【課題】多層配線構造における硼窒化ジルコニウム膜と下地膜との間の密着性を向上させることにより半導体装置の信頼性を向上させた半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第１メタルキャップ膜ＭＣ１と第２メタルキャップ膜ＭＣ２とが成膜される際に、まず基板Ｓの表面に水素ラジカルが供給されて、表面処理である微粒子のエッチング処理や未結合手への末端処理、さらには酸化層の還元処理が実行される。そして、この表面処理が基板Ｓに施された後、基板Ｓの表面にＺｒ（ＢＨ_４）_４と励起状態の窒素とが供給されて、第１メタルキャップ膜ＭＣ１及び第２メタルキャップ膜ＭＣ２である硼窒化ジルコニウム膜が成膜される。 （もっと読む）

【課題】良好な強誘電体膜を備えた強誘電体メモリ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、下地絶縁膜２３の上方に、アモルファス状の表層３３４を含んだ下地層イリジウム膜３３１を形成する工程と、アモルファス状の表層３３４を酸化して、酸化イリジウム層３３５とする酸化工程と、酸化イリジウム層３３５上にＭＯＣＶＤ法で強誘電体膜を形成する工程と、強誘電体膜上に電極を形成する工程と、を有する。アモルファス状の表層３３４を形成しており、表層３３４に多結晶構造がないので、これを均一に熱酸化することができる。したがって、酸化による体積膨張が均一となり、表層３３４の上面を平坦にすることができる。また、表層３３４の厚さを１０ｎｍ以上にしており酸素が表層３３４をほとんど透過しないので、下地層３３１はほとんど酸化されない。これにより、結晶性の下地層３３１が不均一に酸化されて凹凸を生じることが防止される。 （もっと読む）

【課題】高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、Ｔｉ化合物層と改質（Ｔｉ，Ｚｒ）ＣＮ層からなる下部層、改質α型酸化アルミニウム層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上部層と下部層の界面に臨んで存在するΣ３対応粒界の数と位置を測定した場合、上記界面に臨んで存在する下部層Σ３対応粒界のうちの３０〜７０％が、上部層Σ３対応粒界と連続する結晶粒界を形成し、さらに好ましくは、上記界面から少なくとも基体表面側に１μｍまでの深さ領域における下部層のΣ３の比率は、ΣＮ＋１全体の６０％以上を占め、また、上部層のΣ３の比率は、ΣＮ＋１全体の６０％以上を占める。 （もっと読む）

【課題】高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、密着性Ｔｉ化合物層と改質（Ｔｉ，Ｚｒ）ＣＮ層からなる下部層、改質（Ａｌ，Ｚｒ）_２Ｏ_３層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上部層と下部層の界面に臨んで存在するΣ３対応粒界の数と位置を測定した場合、上記界面に臨んで存在する下部層Σ３対応粒界のうちの３０〜７０％が、上部層Σ３対応粒界と連続する結晶粒界を形成し、さらに好ましくは、上記界面から少なくとも基体表面側に１μｍまでの深さ領域における下部層のΣ３の比率は、ΣＮ＋１全体の６０％以上を占め、また、上部層のΣ３の比率は、ΣＮ＋１全体の６０％以上を占める。 （もっと読む）

【課題】高速切削条件においてクレーター摩耗の低減とともに高度な耐摩耗性の付与可能な被膜を備えた表面被覆切削工具の提供。
【解決手段】基材と該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、該被膜は、１層または２層以上の層からなり、被膜のうち少なくとも１層は、ＡｌとＺｒとを少なくとも含む硬質酸化物被膜層であり、硬質酸化物被膜層は、ＡｌとＺｒの含有量が前記硬質酸化物被膜層の厚み方向に沿って変化する組成構造を有し、この変化は、Ａｌの含有量が極大となるＡｌ極大点とＺｒの含有量が極大となるＺｒ極大含有点とを含み、Ａｌ極大含有点とＺｒ極大含有点とが繰り返し存在し、Ａｌ極大含有点におけるＡｌの含有比率Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．９９９９＜Ａｌ≦１であり、Ｚｒ極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．００１≦Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．２であることを特徴とする。 （もっと読む）

金属源前駆体と式Ｉ：
Ｔｉ（Ｌ）_ｘ （式１）
（式中、Ｌはβ−ジケトナートであり、ｘは３または４である）
によるチタン系β−ジケトナート前駆体を使用して気相成長過程によって高κ誘電性膜を形成し安定化させる方法が提供される。さらに、式Ｉによるチタン前駆体を使用して半導体装置の高κゲート特性を改善する方法が提供される。式Ｉによるチタン前駆体を含んでなる高κ誘電性膜形成格子もまた提供される。 （もっと読む）

金属源前駆体および式Ｉ：
Ｃｅ（Ｌ）_ｘ （式Ｉ）
［式中、Ｌはβ−ジケトナートであり、ｘは３または４である］に従うセリウムのβ−ジケトナート前駆体を用いる化学相成長法により、高κ誘電性膜の形成と安定化の方法を提供する。さらに、式Ｉに従うセリウム前駆体を用い、半導体装置の高κゲート特性を改善する方法を提供する。また、酸化ハフニウム、酸化チタン、またはそれらの混合物を含み、さらに、誘電率を維持または増加させる量のセリウム原子を含有する高κ誘電性膜を提供する。 （もっと読む）

【課題】耐熱合金の断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、硬質被覆層として、ＴｉＮからなる最内層、高窒素ＴｉＣＮからなる内層、ＴｉＣＯ、ＴｉＣＮＯからなる内側密着層、α型Ａｌ_２Ｏ_３からなる中間層、ＴｉＣＯ、ＴｉＣＮＯからなる外側密着層、（Ｔｉ，Ｚｒ）（Ｃ，Ｎ）層または（Ｔｉ，Ｚｒ）Ｃ層からなる外層を蒸着形成し、さらに、硬質被覆層の表面には、乾式もしくは湿式ブラスト処理を施し、硬質被覆層の表面平滑化、残留応力の低減化を図る。 （もっと読む）

【課題】高速条件下の切削においてクレーター摩耗を低減するとともに高度な耐摩耗性を付与することができる被膜を備えた表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】基材と該基材上に形成された被膜とを備える表面被覆切削工具であって、この被膜は、１層または２層以上の層からなり、被膜のうち少なくとも１層は、ＡｌとＺｒとを少なくとも含む硬質酸化物被膜層であり、該被膜層は、ＡｌとＺｒの含有量が前記被膜層の厚み方向にそってＡｌの含有量が極大となるＡｌ極大含有点とＺｒの含有量が極大となるＺｒ極大含有点とを含み、Ａｌ極大含有点とＺｒ極大含有点とが繰り返し存在し、Ａｌ極大含有点におけるＡｌの含有量比率Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．９９≦Ａｌ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．９９９９であり、Ｚｒ極大含有点におけるＺｒの含有量比率Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）は、原子比で０．００１≦Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）≦０．２である組成構造を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ステンレス鋼、耐熱鋼等の高速断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、硬質被覆層として、ＴｉＮからなる最内層、高窒素ＴｉＣＮからなる内層、ＴｉＣＯ、ＴｉＣＮＯからなる内側密着層、α型Ａｌ_２Ｏ_３からなる中間層、ＴｉＣＯ、ＴｉＣＮＯからなる外側密着層、ＺｒＮ、ＺｒＣＮ、ＺｒＣの単層または積層からなる外層を蒸着形成し、さらに、硬質被覆層の表面には、乾式もしくは湿式ブラスト処理を施し、硬質被覆層の表面平滑化、残留応力の低減化を図る。 （もっと読む）

【課題】金属焼結多孔質体の表面に所望する機能を持つ薄膜を成膜するために用いる金属焼結多孔質部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】金属焼結多孔質体表面に薄膜を形成する製造方法において、金属粉末を焼結させて得た金属焼結多孔質体の表面を平滑に仕上げた後、その平滑面に皮膜を形成し一体化させる薄膜成膜用金属焼結多孔質部材の製造方法。また、上記金属焼結多孔質体の一表面を、表面粗さ（Ｒａ）が０．５μｍ以下になるまで平滑に仕上げる薄膜成膜用金属焼結多孔質部材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】α型酸化アルミニウム膜の機械強度を高め、皮膜硬度と伴に靭性と耐チッピング性に優れたジルコニウム含有酸化アルミニウム膜を被覆した被覆工具を提供する。
【解決手段】
工具基体に、ジルコニウム含有酸化アルミニウム層を被覆した被覆工具であって、該ジルコニウム含有酸化アルミニウム層はα型酸化アルミニウム、ジルコニウム化合物を含有し、該ジルコニウム含有酸化アルミニウム層のα型酸化アルミニウムの結晶粒子は略膜厚方向に縦長に成長しており、該α型酸化アルミニウムの結晶粒子間を埋めるように該ジルコニウム化合物が存在し、該ジルコニウム化合物は、窒素含有量を質量％でＮｚ、酸素含有量をＯｚとしたとき、Ｎｚ＞Ｏｚであることを特徴とする被覆工具である。 （もっと読む）

【課題】一括して処理することの出来る基板の枚数を減らすことなく、隣接する基板間へのガスの供給を促進させることが出来る半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】水平姿勢で多段に積層された基板１０を処理室４内に搬入する工程と、処理室４の内壁に沿うように基板１０の積層方向に延在された１本以上の処理ガス供給ノズル２２ａ，ｂから処理室４内に処理ガスを供給するとともに、処理室４の内壁に沿うように基板１０の積層方向に延在されるとともに基板１０の周方向に沿って処理ガス供給ノズル２２ａ，ｂを両方から挟むように設けられた一対の不活性ガス供給ノズル２２ｃ，ｄから処理室内に不活性ガスを供給して基板１０を処理する工程と、処理後の基板を処理室から搬出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】原子層成長法で成膜した膜のウェハ面内での膜特性の部分的な低下を防ぐ。
【解決手段】原子層成長装置１００は、ウェハ２００の側方に、ウェハ２００の全面にわたるように配置され、一端１１０ａから他端１１０ｂの方向に原料ガスが供給される金属原料ガス供給管１１０と、ウェハ２００の側方に、ウェハ２００の全面にわたるように配置され、一端１２０ａから他端１２０ｂの方向に作用ガスが供給される作用ガス供給管１２０とを含む。作用ガス供給管１２０には、ウェハ２００上に作用させる作用ガスを噴射する複数のガス吹き出し孔１２２が設けられ、ガス吹き出し孔１２２は、作用ガス供給管１２０の一端１２０ａから他端１２０ｂにいくにつれて徐々に密になるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 一括して処理することの出来る基板の枚数を減らすことなく、隣接する基板間へのガスの供給を促進させる。
【解決手段】 水平姿勢で多段に積層された基板を収納して処理する処理室と、処理室の内壁に沿うように基板の積層方向に延在されて処理室内に処理ガスを供給する１本以上の処理ガス供給ノズルと、処理室の内壁に沿うように基板の積層方向に延在されるとともに基板の周方向に沿って処理ガス供給ノズルを両方から挟むように設けられ処理室内に不活性ガスを供給する一対の不活性ガス供給ノズルと、処理室内を排気する排気ラインと、を有する。 （もっと読む）

【課題】窒化金属膜及び該窒化金属膜を作製する窒化金属膜作製装置及び作製方法を提供する。
【解決手段】基板３を支持台２に載置して収容したチャンバ１の内部において、ヘリウムで希釈した塩素ガスプラズマにより、タンタルで形成した被エッチング部材１４をエッチングして塩化タンタルガスからなる前駆体１７を生成し、基板３の温度を被エッチング部材１４の温度よりも低くして前駆体１７を基板３に吸着させ、塩素ガスプラズマにより吸着した前駆体１７を還元してタンタル成分を基板３に成膜する際に、窒素ガスをプラズマ化して得られる窒素ガスプラズマによりタンタル成分を窒化して、基板３に窒化金属膜１８を成膜する窒化金属膜作製方法において、窒素ガスの供給量を制御して窒素ガス／ハロゲンガス流量比を０より大きく０．１以下とし、窒化金属膜１８の窒素原子と金属原子の原子組成比であるＮ／Ｍ比を０より大きく１以下となるようする。 （もっと読む）

【課題】硬質被覆層が高速重切削加工ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）上部層として、平板多角形（平坦六角形状を含む）状かつたて長形状の結晶粒組織構造を有し、Ｚｒを含有するα型Ａｌ_２Ｏ_３を蒸着形成した表面被覆切削工具において、上部層の結晶粒の内、面積比率で６０％以上の結晶粒の内部は、少なくとも一つ以上のΣ３で表される構成原子共有格子点形態からなる結晶格子界面により分断されている。 （もっと読む）

【課題】ゲート絶縁膜に用いる高誘電体金属酸化膜又は高誘電体金属シリケート膜におけるリーク電流を低減できるようにする。
【解決手段】高誘電体金属シリケートからなるゲート絶縁膜の形成において、金属等を含む前駆体の暴露時間には、表面吸着反応により成膜レートが飽和する時間を用い、酸化剤の暴露時間には、金属酸化膜の組成が化学量論値の９７％以上となる時間を用いてＡＬＤ堆積を行う。 （もっと読む）

【課題】高熱発生を伴い、かつ、切刃に対して衝撃的負荷が作用する高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、下部層として、密着性Ｔｉ化合物層と縦長成長結晶組織を有する改質Ｔｉ系炭窒化物層、上部層としてＡｌ_２Ｏ_３層からなる硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具において、前記改質Ｔｉ系炭窒化物層は、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１２｝面の法線および｛１１０｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうちで、｛１１２｝面についての測定傾斜角および｛１１０｝面についての測定傾斜角が、前記表面研磨面の法線に対して０〜１０度の傾斜角の範囲内にあるそれぞれの結晶粒子の総面積Ａと総面積Ｂを求めた場合、Ａ／Ｂが２〜９である結晶配向性を示す改質Ｔｉ系炭窒化物層である。 （もっと読む）

【課題】難削材の高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、Ｔｉ化合物層からなる下部層と、Ａｌ−Ｚｒ複合酸化物層と改質Ｔｉ炭窒酸化物層の交互積層からなる上部層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｚｒ複合酸化物層は、組成式（Ａｌ_１−ＸＺｒ_Ｘ）_２Ｏ_３（０．００３≦Ｘ≦０．０５）を満足し、また、改質Ｔｉ炭窒酸化物層は、層の縦断面研磨面の法線に対して、（００１）面および（０１１）面の法線がなす傾斜角を測定し、（００１）面の法線同士および（０１１）面の法線同士の交わる角度が２度以上の場合を粒界と設定した場合、測定領域において粒界として識別される結晶粒相互間の界面のうち、（００１）面の法線同士、および（０１１）面の法線同士の交わる角度が１５度以上の粒界の長さＧＢＬと、測定した層の層厚Ｔの比の値ＧＢＬ／Ｔが３２０〜６００を示す。 （もっと読む）