【課題】
【解決手段】本発明は、ネガティブフォトレジストを用いたガラスまたは金属エッチング方法およびこれを用いたクリシェの製造方法に関する。本発明に係るガラスまたは金属エッチング方法は、ネガティブフォトレジストと金属または金属酸化物との接着力が優れているので金属または金属酸化物エッチング液によってフォトレジスト層が腐食されないだけでなく、逆型のフォトマスクを製作する必要がないので製造工程が簡単であり、混合波長などの低分解能光源を用いることができて経済的である。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化アルミニウムパーツを再生するためのクリーニングプロセスは、パーツが、エッチングリアクタにおいてフッ素含有プラズマに露出された時に特に有用である。
【解決手段】パーツを、フッ化アンモニウムのようなフッ化物酸の攪拌溶液に浸し（８６）、フッ化アルミニウムを可溶のフッ化物に変換する。パーツを水で濯ぐ（８８）。クリーニングした陽極酸化物のポアは、熱攪拌脱イオン水にパーツを浸すことにより、再シーリング（９０）される。 （もっと読む）

【課題】窒化チタン被膜を剥離するための窒化チタン剥離液であって、特にタングステン又はタングステン合金を含む層を有する半導体多層積層体においても、この層を浸食することなく、窒化チタン被膜を剥離できる窒化チタン剥離液を提供すること。
【解決手段】フッ酸、過酸化水素、及び水を含有し、更に、フッ酸以外の無機酸を含有する窒化チタン剥離液。本発明によれば、窒化チタン剥離液が、フッ酸以外の無機酸を含むので、半導体多層積層体がタングステン又はタングステン合金を含む層を有する場合においても、窒化チタン剥離液がこの層を浸食することなく、窒化チタン被膜を剥離することができる。 （もっと読む）

【課題】管状金属合金とＦＲＰプリプレグを相互に接着させ、引っ張り応力、及び、圧縮応力に対応した軽量で強固な構造体を構成する。
【解決手段】管状金属部品６０の外周面に化学エッチングによるミクロンオーダーの粗度があり、且つその表面は電子顕微鏡観察で、高さ又は深さ及び幅が１０〜５００ｎｍで長さが１０ｎｍ以上の仕切り状凸部、又は溝状凹部が１０〜数百ｎｍ周期で全面に存在する超微細凹凸形状を形成し、その表面が金属酸化物又は金属リン酸化物の薄層２１とする。これに管状の繊維強化プラスチック材６１をエポキシ系樹脂剤６２により接着させ、管状複合体を形成する。管状金属部品は、アルミニウム合金、マグネシウム合金、銅合金、チタン合金、ステンレス合金、鉄鋼材等である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板上にチタン膜/銅膜またはチタン合金膜/銅膜が形成された２重積層膜や、チタン膜／銅膜／チタン膜またはチタン合金膜／銅膜／チタン合金膜が形成された３重積層膜などの多重積層膜をパターニングする際、エッチング処理される基板の枚数増加に伴うエッチング性能の低下を最少にして、積層膜のパターンプロファイルが均一で、収率を増大させ、製造費用が節減できるエッチング液、及びそのエッチング液を用いた薄膜トランジスタを含む電子素子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、エッチング液及び薄膜トランジスタを含む電子素子の製造方法に関し、前記エッチング液は、フッ素イオン供給源、過酸化水素、硫酸塩、リン酸塩、アゾール系化合物、及び溶媒を含む。 （もっと読む）

【課題】銅や黄銅からなる基材にスズめっき層を形成した試料について、スズめっき層をより正確に定量する方法を提供する。
【解決手段】銅または黄銅からなる基材に、スズまたはスズ合金からなるめっき層を形成してなる試料、もしくは金属製の基材に、銅または黄銅からなる下地層を介して、スズまたはスズ合金からなるめっき層を形成してなる試料における前記めっき層の定量分析方法であって、 ホウフッ化水素酸をホウ素元素換算で１．６質量％、ホウ素化合物をホウ素元素換算で０．２質量％以下、チオ尿素を１質量％以下の割合で含む水溶液からなるめっき剥離液を前記試料に接触させて前記めっき層を溶解し、溶解分を含有する前記めっき剥離液について定量することを特徴とするスズまたはスズ合金めっき層の定量分析方法。 （もっと読む）

【課題】 高い安定性と工程マージンを保障し、銅を含む金属層を均等にテーパエッチングすることができる優れたエッチング液を提供する。
【解決手段】 本発明は液晶表示装置の回路パターンに使用される銅配線をエッチングするエッチング液組成物に関するものである。本発明のエッチング液組成物は過硫酸アンモニウムとアゾール系化合物を含む。本発明のエッチング液組成物は過酸化水素を含有しないので安定性と工程上マージンを確保することができ、優れたテーパエッチングプロファイルを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 優れた耐熱性と強度を有するチタン合金から成る高い空力学的性能を期待できる安価なコンプレッサ羽根車の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、ハブ軸と、ハブディスク部と、複数のブレードとを有し、ブレードに囲まれた空間にハブ軸から半径方向外方に向かってアンダーカットが形成されているコンプレッサ羽根車を、質量％でＡｌ：５．５０〜６．７５％、Ｖ：３．５０〜４．５０％、Ｂ：０．０３〜０．３０％、Ｆｅ：０．４０％以下、Ｃ：０．４０％以下、Ｎ：０．０５％以下、Ｈ：０．０１５％以下、Ｏ：０．２５％以下、残部Ｔｉおよび不可避的不純物を含有して成るチタン合金を用い、ロストワックス鋳造法により、アンダーカットを緩和した形状の簡易ブレードを有する羽根車素材を形成し、表面の硬化層を除去した後、簡易ブレードをブレードの形状に塑性変形させるコンプレッサ羽根車の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 機械的な除去を必要とすることなく表面層を化学的に、均一に除去するためのシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】 金属部品の表面処理方法は、チタン合金α相の析出物を有する表面層を化学的に除去しチタン合金β相を有するコアを露出させるステップを含む。化学的除去では、硝酸及びフッ化水素酸を含む第１の溶液及び硝酸を含む第２の溶液を使用する。 （もっと読む）

【課題】金属基材、例えば超合金部品からの低アルミニウム（Ａｌ）含有の皮膜を基材から選択的に除去する方法を提供する。
【解決手段】アルミニウムを皮膜内部に拡散させる。この皮膜を、式Ｈ_ｘＡＦ_６を有する１種以上の酸及びこの酸の前駆体を含む水性組成物と接触させる。式中のＡはＳｉ、Ｇｅ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ａｌ及びＧａからなる群から選択され、ｘは１〜６である。除去される皮膜はＭｃｒＡｌ（Ｘ）材料であることが多い。基材は金属、通常超合金である。 （もっと読む）

【課題】見た目や触感で凹凸感を得るような粗さの凹凸形成ができ且つ低コストで重量の減少の少ないアルミニウム材の表面処理方法を提供する。
【解決手段】本発明のアルミニウム材の表面処理方法は、１０ｇ／ｌ以上の硫酸及び１０ｇ／ｌ以上のフッ化アンモニウムを含み且つフッ化アンモニウムに対する硫酸の濃度比が０．６〜１．２で浴温２０〜７０℃の硫酸フッ化アンモニウム浴にアルミニウム材を浸漬して、アルミニウム材の表面にフッ化アルミニウムを析出させた後、４０ｇ／ｌ以上の硫酸を含み且つフッ化アンモニウムに対する硫酸の濃度比が１．２よりも高く浴温が６０℃以上である硫酸フッ化アンモニウム浴にフッ化アルミニウムを析出させたアルミニウム材を浸漬して、アルミニウム材表面のフッ化アルミニウムを除去することにより、アルミニウム材表面に凹凸を形成する。 （もっと読む）

【課題】表面積をさらに拡大し、静電容量を向上させることのできる電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法を提供する。
【解決手段】塩酸水溶液に硝酸、リン酸、硫酸またはフッ酸を添加したエッチング液を用いてアルミニウム箔をエッチングする電解コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法において、
ギ酸、酢酸、プロピオン酸などのモノカルボン酸を１．０〜５．０ｗｔ％の濃度で添加する。その際のエッチング液の温度を２５〜４０℃に設定する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等を高精度でエッチングでき、メンテナンスの必要性を低減できるエッチング方法およびエッチング装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被処理部材をエッチング液に浸漬させてエッチング処理を行うエッチング槽１０からエッチング液を取り出して循環させる循環ライン３０を形成する。そして、循環ライン３０を流れるエッチング液を、浸漬膜２１を備える濾過槽２０内に導いて、浸漬膜２１による吸引濾過を行い、ＳＳが除去された濾液を循環ライン３０に戻す。 （もっと読む）

【課題】透光性基板上に、半透光性膜と、遮光性膜とが順次形成されたマスクブランクか
ら、前記遮光性膜及び前記半透光性膜をパターニングして、フォトマスクを製造するフォ
トマスクの製造方法において、前記半透光性膜のウエットエッチングに伴って発生するガ
スによる前記半透光性膜及び／又は前記遮光性膜のパターン欠陥を防止できる、フォトマ
スクの製造方法を提供する。
【解決手段】透光性基板上に、露光光に対する透過量を調整する機能を有し、金属及び珪
素を含む材料からなる半透光性膜と、露光光を遮光する遮光性膜とが順次形成されたマス
クブランクから、前記遮光性膜及び前記半透光性膜をパターニングして、フォトマスクを
製造するフォトマスクの製造方法であって、
前記半透光性膜のパターニングは、弗化水素酸、珪弗化水素酸、弗化水素アンモニウム
から選ばれる少なくとも一つの弗素化合物と、過酸化水素、硝酸、硫酸から選ばれる少な
くとも一つの酸化剤とを含むエッチング液を用いたウエットエッチングによって行われ、
前記エッチング液は、該エッチング液中の前記弗素化合物と前記酸化剤のモル比を、ウ
エットエッチングに伴って発生するガスによるパターン欠陥を防止するモル比に設定した
エッチング液とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】過酸化物含有溶液を用いて、金属表面を化学研磨する方法を提供する。
【解決手段】研磨溶液は、金属および過酸化物含有酸性研磨溶液を安定化するための、尿素および、１つ以上のヒドロキシル基または１つ以上のアミノ基で置換されていてもよい１種以上のアルカンジホスホン酸またはその塩の混合物を含有した過酸化物含有した溶液である。また、ｐＨが０〜３で、鉄含有金属表面、及び銅含有金属表面を化学研磨するのに適用できる。 （もっと読む）

【課題】筐体間の隙間からの処理液流出を防止することができる処理液供給装置を提供する。
【解決手段】処理液供給ノズル１は、所定間隔の隙間２を隔てて上下に対向配置された上部筐体１０および下部筐体２０を備える。上部筐体１０および下部筐体２０のそれぞれの側壁面には処理液供給部１２，２２および処理液排出部１５，２５が付設されている。処理液供給部１２，２２が隙間２の一方側から処理液を供給して処理液排出部１５，２５が他方側から吸引することによって隙間２に処理液流が形成され、ガラス基板ＧＳはその隙間２中を搬送される。下部筐体２０の上面２１には、ガラス基板ＧＳの先端部が支持コロ５０に接触して跳ね上がりが生じた場合であっても、隙間２の基板入口側に形成された処理液のメニスカスを維持できるようなピッチにて複数の支持コロ５０が配列されている。 （もっと読む）

【課題】アルミニウムを含む材料のウエットエッチングに適したエッチング液、エッチング方法、及び対向基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】アルミニウムを含む材料のエッチング液であって、
前記エッチング液は、フッ化水素アンモニウムと過酸化水素と水を含む溶液からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコンの清浄化のために消費された、ＨＦ、ＨＮＯ₃、Ｈ₂ＳｉＦ₆及びＨＮＯ₂を含有する水性のエッチング混合物から簡単に廉価に酸回収する。
【解決手段】消費されたエッチング混合物を、段階的に蒸留するにあたり、第一の留分において、約２０〜５０質量％の消費されたエッチング混合物を希酸として留去し、その際、該希酸は、ヘキサフルオロケイ酸として溶解されたケイ素９０質量％より多くを含有し、かつ消費されたエッチング混合物中の含水率は、約１０〜３０質量％だけ低下し、そしてこの水が少ない混合物を、消費された水性エッチング混合物の出発量の約１〜５質量％の残留物を残して蒸発させ、そしてここで留去された第二の留分を、１つの容器中に受容し、そして引き続き残留物を廃棄処理する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス等の絶縁膜基板、シリコン基板および化合物半導体基板上にスパッタリング法により成膜したチタンまたはチタンを主成分とする合金からなる層と、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とする合金からなる層とを含む金属積層膜を下地の基板等にダメージを与えることなく、さらに、テーパー角度を３０〜９０度に抑制し、積層膜を一括にエッチング可能なエッチング液組成物を提供する。
【解決手段】 本発明のエッチング液組成物は、ヘキサフルオロケイ酸、ふっ化水素酸の金属塩またはアンモニウム塩、およびヘキサフルオロケイ酸の金属塩またはアンモニウム塩からなる群から選ばれた少なくとも1種のふっ素化合物と酸化剤とを含有する。 （もっと読む）

【課題】好適なエッチング速度の選択が容易であり、安定したエッチング速度を持続でき、更には、容易に再利用が可能で、再利用場面が拡大された、エッチング液を提供する。特にシリコンウエハに要求されるウェハの平坦度、光沢度の向上、ウエハ全体の「うねり」抑制が充分に期待できる。
【解決手段】少なくとも、弗酸、硝酸およびヘキサフルオロ珪酸を含むエッチング液であって、ヘキサフルオロ珪酸濃度が１０重量％以上である。 （もっと読む）