【課題】ＭＣＰを支持する絶縁支持部に紫外線が照射された場合に生じる放電を防止する。
【解決手段】電子線照射装置は、紫外線を出射する紫外線出射部３１、電子を増幅する複数のマイクロチャネルを２次元的に配列して有するＭＣＰ３３、ＭＣＰ３３の外縁部に当接してＭＣＰ３３を支持する絶縁支持部３４、および、紫外線出射部３１とＭＣＰ３３との間における紫外線の経路上に配置されるマスク３５０を支持するマスク支持部３５を有する。マスク支持部３５は、マスク３５０の周囲における紫外線を遮蔽する環状部３５２を有することにより、マスク支持部３５にマスク３５０が非装着の状態において、紫外線出射部３１からの紫外線が照射されるＭＣＰ３３上の照射領域が、絶縁支持部３４に重ならない範囲に制限される。これにより、絶縁支持部３４に紫外線が照射された場合に生じる放電が、マスク３５０の有無にかかわらず防止される。 （もっと読む）

【課題】放出電流が安定で低雑音の電子顕微鏡用の冷陰極電界放出型電子源を提供する。
【解決手段】冷陰極電界放出型エミッタ先端５０３の後方に配置された開口５５４を有するエミッタ包囲電極５５２と、引出電極５０８とにより閉空間を形成し、閉空間の内部に配置された円形フィラメント５３０を加熱する事により放出される電子５２０による衝撃と熱的励起により、引出電極５０８とエミッタ包囲電極５５２の吸着物質５２２、５２６を離脱させ、ギャップ５６０より排気し除去する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム装置の分解能を高める。
【解決手段】荷電粒子ビームを光軸に沿って放出するエミッタ組立体が提供される。ガンチャンバ（２０）内に収納されたエミッタ組立体は、エミッタ先端部（１５）を備えたエミッタ（５）を含み、エミッタ先端部は、光軸に垂直な第１の平面のところに位置決めされ、エミッタは、第１の電位まで付勢されるよう構成され、エミッタ組立体は、開口部を備えたエクストラクタ（１１２）を更に有し、開口部は、光軸に垂直な第２の平面のところに位置決めされ、エクストラクタは、第２の電位まで付勢されるよう構成され、第２の平面は、第１の平面から２．２５ｍｍ以上の第１の距離を有する。 （もっと読む）

【課題】電子ビームの時間幅を容易に変更することができる光陰極高周波電子銃、および、当該光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置を提供する。
【解決手段】カソード部３と、前記カソード部３にレーザー光８を照射するレーザー照射口４と、前記カソード部３から放出された電子９を加速する加速空胴部５と、前記加速空胴部５の内部に高周波を導入する高周波導入部１５とを備える光陰極高周波電子銃１において、前記加速空胴部５は、二以上の基本セル１０と、前記基本セル１０同士の間に設けられる基本アイリス１２と、前記基本セル１０の出口に最終アイリス１３を挟んで連通された最終セル１１とを有し、前記最終アイリス１３の厚さは、前記第２アイリス１２の厚さと異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム発生装置及びこれを製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明による電子ビーム発生装置方法は、カソード；カソードが一側開口部に結合されて内側に共振空洞が設けられたハウジング；及び、カソードとハウジングとの間に設けられ、カソードとハウジングとの間の結合強度に応じて圧縮され、共振空洞を外部と遮断するガスケット；を含む。前記共振空洞は、互いに連結されている第１の共振空洞と第２の共振空洞を含み、前記第１の共振空洞と前記第２の共振空洞は、前記カソードで発生された電子ビームが放出される方向に配列される。 （もっと読む）

【課題】ブランカを用いない光スイッチング電子源及びそれを用いた電子線描画装置を提供する。
【解決手段】光スイッチング電子源１は、光源２と、光源２からの断続光が照射されることで電子を発生する電子発生部３と、を備え、電子発生部３は、光励起によって電子を発生する電子源９と、電子源から電子を引き出す電極７と、電子を引き出す電源８と、を備えている。電子源９は、ｐｎ接合又はｐｉｎ接合９ａ等を用いることができ、ｐｎ接合９ａｐ層６ａ又はｎ層６ｂが突起形状を有していてもよい。ｐｎ接合９ａがアレイ状に配設されていれば、複数の電子線１２を発生することができる。さらに、電子発生部３の電子出射側に電子線整形部４が配設されていてもよい。電子線整形部４は、アインツェルレンズ４１と、アインツェルレンズ用電源１１と、から構成することができる。 （もっと読む）

【課題】 低電圧、低電力で所望の温度に加熱でき、安定した高い電流密度を得ることができる電子源を提供する。
【解決手段】 本発明の電子源は、絶縁性のベースと、該ベースに設けられた支柱と、電子放出部と、該電子放出部を挟持し、且つ前記電子放出部と前記支柱とを電気的に接続するスペーサとを有し、該スペーサが熱分解黒鉛からなるとともに、前記スペーサと、前記電子放出部及び前記支柱との接触面以外のスペーサの面に金属化層が形成されており、前記接触面には金属化層が形成されていないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子ビームのエミッタンスを減少させることができる電子ビーム発生装置を提供する。
【解決手段】本発明による電子ビーム発生装置は、電子ビームが生成される後面部と、生成された電子ビームが外部に排出されるように電子ビーム排出ホールが形成された前面部と、後面部と前面部を連結する側面部と、を含み、側面部には第１のホールが形成され、第１のホールにより誘発される電場不均衡を減少させるように第１のホールと向かい合う反対側側面部に第２のホールが形成されたハウジング、及び第１のホールを介してハウジング内部に電磁気波を供給するように側面部に設置されるウェーブガードを含み、ハウジング内部に入射されたレーザーによって電子ビームが生成され、ハウジング内部に供給された電磁気波によって電子ビームが加速される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低収差の冷陰極型電子銃を提供することで、大電流においても高輝度の電子銃を提供することを目的とする。
【課題手段】本発明は、電子線を陰極から引き出し、引き出された電子線を収束する電界放出型電子銃において、レンズ磁界中に陰極が配置されるように磁場レンズを備え、陰極から電子を引き出すための引出電極を、絞り構造のない円筒形で構成したことを特徴とする。
【効果】本発明によれば、磁場を用いて電子線を収束する機能を持つ電子銃において、付随して発生する静電レンズ作用を低減し、収差が少なく輝度が高い電子銃を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】偏極電子ビームを簡便に発生させることができる偏極電子銃、偏極電子線の発生方法、電子銃の評価方法、及び逆光電子分光方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる偏極電子銃は、レーザ光源１１と、レーザ光源からの光を分岐する光分岐手段１２と、光分岐手段１２で分岐された一方のレーザ光に入射位置に応じた位相差を与える偏光変換素子３６と、偏光変換素子３６を介して入射した一方のレーザ光を集光するレンズ１８と、レンズ１８によって集光された一方のレーザ光が他方のレーザ光と同期して入射する半導体のフォトカソード２１と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】不連続的放出パターンを有する荷電粒子エミッタによる荷電粒子装置及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置及び方法。装置は、少なくとも２つの放出ピークを含む放出パターンを有するエミッタ（１０２）と、ガンレンズ（１１９、５１９、９１９）と、ダイヤフラム（１２０）とを含み、ガンレンズは、デフレクタ・ユニット（１１０）を含み、デフレクタ・ユニットは、少なくとも２つの放出ピークのうちの放出ピークをダイヤフラムの開口部に向け、それによって少なくとも２つの放出パターンから放出ピークのうちの放出ピークを選択するようになっている。 （もっと読む）

【課題】 電界放射型電子源での電力損失をなくし、電界放射型電子源を用いる装置の省電力化及び小型化を可能にする電子流制御方法を提供する。
【解決手段】 電界が印加されることにより電子を放出する電界放射型電子源において、ターゲット３に対し電子流を放出するエミッタ１１の周囲に導電性材料１２を配置し、該導電性材料１２にエミッタ１１に対して負の電圧を印加することにより、ターゲットに供給する電子流を制御する。 （もっと読む）

本発明は、粒子を放出するための少なくとも１個の電界放出尖端部（４）を有する、真空室（２）内に配置されているかまたは真空室（２）内に向いている少なくとも１個の粒子エミッタ（３）と、少なくとも１個の粒子エミッタ（３）に付設された、放出された粒子流（５）を集束するための磁界発生器（６）とを備え、粒子エミッタ（３）の電界放出尖端部（４）が、磁界発生器（６）とは反対の基板（８）の側の表面（７）上または表面内に製作されたエミッタ構造体（９）によって形成され、基板（８）が真空室（２）と真空室（２）の外側にある大気室（１０）との間の隔壁として形成され、磁界発生器（６）が真空室（２）の外側で、エミッタ構造体（９）とは反対の基板（８）の側（１４）に配置されている、特に電子顕微鏡またはイオン顕微鏡のような粒子光学的機器のための粒子を熱誘導電界放出するための装置と、装置を製作する方法に関する。
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【課題】水素終端されたダイヤモンドの電子放出能力の低下を抑制できる電子銃と、この電子銃の製造方法とを提供すること。
【解決手段】電子銃２は、水素終端されたダイヤモンドから成る電子放出部４と、電子放出部４の周囲に設けられた電極１０とを備え、電極１０は、この電極１０の表面２４から内側に向かう領域に形成されたゲッター領域２６を有する。そして、電子銃２は、電子放出部４を加熱する加熱器１４を備え、ゲッター領域２６は水素を含有する。 （もっと読む）

【課題】確立されたフォトリソグラフィ技法を使用してバッチを製作する方法を提供すること。
【解決手段】大規模大量生産に適切な反復可能で信頼性のある方式で、ナノ粒子またはナノデバイスを製作し、巨視的デバイスに実装することが可能になる。ナノ粒子は、容易に操作して、様々なデバイスにおいて標準的なマウントをはめ込むように成形することができる巨視的「モジュール」の上に成長させることができる。 （もっと読む）

【課題】 電子放出特性の劣化を抑制可能であり、低コストな電界放出型電子銃、電子顕微鏡、及び電子ビーム露光機を提供する。
【解決手段】 本発明の一実施の形態に係る電界放出型電子銃は、（ａ）絶縁性のベースと、（ｂ）ベースに設けられた端子と、（ｃ）先鋭化された端部を有するダイヤモンド製の電界放出エミッタと、（ｄ）電界放出エミッタを把持し、且つ、電界放出エミッタと端子とを電気的に接続する導電部材と、を備えている。一実施の形態の電子顕微鏡、及び電子ビーム露光機は、この電界放出型電子銃を備えている。 （もっと読む）

本発明は、金属下層上にナノ構造体を成長させる方法およびそれを作る方法を提供する。請求の範囲の方法に基づいて成長されたナノ構造体は、電子線描画器および電界放出表示装置のような電子デバイスを作製するのに適している。 （もっと読む）

【課題】 電界で壊れやすい陰極を使用し、かつ高電界を加えて電子流を希望する速度まで加速する方法及び装置を開発すること。
【解決手段】 本発明は、電界により壊れやすい陰極を設置した、低電界電子放射部と、高電界を加えて電子流を高速度に加速する高電界電子流加速部とを、９０度から１８０度の位置関係に設置し、いくつかの電磁石を使用して、低電界電子放射部と高電界電子流加速部との間を、曲線的に連結することにより、高電界電子流加速部の電界の影響を、陰極の設置された低電界電子放射部に及ぼさないようにし、壊れやすい陰極を長時間の使用に耐えられる構造にした。 （もっと読む）

基板上に形成されたナノ先端電子エミッタおよびトンネル放出接合部と、初期電子ビーム引出し電極と、「ナノサンドイッチアインツェル」電極と、最上部保護層とを有する多層構造を含む固体状態サブナノメートルスケール電子ビームエミッタ。 （もっと読む）

【課題】高スループット、高解像度、広い焦点深度が要求される電子線露光装置に用いることができる電子線露光用電子源を提供する。
【解決手段】電子線露光用電子源１は、面電子源部１０と、面電子源部１０の電子を収束する収束電極８とが、同一の素子形成基板１１に設けられている。面電子源部１０は、弾道電子面放出型の電子源により構成されている。収束電極８は、絶縁層９に埋設されており、表面電極７の側方に位置している。絶縁層９は、強電界ドリフト層６上と素子分離層３ｂ上とに跨ってパターン形成されたシリコン酸化膜からなる第１の絶縁膜９ａと、第１の絶縁膜９ａと第１の絶縁膜９ａ上の収束電極８とを覆うようにパターン形成されたシリコン酸化膜からなる第２の絶縁膜９ｂとで構成されている。 （もっと読む）