Fターム[4M112DA01]の内容
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Fターム[4M112DA01]に分類される特許
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物理量センサー、および電子機器
【課題】測定精度の高い物理量センサーを提供する。
【解決手段】本発明の物理量センサーは、支持基板20と、前記支持基板に固定された固定電極指38、39と、前記固定電極指と対向し、印加される物理量に応じて変位する可動電極指36、37とを含む静電容量検出型の物理量センサーであって、固定電極指38、39の一面が支持基板20に固定されている。
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半導体装置の製造方法及びマイクロフォンの製造方法
【課題】支持部材の上に半導体素子を実装した半導体装置において、半導体素子の高さを小さくでき、ひいては半導体装置を低背化することのできる製造方法を提供する。
【解決手段】Siウエハの上に複数個の音響センサ51を設ける。Siウエハ74を用いて空洞70や貫通電極65、66などを有する複数個のインターポーザ52を一体に形成する。複数個の音響センサ51の、Siウエハと反対側の面を複数個のインターポーザ52に接合一体化する。この後、音響センサ51とインターポーザ52が接合一体化された状態において、音響センサ51のSiウエハを研磨してSiウエハの厚みを薄くする。この後、接合されたままで1個1個に分割された単体の音響センサ51及びSiウエハを、信号処理回路とともにパッケージ内に実装する。
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抵抗変化型センサ
【課題】検出精度が被装着面の面形状の影響を受けにくい抵抗変化型センサを提供することを課題とする。
【解決手段】抵抗変化型センサ1は、樹脂またはエラストマーからなる母材と、母材中に充填される導電性フィラーと、を有し、曲がると電気抵抗が変化する複数の検出部2a〜2mと、複数の検出部2a〜2mに接続され、電気抵抗に関連する電気量を出力する複数の電極部3a〜3j、3A、3Bと、を備え、被装着面90に装着される。被装着面90は、曲面領域900、901、902を有し、複数の検出部2a〜2mのうち、曲面領域900、901、902に対応する検出部2a〜2mの曲率は、曲面領域900、901、902の曲率よりも、小さい。
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加速度センサ
【課題】 帯電による特性悪化を抑制し、信頼度の高い加速度センサを提供する。
【解決手段】 シリコン活性層、埋め込み絶縁層、支持基板からなるSOI基板から形成され、SOI基板の上面から下面へ貫通する窓部10を有するフレーム部11と、SOI基板から形成され、窓部10の内部に配置される可動電極4と、フレーム部11のシリコン活性層と可動電極4のシリコン活性層とを連結し、フレーム部11に対して可動電極を揺動可能に支持するビーム部41,42と、可動電極4と対向する面に可動電極4と離間して配置される固定電極21,22とを備え、可動電極4及びフレーム部11が、それぞれシリコン活性層と支持基板とを電気的に接続するコンタクト部61〜63を備える。
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変換体モジュールとその製造方法
【課題】矩形の基板上に、変換体と矩形の半導体基板と有し、小型化と低コスト化可能な変換体モジュールを提供する。
【解決手段】矩形の形状を有する基板2と、鋭角の頂点を1つ以上含む多角形の形状を有する変換体3と、矩形の形状を有する半導体基板4とを備え、変換体3は、基板2の第1側辺と変換体3の一つの側辺とが実質的に平行となるように、基板2上に配置され、半導体基板4は、基板2の第1側辺と半導体基板4の1つの側辺とが実質的に平行となるように基板2に配置される。
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センサデバイス及びその製造方法
【課題】センサデバイスをパッケージ化する際に、製造コストを低減し、他の素子の仕様に合わせて接続関係を容易に変更でき、基板とパッケージとの接合の信頼性を向上させ、パッケージ化されたセンサデバイス全体の低背化を可能にするセンサデバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第1基板と、第1基板上に配置され、可動部を有するMEMS素子と、MEMS素子の可動部の周辺に非連続に配置された第1支持部と、第1支持部に固定されて少なくとも可動部を覆う第2基板と、第1支持部よりも外側に配置された第1端子と、第1端子に電気的に接続されて、可動部の変位に基づく電気信号を伝達する第1配線と、を具備し、第1配線は、第1支持部の非連続な部位を通ることを特徴とするセンサデバイス。
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センサ及びその製造方法
【課題】基台が有する凹部の表面を被覆することのできるセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るセンサの例によるフローセンサは、一方の面にキャビティ25を有する基台20と、基台20の一方の面の上に設けられるセンサ薄膜30と、を備える。センサ薄膜30は、キャビティ25に通ずるスリット36を有している。キャビティ25の断面形状は、例えば舟形凹状であり、キャビティ25の表面Aは、原子層堆積法により形成された膜Xで被覆されている。
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貫通孔配線基板の製造方法
【課題】めっき反応速度を調整することでめっき未着を防ぐことが可能な貫通孔配線基板の製造方法を提供することである。
【解決手段】微小デバイスを構成する貫通孔配線基板の製造方法であって、基板40の両表面を貫通する貫通孔41を形成する工程と、貫通孔41の少なくとも内表面にNiめっきを成長させる工程と、を備え、貫通孔41の少なくとも内表面にNiめっきを成長させる工程では、Niめっきの析出レートを50nm/min未満にしてめっきを成長させる。
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力学量センサ及びその製造方法
【課題】外力の大きさ及び方向並びに加速度を検出することができ、低コストに製造することのできる力学量センサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る力学量センサは、第1基板と、前記第1基板上に配置された固定部と、前記固定部に一端部が支持されて前記第1基板から離隔して配置された渦巻き状の可動電極と、前記可動電極の周囲に位置し力学量の検出方向に配置された固定電極と、前記固定部に電気的に接続された第1端子と、前記固定電極に電気的に接続された第2端子と、を備えることを特徴とする。
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センサ装置およびその製造方法
【課題】力学量の検出を行う感知部を有するセンサチップを、基板に搭載したものを、封止部材により封止してなるセンサ装置において、封止部材によってセンサチップに発生する応力を極力低減する。
【解決手段】感知部11を表面に有するセンサチップ10を、基板20の一面側に搭載した後、センサチップ10および基板20を封止部材30により被覆して封止するセンサ装置の製造方法であって、基板20の一面側にセンサチップ10を搭載するとともに、センサチップ10の表面に揮発性を有する樹脂50を配置して、当該表面を樹脂50で被覆した後、これらセンサチップ10および基板20を封止部材30によって封止し、その後、封止部材30を硬化するとともに、樹脂50を加熱して揮発させてセンサチップ10の表面のうち封止部材30で被覆されている部位と封止部材30との間に空隙40を設ける。
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加速度センサー、電子機器
【課題】耐衝撃性に優れた加速度センサーを得ること。
【解決手段】固定電極41と可動電極21との間の距離が変化するX軸方向の加速度印加時において、固定電極41と可動電極21との間隙70に存在する気体の流れは、対向面に形成された一方向に向かって延びる凸部43によって一方向への流れが発生する。この気体の流れによるスクイーズフィルムダンピングにより、大きな減衰定数cを得ることができる。したがって、可動部20と支持体10との間隔を狭くすることなく、固定電極41と可動電極21との間隙70の構造によって減衰定数cの調節を可能にでき、可動部20と支持体10との衝突破壊が低減した耐衝撃性の優れた加速度センサー100を得ることができる。
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共組み込み型MEMSセンサおよびその方法
【課題】一体化されたMEMSおよび半導体電気回路センサを提供すること。
【解決手段】MEMSセンサであって、第一の層と、基層と、該第一の層と該基層との間に配置された第一の絶縁層と、該第一の層と該基層と該第一の絶縁層のうちの任意の層に形成された空洞であって、該第一の層は半導体電気回路の基板であり、アクティブなMEMS要素として存在する、空洞とを備えている、MEMSセンサ。本発明の一実施形態において、上記第一の層内にインプラントエリアがさらに備えられ得る。
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コンデンサ及びその製造方法
【課題】耐湿性等の信頼性を向上させたコンデンサを提供する。
【解決手段】コンデンサは、半導体基板100の貫通孔123を覆うように形成された第1の膜102と、第1の膜102の上方に第1の膜102と対向するように形成された第2の膜115とを備えている。第2の膜115は、半導体基板100の貫通孔123上に位置する複数の第1の孔124と、複数の第1の孔124よりも開口面積が大きい少なくとも1つの第2の孔126とを有している。第2の孔126は、第1の膜102のうち貫通孔123に露出した部分よりも外側の部分と対向する領域のみに存在している。
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チップの製造のための方法
チップ(1,2)の製造のための方法において、まず、サブストレート(10)の表面層に少なくとも1つのダイヤフラム(11,12)を形成し、ダイヤフラムは空洞(13)上に張設される。次いで、チップ(1,2)の機能がダイヤフラム(11,12)内に組み込まれる。チップ(1,2)の分離のために、ダイヤフラム(11,12)はサブストレート結合部から離される。本発明により、チップ背面が、サブストレート結合部からのチップ(1,2)の分離の前に、金属めっきプロセスにより金属被覆される。
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マイクロメカニカル素子およびマイクロメカニカル素子の製造方法
本発明は、前面および後面を備えた基板を有するマイクロメカニカル素子に関する。前面は機能構造を有し、該機能構造はコンタクト領域において後面と電気的に接触接続しており、基板はコンタクト領域において少なくとも1つのコンタクトホールを有し、該コンタクトホールは後面側から基板内へと延在している。さらに本発明は、マイクロメカニカル素子の製造方法に関する。
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デバイスの表面で導電型歪みセンサを形成するための方法
【課題】導電型歪みセンサをデバイスの表面上で形成するための、より簡単な方法を提供する。
【解決手段】本発明は、デバイスの表面における歪みを計測するために、該デバイスの該表面で導電型歪みセンサを形成するための方法であって、ステップ:(a)デバイスを準備すること、(b)任意的に該デバイスの表面に絶縁層を設けること、(c)ステップ(b)で得られた該絶縁層の上に第1の金属の粒子の分布を作ること、および(d)ステップ(c)で得られた該第1の金属の粒子の分布の少なくとも一部分の上に、無電解めっき法又は電着法を用いて第2の金属の層を堆積させること、を含む。
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静電容量型圧力センサ
【課題】測定精度の長期安定性を保証することができる静電容量型圧力センサ及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】本発明の静電容量型圧力センサは、圧力に応じて変形する上部電極が形成された第1の基板と、下部電極が形成された第2の基板とが誘電体膜を介して対向配置され、ダイアフラムの押圧により変化する第1の基板と第2の基板とで形成される静電容量の変化に応じて圧力を検出する静電容量型圧力センサであって、下部電極が、第2の基板に形成された溝を導電性材料で埋めて形成され、かつ形成された下部電極の表面が第2の基板の表面と同じ高さを有することで第1の基板と第2の基板の接合性を高めることができるので、測定精度の長期安定性を保証することができる静電容量型圧力センサを提供することができる。
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