【課題】 プラズマディスプレイパネルの基板の表面に薄膜を形成する成膜装置において、長期間に亘って安定的な成膜条件を得る。
【解決手段】 成膜装置は、薄膜材料容器５と、電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、電子ビーム照射手段より出力された電子ビームを薄膜材料容器に向かうように偏向する偏向手段とを備える。成膜装置は、更に、偏向手段に薄膜が付着することを防止するため該偏向手段を覆うように配設された防着部材２０を備える。防着部材２０の表面には複数の突起２３が形成されている。これにより、防着部材２０から薄膜材料容器５への薄膜１２の落下を抑制することができ、長期間に亘って安定的な成膜条件を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】オフセット（offset）工法のマスターモールド（master mold）及びパターン形成方法において、複雑なパターンや高精細パターンの電極形成を可能にする。
【解決手段】ブランケット（blanket）を用いて転写材料を転移させるためのマスターモールドにおいて、所定の厚さを有する板と、該板の表面に形成される凹パターンと、を備え、該凹パターンは、転写材料の転移方向に傾斜した面を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ノズルを用いて修理ペーストを塗布するペースト塗布装置において、ノズルの吐出口におけるペーストの乾燥を抑制し、塗布量を安定させる。
【解決手段】 塗布対象に塗布されるペースト１を吐出口より吐出するノズル２と、ノズル２内に配置され、ノズル２の吐出口を閉塞する位置と、ノズル２内のペースト１を吐出口を介して吐出可能な位置と、に移動可能な針状部３と、を備える。吐出口を介してペースト１を吐出可能な位置に針状部３を移動させた際に、ペースト１が針状部３の先端に供給され、針状部３により吐出口を閉塞した状態では、針状部３の先端が吐出口を介してノズル２外に突出した状態となる。針状部３の先端に供給されたペースト１を塗布対象に転写することにより塗布を行う。 （もっと読む）

【課題】 作業操作性の良いパターン修正装置を提供する。
【解決手段】 このパターン修正装置では、洗浄液４５の入った洗浄タンク４６を洗浄エリアに設け、塗布ノズル３０が詰まったときは、たとえばステージ１０，１２を駆動させて塗布ノズル３０を洗浄液４５中に浸漬させ、超音波振動子４７により超音波を印加して塗布ノズル３０を洗浄する。したがって、塗布ノズル３０を堆積装置５から取り外すことなく洗浄液４５で洗浄して、修正作業を再開することができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマディスプレイパネルのエージング工程において、エージングに伴う異常放電を抑制し、表示品質を損ねることのないエージングを実施できるようにすることを目的とする。
【解決手段】エージング放電を発生させるエージング工程を行う製造方法において、エージング装置２４は、スイッチング素子Ｓ１〜Ｓ４をスイッチングすることにより電圧パルスを発生するエージング電圧発生手段と、このエージング電圧発生手段のスイッチング素子Ｓ１〜Ｓ４をスイッチングする制御回路２６とで構成し、かつ制御回路は、所定の周波数で発振する発振器からのパルスを計数し、その計数値が所定の計数値に達した時点でスイッチング素子のスイッチングための制御信号を出力するように構成した。 （もっと読む）

【課題】プラズマディスプレイパネルのエージング工程において、品種切り換えに伴う作業時間の短縮が可能なエージング装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ＰＤＰの電極に所定の電圧を印加してエージング放電を行うエージング装置において、エージングを行うための電圧を供給するための出力端子部１３，１４を備えたエージング回路装置１２と、このエージング回路装置１２の出力端子部１３，１４とＰＤＰ１１の電極とを接続しかつＰＤＰ１１の品種毎に準備された配線部材１５，１６とを有し、配線部材１５は、一端がＰＤＰ１１の電極に接続するための複数本の配線ケーブル１５ａと、この配線ケーブル１５ａの他端が電気的かつ機械的に接続されかつエージング回路装置１２の出力端子部１３，１４に着脱自在に接続される共通端子板１５ｂとで構成した。 （もっと読む）

金型、金型を作る方法、ならびにディスプレイパネルなどの微細構造化（例えばバリアリブ）物品を作る方法について説明する。
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【課題】 修正部と基板の結合が強く、クラックが発生し難く、修正作業時間が短い微細パターン修正方法を提供する。
【解決手段】 この微細パターン修正方法では、対物レンズ３２の中心３２ａから外れた所定の位置にレーザ光αを照射し、対物レンズ３２で屈折して焦点Ｆに向かうレーザ光αを、リブ欠け欠陥８５に塗布した修正ペースト２１からなる修正部３０の側壁面に斜め上方から照射する。したがって、レーザパワーを強めることなく修正部３０の底まで十分な熱を与えることができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で欠陥部を迅速に修正することが可能なパターン修正方法を提供する。
【解決手段】このパターン修正方法では、塗布ノズル３０から霧状の修正液２０を噴出し、かつ電極１３のオープン欠陥部１３ａの一方側の移動開始点Ａ１から欠陥部１３ａの他方側の移動終了点Ｂ１まで塗布ノズル３０を相対的に移動させながら、塗布ノズル３０が欠陥部１３ａの一方端の描画開始点Ａ０に到達したときにシャッタ３１を開き、塗布ノズル３０が欠陥部１３ａの他方端の描画終了点Ｂ０に到達したときにシャッタ３１を閉じる。これにより、一定の線幅の堆積層３２を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 セッターを用いずに板状被加熱物を直接ハースローラー上に載置して搬送しても、板状被加熱物に歪みが発生するのを抑えることができるローラハース式連続焼成炉を提供する。
【解決手段】 少なくとも板状被加熱物Ａが熱歪みを生じる温度以上になる領域のハースローラー２のピッチ間隔ｄを、板状被加熱物Ａを直接ハースローラー２上に載置しても歪みが生じないように狭くした。 （もっと読む）

【課題】 フラットパネルを効率よく冷却しながら薄形に形成することができるフラットパネルのエージング装置およびエージング方法を提供する。
【解決手段】 本発明のフラットパネルのエージング装置１０は、電極端子１２，１３に電圧を印加する通電用電極１６，１７と、フラットパネル１１の表面および裏面に沿って空気を吹き付ける冷却装置２４と、通気口３２を備えてフラットパネル１１を覆う函体１５とを備えている。本発明のフラットパネルのエージング方法は、通気口３２を、函体１５の前側に形成し、冷却装置２４を用いて、フラットパネルの両側端部２２，２３に沿って前側から空気を吹き付け、函体１５の前側に形成された通気口３２から排気を行うので、フラットパネル１１を効率よく冷却しながらエージング装置１０を薄形化することができる。 （もっと読む）

【課題】放電電圧が低く、発光効率に優れたプラズマディスプレイパネルとその製造方法を実現する。
【解決手段】対向して配置された前面板１００及び背面板の間に放電ガスを封入したプラズマディスプレイパネルであって、前面板１００が、ガラス板１と、ガラス板１上に形成された透明導電膜２、不透明導電膜３と、透明導電膜２、不透明導電膜３を覆うように形成されたフッ素または水を含む第１の誘電体層４と、第１の誘電体層４上に形成されたフッ素と水をともに含まない第２の誘電体層５と、第２の誘電体層５上に形成された保護層６とを備える。 （もっと読む）

【課題】冷却中における基板の反りを防止できる熱処理炉及びこの熱処理炉を使用する平面表示パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】熱処理炉２１は、セッター３２上に載置された基板３１を、セッターごとその内部を通過させることにより、基板の熱処理を行う連続式の熱処理炉である。熱処理炉において、装入された基板を加熱する加熱部と、加熱部から排出されたセッター及び基板を冷却する冷却部２３と、この冷却部から排出されたセッター及び基板を更に冷却する冷却部２４とをこの順に設ける。そして、冷却部において、セッター及び基板の搬送経路２５の下方のみに冷却手段２６を設けて基板を徐冷する。また、冷却部において、搬送経路の上方及び下方の双方に冷却手段２７を設けて基板を急冷する。 （もっと読む）

【課題】コロを有する分散機を用いてミルベースの分散する場合において、分散性能が高く、コロの摩耗や焼き付き、割れ、欠け、破損による問題発生の少ない分散機およびそれを用いたペーストの製造方法を提供する。
【解決手段】筒状容器１内に配置された中心軸を中心に回転可能で、かつ外周部に前記中心軸と平行な溝を複数個有するローター２、および前記溝に配置され、前記筒状容器１内の内壁に当接して自転しながら前記筒状容器内を公転可能に構成されたコロ５を有する分散機であって、前記ローター２のミルベース供給口側端部において、コロ５がローター２に接した状態における筒状容器内面とコロ５の隙間の最小値をＧ_１（ｍｍ）、前記ローター２のミルベース吐出口側端部において、コロ５がローター２に接した状態における前記円筒容器１内面と前記コロ５の隙間の最小値をＧ_２（ｍｍ）とした時、Ｇ_１＞Ｇ_２を満足することを特徴とする分散機とする。 （もっと読む）

【課題】プラズマディスプレイパネルの反りの矯正を十分に行い、互いに接続される両電極端子のずれを抑制する。
【解決手段】プラズマディスプレイパネル２１の外部接続端子部２４にＴＣＰ２を圧着して接続する端子圧着工程に先立って、プラズマディスプレイパネル２１の反り量を測定する反り量測定工程を実施して、端子圧着工程では、測定された反り量に基づいて、主制御部５２が、バックアップヘッド４４とプラズマディスプレイパネル２１とが均一に接触するように、各領域毎に最適な押込量を決定し、それぞれ所定の押込量で被加圧領域に対向する領域にバックアップヘッド４４が押し込まれて押えた状態で、主圧着ヘッド４３で被加圧領域を加熱・加圧する。 （もっと読む）

【課題】微細なセル構造のプラズマディスプレイパネルの場合でも、容易に精度よく蛍光体層を均一に形成することができる蛍光体塗布装置およびこれを用いたプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】蛍光体ペースト２０を貯蔵するサーバ２５から加圧ポンプ２６によりヘッダ２７のペースト室２７ａに蛍光体ペースト２０ａを供給し、ヘッダ２７に備わるノズル２８の吐出口から蛍光体ペースト２０ａを吐出する蛍光体塗布装置であって、ノズル２８は、吐出する蛍光体ペースト２０ａが吐出口の周囲に付着することを抑制する付着制限部を有する構成である。 （もっと読む）

【課題】迅速にかつ簡単にスクリーン印刷を行う。
【解決手段】スキージ４５がスキージホルダ４９に固定された後、コントローラは、印刷ヘッド４１をスキージ取付調整部４６まで移動させ、接触部６７を、スキージ４５の両端部の直下に配置されるようにする。ねじ駆動部５５によって、スキージ４５を徐々に下降させ、スキージ４５の先端４５ａが、両接触部６７，６７の基準面６７ａ，６７ａに同時に接触して、両圧力センサからの出力信号を受けた場合に、スキージ４５の先端４５ａと印刷ステージ３９の載置面３９ａとが、平行状態となったものと判断する。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜の放電性能などをパネルを破壊することなく、評価するのに適した情報を簡単かつ適確に得ることのできる検査装置、検査方法ならびに検査に適したＰＤＰを提供し、それによって表示装置を製造する上での歩留まり向上などに寄与することを目的とする。
【解決手段】画像表示用第１のセル領域と、性能評価用第２のセル領域を備え、第２のセル領域の前面板にセルごとに２電極を備え、２電極の間隔が、第１のセル領域の前面板２電極の間隔より広く、かつ背面板に蛍光体が塗布されていない領域が存在する構成のＰＤＰとする。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの支持体（２）上に配置された、少なくとも１つのパネル（１）の表面を処理する方法に関し、ガス、液体または微粉固体材料を吹き付けることにあり、この場合、上記支持体はパネル端部を超えて突き出し、吹付け材料の障壁として作用する。本発明によれば、吹付け材料は、パネルに平行で、パネルの全端部の近傍で外側の方向に付勢される。このようにして、エッジ効果は打ち消され、この処理によって、パネル中心における効果と同一効果を端部に沿って生成する。この処理はさらに、例えば、ＳｎＯ_２：ＦなどのＣＶＤ蒸着の形態を取ることもできる。このパネルは、プラズマ、ＬＣＤおよびＴＦＴスクリーン、オーブンドア、フラットランプ、光電池を生成するのに使用できる。
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【課題】環境汚染の原因となるＣｒを含んでおらず、かつ、パーティクルが少ない薄膜を形成することができるスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】Ｗを５〜３０質量％、ＡｌおよびＴｉの少なくとも１種を合計で０．１〜１０質量％含有させ、かつ、酸素量を０．０５質量％以下に規制し、残部が実質的にＮｉであるスパッタリングターゲットを用いる。
前記スパッタリングターゲットにおいて、平均結晶粒径の大きさが１００μｍ以下であり、かつ、表面粗さＲａが１０μｍ以下であることが好ましい。
前記スパッタリングターゲットを用いてスパッタリングを行うことにより、得られる膜中の３μｍ以上のパーティクル数は２個／ｃｍ²未満となる。 （もっと読む）