【課題】雰囲気ガスの露点を正確に制御することができ、露点を水温以下に制御することも容易であり、設備コストやランニングコストも抑制できる雰囲気ガスの露点制御装置を提供する。
【解決手段】本発明の雰囲気ガスの露点制御装置は、炉内に打込まれる雰囲気ガスの圧力を利用し水を噴霧して気化させる気化ノズルを備えた気化器と、炉内に打込まれる雰囲気ガスの流量制御計と、気化ノズルに供給される水の流量制御計とを備える。水の流量制御計は炉内に打込まれる雰囲気ガスの流量と設定したい露点とから算出された水量を、気化ノズルに供給する機能を有し、これによって雰囲気ガスの露点を正確に制御することが可能になる。雰囲気ガスは還元性であっても、酸化性であってもよい。 （もっと読む）

【課題】搬送ローラを支持するための支持軸を回転可能に支持する軸受の耐久性を高めることができる加熱炉用搬送ローラ支持装置を提供する。
【解決手段】搬送ローラ支持装置６において、炉体の側壁１４と軸受装置６６との間に冷却装置６２が設けられ、正圧雰囲気に維持された炉体内から貫通穴２８を通して軸受装置側へ向かう高温気体がその冷却装置により冷却されることから、軸受装置に対する高温気体による加熱が緩和されるので、その軸受装置の耐久性が高められる。したがって、軸受装置の固着が防止されるとともに、その軸受装置に対する保守や点検作業が軽減される。 （もっと読む）

【課題】 熱処理された板状体などの冷却を行うことができ、装置を小さくしながら、効率よく冷却できる板状体冷却装置を提供する。
【解決手段】 板状体冷却装置１は、板状体９０が配置される板状体配置部１１と、冷却部材１０とを有している。冷却部材１０には吹出部材２０と吸込部材３０が設けられており、吹出部材２０及び吸込部材３０は、板状体９０を挟んで対向するように配置されている。また、板状体配置部１１には、板状体９０を搬入、搬出することができる開放部１１ａが配置されている。
そして、吹出部材２０と吸込部材３０とが対向する方向は、板状体配置部１１の開放面で板状体９０を搬入、搬出する方向に対して交差する方向となっている。 （もっと読む）

【課題】 熱処理された板状体などの冷却を行うことができ、装置を小さくしながら、効率よく冷却できる板状体冷却装置を提供する。
【解決手段】 板状体冷却装置１は、板状体９０が配置される板状体配置部１１と、上側冷却部２０と下側冷却部３０を有している。上側冷却部２０及び下側冷却部３０は、板状体配置部１１の上下に配置され、内側板２１、３１、外側板２２、３２及びファン２９、３９が設けられている。
また、内側板２１、３１及び外側板２２、３２を連通して、筒状体２６、３６により形成される第１貫通孔２８、３８と、内側板２１、３１を貫通する第２貫通孔２５、３５とが全域に形成されている。そして、ファン２９、３９を作動させ、外部の空気を第１貫通孔２８、３８から通過させて、板状体９０を冷却し、第２貫通孔２５、３５から中間空間２３、３３を通過させて外部に排出する。 （もっと読む）

【課題】搬送手段による熱損失を低減できるリフロー半田付け装置を提供する。
【解決手段】電子部品を搭載した基板６を搬送手段で炉１内を搬送しながら半田付けを行うリフロー半田付け装置において、搬送手段がベルト１４とプーリ１３，１５を備えたベルトコンベヤ５からなる。ベルトコンベヤ５は左右に間隔を置いて並列配置され、基板６の左右端部を支持しながら基板を搬送する。ベルトコンベヤ５が基板ガイド手段（基板ガイドピン１７）を有するのが好ましい。また、ベルト１４の上下方向位置をガイドするための上下方向ベルトガイド手段（下ガイドレール２１と上ガイドレール２４）を有するのが好ましい。また、ベルト１４の幅方向位置をガイドするための幅方向ベルトガイド手段（下ガイドレール２１や上ガイドレール２４に設けられているガイド溝２２，２３，２６とそれに挿入される噛合ピン１８，２０やベルトガイドピン１９）を有するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】消費電力の増加を抑制すると共に断熱炉内を循環する空気に含まれる昇華物の量を低減させることができる熱処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る熱処理装置１０は、被処理物Ｗを熱処理する熱処理部２０を有し、この熱処理部２０を通るように内部で空気が循環する断熱炉１１を備え、前記断熱炉１１は、前記熱処理部２０の温度調節のために前記循環する空気Ｃを加熱する発熱部３１ａと、前記熱処理部２０の温度を検出する第一温度検出手段２７と、この第一温度検出手段２７によって検出された温度に基づいて前記発熱部３１ａを制御する発熱部制御手段２８と、前記循環する空気Ｃの一部がその内部を上流側端部から下流側端部へ向けて流通する管路３２と、を具備し、前記発熱部３１ａは、前記管路３２内に収容されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の片面にリフローはんだ付けをする際、基板のはんだ付けを行う面の表面温度とはんだ付けを行わない面の表面温度との間に温度差を確保する。
【解決手段】搬送路４１を介して、加熱部１５と筐体部３５とが設けられる。加熱部１５は、被加熱体Ｗのリフロー面Ｗ１を加熱する。筐体部３５は、搬送路４１と近接する開口面３６と、開口面３６に対向する閉塞面３７とを有する筐体で、搬送路４１から筐体部３５の閉塞面３７までの距離は、搬送路４１から輻射パネル１９までの距離に比してより長いため、筐体部３５内の温度を加熱部１５内の温度よりも低下させることができる。 （もっと読む）

【課題】熱処理部を循環する空気の温度に依存することなく、被処理物を熱処理する際に発生する昇華物を酸化分解することができる熱処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る熱処理装置１０は、被処理物Ｗを熱処理する熱処理部２０と、空気を加熱して循環させる空気調整部３０と、で構成される断熱炉１１を備え、この断熱炉１１は、被処理物Ｗを熱処理する際に発生する昇華物を分解可能な光触媒手段３１を有し、この光触媒手段３１は、光が照射され且つ断熱炉１１内を循環する空気と接触する位置に配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率が高い基板焼成炉の給排気システムを提供する。
【解決手段】炉体１０にて加熱されるガラス基板Ｗからは多量の有機物が発生する。炉体１０の排気口１４からは有機物を含む熱排気が排出され、ファン２１によって循環経路２０に熱風の気流として送り出され、その気流がヒータ２２によって加熱された後に耐熱ＨＥＰＡフィルタ１３によって浄化されて吹き出し口１２から炉体１０の内部空間に再供給される。熱排気の一部は排気管３０に流れ込んで触媒ユニット３１を通過する。触媒ユニット３１では有機物の熱分解と酸化分解とが同時に生じ、排気気体中に含まれる有機物のほとんどが分解され、触媒ユニット３１の入口側温度よりも出口側温度が約２００℃上昇する。高温の排気気体が熱交換器５０に流入して給気気体との熱交換が行われることとなり、エネルギー効率を良好なものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】送風機や加熱器の故障を防止する状態で熱処理部の熱処理室内を洗浄することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理室１１に被熱処理物Ｗが出し入れ可能に収容され、かつ気体導入部１２および気体導出部１３を有する熱処理部１０と、熱処理部１０の気体導入部１２へ熱処理用気体を導入するとともに気体導出部１３から熱処理済みの気体を導出するように構成された気体通路２１Ａを有し、その気体通路２１Ａに、被熱処理物Ｗを熱処理する際に被熱処理物Ｗから発生する昇華物を分解するための触媒３０と、少なくとも触媒３０を加熱する加熱器３１と、送風機３２とが設けられた気体処理部２０Ａと、熱処理部１０の気体導入部１２および気体導出部１３に対し、気体通路２１Ａを着脱可能に連結する連結手（連結用フランジ１４、１５、２５、２６およびボルト・ナット）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】送風機や加熱器などの電気機器が故障しても迅速に対処することができる気体処理ユニットを提供する。
【解決手段】熱処理室１１に被熱処理物Ｗが出し入れ可能に収容され、かつ熱処理室１１に共に連通する気体導入部１２および気体導出部１３を有する熱処理ユニット１０に対して付設される気体処理ユニット２０Ａであって、気体導入部１２に第１接続部（１４、２５）を介して着脱可能に連結される導入ダクト２２、および気体導出部１３に第２接続部（１５、２６）を介して着脱可能に連結される導出ダクト２３を有し、気体導入部１２へ熱処理用気体を導入しかつ気体導出部１３から熱処理済みの気体を導出するための気体通路２１Ａと、熱処理済みの気体に含まれる、被熱処理物Ｗから発生した昇華物を分解するための触媒３０と、少なくとも触媒３０を加熱する加熱器３１と、熱処理用気体および熱処理済みの気体を所定方向に導く送風機３２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】熱処理の際に被熱処理物から発生した昇華物を気体導出孔以降へ流出し難くすることができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】互いに連通する加熱室１２と熱処理室１１とを内蔵する装置本体１０の熱処理室１１に被熱処理物Ｗが出し入れ可能に収容され、かつ装置本体１０の加熱室１２に対応する箇所に設けた気体導入孔１４から導入した熱処理用気体を加熱室１２で加熱することにより被熱処理物Ｗを熱処理し、装置本体１０の熱処理室１１に対応する箇所に設けた気体導出孔１６から熱処理済みの気体を導出する熱処理装置１Ａにおいて、熱処理済みの気体に含まれる被熱処理物Ｗから発生した昇華物Ａを分解するための触媒２２が、気体導出孔１６の入口１６ａを塞ぐように設けられている。 （もっと読む）

【課題】隣接する２つの熱処理ゾーン間で処理対象物の搬送方向を横断する方向に気体を流通させ、隣接する熱処理ゾーン間の熱干渉を抑制して搬送方向の断熱材の長さを短くし、装置の長さを短縮できる連続焼成装置を提供する。
【解決手段】連続焼成装置１０の炉１１内で複数の熱処理ゾーン１２のそれぞれの間に給気部材１及び排気部材２を基板１００の搬送方向Ｘに直交する方向で対向する位置に配置し、給気部材１から、炉１１の外部の気体を排気部材２に向けて吐出し、排気部材２によって炉１１の内部の気体を炉１１の外部に排出し、隣接する熱処理ゾーン１２の間が気体によって遮断され、一方の熱処理ゾーン１２の熱が他方の熱処理ゾーン１２に影響を与えることが効果的に抑制される。 （もっと読む）

【課題】焼鈍炉の炉内温度を均熱化し鉄心の焼鈍を行うもので、特に、熱処理時間のシビアなアモルファス材鉄心の焼鈍に有効な手段となる焼鈍炉を提供する。
【解決手段】アモルファス鉄心を焼鈍する鉄心焼鈍炉において、炉体上部に熱源及びファン１を設置し、該炉体は、炉体の内側の隔壁で形成された炉内１４と、該隔壁と炉体外側の外壁２Ｂとで形成された空間の二層構造を形成し、該ファンは前記炉体上部中央に設置し、前記ファンは、二層構造の炉内から熱風を取り込み、二層構造の外側へ熱風を送り、該炉体下部より炉内に入り、鉄心１２を加熱して、熱風を循環させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】隣り合うゾーンの温度差を高い状態で維持し得るリフロー装置の提供。
【解決手段】複数のチャンバ１１１が並設され、当該チャンバ１１１を貫通して延びる搬送路１０７を備えたリフロー装置１００であって、前記複数のチャンバ１１１内の雰囲気を前記チャンバ１１１外に導出し、再び前記複数のチャンバ１１１のそれぞれに導入する外循環経路を形成する外循環ダクト１６０と、前記外循環経路を通過する雰囲気を冷却する冷却手段１６４と、前記各チャンバ１１１に導入される雰囲気の流量を制御可能な流量制御バルブ１７１と、前記流量制御バルブ１７１の開度を制御する制御手段２００とを備える。 （もっと読む）

【課題】ファンが収容されているケーシング内において、ファンの回転を妨げるフラックス成分の堆積を防止できるリフロー装置およびフラックスの除去方法を提供する。
【解決手段】ファン５１の近傍には、メインの雰囲気ガスである窒素ガスの導入口とは別に、フラックス除去用の窒素ガスを導入するための窒素導入口をファンの回転軸を支持するベースプレート５３の側近に設け、窒素導入口５６からフラックス成分を液化することを可能とする温度（たとえば１４０℃以上）に加熱した窒素ガスが導入される。これにより、ファン５１の回転軸近傍でのフラックスの固化を防ぎ、フラックス成分の堆積を防止できる。 （もっと読む）

【課題】アルミ合金のような反射率の高い表面状態を有する金属でも所定の短時間内で材料表面全体にわたり、比較的高温度まで所定の狭い温度差の範囲内で均一に加熱することのできる熱風循環・近赤外線加熱併用式連続炉を提供する。
【解決手段】熱風循環・近赤外線加熱併用式連続炉を、被処理品Ｗを載せて加熱炉内を通過させるメッシュベルトコンベア２と、加熱炉内に配置されるシーズヒータ５と、加熱炉内に配置したシロッコファン６と、該シロッコファン６を介して前記メッシュベルトコンベア２の上側近傍に多数の熱風吹き出し口を設けた熱風吹き出し部材８と、前記メッシュベルトコンベア２の上側と下側に配置される近赤外線ランプヒータ９、１０と、で構成する。 （もっと読む）

【課題】被加熱対象物を搬送して加熱できる小型でシンプルな搬送式加熱システムであって、被加熱対象物を高精度で且つ均一に加熱することができる搬送式加熱装置および方法を提供する。
【解決手段】第１コンベア３は被加熱対象物１を複数個搭載した搬送用キャリア２を一定速度で連続搬送する。第２コンベア６は第１コンベア３の下流側に配置され搬送用キャリア２を一定距離毎に間欠搬送する。移送装置９は搬送用キャリア２を第１コンベア３の衆多日５から第２コンベア６の供給位置７に移送する。第１加熱装置１０では加熱ユニット１１，１４が被加熱対象物１を加熱し、第２加熱装置１７では加熱ユニット１８，２１，２４が被加熱対象物１を加熱する。この場合に、被加熱対象物１は、第２加熱装置１７の加熱ユニット１８，２１，２４内で、シャッタ２９，３２，３５，３８により閉じこめられた状態で加熱される。 （もっと読む）

【課題】高精度の温度プロファイルを作ることができる縦型加熱炉の提供。
【解決手段】被加熱物６が鉛直方向に通過することにより加熱される縦型加熱炉において、炉内の空間を複数の温度ゾーンに分割するための仕切り板５を設け、その仕切り板５に、被加熱物６が載置された搬送治具４が通過可能な最小の被加熱物通過孔１２を設ける。また、各々の温度ゾーン内に、加熱手段３によって加熱された熱風２を該温度ゾーン内で水平方向に循環させる熱風水平循環手段１を設ける。また、各々の温度ゾーン内に、熱風２を冷却するための冷却エアー１４を供給する冷却エアー供給口１３を設ける。これらにより、自然対流の影響を抑制することができ、炉内に高精度の温度プロファイルを作成することができる。 （もっと読む）

【課題】被処理物が昇温する際の、被処理物の表面温度のばらつきを、ある一定の温度差に納めることができ、一定時間内に大量に加熱することができる、加熱方法及び間欠送り式トンネル炉、バッチ炉を提供する。
【解決手段】進行方向に対して複数に区画された炉室１ｊと、被処理物２０を炉室１ｊ間で間欠的に搬送する搬送手段と、この炉室１ｊ内の炉内ガスを循環させて、この炉内ガスを炉室１ｊの両側方から炉室１ｊ内に送風する送風手段４と、前記炉内ガスを加熱して熱風を生成する加熱手段７と、炉室１ｊの両側方から送風される熱風の送風量を制御する送風量制御手段６を有し、隣接する炉室１ｊの両側方から送風される熱風の送風量の比率を交互に変えるように構成する。 （もっと読む）