸化物、複酸化物、酸化物水和物、硫化物、ハロゲン化物、窒化物、炭化物、窒化炭素、ホウ化物、ケイ化物、オキシハロゲン化物及び／又は塩と、を付与する段階と、を含む製造方法に関する。更に本発明は、少なくとも部分的に防食加工され、特に、光沢の在る支持体であって、支持体と、第１の金属、第１の貴金属又は第１の金属合金及び第２の金属、第２の貴金属及び／又は第２の金属合金の少なくとも１種の酸、酸化物、複酸化物、酸化物水和物、硫化物、ハロゲン化物、窒化物、炭化物、窒化炭素、ホウ化物、ケイ化物、オキシハロゲン化物、特にオキシフッ化物及び／又は塩を含む少なくとも１層の金属保護層と、を含む支持体に関する。 （もっと読む）

【課題】多層薄膜付き積層体の製造において、実質的に単独の蒸発源による１回の蒸着により長尺基材表面に多層の薄膜が形成可能であり、また特にディスプレイ前面電磁波シールドフィルムとして好適かつ生産性の高い、多層薄膜付き積層体の製造方法および製造装置を提供すること。
【解決手段】真空中にて長尺の基材を走行させて金属および金属化合物からなる多層薄膜付き積層体を製造するに際し、蒸発源と冷却ドラムの間の空間に仕切板を設けて基材走行方向に複数の蒸着領域を形成し、蒸着領域のうち少なくとも一つの領域に反応性ガスを供給する。また、仕切板の位置を調整することにより多層薄膜の構造を制御する。 （もっと読む）

【課題】均一加熱性を大幅に改善することが可能な加熱蒸発装置および多元蒸着方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る加熱蒸発装置は、コイルヒータ５２ｂと容器５２ｃからなる加熱蒸発装置において、前記コイルヒータ５２ｂのコイル部と、前記容器の少なくとも側壁部とが非接触であり、かつ、前記コイル部と前記容器の側壁部との間の距離が略一定であることを特徴とする。この装置においては、前記容器を構成する材料の熱伝導率が大きいこと、前記コイルヒータ５２ｂのコイル部と前記容器の側壁部との間の距離が近いこと、前記容器の側壁部の厚みが均一でありかつ安全な範囲内でできるだけ薄いこと等が望ましい。なお、この装置は、多元蒸着方法に好適に用い得る。 （もっと読む）

ターゲット基材上に堆積される物質を加熱するための坩堝は、原料物質を含むように構成されている胴部、胴部の第１の端部に形成された基部、および胴部の第２の端部に形成された放出オリフィスを含む。坩堝は、加熱された原料物質が放出オリフィスを通って通過する前に、中間オリフィスを通過し、そして少なくとも１回坩堝胴部の内側表面に衝突するように、少なくとも配置されかつ構成されている１つの中間オリフィスをさらに含む。
（もっと読む）

【課題】 粉末の詰まりを低減する粉末加熱装置を提供する。
【解決手段】 粉末供給装置１、分散器２、直流プラズマ発生装置のトーチ４及び、分散器２からの配管Ｔ２に繋がる孔２２が設けられた第１柱状部２１Ａと、この孔に繋がる開口部の径がこの孔の径より大きく、徐々にその径が小さくなる分岐孔２５ｂ，２５ｃが設けられた第２の柱状部２１Ｂと、各分岐孔に繋がる開口部の径が各分岐孔の径より大きい孔２６ａ，２６ｂが設けられた第３柱状部２１Ｃから成るマニフォールド体の本体２１を備えている。 （もっと読む）

【課題】 純度の高いリチウム薄膜を形成すること。
【解決手段】 不活性ガス雰囲気の超微粒子生成室内で、リチウムまたはリチウム合金材料を加熱蒸発させてリチウムまたはリチウム合金の超微粒子を生成し、該超微粒子を前記不活性ガスに同伴させて搬送管により真空雰囲気の膜形成室内に搬送し、前記搬送管の先端に取り付けられ前記超微粒子の融点以下の温度に加熱されたノズルから前記膜形成室内に配置され、１００℃からリチウム金属、またはリチウム合金の融点以下までの温度に加熱された基板に向けて前記超微粒子を前記不活性ガスの圧力で噴射すると共に前記ノズル又は前記基板の一方を任意の移動速度で移動させることにより前記基板上に所望の膜厚でリチウムまたはリチウム合金の薄膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 リチウムの放電容量を向上させること。
【解決手段】 純度９９．９９９５％以上の不活性ガス雰囲気の超微粒子生成室内でリチウムまたはリチウム合金材料を加熱により加熱蒸発させてリチウムまたはリチウム合金の超微粒子を生成し、該超微粒子を前記不活性ガスに同伴させて搬送管により真空雰囲気の膜形成室内に搬送し、前記搬送管の先端に取り付けられ前記超微粒子の融点以下の温度に加熱されたノズルから前記膜形成室内に配置された基板に向けて前記超微粒子を前記不活性ガスの圧力で噴射すると共に前記ノズル又は前記基板の一方を任意の移動速度で移動させることにより前記基板上にリチウムまたはリチウム合金の薄膜を形成するようにし、前記不活性ガスを真空室内に導入する前に、真空排気系による前記膜形成室内の到達真空度を５×１０^-4Ｐａ以下とする。 （もっと読む）

【課題】 蒸着源に収容された有機材料の熱劣化を防ぐことができ、生産性が向上すると共に、蒸着レートを長時間安定して制御することができる有機材料の真空蒸着方法およびその装置を提供する。
【解決手段】 有機材料２を収容し一方が開口する容器１を備えた蒸着源２０からの蒸発物質５を対向する基板７に成膜する真空蒸着法であって、蒸着源は、容器に固定せずに容器の開口を閉塞するとともに容器中の有機材料の表面に接触する加熱体３を有し、加熱体のみを加熱して有機材料を蒸発させ、加熱体に形成された少なくとも１つの孔６又は少なくとも１つのスリットから蒸発物質を放出させる。 （もっと読む）

【課題】壁や他のスクリーンの設置を必要とすることなく、飛散が少しも基板に到達しない蒸発装置を提供すること。
【解決手段】少なくとも１つの物質で複数の基板をコーティングするための蒸発装置であって、溶融区域と、蒸発区域と、溶融区域および蒸発区域の間に設けられ、両者を連結する加熱区域と、溶融区域および蒸発区域の各々を異なる温度に加熱する加熱装置とを有する少なくとも１つの坩堝を具備する蒸発装置である。加熱区域を介して溶融物質が溶融区域から蒸発区域内へ流入するようになっていて、加熱区域の温度は溶融区域の温度および蒸発区域の温度の間である。 （もっと読む）

【課題】 球レンズの表面に，真空蒸着法等を用いてコーティングして無反射フィルタ膜等を形成する従来の方法では，全面に均一なフィルタ膜を成膜するのが困難である，微小外径の球レンズに適用することができない，球レンズに蒸着カス等が付着する等の課題がある。
【解決手段】 そこで本発明では，真空チャンバ１内におけるフィルタ膜材料２の供給源３の上方に球レンズ８の支持容器９を自転運動及び公転運動可能に支持し，自転運動の回転軸１３は鉛直方向に対して所定角度θ傾斜させると共に，この支持容器は少なくとも底面側に網状部１１を形成し，網状部に球状ガラスを載せて支持容器を回転させることにより，球状ガラスを網状部に対して転動させながら，供給源からフィルタ膜材料を供給して，球状ガラスの全面にフィルタ膜材料のコーティングを施し，成膜する全面フィルタ膜付き球レンズの製造方法を提案する。 （もっと読む）

本発明は、物理的蒸着を利用して基材を被覆する装置であって、コイル中で変動電流を用いて、ある量の導電性材料（１０）を空中浮揚状態に維持し、かつ該材料を加熱および蒸発させるためのコイル（１）が配置された真空チャンバを備えてなり、該コイルを空中浮揚された材料から隔離するための手段（３）が該コイル中に配置されている、装置に関する。本発明によれば、該装置は、該隔離手段が、非導電性材料製の容器（２）の一部であり、該容器が、蒸発した導電性材料を被覆されるべき該基材に導くための一個以上の開口部（５）を有することを特徴とする。本発明は、物理的蒸着を利用して基材を被覆する方法にも関する。
（もっと読む）

本発明は、環境に有害な物質を使用せず、より単純な膜構成で、高温高湿環境下での実用的な耐久性に優れ、しかも可視領域で９８％以上の分光反射率を有する銀鏡を提供することを課題とする。 本発明は、例えば図１に示すように、基体１上に少なくとも反射膜として銀膜３が形成されてなる銀鏡において、前記銀膜３の両面に直接酸化アルミニウムを主体とする膜２、４が形成された構造を有することを特徴とする。また、前記銀膜３の両面側に形成された酸化アルミニウムを主体とする膜２、４が、いずれも膜密度がバルク比０．９５以上（好ましくはバルク比０．９７以上）の膜であることを特徴とする。
（もっと読む）