【課題】照射されるイオンに金属不純物の混入することのない荷電粒子引出照射機構を提供する。
【解決手段】誘導結合プラズマ型のプラズマ発生手段により、プラズマ生成室２００内に誘導結合プラズマを励起し、被処理体１２０にイオンでプラズマ処理を施す荷電粒子引出照射機構１であって、誘導結合プラズマから被処理体に向けて、誘導結合プラズマを引出し制御する複数の多孔電極１０、２０、３０、４０が、相互に離隔して平行に配置されており、かつ、全ての多孔電極がカーボン材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】熱による厚み方向への変形を防止する引き出し電極を備えたイオンミリング装置を提供する。
【解決手段】加速電極２０ａに形成され加速電極２０ａの取り付け位置を位置決めする基準穴２５ａと、加速電極２０ａに形成され加速電極２０ａの取り付け位置を案内する案内穴２６ａと、電極取り付け板に立設された基準穴２５ａと係合する加速電極保持軸４０と、電極取り付け板に立設された案内穴２６ａと係合する加速電極案内軸４１と、基準穴２５ａおよび案内穴２６ａの周囲を加速電極２０ａの厚み方向に押圧する圧縮コイルバネと、を有し、案内穴２６ａは基準穴２５ａの中心と加速電極２０ａの中心を結ぶ直線上に設けられ、直線に沿って長穴形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】効率的にイオンミリング加工を行えるイオンミリング装置を提供する。
【解決手段】プラズマを生成するプラズマ生成室１０と、プラズマ生成室１０に連通する処理室４０と、プラズマ生成室１０から処理室４０へイオンビームを引き出す複数の引き出し電極２０，２１，２２と、複数の引き出し電極２０，２１，２２から選択された一つの引き出し電極をプラズマ生成室１０の開口部１８に移動させるスライドテーブル３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
複数枚のスリット電極を有するイオン源において、電流量と制御性のバランスの取れたイオンビームの引出しを行う。
【解決手段】
この発明のイオン源１は、引出し電極系として複数枚のスリット電極７〜１０を有するイオン源１である。そして、スリット電極７〜１０は、開口部１５を有する電極枠体１４と開口部１５内に並設された複数本の電極棒１６とから構成されているとともに、イオン源１より発生されるイオンビーム２の進行方向に沿って最も上流側に位置するスリット電極５を構成する電極棒１６において、隣り合う電極棒１６間に形成されるスリット状開口部１７の形状がイオンビーム３の進行方向に沿って略テーパー状となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】電界の染み出し量を小さくして、イオン源より所望するイオンビームの引出しを容易に行うことのできるイオンビーム引出し用電極とこれを備えたイオン源を提供する。
【解決手段】イオン引出し用電極１は、中央に開口部３を有する電極枠体２と、開口部３内に少なくとも一方の端部が移動可能に支持されて、一方向に沿って互いに隙間を開けて並べられた複数のイオン引出し孔形成部材７とを有している。そして、イオン引出し孔形成部材７の少なくとも一つは、略棒状の本体部５と本体部５から延設された渡り部６とを有する構造体であって、１つのイオン引出し孔形成部材７を構成する渡り部６は隣りに配置された別のイオン引出し孔形成部材７に当接している。また、イオン源の構成としては、内部に陰極を備えたプラズマ容器に隣接して、上記のイオン引出し用電極１を少なくとも１枚以上備えている。 （もっと読む）

【課題】 イオン源の引出し電極系を構成する電極の広い領域に亘って高速で堆積物を除去することができるクリーニング装置を提供する。
【解決手段】 引出し電極系１０の相対向する二つの電極１１、１２間にクリーニングガス４８を供給して当該電極間のガス圧をグロー放電を発生させるガス圧に保つクリーニングガス源４２等の手段と、両電極１１、１２間に直流電圧を印加してグロー放電８０を発生させるグロー放電電源６０とを備えている。かつ、所定時間内の電極１１、１２間の異常放電の発生回数Ｎを測定する異常放電測定器８４と、それで測定した異常放電の発生回数Ｎを用いてグロー放電電源６０の出力電流Ｉ_g を所定幅ずつ増減させる制御を行う電源制御器８６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
スリット状開口部を形成する複数本の電極棒を交換する際の作業効率の改善されたスリット電極を提供する。
【解決手段】
この発明のスリット電極１は、開口部３を有する電極枠体２と、長手方向と交差する方向に沿って開口部３内に並設された複数本の電極棒５と、開口部３を挟んで各電極棒５の長手方向の端部を支持する複数の電極棒支持部７とを備えている。さらに、電極枠体２上に配置され、電極棒５が並設される方向に沿って複数の電極棒支持部７の上面を覆う蓋体６を備えていて、この蓋体６が電極棒支持部７の上面に配置された際、電極棒５の長手方向において電極棒支持部７に開放端部１３が形成されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム引出し用電極の電極棒を交換する際の作業効率を改善する。
【解決手段】引出し用電極は、スリット状開口部４を有するスリット電極１により構成される。スリット電極１は電極枠体２および電極棒５より構成される。電極枠体２は一体構造であり、荷電粒子ビームを通過させる開口部３、及び溝状の電極支持部を有している。電極棒５は、開口部３を跨いで電極枠体２上に配列され、両端を電極支持部により支持されて、スリット状開口部４を形成する。 （もっと読む）

【課題】 電極板と冷却管との接合性が良く、冷却効率が高く、かつ耐食性に優れ、長寿命のイオン源用電極を提供する。
【解決手段】 イオンビームを引出すための複数のビーム引出し孔がそれぞれ形成された複数の薄板1,2が重ね合わせ接合された電極本体部4と、薄板とは異なる金属材料からなり、電極本体部を一方側の端部から他方側の端部まで貫通し、さらに電極本体部の両端からそれぞれ延び出す延長部分を有する複数の冷却管3a,3b,3cと、薄板とは異なる金属材料からなり、冷却管の延長部分が内部を貫通するように電極本体部の両側にそれぞれ取り付けられ、冷却管との間隙がそれぞれシール溶接され、熱間静水圧処理により薄板と冷却管とが接合されて一体化した一対の端板7とを有する。 （もっと読む）

【課題】 イオン源の引出し電極系を構成する電極の広い領域に亘って高速で堆積物を除去することができるクリーニング方法を提供する。
【解決手段】 イオン源２のプラズマ生成部４にイオン化ガスを導入してイオンビームを引き出す代わりに、引出し電極系１０を構成する第１電極１１と第２電極１２との間にクリーニングガス４８を供給して、第１電極１１と第２電極１２との間のガス圧を、イオンビーム引き出し時のガス圧よりも高く保った状態で、第１電極１１と第２電極１２との間にグロー放電用電源６０から電圧を印加して、両電極１１、１２間にクリーニングガス４８のグロー放電８０を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 イオン源において、加速器内部の真空を保ったまま真空容器内部のメンテナン
スをする。
【解決手段】 イオン源１は、開放または閉鎖できるメンテナンス開口部２とイオン取出
し口２ａ有する真空容器２、ターゲット２１をターゲット支持具６によって移動させるタ
ーゲット移動装置５と、ターゲット２１にレーザ光２２を照射するレーザ光源９と、イオ
ン導入口１１を有する加速器１１と、イオン取出し口２ａとイオン導入口１１ａとを接続
する連通管１２と、連通管１２を開放または閉鎖できるゲートバルブ１３とを備え、メン
テナンス開口部２ａを閉鎖し、連通管１２を開放し、さらに真空容器２および加速器１１
内を真空にした状態で、加速器１１は、イオン２３を連通管１２を介してイオン導入口部
１１ａから導入し加速する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム発生装置の運転時に、開口部の形状が熱変形し難いスリット電極を提供する。
【解決手段】スリット電極２０は、開口部２２を有する電極枠体２１と、長手方向において電極枠体２１に対して移動可能に支持されているとともに、長手方向と略直交する方向に沿って開口部２２に並設された複数本の電極棒２３とを備え、電極枠体２１には、少なくとも開口部２２の外周領域の一部に電極枠体２１に冷媒を流入する為の冷媒流入口Ｒ_ＩＮと電極枠体２１から冷媒を流出する為の冷媒流出口Ｒ_ОＵＴとを備えた冷媒流路Ｒが設けられている。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム発生装置運転時の電極支持枠の熱膨張を抑え、開口部の形状が変形し難いスリット電極を提供する。
【解決手段】スリット電極は、開口部３を有する電極枠体２と、電極枠体２に着脱可能に取り付けられた複数の電極ユニットＵから構成されており、前記複数の電極ユニットＵの各々は、開口部３内に並設された複数本の電極棒５と、開口部３を挟んで各電極棒５の長手方向の端部を支持する一組の電極棒支持部材６とから構成される。 （もっと読む）

【課題】より高圧の真空領域での使用を可能とし、用途の拡大が図られた、イオンガン、及び成膜装置を提供する。
【解決手段】スリット状の開口部１１が形成された陰極２と、開口部１１の幅方向に磁場を発生させる磁石３と、磁場に対し略垂直方向に電界を生じさせるように陰極２の裏面から離間配置された陽極５とを備え、陰極２の表面の開口部１１からイオンビームが引き出されるイオンガン１である。磁石３は、ＳｍＣｏ合金を主成分として構成され、開口部１１は、陰極２の裏面から内部に向かって垂直に延びる隙間が略一定の垂直部と、垂直部に連続し、陰極２の表面に向かって隙間が漸次拡がる傾斜部とから構成され、垂直部の隙間が、０．７ｍｍ以上２．５ｍｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低加速電圧でのイオン電流の制御を容易にしつつ、カソードに付着するリデポジションによる影響を抑制することを目的とするイオンミリング装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、イオンガンの内部に配置され、正電圧が印加されるアノードと、当該アノードとの間に電位差を発生させることによってイオンを発生させるカソードを備えたイオンミリング装置において、カソードは、前記ガス供給源によってガスが供給される空間と、前記イオンが照射される試料側の空間を分圧すると共に、前記イオンを通過させる開口を備え、当該開口を通過したイオンを試料に向かって加速させる加速電極を備えたイオンミリング装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】従来のイオン源に比べて電極枚数が少ないにも関わらず、従来のイオン源と同等の機能を有する新規なイオン源を提供する。
【解決手段】イオン源１は、下流側（Ｚ方向側）からの電子の流入を抑制する抑制電極を備えていないイオン源１である。そして、イオンビーム３の引出し方向（Ｚ方向）に沿って配置された複数枚の電極（５、６、７）と、それら電極（５、６、７）の下流側（Ｚ方向側）に配置され、イオン源１より引出されたイオンビーム３を横切る磁界を発生させる少なくとも一対の磁極１４を有する磁界発生手段１１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 イオン源の引出し電極系を構成する電極の広い領域に亘って高速で堆積物を除去することができるクリーニング方法を提供する。
【解決手段】 イオン源２のプラズマ生成部４にイオン化ガスを導入してイオンビームを引き出す代わりに、引出し電極系１０を構成する第１電極１１と第２電極１２との間にクリーニングガス４８を供給して、第１電極１１と第２電極１２との間のガス圧を、イオンビーム引き出し時のガス圧よりも高く保った状態で、第１電極１１と第２電極１２との間にグロー放電用電源６０から電圧を印加して、両電極１１、１２間にクリーニングガス４８のグロー放電８０を発生させる。 （もっと読む）

【課題】平行化レンズを用いずに、ガラス基板に対してのイオン注入を実現するＣООに優れたイオン注入装置を提供する。
【解決手段】本発明のイオン注入装置は、リボン状のイオンビーム３をガラス基板７に照射する質量分析型のイオン注入装置１であって、さらに、イオン源２から質量分析マグネット４までのイオンビーム３の輸送経路にイオンビーム発散手段を備えている。イオンビーム発散手段は、イオンビーム３の長辺方向（Ｙ方向）とイオンビームの進行方向（Ｚ方向）からなる平面において、ガラス基板７上に引かれた垂線とガラス基板７に入射するイオンビーム３との成す角度であるイオンビーム３の照射角度が０度よりも大きくデザインルールに基づいて設定される許容発散角度以下となるように、イオンビーム３をその長辺方向に発散させる。 （もっと読む）

【課題】装置全体を大きくすることなく、基板への入射イオンビームの均一性を図ったイオンビーム発生装置を提供する。
【解決手段】放電槽２でプラズマを発生させ、引き出し電極７より環状のイオンビームを引き出し、偏向電極３０によって、該イオンビームを環状の中心方向に屈曲させて基板Ｗに対して、傾斜した方向から入射させる。 （もっと読む）